KR102078942B1 - 청정도를 유지하는 코팅 장치 - Google Patents

청정도를 유지하는 코팅 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102078942B1
KR102078942B1 KR1020180154674A KR20180154674A KR102078942B1 KR 102078942 B1 KR102078942 B1 KR 102078942B1 KR 1020180154674 A KR1020180154674 A KR 1020180154674A KR 20180154674 A KR20180154674 A KR 20180154674A KR 102078942 B1 KR102078942 B1 KR 102078942B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chamber
slit
substrate
spray nozzle
cleanliness
Prior art date
Application number
KR1020180154674A
Other languages
English (en)
Inventor
변도영
성백훈
김래현
Original Assignee
엔젯 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엔젯 주식회사 filed Critical 엔젯 주식회사
Priority to KR1020180154674A priority Critical patent/KR102078942B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102078942B1 publication Critical patent/KR102078942B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B9/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent material, without essentially mixing with gas or vapour
    • B05B9/007—At least a part of the apparatus, e.g. a container, being provided with means, e.g. wheels, for allowing its displacement relative to the ground
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B13/00—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
    • B05B13/02—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
    • B05B13/04—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work the spray heads being moved during spraying operation
    • B05B13/0405—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work the spray heads being moved during spraying operation with reciprocating or oscillating spray heads
    • B05B13/041—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work the spray heads being moved during spraying operation with reciprocating or oscillating spray heads with spray heads reciprocating along a straight line

Landscapes

  • Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)

Abstract

본 발명은 청정도를 유지하는 코팅 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 청정도를 유지하는 코팅 장치는 기판이 수용되는 내부공간을 감싸는 챔버;와, 상기 챔버의 내부공간에 수용되는 기판을 향해 코팅물질을 분사하는 스프레이 노즐;과, 상기 스프레이 노즐의 양측에 각각 배치되고, 외부공기를 흡입하여 챔버의 내부공간으로 공급하는 흡기부; 및 상기 챔버 내부공간의 공기를 외부로 배출하는 배기부;를 포함하며, 상기 흡기부는 챔버의 내부공간으로 유입되는 외부공기가 스프레이 노즐을 향하도록 경사배치되는 것을 특징으로 한다.

Description

청정도를 유지하는 코팅 장치{COATING APPARATUS OF MAINTAINING CLEAN DEGREE}
본 발명은 청정도를 유지하는 코팅 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버 내부공간의 청정도를 유지함으로써, 코팅된 박막의 표면 혹은 내부에 이물 불량을 억제할 수 있는 청정도를 유지하는 코팅 장치에 관한 것이다.
자동차, 건축 등의 전통적인 산업 분야뿐만 아니라 디스플레이, 태양전지 등의 제조공정에서도 코팅 공정은 필수적이다. 특히 유기태양전지 및 유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등의 디스플레이 제조시에는 수십에서 수백 나노미터 두께의 정밀한 코팅이 요구된다. 또한, 코팅면의 거칠기 및 균일도는 제품의 성능에 매우 큰 영향을 미치므로 초미세 액적을 이용할 수 있어야 하며, 생산성 관점에서 대량의 액을 빠르게 코팅할 수 있어야 한다.
최근에는 터치스크린의 응용이 확대되면서 스마트폰, 태블릿, 노트북 컴퓨터 등의 터치 윈도우 표면에 적용되는 방오코팅(Anti-Fingerprint Coating) 또는 반반사코팅(Anti-Reflecting Coating) 등이 기존의 진공 코팅공정이 아닌 습식 코팅공정을 이용한 코팅으로 전환되고 있다.
일반적으로 진공 코팅(Vacuum Coating)공정은 진공 속에서 이루어지는 것으로서, 진공이란 이론적으로는 물질이 전혀 존재하지 않는 공간을 말하는 것으로 실제로는 완전한 진공을 만들기란 극히 어려워 보통 1/1000(10-3)mmHg 정도 이하의 저압을 진공이라 한다. 하지만, 진공공정은 진공장비를 설비해야 하는 등의 설비비용의 상승으로 인해 제품의 가격경쟁력이 저하되는 폐단이 따랐다.
반면, 습식공정은 상압(대기압) 하에서 제품의 표면에 코팅 박막을 형성할 수 있으므로, 구조가 간단하면서 설비비용의 저가(低價)에 따른 경쟁력을 제고할 수 있으나, 코팅 박막이 대기중의 오염물질에 의해 쉽게 오염되어 품질이 저하되는 문제와, 스프레이 노즐의 헤드부에 오염물질이 달라붙어 잦은 유지보수가 요구되는 문제가 있다.
특허문헌 1. 대한민국 등록특허 제10-1727053호(2016.08.11.공개)
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 챔버 내부공간의 청정도를 유지함으로써, 코팅된 박막의 표면 혹은 내부에 이물 불량을 억제할 수 있는 청정도를 유지하는 코팅 장치를 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판이 수용되는 내부공간을 감싸는 챔버;와, 상기 챔버의 내부공간에 수용되는 기판을 향해 코팅물질을 분사하는 스프레이 노즐;과, 상기 스프레이 노즐의 양측에 각각 배치되고, 외부공기를 흡입하여 챔버의 내부공간으로 공급하는 흡기부; 및 상기 챔버 내부공간의 공기를 외부로 배출하는 배기부;를 포함하며, 상기 흡기부는 챔버의 내부공간으로 유입되는 외부공기가 스프레이 노즐을 향하도록 경사배치되는 것을 특징으로 하는 청정도를 유지하는 코팅 장치에 의해 달성된다.
여기서, 상기 챔버에는 제1방향으로 슬릿이 형성되고, 상기 스프레이 노즐은 제1이송부에 의해 슬릿을 따라 왕복 이동하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제1이송부는 챔버의 외부에 배치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 챔버의 양측면에는 기판이 통과하는 개구부가 마련되고, 상기 기판은 제2이송부에 의해 제1방향과 교차하는 제2방향으로 이송되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 슬릿의 양측에는 흡기부로부터 제공되는 외부공기를 슬릿의 하부영역으로 유도하는 제1경사면이 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 배기부는 상기 내부공간 내에서 기판을 사이에 두고 상기 슬릿과 마주하는 영역을 가로지르는 형태로 배치되는 배기관과, 상기 배기관의 길이방향을 따라 다수 형성되는 배기슬릿을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 배기관은 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라 배치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 내부공간 내에서 기판을 사이에 두고 상기 슬릿과 마주하는 영역은 서로 마주하는 양측면이 경사면으로 이루어지는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 챔버 내부공간의 청정도를 유지함으로써, 코팅된 박막의 표면 혹은 내부에 이물 불량을 억제할 수 있는 청정도를 유지하는 코팅 장치가 제공된다.
도 1은 본 발명 청정도를 유지하는 코팅 장치의 사시도,
도 2는 본 발명 청정도를 유지하는 코팅 장치의 정면도,
도 3은 본 발명 청정도를 유지하는 코팅 장치에 따른 챔버의 하부영역을 나타낸 사시도,
도 4는 본 발명 청정도를 유지하는 코팅 장치의 평면구성도,
도 5는 도 4의 A-A'선 단면도,
도 6은 도 4의 B-B'선 단면도,
도 7 내지 도 9는 본 발명 청정도를 유지하는 코팅 장치에 따른 챔버 내부공간의 기류를 나타낸 도면이고,
도 10은 본 발명의 제2실시예에 따른 청정도를 유지하는 코팅 장치의 단면도이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 청정도를 유지하는 코팅 장치에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명 청정도를 유지하는 코팅 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명 청정도를 유지하는 코팅 장치의 정면도이고, 도 3은 본 발명 청정도를 유지하는 코팅 장치에 따른 챔버의 제3몸체를 나타낸 사시도이다.
상기 도면에서 도시하는 바와 같은 본 발명 청정도를 유지하는 코팅 장치는, 챔버(110), 스프레이 노즐(120), 제1이송부(130), 제2이송부(140), 흡기부(150) 및 배기부(160)를 포함하여 구성된다.
상기 챔버(110)는 내부공간을 둘러싸는 제1몸체(110a)와 제2몸체(110b) 및 제3몸체(110c)로 구성된다.
상기 제1몸체(110a)는 상기 내부공간의 상부영역(기판(S)의 코팅면과 마주하는 영역)을 마감하는 것으로서, 상면 중앙에 제1방향을 따라 형성되어 내부공간과 연통하는 슬릿(111)과, 상기 슬릿(111)의 양측에 각각 서로 대칭되는 형태로 배치되는 제1경사면(112)과, 상기 제1경사면(112)의 외측단부에 접하고 흡기부(150)가 설치되는 제2경사면(113)을 포함한다. 즉, 상기 제1몸체(110a)의 상부에는 기판(S)이 이송되는 제2방향을 따라 제2경사면(113), 제1경사면(112), 슬릿(111), 제1경사면(112), 제2경사면(113)이 순서대로 배치되는 형태로 이루어지며, 상기 슬릿(111)을 중심으로 양측에 각각 대칭되는 형태로 배치되는 한 쌍의 제1경사면(112)은 하측 방향으로 진행할수록 사이 간격이 축소되는 형태가 되도록 경사 배치되고, 한 쌍의 제2경사면(113)은 하측 방향으로 진행할수록 사이 간격이 확대되는 형태가 되도록 경사 배치된다.
여기서, 상기 제1방향은 기판(S)의 이송방향을 가로지르는 방향으로 연장되는 것으로서, 기판(S)의 이송방향과 직교하거나, 기판(S)의 이송방향과 사선방향으로 교차할 수 있다. 다만, 본 발명의 일실시예에서는 제1방향이 기판(S)의 이송방향인 제2방향과 직교하도록 설정되는 것으로 예를 들어 설명한다.
상기 제2몸체(110b)는 상기 제1몸체(110a)의 하부에 연결되는 네 개의 측벽으로 구성되며, 기판(S)의 이송방향인 제2방향과 마주하는 두 개의 측벽에는 기판(S)이 내부공간으로 반입/반출되는 개구부(114)가 마련된다.
상기 제3몸체(110c)는 상기 내부공간의 하부영역(기판 코팅면의 반대쪽 면과 마주하는 영역)을 마감하는 것으로서, 상기 제2몸체(110b)의 하부에 연결되는 네 개의 제3경사면(115)을 포함하며, 상기 네 개의 제3경사면(115)은 하측 방향으로 진행할수록 사이 간격이 축소되는 형태가 되도록 경사 배치되고, 서로 마주하는 한 쌍의 제3경사면(115)은 서로 대칭되는 형태로 배치된다.
상기 스프레이 노즐(120)은 상기 챔버(110)의 내부공간에 수용된 기판(S)을 향해 코팅 물질을 미립화하여 분사하는 것으로서, 후단부는 챔버(110)의 외부에 배치되어 코팅 물질을 연속적으로 공급받고, 선단부는 상기 챔버(110)의 제1몸체(110a)에 형성된 슬릿(111)을 통해 내부공간으로 삽입되어 기판(S)을 향하도록 배치된다.
상기 제1이송부(130)는 상기 스프레이 노즐(120)을 제1방향으로 왕복 이송하는 리니어모터로 이루어질 수 있다. 이러한 제1이송부(130)는 상기 챔버(110)의 상측을 제1방향으로 가로지르는 형태로 배치되는 겐트리(gantry) 타입의 구조물에 설치될 수 있으며, 상기 스프레이 노즐(120)의 제1방향 이송을 안정적으로 안내하기 위한 LM가이드 등을 추가로 포함할 수 있다. 즉, 상기 스프레이 노즐(120)과 스프레이 노즐(120)을 이송하기 위한 제1이송부(130)가 챔버(110)의 외부에 배치되므로, 제1이송부(130)의 구동시 발생하는 분진 등에 의해 챔버(110)의 내부공간이 오염되는 것을 방지할 수 있다.
상기 제2이송부(140)는 코팅 대상이 되는 기판(S)을 제2방향을 따라 상기 챔버(110)의 내부공간으로 반입/반출하기 위한 것으로서, 제2몸체(110b)의 양측에 형성된 개구부(114)를 따라 제2방향으로 설치되는 컨베이어와, 상기 컨베이어를 구동하는 구동수단(미도시)을 포함한다.
한편, 본 실시예에서는 기판(S)이 컨베이어에 의해 제2방향으로 이송되는 것으로 예를 들어 설명하였으나 이에 제한하는 것은 아니며, 기판(S)이 안착되는 스테이지를 제2방향으로 이송하는 로봇 등과 같이 기판(S)을 제2방향으로 이송하기 위한 여러 가지 구성이 이용될 수 있다.
상기 흡기부(150)는 상기 제1몸체(110a)의 제2경사면(113)에 설치되며, 제2경사면(113)의 기울기에 따라 내부공간으로 유입되는 기류가 스프레이 노즐(120)을 향하도록 경사배치된다.
상기 흡기부(150)는 외부공기 중의 이물을 필터링하여 챔버(110) 내부로 공급할 수 있는 팬 필터 유닛(fan filter unit, FFU)으로 이루어질 수 있다. 이러한 팬 필터 유닛은 직방체 형상 또는 원통 형상의 케이스의 내부에，전동 모터와 프로펠러 팬과 필터를 구비하고，이들이 상하 방향에 나란히 하도록 배치되고 케이스의 외부에 갖춰진 전원으로부터 공급된 전력에 의하여 전동모터가 회전하면, 팬에 의하여 케이스의 상측의 개구로부터 받아들여진 공기가 필터를 통과되어 청정화된 후에 챔버(110)의 내부공간으로 공급된다.
상기 배기부(160)는 상기 챔버(110)의 내부공간 내에서 기판(S)을 사이에 두고 상기 슬릿(111)과 마주하는 영역을 제2방향을 따라 연장되는 형태로 배치되는 배기관(161)과, 상기 배기관(161)과 연결되어 흡입력을 인가하는 배기펌프(미도시)를 포함하며, 상기 배기관(161)에는 상기 배기관(161)의 내부와 챔버(110)의 내부공간을 연결하는 배기슬릿(162)이 제2방향을 따라 다수 형성된다. 본 실시예에서는 상기 배기슬릿(162)이 배기관(161)의 상부와 양측면에 각각 마련되는 것으로 예를 들어 설명한다.
지금부터는 상술한 청정도를 유지하는 코팅 장치의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다.
첨부도면 중, 도 4는 본 발명 청정도를 유지하는 코팅 장치의 평면구성도이고, 도 5는 도 4의 A-A'선 단면도이고, 도 6은 도 4의 B-B'선 단면도이고, 도 7 내지 도 9는 본 발명 청정도를 유지하는 코팅 장치에 따른 챔버(110) 내부공간의 기류를 나타낸 도면이다.
도 4 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 챔버(110)의 내부공간은 제1몸체(110a)와 제2몸체(110b) 및 제3몸체(110c)로 둘러싸인 공간으로 정의되고, 내부공간의 상부영역에는 제1이송부(130)에 의해 제1방향으로 왕복이동하는 스프레이 노즐(120)이 배치되고, 내부공간의 중앙에는 제2이송부(140)에 의해 제2방향으로 이송되는 기판(S)이 배치된다.
즉, 기판(S)의 상측에서 제1방향으로 왕복이동하는 스프레이 노즐(120)이 코팅 물질을 분사하면 제2방향으로 이송되는 기판(S)의 상면에 코팅 박막이 형성된다.
이때, 상기 스프레이 노즐(120)에서 분사되는 코팅물질은 대부분 기판(S)의 상면에 도포되어 기판(S)의 상면에 코팅 박막을 형성하나, 기판(S)의 상면에 충돌한 뒤 주변으로 비산되는 나머지 코팅물질은 스프레이 노즐(120)의 분사 압력에 의해 기판(S)의 주변으로 확산되므로, 코팅 품질을 향상시키기 위해서는 내부공간에 청정 공기를 공급하고, 이를 신속하게 배출하는 것이 중요하다.
또한, 본 실시예의 챔버(110)는 스프레이 노즐(120)의 이동을 위한 슬릿(111)과 기판(S)의 반입/반출을 위한 개구부(114)를 통해 내부공간이 외부공간과 연통하므로, 상기 슬릿(111) 및 개구부(114)를 통해 외부의 이물질이 유입될 수 있다.
이때, 상기 챔버(110)의 제1몸체(110a)에 설치된 흡기부(150)를 통해 챔버(110)의 내부공간으로 외부공기를 공급하고, 제3몸체(110c)에 설치된 배기부(160)를 통해 챔버(110)의 내부공간의 공기를 외부로 배출하면, 챔버(110)의 내부공간에 하강 기류를 형성하여 내부공간으로 비산된 코팅물질과 개구부(114)를 통해 유입된 오염물질을 신속하게 챔버(110) 외부공간으로 배출시킬 수 있으므로, 챔버(110) 내부공간의 청정도를 향상시킬 수 있다. 구체적으로, 상기 스프레이 노즐(120)에서 분사되는 공압 유량이 1~300 l/min인 경우, 흡기부(150)를 통해 내부공간으로 공급되는 외부공기의 풍속은 0.1~4m/s, 배기부(160)의 배기 풍량은 5~30CMM으로 유지되는 경우, 내부공간의 상부영역으로부터 하부영역으로 하강기류가 안정적으로 형성될 수 있다.
특히, 챔버(110)의 상부에 배치되는 흡기부(150)는 챔버(110)의 제2경사면(113)에 설치되어 스프레이 노즐(120)을 향하게 되므로, 흡기부(150)를 통해 챔버(110)의 내부공간으로 공급되는 외부공기가 스프레이 노즐(120)로부터 분사된 코팅물질의 비산을 상당부분 억제하는 효과를 제공할 수 있다. 아울러, 슬릿(111)의 양측에 인접 배치되는 제1경사면(112)은 흡기부(150)로부터 제공되는 외부공기가 슬릿(111)의 하부로 안내하는 역할을 하므로, 스프레이 노즐(120)의 선단부와 슬릿(111)의 사이영역으로 안내된 외부공기는 스프레이 노즐(120)의 분사압력에 의해 하강하게 된다. 이어, 스프레이 노즐(120)의 분사 압력과 흡입부를 통해 제공되는 외부공기의 압력에 의해 영향을 받아 기판(S)을 따라 수평으로 이동한 뒤, 배기부(160)를 향해 이동하는 층류를 형성하게 된다.
즉, 외부공기가 하강기류를 형성하면서 신속하게 배기부(160) 측으로 이동하도록 함으로써 코팅물질의 비산을 방지하는 동시에 챔버(110) 내부공간에서의 난류 형성을 방지할 수 있으며, 챔버(110) 내부공간으로 유입되는 오염물질이나 내부공간으로 비산되는 코팅물질이 하강기류를 따라 신속하게 배출되도록 할 수 있으므로, 챔버(110) 내부공간의 청정도를 향상시키는 동시에 코팅된 박막의 표면 혹은 내부에 오염물질이 유입되는 것을 방지하여 제품 품질을 향상시킬 수 있다.
또한, 흡기부(150) 및 배기부(160)에 의해 챔버(110) 내부공간의 공기 유동이 안정적으로 유지되므로 코팅 박막을 매우 균일하게 형성할 수 있으며, 기판(S)으로부터 비산되는 코팅물질이 하강기류와 함께 외부로 배출되므로 비산된 코팅물질에 의해 스프레이 노즐(120)의 헤드부가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기 배기부(160)의 배기관(161)은 챔버(110) 내부공간의 하부영역에서 기판(S)의 이동방향인 제2방향과 나란한 방향으로 길게 연장 형성되어 있으므로, 기판(S)의 상면을 따라 수평이동하다가 기판(S)의 양단부에서 하강하는 기류가 배기관(161)을 통해 신속하게 외부공간으로 배출되도록 할 수 있다
아울러, 챔버(110)의 내부공간 하부를 감싸는 제3몸체(110c)는 측벽이 각각 제3경사면(115)으로 이루어져 하강기류가 배기관(161)을 향해 안내되므로 하강기류의 이동거리를 단축하는 동시에 난류의 발생을 억제할 수 있다.
상기와 같은 본 실시예에 따르면, 챔버(110) 내부공간으로 유입되는 오염물질과 비산된 코팅물질을 효과적으로 배출할 수 있으므로, 코팅 시스템 내부의 청정도를 유지하여 코팅된 박막의 표면 혹은 내부에 이물 불량을 억제하는 효과를 제공할 수 있다.
다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 청정도를 유지하는 코팅 장치에 대하여 설명한다.
첨부도면 중, 도 10은 본 발명의 제2실시예에 따른 청정도를 유지하는 코팅 장치의 단면도이다.
도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 청정도를 유지하는 코팅 장치는 제1실시예와 달리 스프레이 노즐(120), 제1이송부(130) 및 흡기부(150)가 챔버(110)의 하부에 배치되고, 배기부(160)가 챔버(110)의 상부에 배치되며, 기판(S)이 제2이송부(140)에 고정된 상태로 이송되는 점에서 제1실시예와 차이가 있다.
즉, 기판(S)의 하측에서 슬릿(111)을 따라 제1방향으로 왕복이동하는 스프레이 노즐(120)이 코팅 물질을 분사하여 제2이송부(140)에 의해 제2방향으로 이송되는 기판(S)의 저면에 코팅 박막을 형성할 수 있다.
이때, 상기 챔버(110)의 제1몸체(110a)에 설치된 흡기부(50)를 통해 챔버(110) 내부공간으로 외부공기를 공급하는 동시에, 제3몸체(110c)에 설치된 배기부(160)를 통해 챔버(110) 내부공간의 공기를 외부로 배출하면, 챔버(110)의 내부공간에 상승 기류를 형성하게 되므로 챔버(110)의 내부공간에서 비산된 코팅물질과 챔버(110)의 내부공간으로 유입된 오염물질을 챔버(110)의 외부공간으로 신속하게 배출할 수 있어 챔버(110) 내부공간의 청정도가 향상된다.
상기와 같은 본 발명의 제2실시예는 앞서 설명한 제1실시예의 구조가 상하로 뒤집힌 형태이며, 전체적인 구성과 작용효과는 제1실시예와 동일하므로 동일 구성에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
110:챔버, 110a:제1몸체, 110b:제2몸체,
110c:제3몸체, 111:슬릿, 112:제1경사면,
113:제2경사면, 114:개구부, 115:제3경사면,
120:스프레이 노즐, 130:제1이송부, 140:제2이송부,
150:흡기부, 160:배기부, 161:배기관,
162:배기슬릿, S:기판

Claims (9)

  1. 삭제
  2. 기판이 수용되는 내부공간을 감싸는 챔버;
    상기 챔버의 내부공간에 수용되는 기판을 향해 코팅물질을 분사하는 스프레이 노즐;
    상기 챔버의 상단부에 배치되어, 외부공기를 흡입하여 챔버의 내부공간으로 공급하는 흡기부; 및
    상기 챔버의 하단부에 형성되어, 내부공간의 공기를 외부로 배출하는 배기부;를 포함하며,
    상기 챔버의 벽면에는 경사면이 형성되어 상기 흡기부로부터 유입된 공기의 흐름 방향을 유도하고,
    상기 챔버의 상단면에는 상기 기판이 이송하는 방향과 수직된 제1방향으로 슬릿이 형성되고, 상기 스프레이 노즐은 제1이송부에 의해 상기 슬릿을 따라 왕복 이동하는 것을 특징으로 하는 청정도를 유지하는 코팅 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제1이송부는 챔버의 외부에 배치되는 것을 특징으로 하는 청정도를 유지하는 코팅 장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 챔버의 양측면에는 기판이 통과하는 개구부가 마련되고, 상기 기판은 제2이송부에 의해 제1방향과 교차하는 제2방향으로 이송되는 것을 특징으로 하는 청정도를 유지하는 코팅 장치.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 챔버의 상단면에는 상기 슬릿의 양측에 배치되는 흡기부로부터 제공되는 외부공기를 슬릿의 하부영역으로 유도하도록 상기 슬릿을 향하여 아래로 경사진 제1경사면이 상기 슬릿의 양측에 형성되는 것을 특징으로 하는 청정도를 유지하는 코팅 장치.
  6. 제 2항에 있어서,
    상기 배기부는 상기 내부공간 내에서 기판을 사이에 두고 상기 슬릿과 마주하는 영역을 가로지르는 형태로 배치되는 배기관과, 상기 배기관의 길이방향을 따라 다수 형성되는 배기슬릿을 포함하는 것을 특징으로 하는 청정도를 유지하는 코팅 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 배기관은 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 청정도를 유지하는 코팅 장치.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 챔버의 하단부에는 상기 내부공간 내에서 기판을 사이에 두고 상기 슬릿과 마주하는 영역은 서로 마주하는 양측면이 경사지는 제3경사면으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 청정도를 유지하는 코팅 장치.
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 챔버의 상단면에는 상기 슬릿을 중심으로 상기 제 1 경사면의 바깥쪽에 상기 제 1 경사면과 반대 방향으로 경사진 제 2 경사면이 형성되고, 상기 흡기부는 상기 제 2 경사면에 형성되어 상기 스프레이 노즐을 향하는 방향으로 경사지게 상기 외부공기를 상기 챔버 내부로 공급하는 청정도를 유지하는 코팅 장치.
KR1020180154674A 2018-12-04 2018-12-04 청정도를 유지하는 코팅 장치 KR102078942B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180154674A KR102078942B1 (ko) 2018-12-04 2018-12-04 청정도를 유지하는 코팅 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180154674A KR102078942B1 (ko) 2018-12-04 2018-12-04 청정도를 유지하는 코팅 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102078942B1 true KR102078942B1 (ko) 2020-02-19

Family

ID=69670008

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180154674A KR102078942B1 (ko) 2018-12-04 2018-12-04 청정도를 유지하는 코팅 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102078942B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03262543A (ja) * 1990-03-13 1991-11-22 Nippon Air-Tec Kk クリーンドラフトチヤンバー
KR101099766B1 (ko) * 2010-12-02 2011-12-28 양성식 나노 스프레이 코팅 장치
KR101727053B1 (ko) 2015-02-03 2017-05-02 한국기계연구원 스프레이 코팅유닛 및 이를 이용한 코팅시스템

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03262543A (ja) * 1990-03-13 1991-11-22 Nippon Air-Tec Kk クリーンドラフトチヤンバー
KR101099766B1 (ko) * 2010-12-02 2011-12-28 양성식 나노 스프레이 코팅 장치
KR101727053B1 (ko) 2015-02-03 2017-05-02 한국기계연구원 스프레이 코팅유닛 및 이를 이용한 코팅시스템

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7931755B2 (en) Method for removing deposit from substrate and method for drying substrate, as well as apparatus for removing deposit from substrate and apparatus for drying substrate using these methods
KR101091095B1 (ko) 기판 세정 모듈 및 이를 갖는 기판 처리 장치
US10699918B2 (en) Chemical supply unit and apparatus for treating a substrate
CN110405612A (zh) 防止污染物质飞散及再附着的基板抛光装置
KR102078942B1 (ko) 청정도를 유지하는 코팅 장치
KR20190012584A (ko) 에어 나이프 및 이를 포함하는 분진 제거 장치
JP2012232269A (ja) 基板浮上型搬送機構用スリットコート式塗布装置
KR20190011890A (ko) 에어 나이프 및 이를 포함하는 분진 제거 장치
TW201420198A (zh) 塗佈裝置以及液體承接清洗裝置
JP4932897B2 (ja) ノズル、ドライクリーナ及びドライクリーナシステム
KR100766115B1 (ko) 평판 디스플레이 기판용 코팅장치
KR102559675B1 (ko) 초음파 건식 세정 장치
JP2006102571A (ja) 薄膜形成装置
JP4171293B2 (ja) 薄板状材の搬送方法及び装置
KR20120132401A (ko) 도포 장치
KR102201882B1 (ko) 기판 처리 장치 및 방법
CN109843822A (zh) 玻璃基板的制造方法
WO2020059796A1 (ja) 浮上搬送装置
JP3180385U (ja) 基板のエッチング装置
KR100857525B1 (ko) 미세 오염물 흡입장치
KR102373553B1 (ko) 건식 세정 장치
KR102313175B1 (ko) 건식 세정 장치
KR102223760B1 (ko) 유체 공급 유닛 및 이를 이용한 기판 처리 장치
JP2009113019A (ja) 液状体の回転式スプレイ塗布方法及び装置
TWI541076B (zh) Coating apparatus and coating method

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant