JPH03262543A - クリーンドラフトチヤンバー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本発明は、揮発性の有ｍ溶剤や酸など有害な蒸気やガス
を発生する薬液を用いる一方で無塵の環境を必要とする
作業を行なう際に用いるクリーンドラフトチャンバーに
関するものである。 Ｋ従来の技術】 半導体製品や精密機械部品等の製造工程において、ＩＩ
′発性の有機溶剤や酸を用いる洗浄やエツチングの作業
を無塵の環境で行なう必要がある場合、クリーンドラフ
トチャンバーが用いられる。有害ガス排出用の排気装置
だけを備えた通常のドラフトチャンバーはその作業用開
口部からドラフトチャンバー周辺の盲唖空気を取り込む
が、クリーンドラフトチャンバーは、第４図に示したよ
うに、天井部に高性能エアーフィルター２１付き送風機
２２を設置して清浄化空気を天井部より作業空間２３に
供給し、作業台２４またはその周辺に排気口２５を設け
て汚染空気を排気装置２９により強制排出するようにし
たものであるから、作業空間２３はドラフトチャンバー
周辺よりも浮遊塵埃の少ない清浄な環境に保たれる。 このクリーンドラフトチャンバーを用いる場合、容器２
６に入っている有機溶剤や酸の蒸気をチャンバーの作業
用開口部２７から外に漏れないようにするためには、高
性能エアーフィルター２１を経由し３　　・ で供給する清浄空気のＩ（ｎ　　／ｎ＋ｎ）Ｑｌを上回
る量のチャンバー内汚染空気Ｑ３を排気装置Ｆ２５によ
り排出し、それによりＱ　　−０１に等しいｆｆ１Ｑ２
の周辺空気が開口部２７から風速Ｖで常にチャンバー内
に流れ込むようにする。しかしながら、浮遊塵埃の多い
周辺空気の流入１ｊＱ２が多いほどチャンバー内清浄度
は低下するから、その量をあまり多くすることは好まし
くなく、チャンバー内で行なわれる作業の種類に応じて
風速Ｖとして０．２５Ｉ／ｓｅｃ以下、０．４１／ｓｅ
ｃ以下、または０．５１１／ＳｅＣ以下にＩＩＩＩＪＩ
！される。 風速■を所定の値に保つ場合、周辺空気流入量Ｑ２は、
上下動するシャッター２８により可変の開口部高さ口に
比例するから、開口部高さ口を高くするほど周辺空気流
入ＩＱ２は多くなる。従って、作業上の必要性から開口
部高さ口を高くした場合、周辺の空調空気がドラフトチ
ャンバーに大量に取り込まれて廃棄されることになり、
ドラフトチャンバー設置室の空調コストを上昇させるこ
とになる。また、周辺空気を取り込みながらチャンバー
内の清浄度を確保するには、清浄化空気供給量Ｑ１を高
い水準に設定しなければならず、このためチャンバー内
汚染空気Ｑ３も多くなり、送風機２２および排気装置２
９の動力費が高いという問題があった。

【発明が解決しようとする課題】

本発明の目的は、クリーンドラフトチャンバーにおける
上述のような問題点を解決し、周辺空気取り込み量が少
なく、且つ少ない動力費でＦＲｅかつ広い作業空間を確
保できるクリーンドラフトチャンバーを提供することに
ある。

【課題を解決するための手段】

天井部に高性能エアーフィルター付き送風機を設置して
清浄化空気を天井部により作業空間に供給可能にすると
ともに排気口を作業台またはその周辺に設けて汚染空気
を排気装置により強制排出するようにしたクリーントラ
フトチセンバーにおいて、作業台にその手ＩＩＪ＃！ｌ
のＲＨｆＳに沿って吸気口を設けてこれを上配送朋様の
空気取り入れ口とし、作業台に薬液容器設置用凹部を設
け、該凹部の側壁に＃見目を設けてこれをダクトでＷ８
−気装置に連通させ、さらに、作業台の上記凹部ガ設置
されていない部分の上方を横切って凹部に流入する高速
空気流を生じさせる清浄化空気噴射ノズルを天井部に設
置した。 このクリーンドラフトチャンバーには、＃認容Ｂ設置用
凹部設ｆ箇所より奥の部分において作業台にシャッター
付き排気口を併設してもよい。 薬液容器設置用凹部は、必要なｌｉ液容器のすべてを余
裕をもって収容できる大きさにしておく。 また、その深さは、薬液容器全体が入ってしまうよう十
分深くしておくことが望ましい。

【作　　　用１ 本発明のクリーンドラフトチャンバーを使用する場合は
、作業に必要な有機溶剤や酸を入れた薬液容器を原則と
して薬液容器設置用凹部に置く。 これにより５作業中発生する汚染空気は作業空間全体に
拡散することなく主として薬液容器設置用凹部内に停滞
する。この汚染空気は、排気装置を運転すると凹部ａ壁
の排気口からダクトに入り、屋外に排出される。一方、
清浄空気供給用送風機を運転すると、チャンバー開口部
付近の比較的清浄なチャンバー内空気と周辺空気が吸気
口から吸い込まれて高性能エアーフィルターで濾過され
、清浄空気となって天井部から作業台方向に流下する。 この清浄空気の大部分は吸気口から吸い込まれるから、
清浄空気の大部分は上記経路で循環することになる。作
業台の、薬液容器設置用凹部以外の部分に薬液容器等、
空気汚染源となるものを置いた場合、それにより作業台
上で発生する汚染空気は、清浄化空気噴射装置から噴射
されて凹部に流入する高速空気流に誘引されて凹部に流
入し、凹部内で発生した汚染空気と合流して排気装置に
より屋外に排出される。 ８Ｉ浄化空気噴射ノズルからの空気噴射量は送風機によ
る清浄化空気循環量と比べると無視できる程度の少量で
よく、従って、チャンバー開口部からの周辺空気流入量
および流入風速は、事実上、排気口からの排出空気量の
みによって決まる。 Ｋ実　施　例】 第１図、第２図に示した実施例において、作業台１は２
カ所に薬液容器設置用凹部２を有し、さらに、その手前
の開口部３側の縁に沿う吸気口４と、薬液容器設置用凹
部２の奥の部分に設けられたシャッター付き排気口５と
を有する。 薬液容器設置用凹部２は、薬液容器６を完全に収容でき
る深さのもので、その側壁には排気ロアがあり、また底
板には図示してない排水管（洗浄水等を流すためのもの
）が接続されている。 吸気口４は、Ｕ字溝状に成形された有孔板をもって形成
されており、ダクト９により、天井部の送風ｌＲ１０に
通じている。送風＠ｉｏの下には高性能エアーフィルタ
ー１１があり、送風１１０が送り出す空気はすべてこの
フィルター１１を通過して作業空間１２に流下するよう
になっている。 薬液容器設置用凹部２の周囲は排気ダクト１３になつで
いて、排気ロアおよびシャッター付き排気口５は、この
ダクト１３およびそれに続く排気ダクト１４により排気
装ｆｌ１１５に通じている。 天井部には、高性能エアーフィルター１１のほかに清浄
化空気噴射ノズル１６が固定されているが、その取付は
姿勢は、ノズル１６の中心軸線Ｘが、作業台１上、凹部
２がない部分の上方の作業空間１２を横切って凹部２の
中心に向かうように選定されている。ノズル１６は、バ
イブ１７により高性能エアーフィルター１８付きコンプ
レッサー１９に連結されている。 開口部３には上下動可能なシャッター２０があり、これ
を上下動させることにより、開口部３の有効高さＨの調
節が可能である。 このドラフトチャンバーを使用して洗浄、エツチング等
の作業をする場合、シャッター付き排気口５のシャッタ
ーは通常開じておく。作業に必要な有機溶剤や酸を入れ
た平バット等の薬液容ａ６を薬液容器設置用凹部２に置
いて送風機１０．排気＠＠１５およびコンプレッサー１
９を運転すると、作業中に薬液容器６中の溶剤や酸から
発生した蒸気は大部分が凹部２中に溜まるから、それに
より汚染された空気が排気装置１５により吸引されて排
気ロアから総流量Ｑ４で排気ダクト１３に入り、排気ダ
クト１４経出で屋外に排出され、溶剤等は適宜処理され
る。一方、高性能エアーフィルター１１からは清浄空気
が流量Ｑ１で流下し、作業空間１２を清浄に保つ。流下
した清浄空気の一部は薬液容器６の周辺に流れ、上述の
汚染空気となってｊ＃気ロアからＩＩＰｊ流ＩＱ４で排
出されるが、大部分（Ｑｌ−０４）は、薬液蒸気によっ
て殆ど汚染されないまま吸気口４から吸い込まれてダク
ト９に入り、高性能エアーフィルター１１で濾過され、
再び清浄空気となって作業空間１２に入るという＠環経
路に入る。さらに、ノズル１６から凹部２に向かう洒浄
化空気噴剣気流が作業台１上の空気を凹部２内に誘引す
るので、作業台１（凹部２の無い部分）に薬液容！！６
′の空気汚染源を置いた場合に発生する汚染空気は大部
分が凹部２に流入し、凹部２内で発生した汚染空気と共
に排気ロア、排気ダクト１３゜同１４を経由して屋外に
排出される。これにより、作業台１上で発生した汚染空
気が吸気口４に流入することによる上記循環空気流の汚
染が防がれる。 ノズル１６からの空気噴射量は、送風機１０による送風
量に比べればごく僅かである。そして、送風機１０のた
めの吸気口は吸気口４以外には無いから、汚染空気とな
って排出される空気１ｉｋＱ４に実質的に等しいＭｏ２
の周辺空気が吸気口４から吸い込まれる。流入空気量Ｑ
２は、シャッター１６を操作することによる開口部高さ
口の変化によって左右されない。この周辺空気は盲唖空
気であるが、高性能エアーフィルター１１から集中的に
吸気口４へ向かうエアカーテン状の清浄空気流が遮断膜
となるため、吸気口４に入る前にチャンバー内に進入し
て作業空間２を浮ＭＷ埃で汚染することはない。 送風機１０等を運転したまま作業を休止する場合は、薬
液容器設置用凹部２に薬液蒸気拡散防止用の適当な有孔
蓋をするとともにシャッター付き排気口５のシャッター
を開くとよい。これにより薬液蒸気の漏れは一層少なく
なり、一方、排気装置１５による流量Ｑ４の空気排出は
排気口５を経由して続けられて、１ｌｆｆｌバランスの
安定厚保たれる。 シャッター付き排気口５を設けず、流１ｉＱ４の排気に
必ＭＨ小ＷＩ度の通気孔を薬液容器設置用凹部２の益に
設けておいてもよい。 Ｋ発明の効果１ 本発明のクリーンドラフトチャンバーは、上述のような
構成に基づき、使用薬液蒸気の拡散を最小限度にし、少
量の重度汚染空気だけをその発生部位から速やかに屋外
に排出してしまうので、チャンバー内空気全量を吸引廃
棄する従来のクリーンドラフトチャンバーにおける必要
排気量よりも遥かに少ない排気量で、汚染空気の濡出を
抑えることができる。従って本発明のクリーンドラフト
チャンバーは、汚染空気の拡散を防ぐために開口部から
著量の周辺空気を流入させるとともに大量の清浄空気を
流す必要があった従来のクリーンドラフトチャンバーと
比べて、ドラフトチャンバー設置室の空調空気を大量に
消費して空調費用を著増させることなく、また、送風機
や排気＠置の動力費が装置であるという特長がある。ま
た、屋外排出量に見合った量だけ給気系に取り込まれる
右岸の周辺空気は、高性能エアーフィルターから吸気口
に向かうエアカーモア状ＰｆｉＰＩＰ空気流に妨げられ
てチャンバー内には進入せず、直接吸気口に入るから、
チャンバー内に浮ＭＭ埃を持ち込む恐れがない。更に、
清浄空気の大部分を循環再利用するから、高性能エアー
フィルターが長持ちする。 さらに、天井部から凹部に向けての空気噴射により、凹
部以外の作業台上で発生する汚染空気も１！！７Ｍに誘
導して排出するので、循環空気の汚染度を高める恐れな
しに、作業の内容に応じて凹部内と作業台上の何れをも
使用することができる。 以上により、本発明のクリーンドラフトチャンバーは、
清浄な作業環境を従来よりも遥かに低いコストで安定し
て実現することができるきわめて有利なものである。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明実施例の略縦断面図であっ
て、第１図は正面図、第２図は側面図である。第３図は
上記実施例における作業台１の平面図、第４図は従来の
クリーンドラフトチャンバーの例を示す略Ｉ１１断面図
である。 第　　１ 図 １．２４・・・作業台、　２・・・薬液容器設置用凹部
。 ３．２７・・・開口部、　４・・・吸気口。 ５．７．２５・・・排気口、６．２６・・・薬液容器。 ９．１３・・・ダクト、　　１０，２２・・・送ＪＩＩ
ｍ。 １１、１８．２１・・・高性能エアーフィルター１２、
２３・・・作業空間、　　１５，２５・・・＃気装置。 １６・・・ノズル、１９・・・コンプレッサー２０・・
・シャッター

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、天井部に高性能エアーフィルター付き送風機を設置
   して清浄化空気を天井部により作業空間に供給可能にす
   るとともに排気口を作業台またはその周辺に設けて汚染
   空気を排気装置により強制排出するようにしたクリーン
   ドラフトチャンバーにおいて、作業台にその手前側の縁
   部に沿つて吸気口を設けてこれを上記送風機の空気取り
   入れ口とし、作業台に薬液容器設置用凹部を設け、該凹
   部の側壁に排気口を設けてこれをダクトで排気装置に連
   通させ、作業台の上記凹部が設置されていない部分の上
   方を横切って凹部に流入する高速空気流を生じさせる清
   浄化空気噴射ノズルを天井部に設置したことを特徴とす
   るクリーンドラフトチャンバー。