JP3180385U - 基板のエッチング装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板の湿式工程において、表面を加工するためのエッチング装置を提供する。
【解決手段】被加工のプレート４１を搬送するために、それぞれが間隔をおいて搬送方向に沿って配列される複数の下部ローラー１１を備えるタンク１０と、それぞれが前記下部ローラー１１の上方に位置し且つ搬送方向に沿って間隔をおくように配列され、各々が下端に噴出口の形成された複数のノズルを備える複数のスプレー装置２０と、それぞれが前記複数のスプレー装置２０のうちの隣り合う２つのスプレー装置２０の間に位置し且つ搬送方向に沿って間隔をおくように配列され、各々が連結管を介して空気抜き器に連結されるとともに、両端が封止され且つ底部に対し前記被加工のプレート４１の表面が接近するための少なくとも１つの吸い取り口が形成された中空の管体をなす複数の吸い込み管３０と、を有する。
【選択図】図１

Description

本考案は、特に基板の湿式工程において、表面を加工するための基板のエッチング装置に関するものである。

従来の基板の湿式工程において、台湾特許第２０１１０３６４６号「基板材料の表面加工装置」は、複数のノズルが液体注入管に設置されると共に、該各ノズルと基板との距離が５ｍｍ（Ｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒ，ｍｍ）乃至４０ｍｍの範囲内に設定され、基板の表面を加工する時、加工液体及び空気をノズルの中で細かく混合して霧状の液体を噴出すると共に、ノズルを左右の水平方向に沿って往復移動させ、霧状の液体を基板の表面に均一にスプレーして高精度の回路を形成する。

しかしながら、従来の基板加工技術においては、加工液体をノズルから続けて噴出させるため、基板に残った古い液体に新たな液体が重なり、基板のエッチング及び現像などの効果に悪影響が生じ、回路の精密度が不均一になり、基板の品質が不安定になる問題があった。

また、従来の基板材料の表面加工装置においては、ノズルと基板との距離が５ｍｍ乃至４０ｍｍの範囲内に設定されることから、その距離が短く、噴出した霧状液体の幅が狭いという問題があった。この問題を解決するために、液体注入管に多数のノズルを設置すると共に、液体注入管を移動させるための駆動装置を取り付け、多数のノズルを設置すると、加工液体の消耗量が増加し、基板を密封したタンクの中で加工すると、タンク内の気流が乱れてで霧状液体が基板の表面に付着しない場合があり、加工の効果が悪いと共に、駆動装置も電力を消耗するという欠点があった。

さらに、上述したようにノズルと基板との距離が短いため、霧状液体を噴出する時に、適当な空気圧力を制御することが必要であるが、既存の技術においては、送風機などの空気送出装置により、空気圧力を適当に制御できないので、空気圧力が強すぎても、弱すぎても、基板に精密な回路を形成することが不可能であり、基板の品質に悪影響があった。

本考案に係る基板のエッチング装置は、被加工のプレートを搬送するために、それぞれが間隔をおいて搬送方向に沿って配列される複数の下部ローラーを備えるタンクと、
前記タンクにおいて、それぞれが前記複数の下部ローラーの上方に位置し且つ搬送方向に沿って間隔をおくように配列され、各々が下端に噴出口の形成された複数のノズルを備える複数のスプレー装置と、
前記タンクにおいて、それぞれが前記複数のスプレー装置のうちの隣り合う２つのスプレー装置の間に位置し且つ搬送方向に沿って間隔をおくように配列され、各々が連結管を介して空気抜き器に連結されるとともに、両端が封止され且つ底部に対し前記被加工のプレートの表面が接近するための少なくとも１つの吸い取り口が形成された中空の管体をなす複数の吸い込み管と、を有するものである。

また、かかる基板のエッチング装置において、前記複数のノズルの噴出口の各々と、前記複数の下部ローラーにより搬送される前記被加工のプレートとの距離は、４１ｍｍ乃至１５０ｍｍの範囲内であることが好ましい。

また、かかる基板のエッチング装置において、前記複数のスプレー装置の各々は、
ノズルと連通するように取り付けられるとともに、一端がポンプに連結されて、前記タンク内の加工用液体を前記ポンプにより吸い取って前記ノズルから噴出するための液体注入管と、
前記ノズルと連通するように取り付けられるとともに、一端にエアコンプレッサーが連接され、高圧空気を前記エアコンプレッサーにより送出して前記ノズルから噴出するための空気注入管と、を備えることが好ましい。

また、かかる基板のエッチング装置において、前記タンクはさらに、それぞれが前記複数の下部ローラーの上方に位置し且つ搬送方向に沿って間隔をおくように配列される複数の上部ローラーを備え、
前記複数のスプレー装置は、前記複数の上部ローラーの上方に位置し、
前記複数のスプレー装置の各々が備えた前記複数のノズルは、前記複数の上部ローラーのうちの隣り合う２つの上部ローラーの間に位置し、
前記複数の吸い込み管の各々は、前記複数の上部ローラーのうちの隣り合う２つの上部ローラーの間に位置することが好ましい。

また、かかる基板のエッチング装置において、前記複数の吸い込み管の各々は、前記複数の上部ローラーのうちの隣り合う２つの上部ローラーに設置されることが好ましい。

また、かかる基板のエッチング装置において、前記複数のスプレー装置の各々はさらに、搬送方向と直交する方向に沿って間隔をおいて形成された複数の装着孔を備えて当該複数の装着孔に前記複数のノズルが嵌め込まれるようになっている複数の位置決め板を備えることが好ましい。

また、かかる基板のエッチング装置において、前記空気注入管の一端にさらに、フィルター、減圧弁、ヒーターが連接され、
前記エアコンプレッサーから送出する高圧空気を、前記フィルター、前記減圧弁、前記ヒーターを順番に通過させて、前記空気注入管内に注入して、前記複数のノズルの各々から噴出させることが好ましい。

本考案に係る基板のエッチング装置は上記の課題を解決するものであり、隣り合う２つのスプレー装置２０の間に設置された吸い込み管３０により、プレート４１の表面に残った古い加工用液体１０１を吸い取ると共に、ノズル２１から新たな加工用液体１０１を噴出してプレート４１に対してエッチングなどの加工を施すことができ、高品質の基板を生産することができる。

また、ノズル２１とプレート４１との間の距離Ｄが４１ｍｍ乃至１５０ｍｍの範囲内に設定されることから、各ノズル２１の噴出範囲が広がり、必要なノズル２１の個数が減り、加工用液体１０１の使用量も減り、タンク１０内の気流の乱れも防止できる。そのため、ノズル２１から噴出した加工用液体１０１でプレート４１に対してエッチングや、現像などの加工をきちんと施し、プレート４１に完全な基板回路を形成することができる。

本考案に係る基板のエッチング装置の正面視説明図である。 本考案に係る基板のエッチング装置の側面視説明図である。 本考案に係る基板のエッチング装置の他の側面視説明図である。 本考案に係る基板のエッチング装置の部分拡大斜視図である。 本考案に係る基板のエッチング装置のスプレー装置の部分拡大説明図である。

以下、添付図面を参照して本考案の好適な実施の形態を詳細に説明する。尚、下記実施例は、本考案の好適な実施の形態を示したものにすぎず、本考案の技術的範囲は、下記実施例そのものに何ら限定されるものではない。

図１に示すように、本考案に係る基板のエッチング装置は、タンク１０と、複数のスプレー装置２０と、複数の吸い込み管３０とを有する。その内、該タンク１０は、内部に加工用液体１０１を蓄えており、複数の下部ローラー１１及び複数の上部ローラー１２を備える。
前記下部ローラー１１は、間隔をおいて搬送方向に沿って配列され、前記上部ローラー１２は、下部ローラー１１の上方に位置するように配置され、間隔をおいて搬送方向に沿って配列される。前記下部ローラー１１及び上部ローラー１２は、駆動装置により回転可能であり、被加工のプレート４１を下部ローラー１１と上部ローラー１２との間に挟設して、プレート４１を加工しながら搬送することができる。

図２及び図４に示すように、前記複数のスプレー装置２０は、下部ローラー１１及び上部ローラー１２の上方に位置するように、搬送方向に沿って間隔をおいてタンク１０に配列され、該各スプレー装置２０は、複数のノズル２１と、位置決め板２２と、液体注入管２３と、空気注入管２４とを有する。

図５に示すように、前記各スプレー装置２０の複数のノズル２１は、隣り合う２つの下部ローラー１１または上部ローラー１２との間に位置するように、搬送方向と直交する方向に沿って間隔をおいて配列される。該各ノズル２１の下端に噴出口２１１が形成され、該噴出口２１１と下部ローラー１１により搬送しているプレート４１との距離Ｄは、４１ｍｍ（Ｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒ，ｍｍ）乃至１５０ｍｍの範囲内である。
前記位置決め板２２は、搬送方向と直交する方向に沿って複数の装着孔が間隔をおいて形成され、該装着孔にノズル２１が嵌め込まれて噴出口２１１の噴出方向を固定する。

前記液体注入管２３は、前記ノズル２１と連通するように取り付けられ、本実施例においては、前記ノズル２１が液体注入管２３と連通するように設けられ、該液体注入管２３の一端にポンプ２３１が連結され、該ポンプ２３１により、タンク１０内の加工用液体１０１を吸い取って液体注入管２３に注入してノズル２１から噴出させることができる。また、該液体注入管２３に電動弁２３２が設置され、該電動弁２３２により液体注入管２３内の加工用液体１０１を通過させ或いは止めるように流動状態を制御できる。

前記空気注入管２４は、それらノズル２１と連通するように取り付けられ、該空気注入管２４の一端にエアコンプレッサー２４１、フィルター２４２、減圧弁２４３、ヒーター２４４が連接される。該エアコンプレッサー２４１により高圧空気を送出してフィルター２４２、減圧弁２４３、ヒーター２４４を順番に通過させて、空気注入管２４内に注入し、各ノズル２１から噴出させることができる。
また、前記空気注入管２４に設置した電動弁２４５により、液体注入管２４内の高圧空気を通過させ、或は止めるように流動状態を制御できる。本実施例においては、隣り合う２つのスプレー装置２０を同一の空気注入管２４と連通するように取り付けることが好ましい。

上述した構造により、液体注入管２３及び空気注入管２４によって、加工用液体１０１及び高圧空気をノズル２１に注入して細かく混合し、加工用液体１０１を霧状にしてノズル２１の噴出口２１１から噴出し、プレート４１に対してエッチングなどの加工を行う。
また、エアコンプレッサー２４１からの高圧空気を順番にフィルター２４２及びヒーター２４４を通過させることにより、フィルター２４２で不純物を取り除き、ヒーター２４４により高圧空気を加工用液体１０１に近い温度に加熱し、霧状の加工用液体１０１に適当な温度を維持させながら加工を行う。

図３に示すように、前記吸い込み管３０はそれぞれ、隣り合う２つのスプレー装置２０との間に位置するように、搬送方向に沿って間隔をおいてタンク１０に配列する。本実施例においては、前記吸い込み管３０はそれぞれ、隣り合う２つのスプレー装置２０の上部ローラー１２に設置される。該各吸い込み管３０は、両端が封止される中空の管体であり、該吸い込み管３０が連結管３１を介して空気抜き器３２に連結され、該吸い込み管３０の底部にプレート４１の表面と接近するように、少なくとも１つの吸い取り口が形成され、前述した構造によれば、プレート４１の表面の液体を吸い取ることができる。

本考案に係る基板のエッチング装置は、主に隣り合う２つのスプレー装置２０との間に吸い込み管３０を設置する構造を有することから、プレート４１の表面に残った古い加工用液体１０１を吸い取ることができると共に、ノズル２１から新たな加工用液体１０１を噴出してプレート４１に対してエッチングなどの加工を施すことができ、そのため、プレート４１に精密な回路を作れ、基板などの商品の高品質を守るという利点を有する。

また、ノズル２１とプレート４１との間の距離Ｄが４１ｍｍ乃至１５０ｍｍの範囲内に設定されることから、各ノズル２１の噴出範囲が広がり、必要なノズル２１の個数が減り、加工用液体１０１の使用量も減少し、タンク１０内の気流の乱れも防止できる。そのため、ノズル２１から噴出した加工用液体１０１でプレート４１に対してエッチングや、現像などの加工をきちんと施し、プレート４１に完全な基板回路を形成することができる。

さらに、ノズル２１とプレート４１との間の距離Ｄが４１ｍｍ乃至１５０ｍｍの範囲内に設定されることから、エアコンプレッサー２４１からの高圧空気により加工用液体１０１を送出してもよく、プレート４１に適当な加工を行えるので、エッチングしすぎるという問題を避けることができる。

１０ タンク
１０１ 加工用液体
１１ 下部ローラー
１２ 上部ローラー
２０ スプレー装置
２１ ノズル
２１１ 噴出口
２２ 位置決め板
２３ 液体注入管
２３１ ポンプ
２３２ 電動弁
２４ 空気注入管
２４１ エアコンプレッサー
２４２ フィルター
２４３ 減圧弁
２４４ ヒーター
３０ 吸い込み管
３１ 連結管
３２ 空気抜き器
４１ プレート
Ｄ 距離

Claims (7)

1. 被加工のプレートを搬送するために、それぞれが間隔をおいて搬送方向に沿って配列される複数の下部ローラーを備えるタンクと、
   前記タンクにおいて、それぞれが前記複数の下部ローラーの上方に位置し且つ搬送方向に沿って間隔をおくように配列され、各々が下端に噴出口の形成された複数のノズルを備える複数のスプレー装置と、
   前記タンクにおいて、それぞれが前記複数のスプレー装置のうちの隣り合う２つのスプレー装置の間に位置し且つ搬送方向に沿って間隔をおくように配列され、各々が連結管を介して空気抜き器に連結されるとともに、両端が封止され且つ底部に対し前記被加工のプレートの表面が接近するための少なくとも１つの吸い取り口が形成された中空の管体をなす複数の吸い込み管と、
   を有することを特徴とする基板のエッチング装置。
2. 前記複数のノズルの噴出口の各々と、前記複数の下部ローラーにより搬送される前記被加工のプレートとの距離は、４１ｍｍ乃至１５０ｍｍの範囲内であることを特徴とする請求項１に記載の基板のエッチング装置。
3. 前記複数のスプレー装置の各々は、
   ノズルと連通するように取り付けられるとともに、一端がポンプに連結されて、前記タンク内の加工用液体を前記ポンプにより吸い取って前記ノズルから噴出するための液体注入管と、
   前記ノズルと連通するように取り付けられるとともに、一端にエアコンプレッサーが連接され、高圧空気を前記エアコンプレッサーにより送出して前記ノズルから噴出するための空気注入管と、
   を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の基板のエッチング装置。
4. 前記タンクはさらに、それぞれが前記複数の下部ローラーの上方に位置し且つ搬送方向に沿って間隔をおくように配列される複数の上部ローラーを備え、
   前記複数のスプレー装置は、前記複数の上部ローラーの上方に位置し、
   前記複数のスプレー装置の各々が備えた前記複数のノズルは、前記複数の上部ローラーのうちの隣り合う２つの上部ローラーの間に位置し、
   前記複数の吸い込み管の各々は、前記複数の上部ローラーのうちの隣り合う２つの上部ローラーの間に位置する、
   ことを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の基板のエッチング装置。
5. 前記複数の吸い込み管の各々は、前記複数の上部ローラーのうちの隣り合う２つの上部ローラーに設置されることを特徴とする請求項４に記載の基板のエッチング装置。
6. 前記複数のスプレー装置の各々はさらに、搬送方向と直交する方向に沿って間隔をおいて形成された複数の装着孔を備えて当該複数の装着孔に前記複数のノズルが嵌め込まれるようになっている複数の位置決め板を備えることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の基板のエッチング装置。
7. 前記空気注入管の一端にさらに、フィルター、減圧弁、ヒーターが連接され、
   前記エアコンプレッサーから送出する高圧空気を、前記フィルター、前記減圧弁、前記ヒーターを順番に通過させて、前記空気注入管内に注入して、前記複数のノズルの各々から噴出させる、
   ことを特徴とする請求項３に記載の基板のエッチング装置。

Images