TWM448323U - 用於濕製程的板材表面處理裝置 - Google Patents

Description

用於濕製程的板材表面處理裝置

本創作係關於一種板材表面處理裝置，尤指一種用於對板材加工的濕製程中的板材表面處理裝置。

應用在電路板、玻璃基板或晶元等板材上，利用化學藥液對該等板材進行加工的板材濕製程加工作業，包含利用顯影劑在一板材上顯示出預設電路的保護層、利用蝕刻液對該板材上未設有保護層的銅箔部位進行蝕刻，使該板材上的銅箔呈現出電路的圖樣、以及利用清洗液洗淨該板材上的蝕刻液…等，可使預設的電路形成在板材表面，以利後續元件之裝配及電性連接。

現有技術之用於濕製程的板材表面處理裝置係如台灣第201103646號「基板材料的表面處理裝置」發明專利公開案所示，該表面處理裝置利用噴嘴對基板噴灑處理液以進行表面處理，其中，各噴嘴係排列設置於噴射管上，各噴嘴與該基板之間間隔5mm(Millimeter，公釐)~40mm，該處理液和氣體在該噴嘴內混合，使該處理液形成微小粒子，同時藉由帶動該噴嘴左右水平往復移動的方式，將該形成微小粒子的霧狀處理液廣泛均勻地噴射在該基板上，以於該基板上形成微細化、高密度化的電路圖形。

然而，若只是不斷的將處理液噴灑至基板上，則積存在該基板上的舊處理液將會阻礙由各噴嘴噴灑而下的新處理液對該基板進行蝕刻或顯影之效果，造成預期於該基板 上形成之電路的精密度不易掌握，影響產品品質。

其次，由於上述現有技術之「基板材料的表面處理裝置」設定其噴嘴與基板的距離僅為5mm~40mm，使得每一噴嘴噴灑處理液的範圍有限，因此不但需要在每一噴射管上緊密排列設置數量較多的噴嘴，還要配合驅動該噴射管水平往復移動，才能將該霧狀處理液均勻的噴灑在該基板上。而噴嘴數量多除了會造成處理液的消耗量大之外，也因為該表面處理裝置係裝設在一封閉的液槽內進行加工作業，故當各噴嘴同時噴出霧狀處理液時，會使該液槽內的氣流紊亂，造成該霧狀處理液無法確實的落到基板上，影響加工效果。再者，要驅動該噴射管暨各噴嘴水平往復移動，則需要進一步設置馬達及驅動元件來帶動該噴射管，如此將會有耗費電能的問題。

再者，也因為噴嘴與基板的距離僅為5mm~40mm，因此將該霧狀處理液噴灑於該基板上的壓力必須控制得宜，壓力太大會對該基板上的電路造成過蝕，壓力太小則無法在該基板上形成清晰的電路，故在上述現有技術之「基板材料的表面處理裝置」中是使用鼓風機作為壓力源，不能以可提供高壓空氣的空氣壓縮機來作為動力源。

有鑑於前述現有技術所存在的問題，本創作提供一種用於濕製程的板材表面處理裝置，希藉此設計解決現有技術因噴嘴與待加工之板材的距離過近而造成的各種會影響板材加工後之品質的問題。

為了達到上述的創作目的，本創作所利用的技術手段 係使一用於濕製程的板材表面處理裝置包括：一儲液槽，該儲液槽內架設複數根橫向間隔排列設置的下輸送滾輪，該下輸送滾輪用以輸送待加工之板材；複數液體噴灑裝置，該液體噴灑裝置橫向間隔排列在該儲液槽內，且係架設在該下輸送滾輪的上方，每一液體噴灑裝置包括複數噴嘴，該噴嘴相間隔設置，每一噴嘴的下端形成一噴出口；以及複數液體吸除管，該液體吸除管橫向間隔排列在該儲液槽內，且係分別設在兩相鄰的液體噴灑裝置之間，每一液體吸除管為兩端封閉的中空管體，該液體吸除管經由一導氣管連接一抽氣裝置，該液體吸除管的底邊形成至少一吸入口，該液體吸除管底邊的吸入口對應並貼近該板材之頂面。

上述各噴嘴之噴出口與該下輸送滾輪上的板材的間隔距離為41mm(Millimeter，公釐)以上~150mm以下。

上述每一液體噴灑裝置可進一步包括：一輸液管，該輸送液與各噴嘴相連通，該輸液管連接一抽水泵，該抽水泵抽取該儲液槽內的加工液，將該加工液輸送進入該輸液管及各噴嘴中；以及一輸氣管，該輸氣管與各噴嘴相連通，該輸氣管連接一空氣壓縮機，該空氣壓縮機將高壓空氣輸送進入該輸氣管及各噴嘴中。

上述儲液槽內可進一步架設複數根上輸送滾輪，各上輸送滾輪橫向間隔排列設置且係架設於該下輸送滾輪的上方，前述液體噴灑裝置係位於該上輸送滾輪的上方，前述 液體噴灑裝置之噴嘴對應排列在兩相鄰的上輸送滾輪之間，前述液體吸除管對應位在兩相鄰的上輸送滾輪之間。

上述液體吸除管可架設在該兩相鄰的上輸送滾輪上。

上述每一液體噴灑裝置可進一步包括一定位板，該定位板上間隔穿設有複數穿孔，該定位板之各穿孔分別套設各噴嘴。

上述空氣壓縮機所產生的高壓空氣可經由一過濾器、一減壓閥與一加熱器再輸送進入該輸氣管及各噴嘴中。

本創作藉由在兩相鄰液體噴灑裝置之間設置液體吸除管的設計來隨時吸除舊的加工液，可使從噴嘴噴出的新的霧狀加工液對板材進行加工，有效掌握預期於該板材形成之電路的精密度，確保產品品質。另利用設定噴嘴與待加工之板材的間隔距離為41mm以上~150mm以下的方式來加大每一噴嘴的噴灑範圍，以減少噴嘴數量，並進而降低加工液的消耗量，且避免該儲液槽內的氣流紊亂，使得從噴嘴噴出的霧狀加工液可確實地落到該板材上進行蝕刻、顯影…等作用，確保該板材上之電路的完整性，讓電路的成型更加確實。且由於該噴嘴與待加工之板材的間隔距離為41mm以上~150mm以下，故可使用可提供高壓空氣的空氣壓縮機來作為動力源，也不會使板材上的電路產生過蝕現象。

以下配合圖式及本創作之較佳實施例，進一步闡述本創作為達成預定創作目的所採取的技術手段。

參見圖1所示，本創作之用於濕製程的板材表面處理 裝置包括一儲液槽10、複數液體噴灑裝置20與複數液體吸除管30。

該儲液槽10內盛裝有加工液101，且該儲液槽10內架設有複數根下輸送滾輪11與複數根上輸送滾輪12，各下輸送滾輪11與上輸送滾輪12橫向間隔排列設置，該上輸送滾輪12架設於該下輸送滾輪11的上方，且該下輸送滾輪11與上輸送滾輪12可受一動力裝置之驅動而轉動。一待加工之板材41係夾設於該下輸送滾輪11與上輸送滾輪12之間，隨著該上、下輸送滾輪12、11轉動而被向前帶動。

配合參見圖2及圖4所示，該液體噴灑裝置20橫向間隔排列在該儲液槽10內，且係架設在該下輸送滾輪11與上輸送滾輪12的上方，每一液體噴灑裝置20包括複數噴嘴21、一定位板22、一輸液管23與一輸氣管24。

配合參見圖5所示，該噴嘴21相間隔設置且對應排列在兩相鄰的上輸送滾輪11之間，每一噴嘴21的下端形成一噴出口211，各噴嘴21之噴出口211與夾設在該上、下輸送滾輪12、11之間的板材41的間隔距離D為41mm(Millimeter，公釐)以上~150mm以下。該定位板22上間隔穿設有複數穿孔，該定位板22之各穿孔分別套設各噴嘴21，以固定各噴嘴21之噴出口211的方向。

該輸液管23與各噴嘴21相連通，在本創作之具體實施例中，各噴嘴21係間隔架設在該輸液管23上。該輸液管23連接一抽水泵231，該抽水泵231抽取該儲液槽10內的加工液101，將該加工液101輸送進入該輸液管23及 各噴嘴21中，並以一電動閥232控制該輸液管23內液體的流動。該輸氣管24與各噴嘴21相連通，且該輸氣管24連接一空氣壓縮機241，該空氣壓縮機241將高壓空氣經由一過濾器242、一減壓閥243與一加熱器244再輸送進入該輸氣管24及各噴嘴21中，並以一電動閥245控制該輸氣管24內氣體的流動。在本創作之較佳實施例中，兩相鄰之液體噴灑裝置20係共用同一輸氣管23。

由該輸液管23及輸氣管24輸送進入各噴嘴21內的加工液101及高壓空氣會在各噴嘴21內混合而形成微粒，該微粒化後呈霧狀的加工液101再從該噴嘴21的噴出口211噴灑而出，進對該板材41進行加工。其中，該過濾器242係用以過濾該高壓空氣中的雜質，該加熱器244則可將該高壓空氣的溫度加熱至與該加工液101相近，以確保微粒化的霧狀加工液101可保持在適當的工作溫度。

配合參見圖3所示，該液體吸除管30橫向間隔排列在該儲液槽10內，且係分別設在兩相鄰的液體噴灑裝置20之間，以及對應位在兩相鄰的上輸送滾輪12之間，在本創作之具體實施例中，該液體吸除管30係架設在該兩相鄰的上輸送滾輪12上。每一液體吸除管30為兩端封閉的中空管體，該液體吸除管30經由一導氣管31連接一抽氣裝置32，該液體吸除管30的底邊形成至少一吸入口，該液體吸除管30底邊的吸入口對應並貼近該板材41之頂面，用以吸除該板材41頂面的液體。

本創作的優點在於，藉由在兩相鄰液體噴灑裝置20之間設置液體吸除管30的設計來隨時吸除該板材41上的舊 加工液101，可使從噴嘴21噴出的新的霧狀加工液101確實地對板材41進行加工，有效掌握預期於該板材41形成之電路的精密度，確保產品品質。

此外，利用設定上述噴嘴21與待加工之板材41的間隔距離為41mm以上~150mm以下的方式，可加大每一噴嘴21的噴灑範圍，以減少噴嘴21數量，進而降低加工液101的消耗量，且可避免該儲液槽10內的氣流紊亂，令從噴嘴21噴出的霧狀加工液101可確實地落到該板材41上進行蝕刻、顯影…等作用，確保該板材41上之電路的完整性，讓電路的成型更加確實。且由於該噴嘴21與待加工之板材41的間隔距離為41mm以上~150mm以下，故可使用可提供高壓空氣的空氣壓縮機241來作為動力源，也不會使板材41上的電路產生過蝕現象。

以上所述僅是本創作的較佳實施例，並非對本創作作任何形式上的限制，雖然本創作已以較佳實施例揭露如上，然而並非用以限定本創作，任何熟悉本專業的技術人員，在未脫離本創作技術方案的範圍內，依據本創作的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬於本創作技術方案的範圍內。

10‧‧‧儲液槽

101‧‧‧加工液

11‧‧‧下輸送滾輪

12‧‧‧上輸送滾輪

20‧‧‧液體噴灑裝置

21‧‧‧噴嘴

211‧‧‧噴出口

22‧‧‧定位板

23‧‧‧輸液管

231‧‧‧抽水泵

232‧‧‧電動閥

24‧‧‧輸氣管

241‧‧‧空氣壓縮機

242‧‧‧過濾器

243‧‧‧減壓閥

244‧‧‧加熱器

245‧‧‧電動閥

30‧‧‧液體吸除管

31‧‧‧導氣管

32‧‧‧抽氣裝置

41‧‧‧板材

D‧‧‧間隔距離

圖1為本創作之側視示意圖。

圖2為本創作之端視示意圖。

圖3為本創作之另一端視示意圖。

圖4為本創作之立體示意放大圖。

圖5為本創作之側視放大示意圖。

10‧‧‧儲液槽

101‧‧‧加工液

11‧‧‧下輸送滾輪

12‧‧‧上輸送滾輪

20‧‧‧液體噴灑裝置

21‧‧‧噴嘴

23‧‧‧輸液管

24‧‧‧輸氣管

30‧‧‧液體吸除管

41‧‧‧板材

D‧‧‧間隔距離

Claims (8)

1. 一種用於濕製程的板材表面處理裝置，其包括一儲液槽、複數液體噴灑裝置與複數液體吸除管，其中：該儲液槽內架設有複數根橫向間隔排列設置的下輸送滾輪，該下輸送滾輪用以輸送待加工之板材；該液體噴灑裝置橫向間隔排列在該儲液槽內，且係架設在該下輸送滾輪的上方，每一液體噴灑裝置包括複數噴嘴，該噴嘴相間隔設置，每一噴嘴的下端形成一噴出口；該液體吸除管橫向間隔排列在該儲液槽內，且係分別設在兩相鄰的液體噴灑裝置之間，每一液體吸除管為兩端封閉的中空管體，該液體吸除管經由一導氣管連接一抽氣裝置，該液體吸除管的底邊形成至少一吸入口，該液體吸除管底邊的吸入口對應並貼近該板材之頂面。
2. 如請求項1所述之用於濕製程的板材表面處理裝置，其中前述各噴嘴之噴出口與該下輸送滾輪上的板材的間隔距離為41mm(Millimeter，公釐)以上~150mm以下。
3. 如請求項1所述之用於濕製程的板材表面處理裝置，其中前述每一液體噴灑裝置進一步包括一輸液管與一輸氣管：該輸液管與各噴嘴相連通，該輸液管連接一抽水泵，該抽水泵抽取該儲液槽內的加工液，將該加工液輸送進入該輸液管及各噴嘴中；該輸氣管與各噴嘴相連通，該輸氣管連接一空氣壓縮機，該空氣壓縮機將高壓空氣輸送進入該輸氣管及各噴嘴中。
4. 如請求項2所述之用於濕製程的板材表面處理裝置，其中前述每一液體噴灑裝置進一步包括一輸液管與一 輸氣管：該輸液管與各噴嘴相連通，該輸液管連接一抽水泵，該抽水泵抽取該儲液槽內的加工液，將該加工液輸送進入該輸液管及各噴嘴中；該輸氣管與各噴嘴相連通，該輸氣管連接一空氣壓縮機，該空氣壓縮機將高壓空氣輸送進入該輸氣管及各噴嘴中。
5. 如請求項1至4中任一項所述之用於濕製程的板材表面處理裝置，其中前述儲液槽內進一步架設複數根上輸送滾輪，各上輸送滾輪橫向間隔排列設置且係架設於該下輸送滾輪的上方，前述液體噴灑裝置係位於該上輸送滾輪的上方，前述液體噴灑裝置之噴嘴對應排列在兩相鄰的上輸送滾輪之間，前述液體吸除管對應位在兩相鄰的上輸送滾輪之間。
6. 如請求項5所述之用於濕製程的板材表面處理裝置，其中前述液體吸除管架設在該兩相鄰的上輸送滾輪上。
7. 如請求項1至4中任一項所述之用於濕製程的板材表面處理裝置，其中前述每一液體噴灑裝置進一步包括一定位板，該定位板上間隔穿設有複數穿孔，該定位板之各穿孔分別套設各噴嘴。
8. 如請求項3或4所述之用於濕製程的板材表面處理裝置，其中前述空氣壓縮機所產生的高壓空氣係經由一過濾器、一減壓閥與一加熱器再輸送進入該輸氣管及各噴嘴中。