CN202983958U - 用于湿制程的板材表面处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型关于一种用于湿制程的板材表面处理装置，其包括有一储液槽、多个液体喷洒装置与多个液体吸除管，该储液槽内架设多根用以输送板材的下输送滚轮，该液体喷洒装置架设在该下输送滚轮的上方，每一液体喷洒装置包括有多个喷嘴，该液体吸除管分别设在该两相邻的液体喷洒装置之间。通过在该两相邻液体喷洒装置之间设置液体吸除管的设计来随时吸除旧的加工液，可使从喷嘴喷出的新的雾状加工液对板材进行加工，有效掌握预期在该板材形成的电路的精密度，确保产品品质。

Description

用于湿制程的板材表面处理装置

技术领域

本实用新型涉及一种板材表面处理装置，特别涉及一种用于对板材加工的湿制程中的板材表面处理装置。 

背景技术

应用在电路板、玻璃基板或晶元等板材上，利用化学药液对该多个板材进行加工的板材湿制程加工作业，包含利用显影剂在一板材上显示出预设电路的保护层、利用蚀刻液对该板材上未设有保护层的铜箔部位进行蚀刻，使该板材上的铜箔呈现出电路的图样、以及利用清洗液洗净该板材上的蚀刻液等，可使预设的电路形成在板材表面，以利后续元件的装配及电性连接。 

现有技术的用于湿制程的板材表面处理装置如中国台湾公开号为第201103646号的发明专利“基板材料的表面处理装置”所示，该表面处理装置利用喷嘴对基板喷洒处理液以进行表面处理，其中，各喷嘴排列设置于喷射管上，各喷嘴与该基板之间间隔5mm(Millimeter，公厘)～40mm，该处理液和气体在该喷嘴内混合，使该处理液形成微小粒子，同时通过带动该喷嘴左右水平往复移动的方式，将该形成微小粒子的雾状处理液广泛均匀地喷射在该基板上，以在该基板上形成微细化、高密度化的电路图形。 

然而，若只是不断的将处理液喷洒至基板上，则积存在该基板上的旧处理液将会阻碍由各喷嘴喷洒而下的新处理液对该基板进行蚀刻或显影的效果，造成预期在该基板上形成的电路的精密度不易掌握，影响产品品质。 

其次，由于所述现有技术的“基板材料的表面处理装置”设定其喷嘴与基板的距离仅为5mm～40mm，使得每一喷嘴喷洒处理液的范围有限，因此不但需要在每一喷射管上紧密排列设置数量较多的喷嘴，还要配合驱动该喷射管水平往复移动，才能将该雾状处理液均匀的喷洒在该基板上。而喷嘴数量多除了会造成处理液的消耗量大之外，也因为该表面处理装置是装设在一封闭的液槽内进行加工作业，故当各喷嘴同时喷出雾状处理液时，会使该液槽内的气流紊乱， 造成该雾状处理液无法确实的落到基板上，影响加工效果。再者，要驱动该喷射管及各喷嘴水平往复移动，则需要进一步设置马达及驱动元件来带动该喷射管，如此将会有耗费电能的问题。 

再者，也因为喷嘴与基板的距离仅为5mm～40mm，因此将该雾状处理液喷洒于该基板上的压力必须控制得宜，压力太大会对该基板上的电路造成过蚀，压力太小则无法在该基板上形成清晰的电路，故在所述现有技术的“基板材料的表面处理装置”中使用鼓风机作为压力源，不能以可提供高压空气的空气压缩机来作为动力源。 

实用新型内容

鉴于前述现有技术所存在的问题，本实用新型提供一种用于湿制程的板材表面处理装置，希以此设计解决现有技术因喷嘴与待加工的板材的距离过近而造成的各种会影响板材加工后的品质的问题。 

为了达到所述目的，本实用新型所利用的技术手段是使一用于湿制程的板材表面处理装置包括有： 

一储液槽，该储液槽内架设有多根横向间隔排列设置的下输送滚轮，该下输送滚轮用以输送待加工的板材； 

多个液体喷洒装置，该液体喷洒装置横向间隔排列在该储液槽内，且架设在该下输送滚轮的上方，每一液体喷洒装置包括有多个喷嘴，该喷嘴相间隔设置，每一喷嘴的下端形成有一喷出口；以及 

多个液体吸除管，该液体吸除管横向间隔排列在该储液槽内，且分别设在两相邻的液体喷洒装置之间，每一液体吸除管为两端封闭的中空管体，该液体吸除管经由一导气管连接一抽气装置，该液体吸除管的底边形成至少有一吸入口，该液体吸除管底边的吸入口对应并贴近该板材的顶面。 

所述各喷嘴的喷出口与该下输送滚轮上的板材的间隔距离为41mm～150mm。 

所述每一液体喷洒装置可进一步包括有： 

一输液管，该输送液与各喷嘴相连通，该输液管连接一抽水泵，该抽水泵抽取该储液槽内的加工液，将该加工液输送进入该输液管及各喷嘴中；以及 

一输气管，该输气管与各喷嘴相连通，该输气管连接一空气压缩机，该空 气压缩机将高压空气输送进入该输气管及各喷嘴中。 

所述储液槽内可进一步架设多根上输送滚轮，各上输送滚轮横向间隔排列设置且架设于该下输送滚轮的上方，所述液体喷洒装置位于该上输送滚轮的上方，所述液体喷洒装置的喷嘴对应排列在两相邻的上输送滚轮之间，所述液体吸除管对应位于两相邻的上输送滚轮之间。 

所述液体吸除管可架设在该两相邻的上输送滚轮上。 

所述每一液体喷洒装置可进一步包括有一定位板，该定位板上间隔穿设有多个穿孔，该定位板的各穿孔分别套设各喷嘴。 

所述空气压缩机所产生的高压空气可经由一过滤器、一减压阀与一加热器再输送进入该输气管及各喷嘴中。 

本实用新型通过在两相邻液体喷洒装置之间设置液体吸除管的设计来随时吸除旧的加工液，可使从喷嘴喷出的新的雾状加工液对板材进行加工，有效掌握预期在该板材形成的电路的精密度，确保产品品质。另利用设定该喷嘴与待加工的板材的间隔距离为41mm～150mm的方式来加大每一喷嘴的喷洒范围，以减少喷嘴数量，并进而降低加工液的消耗量，且避免该储液槽内的气流紊乱，使得从喷嘴喷出的雾状加工液可确实地落到该板材上进行蚀刻、显影等作用，确保该板材上的电路的完整性，让电路的成型更加确实。且由于该喷嘴与待加工的板材的间隔距离为41mm～150mm，故可使用可提供高压空气的空气压缩机来作为动力源，也不会使板材上的电路产生过蚀现象。 

附图说明

图1为本实用新型的侧视示意图。 

图2为本实用新型的一端视示意图。 

图3为本实用新型的另一端视示意图。 

图4为本实用新型的立体示意放大图。 

图5为本实用新型的侧释放大示意图。 

附图标号说明： 

10储液槽                     101加工液 

11下输送滚轮                 12上输送滚轮 

20液体喷洒装置               21喷嘴 

211喷出口                    22定位板 

23输液管                     231抽水泵 

232电动阀                    24输气管 

241空气压缩机                242过滤器 

243减压阀                    244加热器 

245电动阀                    30液体吸除管 

31导气管                     32抽气装置 

41板材                       D间隔距离 

具体实施方式

以下配合附图及本实用新型的优选实施例，进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段。 

参见图1所示，本实用新型的用于湿制程的板材表面处理装置包括有一储液槽10、多个液体喷洒装置20与多个液体吸除管30。 

该储液槽10内盛装有加工液101，且该储液槽10内架设有多根下输送滚轮11与多根上输送滚轮12，各下输送滚轮11与上输送滚轮12横向间隔排列设置，该上输送滚轮12架设于该下输送滚轮11的上方，且该下输送滚轮11与上输送滚轮12可受一动力装置的驱动而转动。一待加工的板材41夹设于该下输送滚轮11与上输送滚轮12之间，随着该上、下输送滚轮12、11转动而被向前带动。 

配合参见图2及图4所示，该液体喷洒装置20横向间隔排列在该储液槽10内，且架设在该下输送滚轮11与上输送滚轮12的上方，每一液体喷洒装置20包括有多个喷嘴21、一定位板22、一输液管23与一输气管24。 

配合参见图5所示，该喷嘴21相间隔设置且对应排列在两相邻的上输送滚轮11之间，每一喷嘴21的下端形成有一喷出口211，各喷嘴21的喷出口211与夹设在该上、下输送滚轮12、11之间的板材41的间隔距离D为41mm～150mm。该定位板22上间隔穿设有多个穿孔，该定位板22的各穿孔分别套设各喷嘴21，以固定各喷嘴21的喷出口211的方向。 

该输液管23与各喷嘴21相连通，在本实用新型的具体实施例中，各喷嘴21间隔架设在该输液管23上。该输液管23连接一抽水泵231，该抽水泵231抽取该储液槽10内的加工液101，将该加工液101输送进入该输液管23及各喷 嘴21中，并以一电动阀232控制该输液管23内液体的流动。该输气管24与各喷嘴21相连通，且该输气管24连接一空气压缩机241，该空气压缩机241将高压空气经由一过滤器242、一减压阀243与一加热器244再输送进入该输气管24及各喷嘴21中，并以一电动阀245控制该输气管24内气体的流动。在本实用新型的优选实施例中，两相邻的液体喷洒装置20共用同一输气管24。 

由该输液管23及输气管24输送进入各喷嘴21内的加工液101及高压空气会在各喷嘴21内混合而形成微粒，该微粒化后呈雾状的加工液101再从该喷嘴21的喷出口211喷洒而出，进对该板材41进行加工。其中，该过滤器242用以过滤该高压空气中的杂质，该加热器244则可将该高压空气的温度加热至与该加工液101相近，以确保微粒化的雾状加工液101可保持在适当的工作温度。 

配合参见图3所示，该液体吸除管30横向间隔排列在该储液槽10内，且分别设在两相邻的液体喷洒装置20之间，以及对应位于两相邻的上输送滚轮12之间，在本实用新型的具体实施例中，该液体吸除管30架设在该两相邻的上输送滚轮12上。每一液体吸除管30为两端封闭的中空管体，该液体吸除管30经由一导气管31连接一抽气装置32，该液体吸除管30的底边形成有至少一吸入口，该液体吸除管30底边的吸入口对应并贴近该板材41的顶面，用以吸除该板材41顶面的液体。 

本实用新型的优点在于，通过在两相邻液体喷洒装置20之间设置液体吸除管30的设计来随时吸除该板材41上的旧加工液101，可使从喷嘴21喷出的新的雾状加工液101确实地对板材41进行加工，有效掌握预期在该板材41形成的电路的精密度，确保产品品质。 

此外，利用设定所述喷嘴21与待加工的板材41的间隔距离为41mm～150mm的方式，可加大每一喷嘴21的喷洒范围，以减少喷嘴21数量，进而降低加工液101的消耗量，且可避免该储液槽10内的气流紊乱，令从喷嘴21喷出的雾状加工液101可确实地落到该板材41上进行蚀刻、显影等作用，确保该板材41上的电路的完整性，让电路的成型更加确实。且由于该喷嘴21与待加工的板材41的间隔距离为41mm～150mm，故可使用可提供高压空气的空气压缩机241来作为动力源，也不会使板材41上的电路产生过蚀现象。 

以上所述仅是本实用新型的优选实施例而已，并非对本实用新型做任何形式上的限制，虽然本实用新型已以优选实施例披露如上，然而并非用以限定本 实用新型，任何本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案的范围内，应当可以利用所述揭示的技术内容作出些许改变或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。 

Claims (8)

1.一种用于湿制程的板材表面处理装置，其特征在于，包括有一储液槽、多个喷洒装置与多个液体吸除管： 

该储液槽内架设有多根横向间隔排列设置且用以输送待加工板材的下输送滚轮； 

该液体喷洒装置横向间隔排列在该储液槽内，且架设在该下输送滚轮的上方，每一液体喷洒装置包括有多个喷嘴，该喷嘴相间隔设置，每一喷嘴的下端形成有一喷出口； 

该液体吸除管横向间隔排列在该储液槽内，且分别设在两相邻的液体喷洒装置之间，每一液体吸除管为两端封闭的中空管体，该液体吸除管经由一导气管连接一抽气装置，该液体吸除管的底边形成至少一吸入口，该液体吸除管底边的吸入口对应并贴近该板材的顶面。 

2.根据权利要求1所述的用于湿制程的板材表面处理装置，其特征在于，所述各喷嘴的喷出口与该下输送滚轮上的板材的间隔距离为41mm～150mm。 

3.根据权利要求1所述的用于湿制程的板材表面处理装置，其特征在于，所述每一液体喷洒装置进一步包括有一输液管与一输气管：该输液管与各喷嘴相连通，该输液管连接一抽水泵，该抽水泵抽取该储液槽内的加工液，将该加工液输送进入该输液管及各喷嘴中；该输气管与各喷嘴相连通，该输气管连接一空气压缩机，该空气压缩机将高压空气输送进入该输气管及各喷嘴中。 

4.根据权利要求2所述的用于湿制程的板材表面处理装置，其特征在于，所述每一液体喷洒装置进一步包括有一输液管与一输气管：该输液管与各喷嘴相连通，该输液管连接一抽水泵，该抽水泵抽取该储液槽内的加工液，将该加工液输送进入该输液管及各喷嘴中；该输气管与各喷嘴相连通，该输气管连接一空气压缩机，该空气压缩机将高压空气输送进入该输气管及各喷嘴中。 

5.根据权利要求1至4中任一项所述的用于湿制程的板材表面处理装置，其特征在于，所述储液槽内进一步架设有多根上输送滚轮，各上输送滚轮横向间隔排列设置且架设于该下输送滚轮的上方，所述液体喷洒装置位于该上输送滚轮的上方，所述液体喷洒装置的喷嘴对应排列在两相邻的上输送滚轮之间，所述液体吸除管对应位于两相邻的上输送滚轮之间。 

6.根据权利要求5所述的用于湿制程的板材表面处理装置，其特征在于，所述液体吸除管架设在该两相邻的上输送滚轮上。 

7.根据权利要求1至4中任一项所述的用于湿制程的板材表面处理装置，其特征在于，所述每一液体喷洒装置进一步包括有一定位板，该定位板上间隔穿设有多个穿孔，该定位板的各穿孔分别套设各喷嘴。 

8.根据权利要求3或4所述的用于湿制程的板材表面处理装置，其特征在于，所述空气压缩机所产生的高压空气经由一过滤器、一减压阀与一加热器再输送进入该输气管及各喷嘴中。 

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