CN102492946A

CN102492946A - 一种蚀刻机

Info

Publication number: CN102492946A
Application number: CN2011104513703A
Authority: CN
Inventors: 欧阳建英; 梁启光
Original assignee: Extra New Circuit Materials (dongguan) Co Ltd
Current assignee: Extra New Circuit Materials (dongguan) Co Ltd
Priority date: 2011-12-30
Filing date: 2011-12-30
Publication date: 2012-06-13
Anticipated expiration: 2031-12-30
Also published as: CN102492946B

Abstract

本发明公开了一种蚀刻机，其包括控制系统以及与控制系统电连接的并且依次设置的进板机构、显影机构、蚀刻机构、退膜机构、脱水烘干机构和出板机构，所述进板机构、所述显影机构、所述蚀刻机构、所述退膜机构、所述脱水烘干机构和所述出板机构通过独立设置的传动装置连接，所述显影机构、所述蚀刻机构和所述退膜机构分别连接有分段式排气装置、过滤装置以及泵装置。本发明能将显影、蚀刻、退膜等工序有机地结合为一体，在一台设备中自动完成整个生产制造过程，自动化程度高，同时设计合理，制板和过滤回收效果好，给相关行业带来比巨大的益处。

Description

一种蚀刻机

技术领域

本发明涉及印刷电路板生产设备技术领域，特指一种蚀刻机。

背景技术

随着电子技术的飞速发展，印刷电路板集成度越来越高，印刷电路板的导电线路制作得越来越精细，这要求生产制作印刷电路板时要保证控制严格，减少公差，均匀性要好。

现有的湿式印刷电路板生产设备的成本较低、操作简单，在印刷电路板的生产中得以广泛使用。印刷电路板生产的基本工序一般包括显影过程、蚀刻过程和退膜过程，显影过程是指采用显影液将膜上未经紫外线辐射的部分溶解，已经紫外线辐射而发生聚合反应的部分保留；蚀刻过程是指采用蚀刻液将印刷电路板上未被保护膜保护而露出的铜蚀刻掉；退膜过程是指将印刷电路板上的保护膜去掉，露出已加工好的线路。

然而，在制作印刷电路板的过程中，往往会发现现有的印刷电路板生产设备存在以下的不足。

1、显影、蚀刻和退膜等工艺不能同时集中在同一台设备上，不能达到一次完成的生产要求，同时自动化程度低，生产设备上缺乏控制系统，导致设备上的诸多调整需要人工操作，使工作效率降低。

2、印刷电路板传送的过程中，容易发生打滑、偏移等问题，导致传输的效果降低，影响显影、蚀刻和退膜效果。

3、在蚀刻的过程中由于设备的结构设计不合理，使蚀刻液自电路板的边缘区流出板外，而电路板的中央区域积留，形成水池，产生水池效应。

4、随着印刷电路板生产规模不断扩大，从中自然会产生诸多废弃物，由于现有的印刷电路板生产设备的过滤回收效果差和设计不合理，该废弃物对室内和室外环境的污染已经严重影响工作和生活环境，同时废弃物中具有诸多可循环利用的原料，造成了浪费和生产成本的升高。

因此，有必要设计一种集显影、蚀刻和退膜等工艺为一体、设计合理、制板和过滤回收效果良好的自动化蚀刻机。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术的不足提供一种蚀刻机，它结构设计合理，集显影、蚀刻和退膜等工艺为一体，制板和过滤回收效果良好，自动化程度高。

为实现上述目的，本发明是通过以下技术方案实现的。

一种蚀刻机，其包括控制系统以及与控制系统电连接的并且依次设置的进板机构、显影机构、蚀刻机构、退膜机构、脱水烘干机构和出板机构，所述进板机构、所述显影机构、所述蚀刻机构、所述退膜机构、所述脱水烘干机构和所述出板机构通过独立设置的传动装置连接，所述显影机构、所述蚀刻机构和所述退膜机构分别连接有分段式排气装置、过滤装置以及泵装置。

进一步的，所述显影机构包括依次设置的显影室和第一清洗室，所述显影室内设置有储存显影液体的显影槽和摇摆架喷淋装置；所述第一清洗室内设置有第一清洗槽和复数个位于传动装置上下方的清洗喷嘴。

进一步的，所述蚀刻机构包括依次设置的蚀刻室、补偿室和第二清洗室，所述蚀刻室与所述补偿室通过液体管道连接，所述蚀刻室设置有储存蚀刻液体的蚀刻槽和摇摆架喷淋装置；所述补偿室设置有补偿装置，补偿装置由复数根上喷管和复数根下喷管构成，上喷管和下喷管分别通过气阀与进水管连接，上喷管和下喷管分别设置有复数个补偿喷嘴，相邻的上喷管之间的喷嘴交错排布，复数根所述上喷管的喷嘴形成三角型排布，气阀与进水管之间连接有压力表；所述第二清洗室设置有第二清洗槽和复数个位于传动装置上下方的清洗喷嘴。

进一步的，所述摇摆架喷淋装置由摇摆架和压力控制装置构成，摇摆架通过上接软管和下接软管与压力控制装置相连接，所述摇摆架包括上喷架和下喷架，所述上喷架和所述下喷架通过摇臂连接，上喷架的板面和下喷架的板面上分别设置有复数个出水口，所述出水口是均匀分布的，出水口上设置有喷嘴，上喷架固定连接有拉臂，拉臂设置有偏心块，偏心块与马达连接轴连接，摇臂中部设置有固定销；所述压力控制装置包括压力表和球阀。

进一步的，所述退膜机构包括依次设置的退膜室和第三清洗室，所述退膜室设置有储存退膜液体的退膜槽和喷洒装置，所述喷洒装置设置有喷管和喷嘴，喷嘴由喷嘴座、喷头和喷嘴盖组成，喷头设置于喷嘴座内，喷嘴盖连接于喷嘴座，喷嘴座通过前夹扣和后夹扣固定在喷管沿长度方向设置的出水孔上，前夹扣和后夹扣通过螺栓连接；所述第三清洗室内设置有第三清洗槽和复数个位于传动装置上下方的清洗喷嘴。

进一步的，所述脱水烘干机构包括依次设置的冷风吹干装置和热风烘干装置，所述热风烘干装置设置有鼓风机、热风分支器和热风管，鼓风机和热风分支器位于传送装置的下方，所述传送装置的上下两侧分别设置有风刀装置。

进一步的，所述传动装置包括安装架，在安装架上设置有复数条上传送轴和复数条下传送轴，上传送轴位于下传送轴正上方，上传送轴上设置有复数个上传送轮，下传送轴上设置有复数个与上传送轮相对应的下传送轮，上传送轴和下传送轴通过上传送齿轮和下传送齿轮啮合，安装架一侧的第一传送主轴上设置有主传送齿轮，下传送齿轮与主传送齿轮啮合连接，第一传送主轴与电机相链接，所述安装架另一侧还设置有第二传送主轴，第二传送主轴设置有主传送齿轮，主传送齿轮与下传送轴另一侧的下传送齿轮啮合。

进一步的，所述排气装置包括排气管、排气管调节装置、支撑架和至少一个冷凝回收装置，所述排气管调节装置设置有连接管，连接管上设置有调节旋钮，调节旋钮穿过连接管中部的通孔并且与设置于连接管内部的调节挡板连接，所述调节挡板的另一端与导向柱连接；所述冷凝回收装置包括箱体，箱体的底板设置有进气管和进水口，箱体的顶板设置有排气管和排水口，设置于箱体内的中间筒体与进气管连接，箱体设置有分流腔和冷凝腔，分流腔和冷凝腔通过进气管上的分流口相连通，排气管与中间筒体连接并伸入中间筒体内，排气管与进气管不相通，排气管上设置有排气孔，冷凝腔内设置有冷凝管，冷凝管的进水管设置于进水口，冷凝管的出水管设置于排水口，箱体的底板上还设置有回流管。

进一步的，所述过滤装置包括棉芯过滤器、蓝色过滤器和位于退膜机构的滚筒式过滤膜渣装置，所述滚筒式过滤膜渣装置设置有液体缸、汇流入口、滚筒过滤装置、喷管、接渣盒、排渣道、二次过滤槽和收集框，喷管位于滚筒过滤装置和接渣盒的上方，接渣盒和汇流入口分别接于滚筒过滤装置内，接渣盒设置于汇流入口的上方，并且接渣盒是倾斜设置的，接渣盒的出口通过排渣道与二次过滤槽的入口相连通，收集框安放于二次过滤槽的出口下方。

进一步的，所述泵装置包括立式泵和高压泵，所述立式泵分别与棉芯过滤器、蓝色过滤器连接；所述高压泵与滚筒式过滤膜渣装置连接。

本发明由于采用上述技术方案而具有的有益效果。

1、本发明在控制系统的控制下，将显影、蚀刻、退膜等工序有机地结合为一体，在一台设备中自动完成整个生产制造过程，自动化程度高。

2、本发明采用双传送主轴设计的传动装置，减少蚀刻机的故障率增加等缺点，能够平稳可靠地输送电路板，防止电路板在输送过程中的偏移、打滑。

3、本发明采用了摇摆架喷淋装置、压力控制装置、补偿装置等结构，设计不合理，防止了水池效应产生，显影、蚀刻、退膜等工艺的制板效果大大提高。

4、本发明采用了设计合理的过滤装置和排气装置，有效避免了对环境的污染，同时能够彻底的对可循环利用的物质进行过虑回收，节省了生产成本，符合节能生产的目的。

附图说明

图1为本发明的布局框图。

图2为本发明出纸机构和显影机构的立体结构示意图。

图3为本发明出纸机构和显影机构的结构简图。

图4为本发明蚀刻机构的立体结构示意图。

图5为本发明蚀刻机构的结构简图。

图6为本发明退膜机构和出板机构的立体结构示意图。

图7为本发明退膜机构和出板机构的结构简图。

图8为本发明传动装置的部分结构示意图。

图9为本发明补偿装置的结构示意图。

图10为本发明摇摆架喷淋装置的结构示意图。

图11为本发明摇摆架的结构示意图。

图12为本发明喷洒装置的结构示意图。

图13为本发明脱水烘干装置的结构示意图。

图14为本发明风刀装置的结构示意图。

图15为本发明排气管调节装置的局部剖视图。

图16为本发明冷凝回收装置隐去冷凝管的剖视图。

图17为本发明冷凝回收装置的半剖视图。

图18为本发明滚筒式过滤膜渣装置的局部剖视图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明进行详细说明。

如图1至图18所示，一种蚀刻机，其包括控制系统以及与控制系统电连接并依次设置的进板机构1、显影机构2、蚀刻机构3、退膜机构4、脱水烘干机构5和出板机构6，进板机构1、显影机构2、蚀刻机构3、退膜机构4、脱水烘干机构5和出板机构6通过独立设置的传动装置7连接，显影机构2、蚀刻机构3和退膜机构4分别连接有分段式排气装置8、过滤装置以及泵装置，蚀刻机的机体外还设置有控制系统的操作面板，工作时，在操作面板上打开各种装置的开关并输入各种参数，譬如速度参数、时间参数等。

本实施例中，显影机构2采用显影液将印刷电路板膜上未经紫外线辐射的部分溶解，已经紫外线辐射而发生聚合反应的部分保留。具体而言，显影机构2包括依次设置的显影室20和第一清洗室21，显影室20内设置有储存显影液的显影槽200和摇摆架喷淋装置201；第一清洗室21内设置有第一清洗槽210和复数个位于传动装置7上下方的清洗喷嘴。

本实施例中，蚀刻机构3采用蚀刻液将印刷电路板上未被保护膜保护而露出的铜蚀刻掉。具体而言，蚀刻机构3包括依次设置的蚀刻室30、补偿室31和第二清洗室32，蚀刻室30与补偿室31通过液体管道连接，蚀刻室30设置有储存蚀刻液的蚀刻槽300和摇摆架喷淋装置201；第二清洗室32设置有第二清洗槽320和复数个位于传动装置7上下方的清洗喷嘴。

补偿室31设置有补偿装置310，能起到辅助蚀刻的作用。补偿装置310由复数根上喷管3100和复数根下喷管3101构成，上喷管3100和下喷管3101分别通过气阀3102与进水管3103连接，上喷管3100和下喷管3101均等间距设置有复数个补偿喷嘴，相邻的上喷管3100之间的喷嘴交错排布，复数根上喷管3100的喷嘴共同形成三角型排布，气阀3102与进水管3103之间连接有压力表3104，工作时，传动装置7将印刷电路板送到上喷管3100和下喷管3101的中间，依次经过第一根上喷管的喷嘴至第五根上喷管的喷嘴，同时使用者根据印刷电路板的板面情况适当调节压力表3104和气阀3102控制喷淋，有效解决印刷电路板板面因为铜厚不均和水池效应导致蚀刻不干净导致产品报废的问题，对印刷电路板的蚀刻效果好，提高了产品的质量及降低生产成本。

在显影机构2和蚀刻机构3中的摇摆架喷淋装置201由摇摆架202和压力控制装置203构成，摇摆架202通过上接软管204和下接软管205与压力控制装置203相连接，摇摆架202包括上喷架2020和下喷架2021，上喷架2020和下喷架2021通过摇臂2022连接，上喷架2020的板面和下喷架2021的板面上均匀分布有复数个出水口2023，出水口2023上设置有喷嘴，上喷架2020的板面和下喷架2021的板面分别为倾斜设置，上喷架2020的板面和下喷架2021的板面互相平行，上喷架2020固定连接有拉臂2024，拉臂2024设置有偏心块2025，偏心块2025与马达连接轴2026连接，摇臂2022中间位置设置有固定销2027，工作时，上喷架2020和下喷架2021能平行摆动，喷淋水形覆盖面更广更均匀，避免产生“水池效应”。压力控制装置203包括压力表2030和球阀2031，通过调节压力控制装置203，控制喷嘴出水量，使压力平均，可根据生产速度和工艺要求来控制蚀刻速度，提高产品质量。

本实施例中，退膜机构4采用退膜液将印刷电路板上的保护膜去掉，露出已加工好的线路。具体而言，退膜机构4包括依次设置的退膜室40和第三清洗室41，退膜室40设置有储存退膜液的退膜槽400和喷洒装置401，喷洒装置401设置有喷管4010和喷嘴4011，喷嘴4011由喷嘴座4012、喷头4013和喷嘴盖4014组成，喷头4013设置于喷嘴座4012内，喷嘴盖4014连接于喷嘴座4012，喷嘴座4012通过前夹扣4015和后夹扣4016固定在喷管4010沿长度方向设置的出水孔4017上，前夹扣4015和后夹扣4016通过螺栓相连接，喷嘴4011拆卸安装方便，可在一定范围内调节角度，使喷嘴4011始终处在最佳工作状态。第三清洗室42内设置有第三清洗槽420和复数个位于传动装置7上下方的清洗喷嘴。

本实施例中，脱水烘干机构5用于印刷电路板出板前对其进行脱水烘干，防止氧化。具体而言，脱水烘干机构5包括依次设置的冷风吹干装置50和热风烘干装置51，热风烘干装置51设置有鼓风机510、热风分支器511和热风管512，鼓风机510和热风分支器511位于传送装置7的下方，传送装置7的上下两侧分别设置有风刀装置513，风刀装置513的数量为三个。

风刀装置513包括对称相同的上风刀5130和下风刀5131，上风刀5130和下风刀5131内部趋近为一密闭空间，上风刀5130一端和下风刀5131一端分别设置有进风口5132，进风口5132通过热风管512与鼓风机510以及热风分支器511连接，上风刀5130另一端和下风刀5131另一端分别设有出风导流板5133，出风导流板5133的表面排列分布有出风微孔，出风微孔设置有倾斜角度并倾向于同一方向，这样的设计使风刀的出风微孔与传送装置7的电路板形成夹角，夹角以45度为最佳，同时通过出风导流板5133配合风刀的内部空间和出风微孔，可使出风微孔压缩吹出气体，同时使吹出来的气体均匀吹向电路板，避免因为气体不均匀和热力不均匀而导致电路板不平整的影响。

本实施例中，传动装置7用于将印刷电路板进行输送。具体而言，传动装置7包括安装架70，在安装架70上设置有复数条上传送轴71和复数条下传送轴72，上传送轴71位于下传送轴72正上方，上传送轴71上设置有复数个上传送轮73，下传送轴72上设置有复数个与上传送轮73相对应的下传送轮74，上传送轴71和下传送轴72通过上传送齿轮75和下传送齿轮76啮合连接，安装架70一侧的第一传送主轴77上设置有主传送齿轮78，下传送齿轮76与主传送齿轮78啮合连接，第一传送主轴77与电机相链接，安装架70另一侧还设置有第二传送主轴79，第二传送主轴79设置有主传送齿轮78，主传送齿轮78与下传送轴72另一侧的下传送齿轮76啮合连接。采用双传送主轴设计，同步带动下传送轴72转动，减少因单传送主轴传动而造成下传送轴72的轴头受力过大导致蚀刻机的故障率增加等缺点，上、下传送轴受力均匀，能够平稳可靠地输送电路板，防止电路板在输送过程中的偏移，上传送轮73和下传送轮74可局部拆卸更换，方便维修。

本实施例中，排气装置8用于排放显影机构2、蚀刻机构3、退膜机构4和脱水烘干机构5工作时产生的挥发物或蒸汽。具体而言，排气装置8包括排气管80、排气管调节装置81、支撑架82和至少一个冷凝回收装置83。

排气管调节装置81设置有连接管810，连接管810上设置有调节旋钮811，调节旋钮811穿过连接管810中部的通孔并且与设置在连接管810内部的调节挡板812连接，调节挡板812的另一端与导向柱813连接，排气管调节装置81一般根据需要进行调整，以达到调节排气量的效果，方便实用，防止当风速较大时，会使药水的蒸发加快，同时也防止药水的热量过快流失。

冷凝回收装置83与排气管80连接，药水的挥发物或蒸汽经过排气管80后再流入冷凝回收装置83。冷凝回收装置83包括箱体830，箱体830的底板设置有进气管831和进水口832，箱体830的顶板设置有排气管833和排水口834，设置于箱体830内的中间筒体835与进气管831连接，箱体830设置有分流腔836和冷凝腔837，分流腔836和冷凝腔837通过进气管831上的分流口838相连通，排气管833与中间筒体835连接并伸入中间筒体835内，排气管833与进气管831不相通，排气管833上设置有排气孔839，冷凝腔837内设置有冷凝管840，冷凝管840包括三条盘旋设置的冷凝管840，冷凝管840互呈同心圆状分布，冷凝管840之间互有间隔，挥发物或者蒸汽从三条冷凝管840之间的间隔通过，增大了接触面积，同时起到阻碍作用，使蒸汽的运动减慢，冷凝效果好，冷凝管840的进水管841设置于进水口832，冷凝管840的出水管842设置于排水口834，箱体830的底板上还设置有回流管843，冷凝后的液体从回流管843回流到药水槽中，继续循环利用，降低化学药水的使用成本，节约资源，也防止环境污染。

本实施例中，过滤装置用于对显影机构2、蚀刻机构3和退膜机构4内的药水和废弃液进行过滤，保持药水的酸碱浓度、去除废弃液内的有害物质和对可循环利用的物质进行回收，保护环境，节约成本。具体而言，过滤装置包括棉芯过滤器91、蓝色过滤器92和滚筒式过滤膜渣装置93。

滚筒式过滤膜渣装置93与退膜机构4连接。滚筒式过滤膜渣装置93设置有液体缸930、汇流入口931、滚筒过滤装置932、喷管933、接渣盒934、排渣道935、二次过滤槽936和收集框937，喷管933位于滚筒过滤装置932和接渣盒934的上方，接渣盒934和汇流入口931分别接于滚筒过滤装置932内，接渣盒934设置于汇流入口931的上方，并且接渣盒934是倾斜设置的，接渣盒934的出口通过排渣道935与二次过滤槽936的入口相连通，收集框937安放于二次过滤槽936的出口下方。采用滚筒过滤装置932和二次过滤槽936二者结合的双重过滤设计，过滤膜渣彻底，回收膜渣极其方便，足以满足印刷电路板退膜工序过滤膜渣的工艺要求。

本实施例中，泵装置用于将显影机构2、蚀刻机构3和退膜机构4内的液体送进过滤装置。具体而言，泵装置包括立式泵100和高压泵101，立式泵100分别与棉芯过滤器91、蓝色过滤器92连接；高压泵101与滚筒式过滤膜渣装置93连接。

蚀刻机的流程：工作时，将印刷电路板放置在进板机构1，蚀刻机的控制系统内的监测系统进行进板计数，传动装置7将印刷电路板输送到显影机构2，依次经过显影室20和第一清洗室21，由摇摆架喷淋装置201和清洗喷嘴进行喷淋，吹干后输送到蚀刻机构3，依次经过蚀刻室30、补偿室31和第二清洗室32，接着输送到退膜机构4，依次经过退膜室40和第三清洗室41，最后经过脱水烘干机构5和出板机构6，出板时控制系统内的监测系统再进行出板计数。

综上所述，本发明的进板机构1、显影机构2、蚀刻机构3、退膜机构4、脱水烘干机构5和出板机构6在控制系统的控制下，将显影、蚀刻、退膜等工序有机地结合为一体，在一台设备中自动完成整个生产制造过程，自动化程度高，同时设计合理，制板和过滤回收效果好，给相关行业带来比巨大的益处。

以上所述实施例仅表达了本发明的一种实施方式而已，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为本发明范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形或改进，这些均属于本发明的保护范围。因此，本发明的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims

1.一种蚀刻机，其特征在于：其包括控制系统以及与控制系统电连接的并且依次设置的进板机构（1）、显影机构（2）、蚀刻机构（3）、退膜机构（4）、脱水烘干机构（5）和出板机构（6），所述进板机构（1）、所述显影机构（2）、所述蚀刻机构（3）、所述退膜机构（4）、所述脱水烘干机构（5）和所述出板机构（6）分别通过独立设置的传动装置（7）连接，所述显影机构（2）、所述蚀刻机构（3）和所述退膜机构（4）分别连接有分段式排气装置（8）、过滤装置以及泵装置。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻机，其特征在于：所述显影机构（2）包括依次设置的显影室（20）和第一清洗室（21），所述显影室（20）内设置有储存显影液体的显影槽（200）和摇摆架喷淋装置（201）；所述第一清洗室（21）内设置有第一清洗槽（210）和复数个位于传动装置（7）上下方的清洗喷嘴。

3.根据权利要求1所述的一种蚀刻机，其特征在于：所述蚀刻机构（3）包括依次设置的蚀刻室（30）、补偿室（31）和第二清洗室（32），所述蚀刻室（30）与所述补偿室（31）通过液体管道连接，所述蚀刻室（30）设置有储存蚀刻液体的蚀刻槽（300）和摇摆架喷淋装置（201）；所述补偿室（31）设置有补偿装置（310），补偿装置（310）由复数根上喷管（3100）和复数根下喷管（3101）构成，上喷管（3100）和下喷管（3101）分别通过气阀（3102）与进水管（3103）连接，上喷管（3100）和下喷管（3101）分别设置有复数个补偿喷嘴，相邻的上喷管（3100）之间的喷嘴交错排布，复数根所述上喷管（3100）的喷嘴形成三角型排布，气阀（3102）与进水管（3103）之间连接有压力表（3104）；所述第二清洗室（32）设置有第二清洗槽（320）和复数个位于传动装置（7）上下方的清洗喷嘴。

4.根据权利要求2或3所述的一种蚀刻机，其特征在于：所述摇摆架喷淋装置（201）由摇摆架（202）和压力控制装置（203）构成，摇摆架（202）通过上接软管（204）和下接软管（205）与压力控制装置（203）相连接，所述摇摆架（202）包括上喷架（2020）和下喷架（2021），所述上喷架（2020）和所述下喷架（2021）通过摇臂（2022）连接，上喷架（2020）的板面和下喷架（2021）的板面上分别设置有复数个出水口（2023），所述出水口（2023）是均匀分布的，出水口（2023）上设置有喷嘴，上喷架（2020）固定连接有拉臂（2024），拉臂（2024）设置有偏心块（2025），偏心块（2025）与马达连接轴（2026）连接，摇臂（2022）中间设置有固定销（2027）；所述压力控制装置（203）包括压力表（2030）和球阀（2031）。

5.根据权利要求1所述的一种蚀刻机，其特征在于：所述退膜机构（4）包括依次设置的退膜室（40）和第三清洗室（41），所述退膜室（40）设置有储存退膜液体的退膜槽（400）和喷洒装置（401），所述喷洒装置（401）设置有喷管（4010）和喷嘴（4011），喷嘴（4011）由喷嘴座（4012）、喷头（4013）和喷嘴盖（4014）组成，喷头（4013）设置于喷嘴座（4012）内，喷嘴盖（4014）连接于喷嘴座（4012），喷嘴座（4012）通过前夹扣（4015）和后夹扣（4016）固定在喷管（4010）沿长度方向设置的出水孔（4017）上，前夹扣（4015）和后夹扣（4016）通过螺栓连接；所述第三清洗室（41）内设置有第三清洗槽（410）和复数个位于传动装置（7）上下方的清洗喷嘴。

6.根据权利要求1所述的一种蚀刻机，其特征在于：所述脱水烘干机构（5）包括依次设置的冷风吹干装置（50）和热风烘干装置（51），所述热风烘干装置（51）设置有鼓风机（510）、热风分支器（511）和热风管（512），鼓风机（510）和热风分支器（511）位于传送装置（7）的下方，所述传送装置（7）的上下两侧分别设置有风刀装置（513）。

7.根据权利要求1所述的一种蚀刻机，其特征在于：所述传动装置（7）包括安装架（70），在安装架（70）上设置有复数条上传送轴（71）和复数条下传送轴（72），上传送轴（71）位于下传送轴（72）正上方，上传送轴（71）上设置有复数个上传送轮（73），下传送轴（72）上设置有复数个与上传送轮（73）相对应的下传送轮（74），上传送轴（71）和下传送轴（72）通过上传送齿轮（75）和下传送齿轮（76）啮合连接，安装架（70）一侧的第一传送主轴（77）上设置有主传送齿轮（78），下传送齿轮（76）与主传送齿轮（78）啮合，第一传送主轴（77）与电机相链接，所述安装架（70）另一侧还设置有第二传送主轴（79），第二传送主轴（79）设置有主传送齿轮（78），主传送齿轮（78）与下传送轴（72）另一侧的下传送齿轮（76）啮合。

8.根据权利要求1所述的一种蚀刻机，其特征在于：所述排气装置（8）包括排气管（80）、排气管调节装置（81）、支撑架（82）和至少一个冷凝回收装置（83），所述排气管调节装置（81）设置有连接管（810），连接管（810）上设置有调节旋钮（811），调节旋钮（811）穿过连接管（810）中部的通孔并且与设置在连接管（810）内部的调节挡板（812）连接，所述调节挡板（812）的另一端与设导向柱（813）连接；所述冷凝回收装置（83）包括箱体（830），箱体（830）的底板设置有进气管（831）和进水口（832），箱体（830）的顶板设置有排气管（833）和排水口（834），设置于箱体（830）内的中间筒体（835）与进气管（831）连接，箱体（830）设置有分流腔（836）和冷凝腔（837），分流腔（836）和冷凝腔（837）通过进气管（831）上的分流口（838）相连通，排气管（833）与中间筒体（835）连接并伸入中间筒体（835）内，排气管（833）与进气管（831）不相通，排气管（833）上设置有排气孔（839），冷凝腔（837）内设置有冷凝管（840），冷凝管（840）的进水管（841）设置于进水口（832），冷凝管（840）的出水管（842）设置于排水口（834），箱体（830）的底板上还设置有回流管（843）。

9.根据权利要求1所述的一种蚀刻机，其特征在于：所述过滤装置包括棉芯过滤器（91）、蓝色过滤器（92）和位于退膜机构（4）的滚筒式过滤膜渣装置（93），所述滚筒式过滤膜渣装置（93）设置有液体缸（930）、汇流入口（931）、滚筒过滤装置（932）、喷管（933）、接渣盒（934）、排渣道（935）、二次过滤槽（936）和收集框（937），喷管（933）位于滚筒过滤装置（932）和接渣盒（934）的上方，接渣盒（934）和汇流入口（931）分别接于滚筒过滤装置（932）内，接渣盒（934）设置于汇流入口（931）的上方，并且接渣盒（934）是倾斜设置的，接渣盒（934）的出口通过排渣道（935）与二次过滤槽（936）的入口相连通，收集框（937）安放于二次过滤槽（936）的出口下方。

10.根据权利要求9所述的一种蚀刻机，其特征在于：所述泵装置包括立式泵（100）和高压泵（101），所述立式泵（100）分别与棉芯过滤器（91）、蓝色过滤器（92）连接；所述高压泵（101）与滚筒式过滤膜渣装置（93）连接。