CN110113875B - 一种铝基板材退膜机 - Google Patents

一种铝基板材退膜机 Download PDF

Info

Publication number
CN110113875B
CN110113875B CN201910456051.8A CN201910456051A CN110113875B CN 110113875 B CN110113875 B CN 110113875B CN 201910456051 A CN201910456051 A CN 201910456051A CN 110113875 B CN110113875 B CN 110113875B
Authority
CN
China
Prior art keywords
filter
cylinder
rotating shaft
connecting sleeve
aluminum substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201910456051.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110113875A (zh
Inventor
孟子涵
牛玉杰
席正勇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Henan Haile Electronic Technology Co ltd
Original Assignee
Henan Haile Electronic Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Henan Haile Electronic Technology Co ltd filed Critical Henan Haile Electronic Technology Co ltd
Priority to CN201910456051.8A priority Critical patent/CN110113875B/zh
Publication of CN110113875A publication Critical patent/CN110113875A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110113875B publication Critical patent/CN110113875B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0085Apparatus for treatments of printed circuits with liquids not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46; conveyors and holding means therefor
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/06Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Filtration Of Liquid (AREA)

Abstract

本发明涉及线路板生产设备领域,具体涉及一种铝基板退膜机,本发明所公开的一种铝基板退膜机采用了双连体过滤装备,可以在设备运行中达到不停机更换清洗过滤设备的效果,并且过滤装置为多层过滤网组成的同轴圆筒,过滤网由内到外过滤网孔越来越小,对喷淋出来的退膜液进行多次过滤,依次截留粒度不同的膜渣,一方面确保退膜液的清洁再利用效果,另一方面多次截留每个过滤网截留一部分膜渣,将膜渣分开截留,可以达到更大的截留量,也确保了过滤网的使用效果,避免过滤网过快的损毁。

Description

一种铝基板材退膜机
技术领域
本发明涉及线路板生产设备领域,具体涉及一种铝基板退膜机。
背景技术
蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类。
最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版,也广泛地被使用于减轻重量(WeightReduction)仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工;经过不断改良和工艺设备发展,亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工,特别在半导体制程上,蚀刻更是不可或缺的技术。
铝基板退膜机主要应用于蚀刻过程中保护膜的移除,常规的铝基板退膜机主要工作原理是喷嘴喷出氢氧化钠溶液,将保护膜溶解移除,可是在退膜过程中很多保护膜并不能完全溶解,造成了溶液内含有较多的膜渣,膜渣在退膜液循环过程中会堵塞喷嘴,并且污染基板,常规去除膜渣的手段是使用过滤纸传送带将膜渣过滤掉,但是过滤过程中过滤纸需要频繁的更换,且过滤纸传送带如果产生破损,则难以清除后续的膜渣,膜渣过滤不完全,会导致整条生产线停机整顿。
发明内容
本发明为解决膜渣过滤不完全的问题,本发明提供一种铝基板退膜机,达到完全过滤膜渣的目的。
为了实现上述目的,本发明的技术方案是:一种铝基板退膜机,包含机架、喷嘴和传送带,还包含膜渣过滤装置,所述的机架为金属框架,机架固定在地面上,机架上设置有防飞溅的保护壳体,壳体两端设置有开口,传送带穿过壳体两端的开口架设在机架上,传送带上方设置有喷嘴,所述的喷嘴为扇形喷嘴,多个喷嘴等间距排列固定在连杆上,连杆固定在壳体内部的两端,喷嘴与竖直方向呈角度;传送带下方设置有膜渣过滤装置,所述的膜渣过滤装置包含有接液盘、过滤器和回收筒,所述的接液盘为截面是长方形的倒锥体,接液盘底部设置有两个通孔,所述的通孔下方设置有电磁阀,所述的电磁阀的出口处设置有伸缩管,伸缩管的两端为直管,所述的伸缩管的上端直管与电磁阀出口固定连接,伸缩管的上端直管外壁上阵列设置有环形的卡槽,所述的卡槽的截面为直角三角形,伸缩管的下端直管外表面设置有卡爪,所述的卡爪为“7”字形,卡爪至少为三个,卡爪的顶端卡在卡槽上;伸缩管下方设置有过滤器,所述的过滤器包含基座、电机、转轴和多个过滤筒,所述的过滤筒为无顶面的圆柱状筒体,过滤筒的底面为圆环状的板体,过滤筒底面的中心设置有连接套,所述的连接套是圆柱状的筒体,连接套内部设置有键槽,过滤筒的侧面为过滤网,过滤筒的顶端开口处设置有向内延伸的凸缘;多个过滤筒通过连接套由上到下、由内向外套接在转轴上,过滤筒最外部设置有收集筒,所述的收集筒的直径大于最外层的过滤筒,收集筒与基座固定连接,所述的转轴贯穿收集筒并与过滤筒固定连接,转轴的上部设置有键,转轴中部设置有环状的固定环,转轴上的键穿入连接套的键槽内,转轴顶部通过螺栓将多个过滤筒固定在转轴上,转轴与基座和收集筒通过机械密封旋转连接,转轴底部设置有齿轮,齿轮与电机输出轴上的齿轮啮合,电机固定于基座内部;所述的过滤器数量至少为两个,相邻的两个过滤器之间设置有回收筒,收集筒底部伸出的引流管将收集筒内的退膜液排放至回收筒,回收筒内安装有高压泵,高压泵的出口通过管道连接到喷嘴上。
进一步地,所述的喷嘴与竖直方向的夹角为65°~85°,喷嘴的顶端开口向壳体中心偏斜。
进一步地,所述的多个过滤筒由内向外过滤网的网孔越来越小。
进一步地,所述的连接套的高度为过滤网高度的十分之一到五分之一。
进一步地,所述的外部的过滤筒顶部的凸缘内径大于内部的过滤筒外径,外部的过滤筒高度大于内部的过滤筒高度与外部过滤筒的连接套高度之和。
进一步地,所述的过滤筒与伸缩管同轴,且最内层的过滤筒的凸缘内径大于伸缩管的外径的两倍。
通过上述技术方案,本发明的有益效果为:
本发明的所述的电磁阀的出口处设置有伸缩管,伸缩管的两端为直管,所述的伸缩管的上端直管与电磁阀出口固定连接,伸缩管的上端直管外壁上阵列设置有环形的卡槽,所述的卡槽的截面为直角三角形,伸缩管的下端直管外表面设置有卡爪,所述的卡爪为“7”字形,卡爪至少为三个,卡爪的顶端卡在卡槽上,即使用时,卡爪与卡槽分离,伸缩管的下端深入最内层的过滤筒内,在清理时伸缩管收起,卡爪卡入卡槽内,将伸缩管下端收起,方便过滤筒的维修和清理。
本发明的过滤筒最外部设置有收集筒,所述的收集筒的直径大于最外层的过滤筒,多个过滤筒由内向外过滤网的网孔越来越小,膜渣在进入过滤筒时经过过滤网由粗到细的网孔层层过滤,不仅保证了退膜液的清洁可循环,另外每个过滤筒截留一部分膜渣,膜渣不会集中在一个过滤网上,增大了膜渣截留量,延长使用寿命,减少过滤网损坏的几率。
本发明的过滤器数量至少为两个,相邻的两个过滤器之间设置有回收筒,收集筒底部伸出的引流管将收集筒内的退膜液排放至回收筒,回收筒内安装有高压泵,高压泵的出口通过管道连接到喷嘴上,即两个过滤器间歇工作,在不影响退膜的情况下其中一个过滤器可以进行清洗和零件更换工作,在维修清洗时仍可达到不停机的连续生产。
本发明的的过滤筒的顶端开口处设置有向内延伸的凸缘,多个过滤筒通过连接套由上到下、由内向外套接在转轴上,过滤筒顶端设置有向内延伸的凸缘,在过滤筒旋转过程中组织退膜液旋转飞溅出过滤筒,确保每层网滤网均可以完整的过滤一次退膜液。
附图说明
图1是本发明一种铝基板退膜机的结构示意图;
图2是本发明膜渣过滤装置的结构示意图;
图3是本发明两个过滤器的连接示意图;
图4为本发明过滤器的剖面图;
图5为本发明过滤筒的结构示意图;
图6为本发明转轴的结构示意图;
图7为本发明电磁阀和伸缩管的连接示意图。
附图中标号为:1为机架,2为喷嘴,3为传送带,4为过滤器,5为接液盘,21为连杆,41为收集筒,42为基座,43为回收筒,44为高压泵,45为转轴,46为过滤筒,51为电磁阀,52为伸缩管,421为电机,422为齿轮,423为机械密封,451为键,452为固定环,461为凸缘,462为过滤网,463为连接套,464为键槽,521为卡槽,522为卡爪。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步说明:
如图1~图7所示,一种铝基板退膜机,包含机架1、喷嘴2和传送带3,还包含膜渣过滤装置,所述的机架1为金属框架,机架1固定在地面上,机架1上设置有防飞溅的保护壳体,壳体两端设置有开口,传送带3穿过壳体两端的开口架设在机架1上,传送带3上方设置有喷嘴2,所述的喷嘴2为扇形喷嘴2,多个喷嘴2等间距排列固定在连杆21上,连杆21固定在壳体内部的两端,喷嘴2与竖直方向呈角度;传送带3下方设置有膜渣过滤装置,所述的膜渣过滤装置包含有接液盘5、过滤器4和回收筒43,所述的接液盘5为截面是长方形的倒锥体,接液盘5底部设置有两个通孔,所述的通孔下方设置有电磁阀51,所述的电磁阀51的出口处设置有伸缩管52,伸缩管52的两端为直管,所述的伸缩管52的上端直管与电磁阀51出口固定连接,伸缩管52的上端直管外壁上阵列设置有环形的卡槽521,所述的卡槽521的截面为直角三角形,伸缩管52的下端直管外表面设置有卡爪522,所述的卡爪522为“7”字形,卡爪522至少为三个,卡爪522的顶端卡在卡槽521上,即使用时,卡爪522与卡槽521分离,伸缩管52的下端深入最内层的过滤筒46内,在清理时伸缩管52收起,卡爪522卡入卡槽521内,将伸缩管52下端收起,方便过滤筒46的维修和清理;伸缩管52下方设置有过滤器4,所述的过滤器4包含基座42、电机421、转轴45和多个过滤筒46,所述的过滤筒46为无顶面的圆柱状筒体,过滤筒46的底面为圆环状的板体,过滤筒46底面的中心设置有连接套463,所述的连接套463是圆柱状的筒体,连接套463内部设置有键槽464,过滤筒的侧面为过滤网462,过滤筒46的顶端开口处设置有向内延伸的凸缘461,在过滤筒46旋转过程中组织退膜液旋转飞溅出过滤筒46,确保每层网滤网均可以完整的过滤一次退膜液;多个过滤筒46通过连接套463由上到下、由内向外套接在转轴45上,过滤筒46最外部设置有收集筒41,所述的收集筒41的直径大于最外层的过滤筒46,收集筒41与基座42固定连接,所述的转轴45贯穿收集筒41并与过滤筒46固定连接,转轴45的上部设置有键451,转轴45中部设置有环状的固定环452,转轴45上的键451穿入连接套463的键槽464内,转轴45顶部通过螺栓将多个过滤筒46固定在转轴45上,转轴45与基座42和收集筒41通过机械密封423旋转连接,转轴45底部设置有齿轮422,齿轮422与电机421输出轴上的齿轮啮合,电机421固定于基座42内部;所述的过滤器4数量至少为两个,相邻的两个过滤器4之间设置有回收筒43,收集筒41底部伸出的引流管将收集筒41内的退膜液排放至回收筒43,回收筒43内安装有高压泵44,高压泵44的出口通过管道连接到喷嘴2上,两个过滤器4间歇工作,在不影响退膜的情况下其中一个过滤器4可以进行清洗和零件更换工作,在维修清洗时仍可达到不停机的连续生产。
进一步地,所述的喷嘴2与竖直方向的夹角为65°~85°,喷嘴2的顶端开口向壳体中心偏斜。
进一步地,所述的多个过滤筒46由内向外过滤网462的网孔越来越小膜渣在进入过滤筒46时经过过滤网462由粗到细的网孔层层过滤,不仅保证了退膜液的清洁可循环,另外每个过滤筒46截留一部分膜渣,膜渣不会集中在一个过滤网462上,增大了膜渣截留量,延长使用寿命,减少过滤网462损坏的几率,。
进一步地,所述的连接套463的高度为过滤网462高度的十分之一到五分之一。
进一步地,所述的外部的过滤筒46顶部的凸缘461内径大于内部的过滤筒46外径,外部的过滤筒46高度大于内部的过滤筒46高度与外部过滤筒46的连接套463高度之和。
进一步地,所述的过滤筒46与伸缩管52同轴,且最内层的过滤筒46的凸缘461内径大于伸缩管52的外径的两倍。
在工作中,接液盘5将喷嘴喷到铝基板上的退膜液收集起来,通过伸缩管52输送至过滤筒46内,由于电机421驱动齿轮422转动,齿轮422带动转轴45转动,转轴45通过连接套463与过滤筒46和收集筒41固定连接,因此过滤桶46和收集筒41随着转轴转动,退膜液落在过滤筒46内后随着过滤筒46转动,其中退膜液内的膜渣残留于过滤网462上,退膜液带动小于网孔的膜渣进入外层的过滤筒46,经过多个过滤筒46的过滤作用,退膜液内的膜渣被完全过滤掉,洁净的退膜液被过滤桶46甩出落入收集筒41内,经过收集筒41底部的引力管被排放至回收筒43,在回收筒内的高压泵44重新输送到喷嘴进行退膜操作。
通过电磁阀51的开合可以控制工作的过滤器4,在不工作的过滤器4可以拆卸进行清洗或更换零件。
以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式,但是,本发明并不限于上述实施例,在不违背本发明的精神即公开范围内,可以对本发明的技术方案进行多种变形。

Claims (6)

1.一种铝基板退膜机,包含机架(1)和传送带(3),其特征在于,还包含膜渣过滤装置,所述的机架(1)为金属框架,机架(1)固定在地面上,机架(1)上设置有防飞溅的保护壳体,壳体两端设置有开口,传送带(3)穿过壳体两端的开口架设在机架(1)上,传送带(3)上方设置有喷嘴(2),所述的喷嘴(2)为扇形喷嘴(2),多个喷嘴(2)等间距排列固定在连杆(21)上,连杆(21)固定在壳体内部的两端,喷嘴(2)与竖直方向呈角度;传送带(3)下方设置有膜渣过滤装置,所述的膜渣过滤装置包含有接液盘(5)、过滤器(4)和回收筒(43),所述的接液盘(5)为截面是长方形的倒锥体,接液盘(5)底部设置有两个通孔,所述的通孔下方设置有电磁阀(51),所述的电磁阀(51)的出口处设置有伸缩管(52),伸缩管(52)的两端为直管,所述的伸缩管(52)的上端直管与电磁阀(51)出口固定连接,伸缩管(52)的上端直管外壁上阵列设置有环形的卡槽(521),所述的卡槽(521)的截面为直角三角形,伸缩管(52)的下端直管外表面设置有卡爪(522),所述的卡爪(522)为“7”字形,卡爪(522)至少为三个,卡爪(522)的顶端卡在卡槽(521)上;伸缩管(52)下方设置有过滤器(4),所述的过滤器(4)包含基座(42)、电机(421)、转轴(45)和多个过滤筒(46),所述的过滤筒(46)为无顶面的圆柱状筒体,过滤筒(46)的底面为圆环状的板体,过滤筒(46)底面的中心设置有连接套(463),所述的连接套(463)是圆柱状的筒体,连接套(463)内部设置有键槽(464),过滤筒的侧面为过滤网(462),过滤筒(46)的顶端开口处设置有向内延伸的凸缘(461);多个过滤筒(46)通过连接套(463)由上到下、由内向外套接在转轴(45)上,过滤筒(46)外部设置有收集筒(41),所述的收集筒(41)的直径大于最外层的过滤筒(46),收集筒(41)与基座(42)固定连接,所述的转轴(45)贯穿收集筒(41)并与过滤筒(46)固定连接,转轴(45)的上部设置有键(451),转轴(45)中部设置有环状的固定环(452),转轴(45)上的键(451)穿入连接套(463)的键槽(464)内,转轴(45)顶部通过螺栓将多个过滤筒(46)固定在转轴(45)上,转轴(45)与基座(42)和收集筒(41)通过机械密封(423)旋转连接,转轴(45)底部设置有齿轮(422),齿轮(422)与电机(421)输出轴上的齿轮啮合,电机(421)固定于基座(42)内部;所述的过滤器(4)数量至少为两个,相邻的两个过滤器(4)之间设置有回收筒(43),收集筒(41)底部伸出的引流管将收集筒(41)内的退膜液排放至回收筒(43),回收筒(43)内安装有高压泵(44),高压泵(44)的出口通过管道连接到喷嘴(2)上。
2.根据权利要求1所述的一种铝基板退膜机,其特征在于,所述的喷嘴(2)与竖直方向的夹角为65°~85°,喷嘴(2)的顶端开口向壳体中心偏斜。
3.根据权利要求1所述的一种铝基板退膜机,其特征在于,所述的多个过滤筒(46)由内向外过滤网(462)的网孔越来越小。
4.根据权利要求1所述的一种铝基板退膜机,其特征在于,所述的连接套(463)的高度为过滤网(462)高度的十分之一到五分之一。
5.根据权利要求1所述的一种铝基板退膜机,其特征在于,所述的外部的过滤筒(46)顶部的凸缘(461)内径大于内部的过滤筒(46)外径,外部的过滤筒(46)高度大于内部的过滤筒(46)高度与外部过滤筒(46)的连接套(463)高度之和。
6.根据权利要求1所述的一种铝基板退膜机,其特征在于,所述的过滤筒(46)与伸缩管(52)同轴,且最内层的过滤筒(46)的凸缘(461)内径大于伸缩管(52)的外径的两倍。
CN201910456051.8A 2019-05-29 2019-05-29 一种铝基板材退膜机 Active CN110113875B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910456051.8A CN110113875B (zh) 2019-05-29 2019-05-29 一种铝基板材退膜机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910456051.8A CN110113875B (zh) 2019-05-29 2019-05-29 一种铝基板材退膜机

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110113875A CN110113875A (zh) 2019-08-09
CN110113875B true CN110113875B (zh) 2021-12-07

Family

ID=67492791

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910456051.8A Active CN110113875B (zh) 2019-05-29 2019-05-29 一种铝基板材退膜机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110113875B (zh)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0265195A (ja) * 1988-08-30 1990-03-05 Fujitsu Ltd レジスト膜処理装置
CN102492946A (zh) * 2011-12-30 2012-06-13 特新电路材料(东莞)有限公司 一种蚀刻机
CN202898551U (zh) * 2012-11-01 2013-04-24 春焱电子科技(苏州)有限公司 退膜液过滤再利用装置
CN204745817U (zh) * 2015-01-14 2015-11-11 中山市宝悦嘉电子有限公司 一种离心式pcb退膜废液在线处理装置
CN205883721U (zh) * 2016-05-25 2017-01-11 迅得机械(珠海保税区)有限公司 一种pcb垂直退膜设备
CN208227449U (zh) * 2018-05-04 2018-12-11 珠海精路电子有限公司 一种退膜装置
CN208331109U (zh) * 2018-04-20 2019-01-04 梅州鼎泰电路板有限公司 一种电路板干膜渣减重用快速过滤机构
CN208757041U (zh) * 2018-08-31 2019-04-19 东莞市五株电子科技有限公司 一种用于pcb显影装置的便捷过滤器及过滤系统

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0265195A (ja) * 1988-08-30 1990-03-05 Fujitsu Ltd レジスト膜処理装置
CN102492946A (zh) * 2011-12-30 2012-06-13 特新电路材料(东莞)有限公司 一种蚀刻机
CN202898551U (zh) * 2012-11-01 2013-04-24 春焱电子科技(苏州)有限公司 退膜液过滤再利用装置
CN204745817U (zh) * 2015-01-14 2015-11-11 中山市宝悦嘉电子有限公司 一种离心式pcb退膜废液在线处理装置
CN205883721U (zh) * 2016-05-25 2017-01-11 迅得机械(珠海保税区)有限公司 一种pcb垂直退膜设备
CN208331109U (zh) * 2018-04-20 2019-01-04 梅州鼎泰电路板有限公司 一种电路板干膜渣减重用快速过滤机构
CN208227449U (zh) * 2018-05-04 2018-12-11 珠海精路电子有限公司 一种退膜装置
CN208757041U (zh) * 2018-08-31 2019-04-19 东莞市五株电子科技有限公司 一种用于pcb显影装置的便捷过滤器及过滤系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN110113875A (zh) 2019-08-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110237598B (zh) 一种可在线检测水质的废水处理装置
JPH01217001A (ja) セルロースエーテルの分離方法
DE102007002318A1 (de) Reinigungs- und Oberflächenbehandlungseinrichtung
CN110113875B (zh) 一种铝基板材退膜机
CN205966646U (zh) 非接触式光罩或晶圆洁净装置
CN215656664U (zh) 工业循环水除垢器的自动清洗装置和自动清洗机
CN111659687A (zh) 一种环保型工业车间智能除尘系统
CN217550532U (zh) 一种适合不同工况的不绣钢薄带轧机的刮油装置
CN214809401U (zh) 一种橡胶轮胎废气过滤装置
CN115770453A (zh) 一种安全工程用医药化工环保除尘装置
CN110354590A (zh) 一种采用蒸汽自清洗技术的金属滤网空气净化装置
CN206881222U (zh) 一种刮泥机
CN210274739U (zh) 一种用于改善fpc退膜喷嘴堵塞的装置
CN112939260A (zh) 一种造纸厂含纤维废水处理装置
CN219128525U (zh) 一种水生态修复设备
TWI686875B (zh) 從晶圓移除光阻劑的液體過濾
CN110860120A (zh) 一种环保用废水固液分离系统
CN211757371U (zh) 一种油管在线清洗装置
CN218025792U (zh) 一种用于含油污泥热解处理的杂质预分离装置
CN110739242A (zh) 一种晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置
CN217199102U (zh) 一种用于流水线灌装龙头的自动清理装置
CN214441183U (zh) 一种机械机电零件清洗设备
CN220110585U (zh) 带有防止堵塞结构的废液处理装置
CN219378343U (zh) 一种玻璃加工用镀膜装置
JP2018149502A (ja) 除塵システム及び清掃装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant