KR20140063420A

KR20140063420A - 제진 장치

Info

Publication number: KR20140063420A
Application number: KR1020130134684A
Authority: KR
Inventors: 유우지 구라타
Original assignee: 가부시키가이샤 닛토 고교
Priority date: 2012-11-16
Filing date: 2013-11-07
Publication date: 2014-05-27
Also published as: JP6110111B2; CN103817109A; TW201420219A; JP2014100622A

Abstract

본 발명의 과제는 급기 챔버에 형성하는 슬릿 형상으로 개방된 에어 토출구가, 급기 챔버의 내압에 의해 국부적으로 넓어지는 일 없이, 일정 폭을 유지하여 안정된 강하고 균일한 에어를 분출할 수 있도록 하는 것이다.
2열의 에어 토출구(16)를 지그재그 형상으로 배치하여, 그 외측에 제1 에어 흡입구(26)와 제2 에어 흡입구(27)를 현격한 차이가 나도록 지그재그 형상으로 배치한다. 에어 토출구(16)로부터 플레이트 P를 향해 수직으로 분사된 고속 에어는 플레이트 P에 부착된 더스트를 그 풍압으로 박리시킨 후, 더스트와 함께 제1 및 제2 에어 흡입구(26, 27)로부터 흡인 제거한다. 급기 챔버(11)에 형성하는 에어 토출구(16)와, 제1 및 제2 에어 흡입구(26, 27)를 각각 지그재그 형상으로 배치함으로써, 압력에 의해 에어 토출구(16) 혹은 제1 및 제2 에어 흡입구(26, 27)가 국부적으로 넓어지거나, 또는 좁아지는 일 없이 일정 폭을 유지한 상태를 유지할 수 있다.

Description

제진 장치 {DUST COLLECTOR}

본 발명은 기판(디스플레이용 글래스 기판, 세라믹 기판, 프린트 기판 등) 혹은 시트 등의 피세정물의 표면에 부착된 진애 혹은 오염 미립자 등을 박리하여 부유시켜, 그 부유물을 흡인 제거하는 제진 장치에 관한 것이다.

종래부터, 기판(디스플레이용 글래스 기판, 세라믹 기판, 프린트 기판 등) 혹은 시트 등에 부착된 진애 혹은 오염 미립자 등의 제진 장치로서, 예를 들어 특허문헌 1의 제진 장치가 알려져 있다. 이 제진 장치는 고압 에어를 분사하는 에어 토출용 슬릿을 구비한 급기 챔버와, 이 급기 챔버의 양측에 에어 흡기용 슬릿을 구비한 흡기 챔버를 배치하고, 에어 토출용 슬릿으로부터 반송로 위를 반송하는 피세정물을 향해 고압 에어를 분사하고, 피세정물에 부착된 진애 혹은 오염 미립자 등(이하, 단순히 더스트라고 함)을 그 풍압으로 박리시킨 후, 에어 흡기용 슬릿으로부터 각 흡기 챔버 내로 흡인 제거하도록 구성된다.

또한, 본원 출원인은 특허문헌 2에 있어서, 외장체(급기 챔버)의 길이 방향을 따라서 장척의 에어 토출용 슬릿을 단속적 또는 연속적으로 형성한 에어 커튼 장치를 제안하고 있다. 이 특허문헌 2에 개시하는 장치는 세정 분야 등에 있어서 글래스 기판 상의 물방울을 불어 날리는 에어 커튼 장치로서의 용도이지만, 고압 에어를 분사하는 급기 챔버의 양측에 특허문헌 1에 개시하는 흡기 챔버를 배치하면 제진 장치에 전용하는 것도 구조적으로는 간단하다.

일본 특허 출원 공개 제2006-346515호 공보 일본 특허 출원 제2000-277252(일본 특허 출원 공개 제2002-89925호 공보)

상기 특허문헌 1, 2에 개시하는 장치에 있어서, 급기 챔버의 길이 방향을 따라서 고압 에어를 분사하기 위한 에어 토출용 슬릿이 형성되어 있지만, 이 에어 토출용 슬릿의 형성 방법으로서는, 특허문헌 2에서는 복수의 에어 토출용 슬릿을 단속적으로 형성하는 방법과 연속된 일련의 에어 토출용 슬릿을 형성하는 방법이 개시되어 있지만, 복수의 에어 토출용 슬릿을 단속적으로 형성한 경우, 부분적으로 에어 토출용 슬릿이 형성되지 않는 부분, 즉 기판에 에어가 분사되지 않는 개소가 존재하므로, 제진 효과의 저하를 초래한다고 하는 우려가 있다. 한편, 에어 토출용 슬릿을 연속적으로 개방시킨 경우, 급기 챔버 내에 공급시키는 에어의 내압에 의해, 긴 흡기용 슬릿의 폭을 일정하게 유지한 상태를 유지할 수 없는 것이 우려된다. 즉, 급기 챔버의 길이 방향을 따라서 연속된 흡기용 슬릿을 형성하면, 그 흡기용 슬릿이 간극이 되고, 급기 챔버의 내압에 의해 간극이 되는 흡기용 슬릿 부분이 개방되어, 흡기용 슬릿으로부터 분사시키는 고압 에어의 분사압도 일정하게 유지할 수 없게 되어 버려 분사압의 강약에 의해, 안정된 제진 효과를 발휘할 수 없다고 하는 과제를 갖고 있다.

또한, 이와 같은 과제는 에어를 고속으로 흡인하는 흡기용 슬릿에 대해서도 마찬가지이다. 즉, 흡기용 슬릿을 흡기 챔버의 길이 방향을 따라서 연속적으로 형성하면, 급기 챔버 내의 부압에 의해, 흡기용 슬릿이 국부적으로 좁아져, 에어의 흡인압이 불균일로 되고, 특히, 흡기용 슬릿으로부터 더스트가 완전히 흡인되지 않았던 경우, 고압 에어에 의해 불어 날려진 더스트가 제진기를 설치하는 클린룸 등으로 비산하여, 청정한 환경도 손상되어 버린다고 하는 과제를 갖고 있었다.

따라서 본 발명은, 상기 과제에 착안하여 이루어진 것으로, 클린 헤드의 길이 방향을 따라서 형성한 슬릿 형상의 에어 토출구로부터 안정된 균일한 에어를 고압 분출시켜 효과적으로 피세정물의 표면으로부터 더스트를 박리시킬 수 있는 제진 장치의 제공을 제1 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 분사한 고압 에어에 의해 피세정물의 표면으로부터 박리된 더스트를 안정적으로 흡인하여, 더스트의 비산을 효과적으로 억제할 수 있는 제진 장치의 제공을 제2 목적으로 한다.

본 발명의 제진 장치는 고압 에어를 분사하는 급기 챔버와, 이 급기 챔버의 양측에 위치하여 에어를 흡입하는 한 쌍의 흡기 챔버를 구비한 클린 헤드를 설치하고, 이 클린 헤드를 반송로에 대향 배치하여, 상기 급기 챔버에 의해 상기 반송로 위를 반송하는 피세정물의 상면을 향해 고압 에어를 분사하여 피세정물에 부착되는 더스트를 박리시켜 부유시키고, 그 부유물을 상기 흡기 챔버에서 흡인하도록 구성한 제진 장치에 있어서, 상기 클린 헤드의 길이 방향을 따라서 복수열의 에어 토출구를 슬릿 형상으로 개방시켜 단속적으로 형성하는 동시에, 각 열의 각 에어 토출구의 단부가 겹치도록, 상기 각열의 에어 토출구를 지그재그 형상으로 배치한 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 제진 장치는 상기 에어 토출구와 평행시켜 상기 에어 토출구의 양측에 상기 흡기 챔버와 연통하는 복수열의 에어 흡입구를 지그재그 형상으로 배치한 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 제진 장치는 상기 에어 흡입구의 적어도 하단부 내측 테두리측에 난류를 발생시키는 오목부를 형성한 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 제진 장치는 상기 급기 챔버 내에 양단부가 개방된 이너 관을 배치하는 동시에, 이 이너 관에 토출용 개구 구멍을 형성하여, 급기 수단으로부터 상기 급기 챔버 내로 압송된 에어는 그 에어량의 2/3가 이너 관으로, 나머지 1/3이 이너 관과 급기 챔버 사이로 각각 분리되어 유입되고, 또한 상기 이너 관에 유입된 에어의 절반이 토출용 개구 구멍을 통해 상기 급기 챔버 내로 방출되고, 나머지 절반이 이너 관의 타단부로부터 급기 챔버 내로 방출되고, 이들 에어와, 상기 급기 챔버 내로 직접 도입된 에어가 하나로 되어 상기 에어 토출구로부터 상기 피세정물을 향해 균일하게 분사되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명 제진 장치는 각 흡기 챔버 내에 각각 양단부가 개방된 이너 관을 배치하는 동시에, 이 각 이너 관에 흡기용 개구 구멍을 형성하여, 흡기 수단에 의해 상기 흡기 챔버 내의 에어를 흡인할 때, 그 에어량의 2/3가 이너 관으로부터, 나머지 1/3이 이너 관과 흡기 챔버 사이로부터 각각 분리되어 흡인되고, 또한 상기 이너 관으로부터 흡인되는 에어의 절반이 상기 흡기용 개구 구멍을 통해 상기 이너 관 내로 흡인되고, 나머지 절반이 이너 관의 타단부로부터 흡인되는 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 에어 토출구로부터 반송로 위를 반송하는 피세정물을 향해 분사된 고속 에어는 피세정물에 충돌하여, 피세정물에 부착된 더스트를 그 풍압으로 박리시킨 후, 에어 흡입구로부터 각 흡기 챔버 내로 흡입된다. 이 급기 챔버에 형성하는 복수열의 에어 토출구는 서로 평행시켜 지그재그 형상으로 배치하고 있으므로, 급기 챔버의 내압에 의해 에어 토출구가 국부적으로 넓어지는 등 하여 슬릿 폭이 변화되는 일 없이, 각 에어 토출구의 슬릿 폭을 일정하게 유지할 수 있으므로, 각 에어 토출구로부터 균일하게 에어를 분사할 수 있어, 분사압의 편차를 억제할 수 있다.

또한, 흡기 챔버에 형성하는 복수열의 에어 흡입구도 지그재그 형상으로 배치함으로써 각 에어 흡입구의 슬릿 폭을 일정하게 유지할 수 있으므로, 각 에어 토출구로부터 균일하게 에어를 흡인할 수 있다. 또한, 에어 흡입구의 내측 테두리에 오목부가 형성되어 있으므로, 오목부 내에 있어서 에어 토출구로부터 분사되는 고속 에어의 유속이 바뀌어, 오목부와, 이 오목부에 연통하는 에어 흡입구 내에 있어서 카르만 소용돌이(난류)가 발생하고, 카르만 소용돌이(난류)에 의한 에어 커튼 효과에 의해, 피세정물로부터 박리된 더스트가 에어 흡입구의 입구 부분에 있어서 머무르고, 에어 흡입구로부터 흡기 챔버 내로 더스트를 효과적으로 흡입할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예를 도시하는 클린 헤드의 단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예를 도시하는 제진기의 정면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예를 도시하는 제진기의 평면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예를 도시하는 에어 토출구와 에어 흡입구의 배치를 도시하는 일부를 확대한 저면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예를 도시하는 에어 흡입구에 있어서의 난류를 도시하는 에어 흡입구의 일부를 확대한 단면도.

이하, 본 발명에 관한 제진 장치의 실시예에 대해 첨부 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

도 1에 있어서, P는 피세정물로서의, 예를 들어 액정 기판 등의 플레이트, W는 롤러 컨베이어 등으로 구성되는 플레이트 P의 반송로이고, 플레이트 P는 반송로 W를 따라서 화살표 A 방향으로 반송되고, 그 반송로 W의 상부에 제진 장치(1)를 대향시켜 배치하고 있다.

상기 제진 장치(1)는, 예를 들어 스테인리스강 등으로 이루어지는 클린 헤드(2)를 구비하고, 이 클린 헤드(2)의 중앙부에 상기 플레이트 P에 고압 에어를 분사하여 상기 플레이트 P의 표면의 더스트를 박리시키는 급기 챔버(11)를 배치하고, 이 급기 챔버(11)의 양측에 상기 고압 에어에 의해 상기 플레이트 P로부터 박리되어 부유한 더스트를 흡인하기 위한 한 쌍의 흡기 챔버(21, 21)를 배치하고 있다.

상기 급기 챔버(11)의 내부에 양단부를 개방한 원통 형상의 이너 관(12)이 배치되고, 이 이너 관(12)을 배치하는 급기 챔버(11)의 상부는 상기 이너 관(12)을 대략 둘러싸는 원통 형상의 내벽부(13)가 형성되어, 이 내벽부(13)와 이너 관(12)의 2중 구조로 되어 있다. 또한, 상기 급기 챔버(11)의 일단부에는 도시하지 않은 급기 수단으로부터의 고압 에어를 급기 챔버(11)로 공급하는 급기 덕트(14)가 접속되어, 급기 덕트(14) 내에 공급되는 고압 에어는 급기 챔버(11)와 이너 관(12)으로 분기하여 보내지고, 이너 관(12)의 상부측에는 이너 관(12) 내에 공급되는 고압 에어를 급기 챔버(11)에 토출하기 위한 복수의 토출용 개구 구멍(15)이 형성되고, 급기 챔버(11)의 저부에는 상기 플레이트 P에 고압 에어를 분사하기 위한 슬릿 형상의 에어 토출구(16)가 형성되어 있다. 즉, 상기 이너 관(12)의 토출용 개구 구멍(15)과 급기 챔버(11)의 에어 토출구(16)로부터의 분사 방향은 상반되는 방향을 향해 분사된다. 또한, 상기 에어 토출구(16)를 형성하는 급기 챔버(11) 하부의 양 코너는, 완만한 곡면이 연속된 깔때기 형상을 이루고, 그 저부에 상기 에어 토출구(16)가 플레이트 P에 직각인 방향으로 개방되어 있다.

흡기 챔버(21, 21)는 상기 급기 챔버(11)와 대략 동일한 구성이고, 상세한 설명에 대해서는 생략하여 설명한다. 흡기 챔버(21, 21)의 상부에 각각 원통 형상의 이너 관(22, 22)이 배치되고, 각 흡기 챔버(21, 21)의 상부에는 이너 관(22, 22)을 둘러싸도록 곡면 형상의 내벽부(23)가 형성되어 있다. 또한, 이너 관(22, 22)의 상부에는 상기 흡기 챔버(21, 21) 내의 에어를 흡인하는 복수의 흡기용 개구 구멍(25)이 형성되고, 흡기 챔버(21, 21)에는 외기를 흡인하는 제1 에어 흡입구(26)와 제2 에어 흡입구(27)가 성형되어 있다.

상기 구성에 있어서, 흡기 챔버(21, 21)에 대한 이너 관(22, 22)의 길이 및 이너 관(22, 22)에 형성하는 이너 관(22, 22)과 흡기용 개구 구멍(25)의 영역의 비율에 대해 설명한다. 또한, 이들의 관계성은 급기 챔버(11)도 마찬가지이고, 도 3을 참조하여 대표예로서 흡기 챔버(21, 21)에 대해 설명한다. 도 3에 도시한 바와 같이, 이너 관(22, 22)의 길이 L2는 흡기 챔버(21, 21)의 길이 L1보다 짧은 동시에, 흡기 챔버(21, 21)에 있어서의 흡기용 개구 구멍(25)을 형성하는 영역은 흡기 챔버(21, 21)의 길이 방향 중앙부 부근이고, 그 형성 영역의 치수는 {(1/2)×L2}인 것이 바람직하다. 또한, 이너 관(22, 22)의 양단부의 {(1/4)×L2}의 부분에는 흡기용 개구 구멍(25)을 형성하지 않고, 중간점으로부터 좌우로 {(1/4)×L2}의 길이 부분에만 흡기용 개구 구멍(25)을 형성하는 것이 바람직하다.

또한, 흡기 덕트(24)로부터 흡인되는 에어의 양을 V로 한 경우, 이너 관(22) 내로부터 흡인되는 양 V1이 {(2/3)×V}, 내벽부(23)와 이너 관(22) 사이로부터 흡인되는 양 V2가 {(1/3)×V}로 되도록 내벽부(23) 및 이너 관(22)의 단면 형상이 결정된다. 이에 의해, 이너 관(22)으로부터 {(2/3)×V}의 에어량이 흡인된, 또한, 이너 관(12)의 중앙부에 배치된 복수의 흡기용 개구 구멍(25)으로부터 {(1/3)×V}의 양이, 상기 이너 관(22)의 말단부로부터 {(1/3)×V}의 양이 각각 흡인되고, 이에 의해, 흡기 챔버(21, 21)에 형성하는 제1 및 제2 에어 흡입구(26, 27)로부터 균등하게 에어가 흡인된다.

또한, 흡기 덕트(24)와 마찬가지로, 상기 급기 챔버(11)에 대해서도, 급기 덕트(14)로부터 도입되는 고압 에어의 양을 (V)로 한 경우, 급기 덕트(14) 내로 압송되는 양 V1이 {(2/3)×V}, 급기 챔버(11)와 이너 관(12) 사이에 도입되는 양 V2가 {(1/3)×V}로 되도록 급기 챔버(11)의 내벽부(13) 및 급기 덕트(14)의 단면 형상을 결정하고 있다. 이에 의해, 이너 관(12)으로 압송된 {(2/3)×V}의 고압 에어량은, 그 후, 이너 관(12)의 중앙부에 배치된 복수의 토출용 개구 구멍(15)으로부터 {(1/3)×V}의 양이, 또한, 상기 이너 관(12)의 말단부로부터 {(1/3)×V}의 양이 각각 급기 챔버(11) 내로 토출되고, 또한 급기 챔버(11)에 형성한 슬릿 형상의 에어 토출구(16)로부터 균등화되어 플레이트 P에 분사된다.

다음에 상기 구성에 있어서, 급기 챔버(11)에 형성하는 에어 토출구(16)와, 흡기 챔버(21, 21)에 형성하는 제1 에어 흡입구(26) 및 제2 에어 흡입구(27)의 상세에 대해 에어 토출구(16)와, 제1 에어 흡입구(26) 및 제2 에어 흡입구(27)의 배열(양측의 한쪽만)을 모식적으로 도시한 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4에 도시한 바와 같이, 에어 토출구(16)는 급기 챔버(11)에 길이 방향을 따라서 급기 챔버(11)의 대략 폭 방향 중앙부에 2열의 에어 토출구(16)가 서로 평행하게 형성되고, 또한 각 열의 각 에어 토출구(16)는 그 단부가 겹치도록, 지그재그 형상으로 배치되어 있다. 또한, 에어 토출구(16)는 슬릿 폭이 대략 0.65㎜, 전체 길이가 대략 227㎜이고 각 에어 토출구(16)의 단부의 랩량은 대략 1㎜이다.

또한, 상기 흡기 챔버(21, 21)에 형성하는 제1 에어 흡입구(26)는, 상기 에어 토출구(16)와 대략 평행하도록 에어 토출구(16)의 외측에 대략 3㎜의 간격을 두고 단속적으로 형성하고, 또한 제1 에어 흡입구(26)의 외측에, 이 제1 에어 흡입구(26)와는 현격한 차이가 나는 형상으로 제2 에어 흡입구(27)가 형성되어 있다. 또한, 제1 에어 흡입구(26)는, 도 1에 도시한 바와 같이 슬릿 폭이 대략 6㎜이고 외측을 향해 60° 경사져 있다. 또한, 제2 에어 흡입구(27)는 슬릿 폭이 대략 2㎜이고 외측을 향해 75° 경사져 있다.

또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 제1 에어 흡입구(26)의 하단부에는 곡면 형상의 오목부(28)가 형성되고, 제2 에어 흡입구(27)의 하단부에는 경사진 오목부(29)가 형성되어 있다. 또한, 상기 제1 에어 흡입구(26)에 형성하는 오목부(28)는 제1 에어 흡입구(26)의 양 테두리에 걸치도록 형성되어 있지만, 오목부(28)의 중심이 내측으로 어긋나 있고, 그 대부분이 제1 에어 흡입구(26)의 내측 테두리측에 형성되어 있다. 한편, 제2 에어 흡입구(27)에 형성하는 오목부(29)는 제2 에어 흡입구(27)의 내측 테두리측에만 형성된 평면 형상이고, 그 경사각은 흡기 챔버(21, 21)의 저면에 대해 15°이다.

이상과 같이 구성되는 본 실시예에서는, 도시하지 않은 급기 수단에 의해 급기 덕트(14)로부터 급기 챔버(11)로 에어가 압송되고, 그 에어량의 2/3가 이너 관(12)으로, 나머지 1/3이 이너 관(12)과 급기 챔버(11) 사이로 각각 분리되어 공급된다. 또한, 상기 이너 관(12)에 유입된 에어의 절반은 토출용 개구 구멍(15)으로부터 상기 급기 챔버(11) 내로 방출되고, 나머지 절반이 이너 관(12)의 타단부로부터 급기 챔버(11) 내로 방출된다. 이들 이너 관(12)을 통해 급기 챔버(11)에 방출되는 에어와, 상기 급기 챔버(11) 내로 직접 도입된 에어가 하나로 되어 급기 챔버(11)의 저부에 형성한 에어 토출구(16)로부터 플레이트 P를 향해 균일하게 분사된다. 에어 토출구(16)로부터 플레이트 P를 향해 수직으로 분사된 고속 에어는 플레이트 P에 부착된 더스트를 그 풍압으로 박리시킨 후, 더스트와 함께 제1 및 제2 에어 흡입구(26, 27)로부터 각 흡기 챔버(21, 21) 내로 흡입된다.

또한, 상기 흡기 챔버(21) 내의 에어를 흡인할 때, 그 에어량의 2/3가 이너 관(22)으로부터, 나머지 1/3이 이너 관(22)과 흡기 챔버(21) 사이로부터 각각 분리되어 흡인되고, 또한 상기 이너 관(22)으로부터 흡인되는 에어의 절반이 상기 흡기용 개구 구멍(25)을 통해 상기 이너 관(22) 내로 흡인되고, 나머지 절반이 이너 관(22)의 타단부로부터 흡인되므로, 각각의 제1 및 제2 에어 흡입구(26, 27)로부터 균일적으로 에어가 흡입된다.

또한, 에어 토출구(16)로부터 플레이트 P를 향해 수직으로 분사된 고속 에어는, 플레이트 P에 충돌하여 방사상으로 확산되고, 제1 에어 흡입구(26), 또한, 그 외측의 제2 에어 흡입구(27)로부터 더스트와 함께 흡기 챔버(21, 21) 내로 흡입되지만, 클린 헤드(1)와 플레이트 P의 간극은 1 내지 1.5㎜로 극히 좁고, 또한 제1 에어 흡입구(26)의 내측 테두리에 곡면 형상의 오목부(28)가 형성되어 있으므로, 도 5에 도시한 바와 같이, 확장부를 가진 오목부(28) 내에 있어서 고속 에어의 유속이 바뀌어, 오목부(28)와, 이 오목부(28)에 연통하는 제1 에어 흡입구(26) 내에서 카르만 소용돌이(난류)가 발생한다. 이에 의해, 제1 에어 흡입구(26)의 입구 부분에 있어서 카르만 소용돌이(난류)에 의한 에어 커튼이 형성되고, 플레이트 P로부터 박리된 더스트가 제1 에어 흡입구(26)의 입구 부분에 있어서 머무르고, 제1 에어 흡입구(26)로부터 흡기 챔버(21) 내로 흡입된다. 또한, 그 제1 에어 흡입구(26)의 외측에도 오목부(29)를 갖는 제2 에어 흡입구(27)는 다중으로 형성되어 있으므로, 가령 상기 제1 제1 에어 흡입구(26)로부터 외측으로 누설된 더스트가 제2 에어 흡입구(27)의 오목부(29)의 에어 커튼 효과에 의해 더스트의 누설을 방지하여, 제2 에어 흡입구(27)에서 흡입하여 포착할 수 있다.

또한, 급기 챔버(11)에 형성하는 에어 토출구(16)는 단속적으로 형성되어 있지만 2열의 에어 토출구(16)가 서로 평행하고 지그재그 형상으로 배치되어 있으므로, 2열의 에어 토출구(16)가 일련의 연속된 에어 토출구로서 기능하고, 플레이트 P를 향해 부분적으로 에어가 분사되지 않는 부분은 존재하지 않는다. 또한, 각 열의 에어 토출구(16)는 단속적으로 형성되어 있으므로, 급기 챔버(11)의 내압에 의해 에어 토출구(16)가 국부적으로 넓어지는 등 하여 슬릿 폭이 변화되는 일 없이, 각 에어 토출구(16)의 슬릿 폭을 일정하게 유지할 수 있다. 이로 인해, 각 에어 토출구(16)로부터 균일하게 에어를 분사할 수 있어, 분사압의 편차를 억제할 수 있다. 또한, 제1 에어 흡입구(26)와 제2 에어 흡입구(27)에 대해서도 에어 토출구(16)와 마찬가지로 지그재그 형상으로 배치함으로써 제1 에어 흡입구(26)와 제2 에어 흡입구(27)로부터 균일적으로 에어를 흡인할 수 있다.

이상, 본 발명을 상세하게 서술하였지만, 본 발명은 상기 실시예로 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지의 범위 내에서 다양한 변형 실시가 가능하다. 예를 들어, 상기 실시예에서는 2열의 에어 토출구(16) 및 제1 에어 흡입구(26)와 제2 에어 흡입구(27)를 형성한 예를 나타냈지만, 3열, 또는 그 이상이어도 된다. 또한, 각 부의 치수 등도 상기 실시예로 한정되는 것은 아니다.

1 : 제진 장치
2 : 클린 헤드
11 : 급기 챔버
12, 22 : 이너 관
14 : 급기 덕트
15 : 토출용 개구 구멍
16 : 에어 토출구
21 : 흡기 챔버
24 : 흡기 덕트
25 : 흡기용 개구 구멍
26 : 제1 에어 흡입구
27 : 제2 에어 흡입구
28, 29 : 오목부
P : 플레이트(피세정물)
W : 반송로

Claims

고압 에어를 분사하는 급기 챔버와, 이 급기 챔버의 양측에 위치하여 에어를 흡입하는 한 쌍의 흡기 챔버를 구비한 클린 헤드를 설치하고, 이 클린 헤드를 반송로에 대향 배치하여, 상기 급기 챔버에 의해 상기 반송로 위를 반송하는 피세정물의 상면을 향해 고압 에어를 분사하여 피세정물에 부착되는 더스트를 박리시켜 부유시키고, 그 부유물을 상기 흡기 챔버에서 흡인하도록 구성한 제진 장치에 있어서,
상기 클린 헤드의 길이 방향을 따라서 복수열의 에어 토출구를 슬릿 형상으로 개방시켜 단속적으로 형성하는 동시에, 각 열의 각 에어 토출구의 단부가 겹치도록, 상기 각 열의 에어 토출구를 지그재그 형상으로 배치한 것을 특징으로 하는, 제진 장치.
제1항에 있어서, 상기 에어 토출구와 평행시켜 상기 에어 토출구의 양측에 상기 흡기 챔버와 연통하는 복수열의 에어 흡입구를 지그재그 형상으로 배치한 것을 특징으로 하는, 제진 장치.
제1항에 있어서, 상기 에어 흡입구의 적어도 하단부 내측 테두리측에 난류를 발생시키는 오목부를 형성한 것을 특징으로 하는, 제진 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 급기 챔버 내에 양단부가 개방된 이너 관을 배치하는 동시에, 이 이너 관에 토출용 개구 구멍을 형성하여, 급기 수단으로부터 상기 급기 챔버 내로 압송된 에어는 그 에어량의 2/3가 이너 관으로, 나머지 1/3이 이너 관과 급기 챔버 사이로 각각 분리되어 유입되고, 또한 상기 이너 관에 유입된 에어의 절반이 토출용 개구 구멍을 통해 상기 급기 챔버 내로 방출되고, 나머지 절반이 이너 관의 타단부로부터 급기 챔버 내로 방출되고, 이들 에어와, 상기 급기 챔버 내로 직접 도입된 에어가 하나로 되어 상기 에어 토출구로부터 상기 피세정물을 향해 균일하게 분사되는 것을 특징으로 하는, 제진 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 각 흡기 챔버 내에 각각 양단부가 개방된 이너 관을 배치하는 동시에, 이 각 이너 관에 흡기용 개구 구멍을 형성하여, 흡기 수단에 의해 상기 흡기 챔버 내의 에어를 흡인할 때, 그 에어량의 2/3가 이너 관으로부터, 나머지 1/3이 이너 관과 흡기 챔버 사이로부터 각각 분리되어 흡인되고, 또한 상기 이너 관으로부터 흡인되는 에어의 절반이 상기 흡기용 개구 구멍을 통해 상기 이너 관 내로 흡인되고, 나머지 절반이 이너 관의 타단부로부터 흡인되는 것을 특징으로 하는, 제진 장치.