JP4948787B2

JP4948787B2 - 除塵装置

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Publication number: JP4948787B2
Application number: JP2005172120A
Authority: JP
Inventors: 健小森谷; 智明石野; 徹也田所; 真治溝下
Original assignee: Tonets Corp
Current assignee: Tonets Corp
Priority date: 2005-06-13
Filing date: 2005-06-13
Publication date: 2012-06-06
Anticipated expiration: 2025-06-13
Also published as: JP2006346515A

Description

本発明は、プレート（液晶基板用ガラス板、樹脂板、プリント基板等）あるいはウェブ（可撓性のフィルムや紙等）の製造ラインに設置される除塵装置に関し、特にノズルから噴射された高速気流で被清掃体表面に付着した塵埃を吹き飛ばす除塵装置に関する。

例えば、液晶基板などのプレート製造ラインにおいて、搬送されるプレート表面に塵埃が付着したまま後の工程に送られると、その塵埃が原因で不良品となる可能性があり、歩留りを悪化させる。そこでプレート搬送工程においてプレート表面をクリーニングして付着した塵埃を表面から取り除き、清浄な状態でプレートを後の工程に送ることが必要である。

この除塵装置としては、送りローラによって搬送されるプレートの上面側及び下面側に、スリット状の吹出しノズルをプレート幅方向に延設し、さらに吹出しノズルに、ブロアからの高圧エアが流入する給気チャンバを接続し、吹出しノズルを介して高速エアをプレート表面に吹き付け、プレート上に付着した塵埃を吹き飛ばすようにしたプレート清掃装置が既に知られている。（例えば特許文献１参照）。

しかしながら、このプレート清掃装置は、給気チャンバから吹出しノズルへの空気の流入過程で大きな圧力損失があり、吹出しノズルから吹き出したエアの勢いが弱くなるとともに、到達距離が短くなる。このため、塵埃の除去効率が低下する。また、ノズル長手方向（プレート幅方向）に沿った噴出圧力の分布ムラが生じやすくなって、均一で安定したクリーニング作用が得られない。

特公平４−６４３２号公報

本発明は、従来装置のこのような現状に鑑み、ノズルから吹き出したエアの勢いを強めて到達距離を伸ばし塵埃の除去効率を高めるとともに、ノズル長手方向全長にわたって安定した強い均一なエアを噴出してプレート全面をむらなく確実にクリーニング可能な除塵装置の提供を目的とする。

上記目的を達成するために、請求項１の発明は、クリーンルーム内に設置され、高圧エアが供給される給気チャンバと、被清掃体が搬送される搬送通路と、該搬送通路の搬送方向とほぼ直角な方向を長手方向として、該長手方向に沿って設けた、前記給気チャンバに連通するスリット状のノズルと、前記給気チャンバとノズル間を連通するエア通路とを有し、前記長手方向に沿って前記ノズルの両側面に吸込チャンバに連通する吸込口を設けた除塵装置において、前記エア通路は二枚の板体を相対向させ立設して形成され、該エア通路は長手方向に直角な断面において、前記給気チャンバ側の開口部、前記ノズル及び前記開口部と前記ノズルの間の３か所において内径を３段に渡って絞って前記ノズルに近づくほど内径が狭くなるように設け、各段部の内壁は先細のテーパ形状とし、該エア通路の各段部の間の内壁は平行となっていることを特徴とする除塵装置除塵装置を提供する。

請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記ノズルは、前記搬送通路の上下両側に設けられたことを特徴とする。

請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、前記吸込チャンバはその側面に形成された複数の連通孔を通して前記吸込口と連通し、該吸込チャンバに吸込ダクトが接続され、前記複数の連通孔は該吸込ダクトの接続口から遠いほど間隔が密に又は開口面積が大きく形成されたことを特徴とする。

請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれかの発明において、前記給気チャンバに給気ダクトが接続され、該給気ダクトの接続口から給気チャンバ内へのエア導入方向は、前記エア通路の開口部以外の方向であることを特徴とする。

請求項５の発明は、請求項４の発明において、クリーンルーム内に設置された除塵装置であって、前記給気ダクトは給気ブロアに接続され、前記吸込ダクトは前記給気ブロアより送風量が大きい還気ブロアに接続され、クリーンルーム内のエアを前記給気ブロアによりＨＥＰＡフィルタを介して前記給気チャンバに圧送し、前記吸込チャンバ内のエアを前記還気ブロアによりＨＥＰＡフィルタを介してクリーンルーム内に戻すことを特徴とする。

請求項１の発明によれば、給気チャンバとノズルとの間を連通するエア通路は、給気チャンバ側の開口部とノズルとの間で３段で縮流されるため、給気チャンバ内の高圧エアはノズルに向かうにつれて大きな圧力損失を伴うことなく徐々に整流されるとともに縮流されて圧力が高まり、吹出しノズル出口では高い噴射圧を確保することができる。このような３段縮流型の吹出しノズルを用いることにより、ノズルから被清掃体表面に向けて噴射されるエアの勢いが強くなり、塵埃の除去作用が高まる、また、噴出の勢いが強いため到達距離が長くなる。この結果、被清掃体表面に対する噴射エアの圧力分布がノズルの長手方向に沿って全体的に強くなるとともに均一化し、被清掃体の全表面にわたって安定してムラなく高い除去効率をもって塵埃を除去できる。

また、被清掃体面に対する垂直吹出しノズルの両側に吸込み口を設けたため、エアにより吹き飛ばされた塵埃粒子を周囲に飛散させることなく噴射したエアとともに効率よく吸引して処理できる。

請求項２の発明によれば、搬送通路に沿って搬送中の被清掃体に対し、上下両面を同時に効率よく清掃できる。

請求項３の発明によれば、吸込チャンバに設けた連通孔が吸込ダクトの接続口から遠いほど間隔が密に又は開口面積が大きく形成されるため、接続口に近い位置と遠い位置との間での吸込量が均一化し被清掃体の全面にわたって均一な除塵効果が得られる。

請求項４の発明によれば、給気ダクトの接続口から給気チャンバ内に吹き込まれる高圧エアは、その流入方向が直接ノズル方向に向かずに給気チャンバ内に一旦滞留した後開口部を通してノズルに流れる。従って、給気ブロアから圧送される給気の流速による動圧がノズルの一部に向って局部的に強くならず給気チャンバ内で動圧が抑えられ、チャンバ内が高い静圧となった均一な状態でノズルに向かって流れる。このため、ノズルからの噴出圧力が局部的に強くなることはなく、ノズル全長にわたって均一な勢いでエアが噴出され、被清掃体の全面にわたって均一な除塵効果が得られる。

請求項５の発明によれば、高圧の給気ブロアからＨＥＰＡフィルタを通して給気チャンバにクリーンエアが導入されノズルから高圧エアを吹き出すことにより高い除塵効率で被清掃体を清掃できる。また、吸込側に低圧、大風量の還気ブロアを設けたため、被清掃体面に噴射された高圧エアを塵埃粒子とともに周囲に飛散させることなく効率よく回収できる。

また、高圧給気ブロアと別に吸込側に大風量の低圧還気ブロアを設けて吸引したエアを一旦クリーンルーム内に戻すことにより、高圧給気ブロア側のエアの圧縮熱及びモータ排熱による吹出しエアの温度上昇を抑え被清掃体への熱的影響を最小限に抑えることができる。

以下、図面を参照して、本発明に係る装置の実施例を説明する。図１は、搬送される清掃対象（被清掃体）であるプレートの上下に清掃部を配置した除塵装置の気流系統図である。図１において、１はクリーンルーム、２はクリーンルーム１内に設置される除塵装置、Ｐは、清掃対象となる例えば液晶基板等のプレートである。搬送通路６０に沿って矢印Ａ方向に搬送されるプレートＰに対し、その上下に清掃部３、３’が対向して配置される。搬送通路６０はローラコンベア（不図示）からなり、プレート上下両面を同時に清掃可能である。清掃部３、３’はその配置を上下逆にしただけで基本的に同一構造ではあるが、相違点は後述する。

清掃部３、３’は、高速エアをプレートＰに対して吹き出し、プレートＰ上に付着している塵埃をそのプレート表面から剥離させるための高圧の吹出し部４と、塵埃と共にプレート周囲の空気を装置内に取り込むための負圧の吸込み部５から構成される。

クリーンルーム１内の空気を給気ブロア６から、給気ダクト７及びそこから分岐した給気ダクト７ａ，７ｂを介して上下の吹出し部４に圧送する。高圧エアは、給気ダクト７上に設けたＨＥＰＡフィルタ８によりクリーンエアの状態で両清掃部３、３’の吹出し部４に供給される。吹出し部４によりプレートＰに向かって噴射された高速エアは、プレートＰに付着した塵埃をその風圧で剥離させた後、塵埃と共に吸込み部５に吸い込まれる。吸込み部５は吸込ダクト９を介して還気ブロア１０に接続され、吸込み部５を負圧状態にして、プレートＰ周囲のエアを吸引する。給気ブロア６として、例えば高静圧リングブロア（商品名）を用い、ノズル圧力を高めて微細ダストの除去効率の向上を図る。還気ブロア１０としては、低消費電力で効率よく運転可能な低圧ターボブロアを用いる。尚、１１は吸引された空気より塵埃を除去するプレフィルタ、１２は同様にクリーンルーム１に空気を放出するにあたり、さらに細かい微粒子を除去するためのＨＥＰＡフィルタである。この除塵装置２は、吹出・吸引側夫々にブロア６、１０を備えたオールフレッシュタイプである。

図２は、図１の清掃部３、３’の構造を示す断面図である。以下、上側の清掃部３について説明するが、下側の清掃部３’についても同様である。各清掃部３、３’に共通な構成要素は同一番号を付す。

分岐した給気ダクト７ａは、長箱状の給気チャンバ１３に接続される。給気チャンバ１３は、図２の紙面と垂直を成すプレート幅方向（搬送方向とほぼ直角な方向）を長手方向として延設される。
給気チャンバ１３の下面に開口部１４が形成される。この開口部１４の下側にエア通路１５が形成される。エア通路１５の下端にノズル１６が備わる。ノズル１６は清掃対象のプレート幅方向を長手方向としてスリット状に形成される。エア通路１５も同様にプレート幅方向を長手方向として延設される（図はエア通路１５の長手方向に直角な断面形状を示している）。なお、このエア通路１５及びその先端部のノズル１６の長手方向は、搬送方向と完全に直角な方向でなくてもよく、幾分斜めに設けてもよい。

エア通路１５は、図２及び図３の断面図で示されるように、長手方向とほぼ直角な方向（プレート搬送方向）の幅寸法（間隔）が一定となる等間隔部１７ａ，１７ｂを介してノズル１６の部分を含めると３段階で縮流される。ノズル１６とこれに連続する等間隔部１７ｂの間、等間隔部１７ａと１７ｂの間及び等間隔部１７ｂと給気チャンバ１３の間（エア通路１５の開口部１４）には、エア通路幅を徐々に狭めて縮流し圧力損失を抑えるためのテーパ部１８が形成される。ノズル１６の噴射方向はプレートＰの表面に対し垂直である。ノズル１６の長手方向に沿って、両側に吸込口１９が形成される。給気チャンバ１３の両側に吸込チャンバ２０が備わる。吸込口１９は、吸込チャンバ２０の側面に設けた連通孔２１を通して吸込チャンバ２０と連通する。吸込チャンバ２０の長手方向両端部に前述（図１）の吸込ダクト９が接続される。連通孔２１は前記長手方向に沿って複数個形成され、後述（図４参照）のように、吸込ダクトの接続口（吸込チャンバ２０の両端面）から遠いほど（すなわち、中央部に近いほど）間隔が密に形成される。尚、図中ＲはプレートＰを搬送するローラであり、図示しない駆動手段によって回転される。

図３は、エア通路周囲の拡大図である。矢印Ｂは、給気チャンバ１３から開口部１４を通してノズル１６へと流れる高速エアの吹出し方向である。矢印Ｃは前記長手方向に直角なエア通路幅方向を示す。

給気チャンバ１３は、開口部１４のテーパ部１８を介して１段目の等間隔部１７ａと連通する。１段目の等間隔部１７ａは、テーパ部１８を介して２段目の等間隔部１７ｂと連通する。２段目の等間隔部１７ｂは、テーパ部１８を介してノズル１６と連通する。

図４は、プレート搬送方向から見た除塵装置の断面図であり、図２のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面を示す。矢印ＤはプレートＰの幅方向を示す。

プレートＰの上側の給気チャンバ１３に対し、その両端面に給気ダクト７ａが接続される。この給気チャンバ１３の両端面の接続口２２からの給気流出方向は水平方向である。したがって、給気ダクト７ａから導入される給気は、直接チャンバ下面のノズル１６に連通する開口部１４に向かうことはない。したがって、給気ダクト７ａから噴出する動圧の大きい給気がそのままノズルに達して局部的にノズルの噴出圧力を強くすることはない。

一方、プレートＰの下側の給気チャンバ１３に対しては、給気ダクト７ｂは給気チャンバ１３の端部下面からチャンバ内部に導入される。これは、チャンバ両端部外側でのダクト同士の干渉を避けるためである。給気チャンバ内に導入された各給気ダクト７ｂの端部は内側に屈曲したエルボダクトである。したがって、この給気ダクト７ｂからチャンバ内に供給される給気は、上記上側の給気ダクト７ａと同様に、直接チャンバ上面のノズル１６に連通する開口部１４に向かうことはない。

吸込チャンバ２０（図２参照）の両端面に吸込ダクト９が接続される。吸込みチャンバ２０の側面には、プレート幅方向Ｄに沿って多数の連通孔２１が形成される。これらの連通孔２１は、チャンバ両端面の吸込ダクト９の接続口２３から離れるにしたがって、すなわち中央部に近いほど、間隔が密に形成される。これにより、プレート幅方向全体にわたって均一な吸込力が得られる。なお、このように接続口２３から離れるにしたがって間隔を密に形成する構造に代えて、接続口２３から離れるにしたがって連通孔２１の開口面積を大きくしてもよい。

図５は、除塵装置における給気チャンバ１３の端部近傍の外観斜視図であり、上述した給気ダクト７ａ、７ｂの位置関係を示している。

上記図４で説明したとおり、プレートＰの上下の給気チャンバ１３，１３には、それぞれその両端部に給気ダクト７ａ，７ｂが接続される。上側の給気チャンバ１３には給気ダクト７ａがチャンバ端面に接続される。下側の給気チャンバ１３には給気ダクト７ｂがチャンバ下面から内部に導入され接続される。各給気チャンバ１３の両側には吸込チャンバ２０が設けられる。各吸込みチャンバ２０の給気チャンバ側の側面に複数の連通孔２１が形成される。連通孔２１は、前述のように吸込チャンバ２０の端面から中央に向かうほど間隔が密に形成される。

図６は本発明の別の実施形態の図１に対応する全体系統図である。
この例は、１台の循環ブロア６２により高圧エアが給気ダクト７及び吸込ダクト９内を循環するクローズドタイプの除塵装置である。尚、本図において、図１と同様な構成要素は同一番号を付す。このクローズドタイプでは吸込み側のブロアが省略され、清掃部３、３’の吸込み部５に接続された吸込ダクト９は、循環ブロア６２の吸込側にそのまま接続される。給気の一部は、ＨＥＰＡフィルタ８の下流側で、給気ダクト７から分岐した開放ダクト７ｃ上の吸込量調整弁６１を介してクリーンルーム１内に放出される。これにより、プレートＰの上下両面において、給気量より吸込量が大きくなる。したがって、プレートＰに噴射された高速エア及び除去された塵埃が周囲に飛散することなく吸込側に吸引される。循環ブロア６２は、図１の給気ブロア６と同じ高静圧給気ブロアである。

図７は本発明のさらに別の実施形態の図１に対応する全体系統図である。
この例は、１台の循環ブロア６３により、エアが給気ダクト７及び吸込ダクト９内を循環するクローズドタイプの除塵装置である。循環ブロア６３は、図１の還気ブロア１０と同じ低圧ターボブロアである。

この例では、２個のノズル６４を備え、ノズル同士を相互に斜め内側に向けて斜め方向からプレートＰ上に高速エアを吹きつけるとともに、両ノズル６４，６４の間に吸込口６５を設けて吸込ダクト９に連通させている。ノズル６４は、前述の図２、図３で説明したとおり、複数段の等間隔部及びテーパ部からなる多段縮流型のノズルである。また、吹出し部４や吸込み部５を構成する給気チャンバ及び吸い込みチャンバの構成についても、前述の図４及び図５のものと同様である。

図８は本発明のさらに別の実施形態の要部構成図である。
この例は、清掃対象として可撓性の連続帯状材からなるウェブ材に対し本発明の除塵装置を適用したものである。プラスチックフィルムあるいは紙材等のウェブ材６７がドラム６６の円弧外表面の搬送通路に沿って矢印Ｅのように搬送される。ドラム６６の上側に本発明の除塵装置２が備わり、ウェブ材６７の上面から塵埃を除去する。除塵装置２の構成は、前述の例と同様である。すなわち、多段縮流型のノズル１６から高速エアを吹出し、ノズル両側の吸込口１９，１９から吹出したエア及び周囲のエアとともに塵埃粒子を吸引にして吸込チャンバ２０に送る。

図９は本発明に係る多段縮流ノズルの圧力測定試験の結果を示す。試験体のノズルは、長手方向の長さ（スリット長）が７００ｍｍで、（１）縮流なしノズル及び（２）１段縮流ノズルを比較例とし、（３）３段縮流ノズルを本発明の実施例として測定した。

試験方法は、各試験体（１）（２）（３）のノズル出口部（距離０ｍｍ）の圧力を揃え（１１．１ｋＰａ）、ノズルから吹出されたエアの動圧をピトー管で測定した。各試験体についてノズルからの距離１．５ｍｍ及び３ｍｍにおける動圧を測定した。各試験体のノズル長手方向においてａ，ｂ，ｃの３箇所で測定した。

（Ａ）は３ヶ所の測定結果の表であり、（Ｂ）はその平均値の表である。（Ｃ）は（Ｂ）をグラフ化したものである。（Ａ）から分かるように、（３）の実施例は（１）（２）の比較例に比べ３箇所の測定位置ａ，ｂ，ｃについて圧力分布が均一化している。

（Ｂ）及び（Ｃ）から分かるように、（３）の３段縮流とすることにより、ノズルからの距離が１．５ｍｍ及び３ｍｍのいずれの場合についても、（１）の縮流なし及び（２）の１段縮流に比べ圧力が高いことが確認できた。これにより、３段縮流のノズルは到達距離が長くなることが分かる。すなわち、（Ｃ）に示すように、縦軸の動圧をある一定に揃えて、横軸のノズルからの距離（到達距離）についてみると、（３）３段縮流が（２）１段縮流及び（１）縮流なしよりも長いことが分かる。

図１０は本発明に係る多段縮流ノズルの除塵試験の結果を示す。
試験方向は、予め純水で洗浄したガラス素基板上に粒径５μｍのガラスビーズを散布し、ノズルによる素基板のクリーニングの前後でのビーズの数をカウントして除去率を算出する。これを（１）従来型ノズルと（２）本発明ノズルについて行って比較した。従来型ノズル（１）は、１段縮流ノズルであり、このノズルを図７に示すように、基板面中央に対し斜め方向両側に設け、中央の吸込口からエアを吸引する構成である。本発明ノズル（２）は、３段縮流ノズルであり、このノズルを図１に示すように、基板面中央に対し垂直に設け、その両側からエアを吸引する構成である。

まず、ガラスビーズ散布前の素基板上にあるガラスビーズに相当する傷等の数ａをカウントする。これは、素基板上の一定範囲を画像検査装置で検査することにより行う。

その後、素基板上にガラスビーズを散布する。そして散布したガラスビーズ数ｂを画像検査装置でカウントする。
その後、ガラスビーズを散布した基板をクリーンルーム内に１０時間放置する。その後、ノズルからエアを吹付けて基板面をクリーニングする。そして、クリーニング後の基板面上のガラスビーズ数ｃを画像検査装置でカウントする。

ビーズ除去率Ｑは以下の式で表される。
Ｑ＝｛１−（ｃ−ａ）／（ｂ−ａ）｝×１００

（Ａ）は測定結果を示す。この測定結果は、多数回行った試験の代表的な測定結果である。この測定条件は、吹出圧力が６．０ｋＰａで、ノズルと基板間の距離が３．０ｍｍである。表から分かるように、本発明ノズルは従来型ノズルに比べ除去率Ｑが向上している。

（Ｂ）は（Ａ）と同じ測定条件で多数回行った試験結果の平均値のグラフである。グラフが示すように、ビーズ散布直後及びビーズ散布１０時間後いずれの場合も、本発明ノズル（２）の除去率が高い。

（Ｃ）は本発明ノズル（２）の測定条件を吹出圧力１２ｋＰａ、ノズル‐基板間距離１．５ｍｍとしたときの測定結果である。本発明の多段縮流ノズルは、ノズル全長に沿って圧力分布が均一で安定してムラなくエアを噴出できるため、従来型ノズルではできない高圧まで吹出圧力を高められる。そこで本発明の３段縮流ノズルを用いて吹出圧力を１２ｋＰａにするとともに、ノズル−基板間距離を１．５ｍｍとして除塵試験を行った。その結果が（Ｃ）である。なお、従来型ノズルの測定条件は（Ａ）（Ｂ）ともに同じである。

グラフから分かるように、本発明ノズル（２）によれば、ビーズ散布直後及びビーズ散布１０時間後ともに非常に高い除去率が得られる。通常は、従来型ノズルの測定結果に示されるように、ビーズ散布後１０時間後には除去率が大きく低下する。これは、時間経過とともに、ビーズが大気中の水分や油分を吸収し、基板との密着性が高くなって除去しにくくなるためである。しかし、本発明の多段縮流ノズルを用いれば、吹出圧力を高められるため、基板に付着してから長時間経過した塵埃や微粒子であっても、高い除去率で確実に除去することができる。

本発明の利用例として、除塵装置以外にも、噴射される流体に高い噴射圧と指向性が要求されるような流体噴射装置の噴射ノズルに対しても適用できる。

本発明による除塵装置の気流系統図。図１の除塵装置の構造を示す部分的断面図。除塵装置の吹出しノズル周囲の部分拡大断面図。図２のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図。除塵装置の吹出しダクトの端部断面を含む外観斜視図。本発明による除塵装置の別の実施形態の気流系統図。本発明による除塵装置のさらに別の実施形態の気流系統図。本発明による除塵装置のさらに別の実施形態の気流系統図。本発明に係る除塵装置の圧力試験結果の図。本発明に係る除塵装置の除塵試験結果の図。

符号の説明

１：クリーンルーム、２：除塵装置、３，３’：清掃部、４：吹出し部、５：吸込み部、６：給気ブロア、７，７ａ，７ｂ：給気ダクト、７ｃ：開放ダクト、８：ＨＥＰＡフィルタ、９：吸込ダクト、１０：還気ブロア、１１：プレフィルタ、１２：ＨＥＰＡフィルタ、１３：給気チャンバ、１４：開口部、１５：エア通路、１６：ノズル、１７ａ，１７ｂ：等間隔部、１８：テーパ部、１９：吸込口、２０：吸込チャンバ、２１：連通孔、２２，２３：接続口、６０：搬送通路、６１：吸込量調整弁、６２，６３：循環ブロア、６４：ノズル、６５：吸込口、Ｐ：プレート、Ｒ：ローラ。

Claims

クリーンルーム内に設置され、
高圧エアが供給される給気チャンバと、被清掃体が搬送される搬送通路と、該搬送通路の搬送方向とほぼ直角な方向を長手方向として、該長手方向に沿って設けた、前記給気チャンバに連通するスリット状のノズルと、前記給気チャンバとノズル間を連通するエア通路とを有し、前記長手方向に沿って前記ノズルの両側面に吸込チャンバに連通する吸込口を設けた除塵装置において、
前記エア通路は二枚の板体を相対向させ立設して形成され、該エア通路は長手方向に直角な断面において、前記給気チャンバ側の開口部、前記ノズル及び前記開口部と前記ノズルの間の３か所において内径を３段に渡って絞って前記ノズルに近づくほど内径が狭くなるように設け、各段部の内壁は先細のテーパ形状とし、該エア通路の各段部の間の内壁は平行となっていることを特徴とする除塵装置。
前記ノズルは、前記搬送通路の上下両側に設けられたことを特徴とする請求項１に記載の除塵装置。
前記吸込チャンバはその側面に形成された複数の連通孔を通して前記吸込口と連通し、該吸込チャンバに吸込ダクトが接続され、前記複数の連通孔は該吸込ダクトの接続口から遠いほど間隔が密に又は開口面積が大きく形成されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の除塵装置。
前記給気チャンバに給気ダクトが接続され、該給気ダクトの接続口から給気チャンバ内へのエア導入方向は、前記エア通路の開口部以外の方向であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の除塵装置。
クリーンルーム内に設置された除塵装置であって、前記給気ダクトは給気ブロアに接続され、前記吸込ダクトは前記給気ブロアより送風量が大きい還気ブロアに接続され、クリーンルーム内のエアを前記給気ブロアによりＨＥＰＡフィルタを介して前記給気チャンバに圧送し、前記吸込チャンバ内のエアを前記還気ブロアによりＨＥＰＡフィルタを介してクリーンルーム内に戻すことを特徴とする請求項４に記載の除塵装置。