JP6420967B2 - 異物除去装置 - Google Patents

Description

本発明は、基板などの被清掃体に付着している異物を当該被清掃体にエアを吹き付けて除去する異物除去装置に関する。

回路パターンが印刷形成されたプリント基板、ディスプレイ装置等に用いられるガラス基板、樹脂基板および金属板などの各種基板を搬送しながら、当該基板の表裏面に付着している塵埃や水滴などの異物を高圧のエアで除去する装置が提供されている。

特許文献１および特許文献２には、搬送ローラによって搬送される基板の上下に正対して配置された吹出ノズルからエアを吹き出し、基板に付着している塵埃を吹き払って除去する除塵装置や基板処理装置（以下、異物除去装置という）が記載されている。これらの異物除去装置においては、吹出ノズルに対して搬送方向の前後に吸込ノズルが配置されており、除去された塵埃はエアとともに吸入および排出される。吸込ノズルでエアを吸引することにより、吹出ノズルから吸込ノズルに向かうエアの流れが発生し、ベンチュリ効果によって基板が吸込ノズルに引き寄せられる。基板の下側に配置された吸込ノズルの吸引圧を上側の吸込ノズルに比べて大きくしておくことで、基板の下側においてベンチュリ効果がより大きく発生するため基板は搬送ローラに密着して搬送される。

特許文献１および特許文献２における吹出ノズルは細長いスリット形状をなし、高圧のエア噴出室から供給されるエアはカーテンのように薄い面状に吹き出される。これらの吹出ノズルのスリット方向は、基板の搬送方向に対して斜めに傾斜している。これにより、搬送される基板が吹出ノズルに差し掛かると、面状のエアは基板の前端のコーナー部にまず吹き付けられ、そして基板の前進に伴って徐々に基板の幅全体に対してエアが吹き付けられることとなる。このため、特許文献１および特許文献２によれば、基板に対してエアが急激に吹き付けられることが緩和されて基板のばたつきが抑制されるとされている。

特開２００７−０１４８４６号公報 特開２０１３−０７８７０１号公報

近年、ディスプレイ装置の薄型化や高密度化が益々進み、これに伴って各種基板などの被清掃体も薄型化やフレキシブル化が進んでいる。このため、このように可撓性が大きい被清掃体から異物を除去するにあたり、被清掃体のばたつきの問題が更に顕著になっている。

特許文献１および特許文献２の異物除去装置は、吹出ノズルのスリット方向が基板の搬送方向に対して斜めに傾斜していることで基板のばたつきをある程度抑制できるものの、その効果は十分ではなかった。なぜならば、基板を挟んで上下対称に正対して対向配置された一対の吹出ノズルから薄い矩形の面状に吹き出されるエアが、この面の一辺の全長に亘って互いに衝突して激しい乱流を発生させるとともに、その衝突条件が極めて不安定なためである。すなわち、吹き出されるエアは薄い面状であるため、吹出ノズルに供給される高圧のエアの僅かな乱れや吹き出されたエアに作用する微小な擾乱などによって衝突状態が容易に変動する。そして、一方のエアの吹き出し方向が搬送方向の前後どちらかに僅かでも変位すると、対向する他方の面状のエアに対して一辺同士がオフセット衝突することとなり乱流状態が大きく変化する。搬送される基板は、かかる乱流に進入して表裏面にエアが吹き付けられるため、基板に作用するエアの付勢力が不安定に変動し、特に吹き付けの開始時点で基板が大きくかつ不測にばたつくこととなる。基板がばたつくと、搬送装置や各種ノズルと干渉して基板が損傷する虞があるほか、吸込ノズルに近づいて基板が吸着されることで吸込ノズルを閉塞し、塵埃の排出を妨げるため問題となる。

かかる問題を抑制するためには、下側の吸込ノズルの吸引圧を高めて、基板を搬送ローラに対してより強く密着させることも考えられる。しかしながら、かかる方法では、基板が吹出ノズルに差し掛かる前に、その手前側にある吸込ノズルに吸着されてこれを閉塞するとともに基板が撓み変形して損傷する虞がある。また、吸引圧が高まることで基板が搬送ローラに強く押し付けられるため基板を高速搬送することが困難となるほか、吸引圧を生成するための吸引ポンプの消費電力が増大するという問題も生じる。

本発明は上述のような課題に鑑みてなされたものであり、被清掃体の可撓性が大きい場合でも、当該被清掃体のばたつきを抑制して異物をエアで除去することが可能な異物除去装置を提供するものである。

本発明によれば、被清掃体に付着している異物を前記被清掃体にエアを吹き付けて除去する異物除去装置であって、前記被清掃体を搬送する搬送路の上方および下方にそれぞれ設けられて前記搬送路に向けて面状にエアを吹き出すスリット形状の一対の吹出ノズルを備え、前記搬送路の幅方向に対する一対の前記スリット形状の前記吹出ノズルの延在方向が互いに異なるとともに、前記吹出ノズルからそれぞれ吹き出される面状の前記エアが前記搬送路において互いに交差することを特徴とする異物除去装置が提供される。

上記発明によれば、搬送路の上方および下方にそれぞれ設けられた吹出ノズルのスリット方向が互いに異なるため、面状に吹き出されるエアの一辺同士が全長に亘って衝突することがなく、エアの状態が変動しても被清掃体に作用するエアの付勢力が不安定に変動することがない。そして、面状のエアが搬送路において互いに交差するため、その交点において被清掃体を上下からエアで挟持して押さえることができる。

本発明の異物除去装置によれば、被清掃体の可撓性が大きい場合でも、当該被清掃体のばたつきを抑制して異物をエアで除去することができる。

（ａ）は本発明の第一実施形態の異物除去装置における上部ノズルユニットを示す底面図であり、（ｂ）は第一実施形態の異物除去装置における下部ノズルユニットおよび搬送手段を示す平面図である。 下部ノズルユニットおよび搬送手段の一部を示す平面図である。 吹出ノズルから搬送路に向けてエアが吹き出される様子を示す模式図である。 図１（ｂ）のＶＩ−ＶＩ線断面図であり、異物除去装置を搬送方向に切った断面模式図である。 （ａ）は本発明の第二実施形態の下部ノズルユニットの平面図であり、（ｂ）は第二実施形態の吹出ノズルから搬送路に向けてエアが吹き出される様子を示す模式図である。 （ａ）は本発明の第三実施形態の下部ノズルユニットの平面図であり、（ｂ）は第三実施形態の吹出ノズルから搬送路に向けてエアが吹き出される様子を示す模式図である。 （ａ）は本発明の第四実施形態の下部ノズルユニットの平面図であり、（ｂ）は第四実施形態の吹出ノズルから搬送路に向けてエアが吹き出される様子を示す模式図である。 本発明の第五実施形態の異物除去装置および搬送手段の断面模式図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、すべての図面において、同様の構成要素には同様の符号を付し、重複する説明は適宜省略する。なお、本明細書では、図示するように前後左右上下の方向を規定して説明する。しかし、これは構成要素の相対関係を説明するために便宜的に規定するものであり、本発明にかかる製品の製造時や使用時の方向を必ずしも限定するものではない。

図１（ａ）は、本発明の第一実施形態の異物除去装置１００における上部ノズルユニット７０を示す底面図である。図１（ｂ）は、本実施形態の異物除去装置１００における下部ノズルユニット８０および搬送手段１０を示す平面図である。搬送手段１０の搬送方向を前後方向と呼称し、搬送路２０の面直方向を上下方向と呼称する。そして、前後方向および上下方向に対してともに直交する方向を左右方向と呼称する。図１（ａ）は上部ノズルユニット７０を下方から仰視した底面図であり、図１（ｂ）は下部ノズルユニット８０を上方から俯瞰した平面図である。上部ノズルユニット７０と下部ノズルユニット８０とは、図１各図で示される各方向を互いに一致させ、吹出ノズル３０ａと吹出ノズル３０ｂとを対面させて用いられる。
図２は、下部ノズルユニット８０および搬送手段１０の一部を示す平面図である。説明のため、上部ノズルユニット７０（図１（ａ）参照）における吹出ノズル３０ａを下部ノズルユニット８０に投影した形状を二点鎖線で示す。また、吹出ノズル３０ａ、３０ｂの形状を説明するため、下部ノズルユニット８０の縦横比を図１（ｂ）と相違させて前後寸法を強調して図示している。
図３は、吹出ノズル３０ａ、３０ｂから搬送路２０に向けてエア９０、９１が吹き出される様子を示す模式図である。上部ノズルユニット７０の下方斜視図と下部ノズルユニット８０および被清掃体である基板Ｂの上方斜視図とを遠近表示してある。紙面奥行方向が基板Ｂの幅方向である。
図４は、図１（ｂ）のＶＩ−ＶＩ線断面図であり、異物除去装置１００を搬送方向に切った断面模式図である。説明のため、図１（ｂ）では基板Ｂが下部ノズルユニット８０まで至っておらず後方に位置している状態を示し、図４では基板Ｂが下部ノズルユニット８０よりも前方まで搬送されている状態を示している。

はじめに、本実施形態の概要について説明する。

図１および図４に示すように、本実施形態の異物除去装置１００は、被清掃体（基板Ｂ）に付着している異物（図示せず）を、当該被清掃体（基板Ｂ）にエア９０、９１を吹き付けて除去する装置である。異物除去装置１００は吹出ノズル３０ａ、３０ｂを備え、搬送手段１０とともに用いられる。搬送手段１０は、被清掃体（基板Ｂ）を搬送する搬送路２０を有している。図３に示すように、一対の吹出ノズル３０ａ、３０ｂは、ともにスリット形状をなし、搬送路２０の上方および下方にそれぞれ設けられて搬送路２０に向けて面状にエア９０、９１を吹き出す。一対の吹出ノズル３０ａ、３０ｂのスリット方向は互いに異なるとともに、吹出ノズル３０ａ、３０ｂからそれぞれ吹き出される面状のエア９０、９１は、搬送路２０において互いに交差することを特徴とする。

次に、本実施形態について詳細に説明する。

異物除去装置１００は、被清掃体に対して気流を吹き付けることにより、当該被清掃体に付着している異物を除去するエア式のクリーナーである。被清掃体に吹き付けられる気流は、乾燥エアでもよく、または水などの液体の粒子がエアに混合したミストでもよい。

異物除去装置１００によりクリーニングされる被清掃体としては各種基板やシート、フィルム、紙、布などの薄手の部材を広く例示することができる。基板としては、回路パターンが印刷形成されたプリント基板、ディスプレイ装置等に用いられるガラス基板、樹脂基板および金属板などを挙げることができる。本明細書では、シート状、フィルム状および板（プレート）状を区別せず、シート状と総称する。以下、本実施形態では被清掃体としてシート状の基板Ｂを例示する。基板Ｂは平坦でもよく、または基板Ｂには凹部が形成されていてもよく、または回路部品や治具などの凸状物品が基板Ｂの上面に設けられていてもよい。

異物除去装置１００は、被清掃体（基板Ｂ）を搬送する搬送手段１０とともに用いられる。異物除去装置１００は、搬送手段１０に組み込まれて一体に設けられてもよく、または既存の搬送手段１０に対して後付けで装着可能に構成されてもよい。搬送手段１０の構造は特に限定されないが、本実施形態では搬送ローラ１４、１５により異物除去装置１００の前後方向に基板Ｂを搬送する搬送手段１０を例示する。具体的には、本実施形態の異物除去装置１００とともに用いられる搬送手段１０は、搬送方向に並べて配置された複数本の搬送シャフト１２（１２ａから１２ｊ）を有している。個々の搬送シャフト１２は、搬送路２０の幅方向に延在している。搬送シャフト１２ａ〜１２ｊは同一方向に回転駆動される。

搬送シャフト１２ａ〜１２ｃおよび１２ｈ〜１２ｊの周囲には、大径のフランジ部１３がそれぞれ複数箇所に形成されている。フランジ部１３の周囲には搬送ローラ１４が装着されている。また、搬送シャフト１２ｄ〜１２ｇの周囲には、それぞれ複数個の搬送ローラ１５が装着されている。搬送ローラ１４、１５はゴムなどの高摩擦材料からなり、搬送シャフト１２ａ〜１２ｊと一体に軸回転する。搬送シャフト１２ａ〜１２ｊは、図４において時計回りに軸回転する。搬送手段１０は、搬送ローラ１４、１５に載置された基板Ｂを、図１（ｂ）および図４に白抜矢印で示す搬送方向（前方）に搬送する。搬送路２０は、多数の搬送ローラ１４、１５の各上端に接する帯状の仮想平面である。本実施形態の異物除去装置１００における搬送路２０は直線方向であるが、本発明はこれに限られない。搬送路２０の一部または全部が湾曲していてもよい。搬送手段１０の搬送方向とは基板Ｂの移動方向であり、搬送路２０が湾曲している場合には搬送方向も搬送路２０に沿う湾曲方向となる。搬送シャフト１２は回転方向を正逆方向に反転可能としてもよい。搬送シャフト１２を逆回転させた場合は、搬送方向および前後方向は反転する。

搬送シャフト１２ｄ〜１２ｇは下部ノズルユニット８０の形成領域の内部に配置されている。搬送シャフト１２ａ〜１２ｃおよび搬送シャフト１２ｈ〜１２ｊは、下部ノズルユニット８０の形成領域よりも前後方向の外部に配置されている。すなわち、本実施形態の異物除去装置１００は、搬送手段１０の搬送路２０に組み込まれて一体に設けられている。搬送シャフト１２ｄ〜１２ｇに装着された搬送ローラ１５の外径は、搬送シャフト１２ａ〜１２ｃおよび搬送シャフト１２ｈ〜１２ｊの周囲に装着された搬送ローラ１４の外径よりも小径である。搬送ローラ１４、１５は、搬送シャフト１２に対して、それぞれ奇数個ずつ左右対称に装着されている。本実施形態の搬送ローラ１４、１５は搬送シャフト１２に沿って等間隔に配置されている。これにより、搬送シャフト１２の軸方向の中央に搬送ローラ１４、１５が配置されることとなる。搬送シャフト１２ｄ〜１２ｇは、搬送シャフト１２ａ〜１２ｃおよび搬送シャフト１２ｈ〜１２ｊよりも高速で回転し、搬送ローラ１５の接線方向速度は搬送ローラ１４と同速である。これにより、搬送シャフト１２ａ〜１２ｊに亘って基板Ｂの搬送速度は一定となる。なお、第五実施形態（図８参照）にて後述するように、搬送手段１０は搬送シャフト１２（１２ａ〜１２ｃおよび１２ｈ〜１２ｊ）を備えていなくてもよく、異物除去装置１００を既存の搬送手段１０に対して後付けで設置してもよい。

基板Ｂは、異物除去装置１００の前後寸法よりも長い長尺形状でもよく、または異物除去装置１００の前後寸法よりも短い短尺形状でもよい。異物除去装置１００は、基板Ｂを連続的に、または枚葉式に搬送して異物を除去する。基板Ｂから除去される異物としては、粒子状や薄片状などの塵埃のほか、水滴などの液滴を挙げることができる。本実施形態の異物除去装置１００は、特に、固体の塵埃の除塵に好適に用いられる。

図１（ｂ）に示すように、基板Ｂには回路パターンなどのワーク領域Ｗが幅方向（左右方向）に並んで２箇所に形成されて二面付けされている。説明のため、ワーク領域Ｗにハッチングを付す。基板Ｂの幅中央には非ワーク領域ＮＷが設けられ、搬送シャフト１２の中央に配置された搬送ローラ１４、１５が非ワーク領域ＮＷを下方支持する。

下部ノズルユニット８０は、搬送シャフト１２ｄ〜１２ｇと、搬送路２０の下方から基板Ｂに向ってエア９１を吹き出す吹出ノズル３０ｂとを備えている。吹出ノズル３０ｂには、雰囲気圧（大気圧）よりも高圧の気体を貯留する下部高圧室８４が連通している。下部高圧室８４にはブロワやコンプレッサ（図示せず）が接続されて高圧の気体が供給される。本実施形態では、下部高圧室８４に空気を貯留してエア９１として吹き出すことを例示するが、これに代えて窒素ガスなどの不活性ガスを下部高圧室８４に貯留して吹出ノズル３０ｂから吹き出してもよい。

下部高圧室８４は、前後方向に対向する一対の平行なノズル平板８５ａ、８５ｂにより構成されている。ノズル平板８５ａ、８５ｂの対向間隔は段差部８６で縮小している。段差部８６にはスリット部８７が連通しており、スリット部８７の上端には吹出ノズル３０ｂが形成されている。本実施形態のスリット部８７および吹出ノズル３０ｂは、図１に示すように平面視でＶ字状をなしている。Ｖ字状のスリット幅は、スリット部８７よりも吹出ノズル３０ｂにおいてより小さくなっている。これにより、下部高圧室８４に供給された高圧空気は段差部８６、スリット部８７および吹出ノズル３０ｂで段階的に縮流および加速されて、Ｖ字状の面状のエアカーテンとなってエア９１として上向きに吹き出される。

なお、本明細書においてエア９０、９１が面状であるとは、吹出ノズル３０ａ、３０ｂのスリット形状の延在長さに比べてエア９０、９１の厚み寸法が十分に小さいことをいう。ここでいう面状とは平面状と曲面状とを含む。吹出ノズル３０ａ、３０ｂから吹き出されたエア９０、９１は、拡散して厚み寸法が増大してもよい。

下部ノズルユニット８０は、基板Ｂから除去された異物を含むエア９１を吸い込む吸引口８２を更に備えている。吸引口８２は、吹出ノズル３０ｂに対して搬送方向の前方および後方にそれぞれ設けられている。吸引口８２には下部吸気室８８がそれぞれ連通している。下部吸気室８８にはブロワや減圧ポンプ（図示せず）が接続され、下部吸気室８８は雰囲気圧よりも低圧に減圧される。

本実施形態の吸引口８２は、吹出ノズル３０ｂの前後に隣接する搬送シャフト１２ｅ、１２ｆの各両側に沿って設けられている。吸引口８２に関しては図２を用いて後述する。

吹出ノズル３０ｂから搬送路２０に向って上向きに吹き出されたエア９１は、搬送路２０に基板Ｂが載置されていない場合は搬送路２０を通過して上部ノズルユニット７０に衝突する。搬送路２０に基板Ｂが載置されている場合、吹出ノズル３０ｂから吹き出されたエア９１は基板Ｂの下面に衝突して気流方向を前方または後方に転向させ、吸引口８２より吸引される。これにより、吹出ノズル３０ｂから吸引口８２に向かうエア９１の定常的な流れが形成され、ベンチュリ効果により基板Ｂは下方に引き寄せられて搬送ローラ１４、１５に密着して搬送される。

上部ノズルユニット７０は、下部ノズルユニット８０と上下略対称の構造を有している。上部ノズルユニット７０は、搬送シャフト１２ｄ〜１２ｇとそれぞれ対向する４本のローラシャフト７２と、搬送路２０の上方から基板Ｂに向ってエア９０を吹き出す吹出ノズル３０ａとを備えている。吹出ノズル３０ａには、雰囲気圧（大気圧）よりも高圧の気体を貯留する上部高圧室７４が連通している。上部高圧室７４にはブロワまたはコンプレッサ（図示せず）が接続されて高圧の気体が供給される。下部高圧室８４に接続されるブロワまたはコンプレッサと、上部高圧室７４に接続されるブロワまたはコンプレッサとは共用してもよい。

上部高圧室７４は、前後方向に対向する一対の平行なノズル平板７５ａ、７５ｂにより構成されており、ノズル平板７５ａ、７５ｂの対向間隔は段差部７６で縮小している。段差部７６にはスリット部７７が連通しており、スリット部７７の下端には吹出ノズル３０ａが形成されている。スリット部７７および吹出ノズル３０ａの形状は、搬送路２０に関して、下部ノズルユニット８０のスリット部８７および吹出ノズル３０ｂと鏡面対称である。上部高圧室７４に供給された高圧空気は段差部７６、スリット部７７および吹出ノズル３０ａで段階的に縮流および加速されて、Ｖ字状の面状のエアカーテンとなってエア９０として下向きに吹き出される。

吹出ノズル３０ａに対して搬送方向の前後には、基板Ｂから除去された異物を含むエア９０を吸い込む吸引口７８が設けられている。吸引口７８には上部吸気室７９がそれぞれ連通しており、上部吸気室７９にはブロワまたは減圧ポンプ（図示せず）が接続されて雰囲気圧よりも低圧に減圧される。吹出ノズル３０ａから搬送路２０に向って下向きに吹き出されたエア９０は、搬送路２０に基板Ｂが載置されていない場合は搬送路２０を通過して下部ノズルユニット８０に衝突する。搬送路２０に基板Ｂが載置されている場合には、吹出ノズル３０ａから吹き出されたエア９０は基板Ｂの上面に衝突して気流方向を前方または後方に転向させ、吸引口７８より吸引される。これにより、吹出ノズル３０ａから吸引口７８に向かうエア９０の定常的な流れが形成され、ベンチュリ効果により基板Ｂに対して上向きの力を及ぼす。下部ノズルユニット８０の下部吸気室８８における吸引圧を、上部ノズルユニット７０の上部吸気室７９における吸引圧よりも大きくするとよい。吸引圧とは大気圧からの減圧量の絶対値である。本実施形態によれば、下部ノズルユニット８０から吹き出されるエア９１が生成するベンチュリ効果が上部ノズルユニット７０のエア９０によるベンチュリ効果よりも卓越し、基板Ｂが搬送手段１０から浮き上がることはない。

上部ノズルユニット７０のローラシャフト７２の周囲には押えローラ７３が装着されている。押えローラ７３の外径は、下部ノズルユニット８０の搬送ローラ１５の外径と等しくてもよく、または相違してもよい。押えローラ７３はローラシャフト７２と一体に回転する。ローラシャフト７２は、搬送シャフト１２ｄ〜１２ｇと逆方向（図４における反時計回り）に回転する。押えローラ７３の下端は、ノズルヘッド４０ａよりも僅かに下方に突出している。これにより、基板Ｂにばたつきが発生して搬送路２０から離間した場合にも、ローラシャフト７２の押えローラ７３が基板Ｂの上面に接してこれを搬送方向に送ることで、基板Ｂが上部ノズルユニット７０の吸引口７８に吸着することを防止する。かかる意味で、ローラシャフト７２および押えローラ７３は、異物除去装置１００とともに用いられる搬送手段１０の一部を構成している。

図１（ａ）に示すように、ローラシャフト７２には、幅中央および基板Ｂのワーク領域Ｗの各外側の合計３箇所に押えローラ７３が装着され、それ以外の中間部に押えローラ７３が装着されていない点で、下部ノズルユニット８０における搬送シャフト１２ｄ〜１２ｇと相違する。これにより、基板Ｂにばたつきが発生して搬送路２０から離間した場合も、ローラシャフト７２の押えローラ７３は基板Ｂの上面側のワーク領域Ｗとは接触せず、非ワーク領域ＮＷともっぱら接触し、ワーク領域Ｗを損傷することがない。また、基板Ｂの可撓性が小さく、すなわち基板Ｂの曲げ剛性が大きく基板Ｂがリジッドな部材である場合は、搬送シャフト１２ｄ〜１２ｇの搬送ローラ１５およびローラシャフト７２の押えローラ７３を、それぞれ幅両側の２箇所のみに設け、幅中央の搬送ローラ１５およびローラシャフト７２を省略してもよい。具体的には、基板Ｂの通過領域のうち、ワーク領域Ｗに対して幅方向の両外側に対応する位置にのみ、搬送ローラ１５および押えローラ７３を設けてもよい。これにより、図１（ｂ）に示すようにワーク領域Ｗが幅方向に偶数箇所に設けられて幅中央に非ワーク領域ＮＷが設けられている基板Ｂに代えて、任意の数および形状のワーク領域Ｗを有する基板Ｂを搬送する場合にも、搬送ローラ１５および押えローラ７３をワーク領域Ｗの下面および上面に接触させることがない。

図４に示すように、本実施形態における上部ノズルユニット７０と下部ノズルユニット８０との対向方向は上下方向であり、吹出ノズル３０ａと吹出ノズル３０ｂとは上下に対向している。搬送路２０で搬送される基板Ｂの上面から吹出ノズル３０ａまでの面直方向距離（ノズルギャップＧ）と、搬送路２０（すなわち基板Ｂの下面）から吹出ノズル３０ｂまでの面直方向距離とは略等しいが、完全に同一である必要はない。搬送路２０に載置される基板Ｂの厚み中心を基準にして吹出ノズル３０ａまでの面直方向距離と吹出ノズル３０ｂまでの面直方向距離とを同一にしてもよく、または基板Ｂの上面を基準にして吹出ノズル３０ａまでの面直方向距離（ノズルギャップＧ）と吹出ノズル３０ｂまでの面直方向距離とを同一にしてもよい。

本実施形態では、吹出ノズル３０ａから基板Ｂ（搬送路２０）に対して面直下方にエア９０を吹き出し、吹出ノズル３０ｂから基板Ｂ（搬送路２０）に対して面直上方にエア９１を吹き出す。エア９０とエア９１とは搬送路２０において互いに交差し、言い換えると基板Ｂの面内方向の同位置に対してエア９０とエア９１が表裏面（上下面）から衝突する。これにより、基板Ｂを上下両側からエア９０、９１で挟持して押さえることができる。面状のエアカーテンとして吹き出されるエア９０とエア９１とは、全体的に正面衝突することなく、互いに交差する。このため、特許文献１や特許文献２の装置のように面状のエア同士が激しく不安定に衝突することがない。吹出ノズル３０ａ、３０ｂの幅寸法（左右方向の寸法）は、基板Ｂの幅寸法と同一であるか、または基板Ｂの幅寸法よりも大きい。より具体的には、本実施形態の吹出ノズル３０ａ、３０ｂの幅寸法は、いずれも基板Ｂの幅寸法よりも大きく、かつ互いに等しい。また、吹出ノズル３０ａは、ローラシャフト７２の両端に設けられた押えローラ７３よりも幅方向の両外側まで延在している（図１（ａ）参照）。吹出ノズル３０ｂも同様に、搬送シャフト１２ｄ〜１２ｇの両端に設けられた搬送ローラ１５よりも幅方向の両外側まで延在している（図１（ｂ）参照）。これにより、基板Ｂのうち搬送方向に沿って延在する幅両側の側端部２８を含む基板Ｂの全幅領域に対して、エア９０、９１が吹き付けられて異物が除去される（図３参照）。なお、本実施形態に代えて、エア９０とエア９１とが搬送路２０において互いに交差するかぎりにおいて、エア９０またはエア９１の一方または両方を基板Ｂ（搬送路２０）に対して前方または後方に斜めに吹き出してもよい。

以下、図２および図３を用いて本実施形態の吹出ノズル３０ａ、３０ｂについて更に詳細に説明する。

図２に示すように、本実施形態の一対の吹出ノズル３０ａ、３０ｂは、搬送路２０の平面視で互いに交差している。吹出ノズル３０ａと吹出ノズル３０ｂとは上下方向に対向しており、搬送路２０に対して面直方向にエア９０、９１を吹き出す（図４参照）。

吹出ノズル３０ａ、３０ｂの少なくとも一方（本実施形態では両方）は、屈曲形状をなしている。吹出ノズル３０ａ、３０ｂが屈曲形状をなすとは、スリット形状の吹出ノズル３０ａ、３０ｂの延在方向（スリット方向）が少なくとも１箇所において屈曲または湾曲していることをいう。本明細書では屈曲と湾曲とを区別せず、スリット形状が所定の曲率半径をもって湾曲している場合も「屈曲」と呼称する。

本実施形態の吹出ノズル３０ａ、３０ｂの屈曲形状は、それぞれ１箇所の屈曲点３４ａ、３４ｂを有するとともに、この屈曲点３４ａ、３４ｂを除いて直線部３２により構成されている。吹出ノズル３０ａ、３０ｂのスリット幅は均一であり、一例として０．２ｍｍ以上０．５ｍｍ以下とすることができる。吹出ノズル３０ａ、３０ｂの屈曲形状は、屈曲点３４ａ、３４ｂにおいて、スリット幅よりも大きな曲率半径で滑らかに湾曲している。

本実施形態の異物除去装置１００においては、一対の吹出ノズル３０ａ、３０ｂが、ともに屈曲形状をなしている。搬送路２０の平面視で、吹出ノズル３０ａ、３０ｂの屈曲形状の屈曲点３４ａ、３４ｂは、搬送路２０の面内方向の異なる位置に設けられている。屈曲点３４ａ、３４ｂは搬送路２０の面内方向における幅方向（左右方向）または搬送方向（前後方向）の少なくとも一方に関して異なる位置に設けられている。

より具体的には、本実施形態における一対の吹出ノズル３０ａ、３０ｂの屈曲点３４ａ、３４ｂは、搬送手段１０の搬送方向（前後方向）に関して異なる位置に設けられている。これにより、図３に示すように、下部ノズルユニット８０に差し掛かる基板Ｂの先端部２５に対して、エア９０の屈曲ライン９２と、エア９１の屈曲ライン９３とが同時に衝突することがない。これにより、基板Ｂの先端部２５のばたつきを抑制することができる。なお、本実施形態に代えて、後述する第四実施形態のように屈曲点３４ａ、３４ｂを搬送方向の同位置かつ幅方向の異なる位置に設けてもよい。

屈曲形状の屈曲点３４ａ、３４ｂは、搬送路２０の平面視で、搬送路２０の幅方向の略中央に位置している。これにより、吹出ノズル３０ａ、３０ｂは平面視でＶ字状をなしている。直線部３２は、幅方向（左右方向）に対して斜めに傾斜している。

図３に示すように、吹出ノズル３０ａから下向きに吹き出されるエア９０は屈曲点３４ａに対応する屈曲ライン９２を中心として幅方向に左右対称に屈曲した曲面状のエアカーテンとなる。屈曲ライン９２は、屈曲点３４ａから吹き出されたエア９０が通過する領域である。同様に、吹出ノズル３０ｂから上向きに吹き出されるエア９１は、屈曲点３４ｂに対応する屈曲ライン９３を中心として幅方向に左右対称に屈曲した曲面状のエアカーテンとなる。屈曲ライン９３は、屈曲点３４ｂから吹き出されたエア９１が通過する領域である。

屈曲した曲面状のエア９０が搬送路２０と交差する形状（交差形状２１）は、搬送方向の後方に突出するＶ字状となる。一方、屈曲した曲面状のエア９１が搬送路２０と交差する形状（交差形状２２）は、搬送方向の前方に突出するＶ字状となる。図３において、交差形状２１を実線で示し、交差形状２２を破線で示す。基板Ｂの搬送方向を図３に矢印で示す。交差形状２１と交差形状２２とは、搬送路２０において交点２３にて互いに交差する。これにより、面状のエア９０、９１は、搬送路２０において互いに交差している。本実施形態では、面状のエア９０、９１は、搬送路２０において２点の交点２３で互いに交差している。

交差形状２１、２２がＶ字状をなすことで、基板Ｂの上面および下面に幅方向（左右方向）の外向きの速度成分をもってエア９０、９１が衝突して付勢力（清掃力）を負荷するため、基板Ｂから吹き飛ばされた異物が基板Ｂに再付着することが防止される。

また、交差形状２１および交差形状２２は、交点２３の近傍の局所領域を除き、基板Ｂの幅方向の略全体に亘って、搬送方向に関して前後の異なる位置に形成される。また、吹出ノズル３０ａ、３０ｂの幅寸法が基板Ｂの幅寸法よりも大きいため、交差形状２１および交差形状２２は基板Ｂの幅全体に形成される。搬送される基板Ｂの上面および下面のうち、交点２３を通過する局所領域に対してはエア９０、９１が同時に吹き付けられ、交点２３以外の略全幅領域に対してはエア９０、９１が異なるタイミングで複数回に亘って吹き付けられることとなる。このため、基板Ｂの先端部２５および後端部（図示せず）、基板Ｂに形成されている通孔部２６、２７、ならびに側端部２８に対して、エア９０、９１が異なるタイミングかつ異なる流れ方向で通過する。具体的には、図３に示す本実施形態の場合、基板Ｂの幅中央の近傍に形成された通孔部２６に対しては、吹出ノズル３０ａの屈曲点３４ａから吹き出されたエア９０の屈曲ライン９２が下向きに通過した後に、吹出ノズル３０ｂの屈曲点３４ｂから吹き出されたエア９１の屈曲ライン９３が上向きに通過する。これにより、通孔部２６に付着している異物に対して、エア９０とエア９１が２回に亘ってこれを吹き飛ばして除去することができる。また、基板Ｂの幅両側に形成された通孔部２７に対しては、吹出ノズル３０ｂから吹き出されたエア９１の平面部分が上向きに通過した後に、吹出ノズル３０ａから吹き出されたエア９０の平面部分が下向きに通過する。これにより、通孔部２７に付着している異物に対しても、エア９０とエア９１が２回に亘ってこれを吹き飛ばして除去することができる。同様に、先端部２５や、対向する一対の側端部２８の全長に対しても、エア９０とエア９１が２回に亘って異物を除去する。言い換えると、基板Ｂの先端部２５や通孔部２６、２７および側端部２８など異物が付着しやすい端縁（エッジ）に対して、エア９０、９１が互いに干渉して減速することなく異なるタイミングで下方および上方に各１回ずつ吹き抜ける。このため、本実施形態の異物除去装置１００によれば、基板Ｂのうち交点２３を通過する局所領域を除く略全幅領域に関して、異物が残留しやすい先端部２５や通孔部２６、２７、側端部２８についてもエア９０、９１によって良好に異物を除去することができる。また、異物が固体の塵埃である場合には基板Ｂの端縁（エッジ）に対して異物が強固に付着していることがあるが、かかる場合でも異物除去装置１００によれば上述のようにエア９０、９１が異なる方向に複数回に亘って吹き抜けるため基板Ｂから塵埃を良好に除塵することができる。

また、交差形状２１、２２がＶ字状をなすことで、搬送される基板Ｂに対してエア９０、９１の付勢力が左右対称に安定して負荷されるため、基板Ｂのばたつきが抑制される。また、上述のように下部ノズルユニット８０に設けられた搬送シャフト１２ｄ〜１２ｇの搬送ローラ１５は、搬送シャフト１２の軸方向の中央に配置されている（図１（ｂ）参照）。このため、エア９０の屈曲ライン９２によって下向きに付勢される基板Ｂが、かかる中央の搬送ローラ１５によって下支えされ、基板Ｂのばたつきが更に抑制される。

本実施形態では、吹出ノズル３０ａの屈曲点３４ａが搬送方向の後方に位置し、吹出ノズル３０ｂの屈曲点３４ｂが搬送方向の前方に位置することを例示するが、本発明はこれに限られない。屈曲点３４ａ、３４ｂを搬送方向の異なる位置に設けることで、基板Ｂが下部ノズルユニット８０に差し掛かる前の状態（初期状態）において、屈曲した曲面状のエア９０、９１同士は、屈曲ライン９２、９３から離間した直線部３２において交差する。以下、基板Ｂが搬送路２０に載置されていないか、または搬送路２０に載置されている基板Ｂが下部ノズルユニット８０に差し掛かっていない状態を、異物除去装置１００の初期状態と呼称する。本実施形態によれば、エア９０、９１の吹き出し状態が微小に変動した場合でもエア９０、９１同士の交差位置が僅かに変動するだけであり、エア９０、９１の流れ方向は実質的に変動しない。このため、基板Ｂの搬送状態が安定し、不測のばたつきの発生が防止される。

一対の吹出ノズル３０ａ、３０ｂは、搬送路２０の平面視で、搬送路２０の幅方向を対称軸ＡＸとして互いに鏡面対称形状である。言い換えると、吹出ノズル３０ａ、３０ｂは平面視で前後対称であり、吹出ノズル３０ａ、３０ｂの屈曲点３４ａ、３４ｂは前後方向に並んでいる。これにより、搬送される基板Ｂに対して、前後方向に延びる同一ラインの表裏面（上下面）に屈曲ライン９２、９３が衝突する。そして、本実施形態のように屈曲点３４ａ、３４ｂを搬送路２０の幅方向の略中央に位置させることで、基板Ｂの幅中央の非ワーク領域ＮＷ（図１（ｂ）参照）に対してエア９０、９１の屈曲ライン９２、９３が衝突することとなる。このため、ワーク領域Ｗの内部に対しては吹出ノズル３０ａ、３０ｂの直線部３２からエア９０、９１が吹き付けられて異物は搬送方向の斜め外向きに吹き飛ばされ、再付着することなく吸引口８２および吸引口７８（図４参照）に吸引される。

図１（ａ）に示すように、上部ノズルユニット７０は、スリット形状の吹出ノズル３０ａが開口形成された平坦なノズルヘッド４０ａを備えている。また、図１（ｂ）および図３に示すように、下部ノズルユニット８０は、スリット形状の吹出ノズル３０ｂが開口形成された平坦なノズルヘッド４０ｂを備えている。図４に示すように、スリット形状の吹出ノズル３０ａ、３０ｂが開口形成された平坦なノズルヘッド４０ａ、４０ｂは、搬送路２０の上方および下方に互いに対向して配置されている。ノズルヘッド４０ａ、４０ｂは実質的に平坦面で構成され、搬送路２０に対してそれぞれ平行に対向して配置されている。
そして、一対のうちの一のノズルヘッド４０ａの吹出ノズル３０ａから吹き出されるエア９０は、対向する他のノズルヘッド４０ｂにおいて吹出ノズル３０ｂが開口形成されていないノズル非形成領域４２（図２参照）に衝突する。ノズル非形成領域４２は、吹出ノズル３０ｂが開口形成されているノズル形成領域４１とは異なる位置に仮想的に区画される、ノズルヘッド４０ｂ上の仮想領域である。ノズル非形成領域４２は、ノズル形成領域４１に対して搬送方向の異なる位置に設けられている。図２に示すように、本実施形態では屈曲したノズル形成領域４１がノズルヘッド４０ｂの略中央に設けられ、ノズル非形成領域４２はノズル形成領域４１に対して搬送方向の前後両側に設けられている。

異物除去装置１００の初期状態において、吹出ノズル３０ａから下向きに吹き出されるエア９０は、エア９１と交差する一部を除き、下部ノズルユニット８０における平坦面であるノズルヘッド４０ｂの上面に衝突する。これにより、エア９０はノズルヘッド４０ｂに沿って流れ方向が転向される。

図２に示すように、ノズルヘッド４０ｂは、第一ヘッド部４３、第二ヘッド部４４および側縁部４５からなる。第一ヘッド部４３と第二ヘッド部４４とは前後方向に僅かに離間させて並べて配置されている。第一ヘッド部４３と第二ヘッド部４４との間隙が吹出ノズル３０ｂにあたる。第一ヘッド部４３と第二ヘッド部４４とを前後方向に相対的に位置調整可能とし、吹出ノズル３０ｂのスリット間隔を可変にしてもよい。側縁部４５は、スリット状の吹出ノズル３０ｂの左右方向の両側をそれぞれ終端させる部材である。第一ヘッド部４３、第二ヘッド部４４および側縁部４５の上面は平坦かつ互いに面一であり、これらの上面が合わさってノズルヘッド４０ｂが構成されている。

上部ノズルユニット７０は、吹出ノズル３０ａの屈曲方向が吹出ノズル３０ｂと相違し、かつ搬送路２０に関して下部ノズルユニット８０と対称に配置されている点を除き、下部ノズルユニット８０と共通の構造を有している。吹出ノズル３０ｂから上向きに吹き出されるエア９１と、上部ノズルユニット７０のノズルヘッド４０ａとの関係も同様である。上部ノズルユニット７０に関する重複する説明は省略する。

本実施形態のノズルヘッド４０ａ、４０ｂは、吹出ノズル３０ａ、３０ｂが開口形成されているノズル形成領域４１と、このノズル形成領域４１に対して搬送方向の異なる位置に設けられたノズル非形成領域４２と、を有している。一対のノズルヘッド４０ａ、４０ｂは、搬送路２０の面内方向の同位置に対向して配置されている。吹出ノズル３０ａ、３０ｂから被清掃体（基板Ｂ）に対して、エア９０、９１は垂直に吹き出される。

このため、本実施形態の異物除去装置１００は、初期状態におけるエア９０、９１の流動状態が安定し、基板Ｂが下部ノズルユニット８０に差し掛かる瞬間にも、基板Ｂに発生するばたつきを抑制することができる。

異物除去装置１００は、ノズルヘッド４０ｂにおける搬送方向の前縁４６および後縁４７にそれぞれ隣接して開口形成された吸引口８２と、これらの吸引口８２を負圧に吸引してエアを吸い込む吸込手段（下部吸気室８８：図４参照）と、を備えている（図２参照）。具体的には、下部ノズルユニット８０のノズルヘッド４０ｂと、当該ノズルヘッド４０ｂに対して搬送方向の両側に隣接する搬送シャフト１２ｅ、１２ｆと、の間に吸引口８２がそれぞれ形成されている。
同様に、異物除去装置１００は、図１（ａ）に示すように、ノズルヘッド４０ａにおける搬送方向の前縁５６および後縁５７にそれぞれ隣接して開口形成された吸引口７８と、これらの吸引口７８を負圧に吸引してエアを吸い込む吸込手段（上部吸気室７９：図４参照）と、を備えている。具体的には、上部ノズルユニット７０のノズルヘッド４０ａと、その前後に配置されたローラシャフト７２と、の間に吸引口７８が形成されている。吸込手段（上部吸気室７９、下部吸気室８８）は、基板Ｂから除去された異物をそれぞれ含むエア９０、９１を、搬送方向の前後両側の吸引口７８、８２から吸い込む。

ノズルヘッド４０ａ、４０ｂにおける、吹出ノズル３０ａ、３０ｂから前縁５６、４６または後縁５７、４７までの搬送方向の距離の最小値と最大値を、それぞれＬｍｉｎ、Ｌｍａｘと呼称する。図２には、下部ノズルユニット８０のノズルヘッド４０ｂにおけるＬｍｉｎ、Ｌｍａｘを図示する。本実施形態の吹出ノズル３０ｂでは、屈曲点３４ｂから後縁４７までの搬送方向の距離と、吹出ノズル３０ｂの両端から前縁４６までの搬送方向の距離とは互いに略等しく、これらが最小値（Ｌｍｉｎ）となっている。この最小値（Ｌｍｉｎ）は、搬送方向にみたノズル非形成領域４２の最小寸法である。本実施形態のノズルヘッド４０ｂは長方形状をなし、前縁４６と後縁４７との距離は一定である。したがって、屈曲点３４ｂから前縁４６までの搬送方向の距離と、吹出ノズル３０ｂの両端から後縁４７までの搬送方向の距離とは互いに略等しく、これらが最大値（Ｌｍａｘ）となる。
なお、上部ノズルユニット７０のノズルヘッド４０ａにおけるＬｍｉｎ、Ｌｍａｘの位置関係は、図２に示すノズルヘッド４０ｂにおける位置関係と前後対称であり、またノズルヘッド４０ａにおけるＬｍｉｎおよびＬｍａｘの値は、それぞれノズルヘッド４０ｂにおける値と共通である。

異物除去装置１００は、一対のノズルヘッド４０ａまたは４０ｂのいずれかが一方または両方が、以下の式（１）および式（２）を満たしている。より具体的には、本実施形態の場合、一対のノズルヘッド４０ａまたは４０ｂの両方が以下の式（１）および式（２）を満たしている。すなわち、ノズルヘッド４０ａにおける上記の最小値（Ｌｍｉｎ）および最大値（Ｌｍａｘ）と、当該ノズルヘッド４０ａの吹出ノズル３０ａから被清掃体（基板Ｂ）までの面直方向距離（Ｇ：図４参照）とは、以下の式（１）および式（２）を満たしている。同様に、ノズルヘッド４０ｂにおける最小値（Ｌｍｉｎ）および最大値（Ｌｍａｘ）と、吹出ノズル３０ｂから被清掃体（基板Ｂ）までの面直方向距離とは、以下の式（１）および式（２）を満たしている。

（数１）
Ｌｍｉｎ＞Ｇ ・・・（１）
（数２）
Ｌｍａｘ＜１０×Ｇ ・・・（２）

上記の式（１）および（２）の意味について、上部ノズルユニット７０のノズルヘッド４０ａを例に説明する。下部ノズルユニット８０のノズルヘッド４０ｂに関しても同様である。

ここで、Ｌｍｉｎが過少であると、対向する吹出ノズル３０ｂから上向きに吹き出されたエア９１がノズルヘッド４０ａのノズル非形成領域４２で十分に転向されずに吸引口７８に吸引されるため、初期状態において気流が乱れることとなる。これに対し、本実施形態のように上記の式（１）を満たすことで、エア９１がノズルヘッド４０ａに衝突して十分に転向してから吸引口７８に吸引されるため、初期状態において異物除去装置１００の気流が安定する。
一方、Ｌｍａｘが過大であると、吹出ノズル３０ａから下向きに吹き出されて基板Ｂの上面に衝突して異物を除去したエア９０が、所定の渦流を形成したのち、再びノズルヘッド４０ａに衝突して基板Ｂに向かうこととなる。このため、基板Ｂから除去された異物が基板Ｂに再付着する虞が生じる。これに対し、本実施形態のように上記の式（２）を満たすことで、エア９０が基板Ｂの上面に衝突して異物を吹き飛ばしたのち、この異物が基板Ｂに再付着することなく吸引口７８から吸引されて異物除去装置１００の外部に排出される。

一例として、ノズルギャップＧ（図４参照）は、１ｍｍ以上３ｍｍ以下とすることができる。Ｌｍｉｎは、上記の式（１）を満たし、かつ２ｍｍ以上１０ｍｍ以下とすることができる。そして、Ｌｍａｘは、Ｌｍｉｎよりも大きく、上記の式（２）を満たし、かつ５ｍｍ以上２０ｍｍ以下とすることができる。

また、本実施形態の異物除去装置１００においては、搬送方向に関して、吸引口８２の開口寸法は、上記の最小値（Ｌｍｉｎ）よりも小さい。なお、搬送方向に関する吸引口８２の開口寸法とは、図２に示す平面視における、搬送シャフト１２ｅ、１２ｆの外径と、下部ノズルユニット８０のノズルヘッド４０ｂの前縁４６または後縁４７との距離Ｄ１である。

本実施形態のように吸引口８２の開口寸法をノズル非形成領域４２の最小寸法よりも小さくすることで、初期状態においてノズルヘッド４０ｂの平坦部に衝突したエア９０をノズルヘッド４０ｂの面内方向に十分に転向させてから吸引口８２より吸引することができる。これにより、下部ノズルユニット８０に向って吹き出されたエア９０がノズルヘッド４０ｂの前縁４６、後縁４７や搬送シャフト１２ｅ、１２ｆに直接に衝突して流動方向が不安定に乱れることを低減して基板Ｂのばたつきを抑制することができる。

ただし、本実施形態に代えて、搬送方向に関して、吸引口８２の開口寸法を、吹出ノズル３０ｂから前縁４６または後縁４７までの距離の最小値（Ｌｍｉｎ）よりも大きくしてもよい。特に、基板Ｂの曲げ剛性が大きくリジッドな部材である場合には、基板Ｂの撓み変形が小さいため、吸引口８２の開口寸法を十分に大きくすることが可能である。これにより、基板Ｂから除去された異物を吸引口８２より効率的に吸引して排出することができる。

なお本実施形態については種々の変形を許容する。たとえば、本実施形態では吹出ノズル３０ａ、３０ｂのスリット形状を前後方向に逆向きのＶ字状としたが、本発明はこれにかぎられない。

以下、吹出ノズル３０ａ、３０ｂの形状をＶ字状から相違させた第二から第四実施形態について説明する。

図５（ａ）は、本発明の第二実施形態の下部ノズルユニット８０の平面図である。同図には、上部ノズルユニット７０（図１（ａ）参照）における吹出ノズル３０ａを下部ノズルユニット８０に投影した形状を二点鎖線で示してある。図５（ｂ）は、本実施形態の吹出ノズル３０ａ、３０ｂから搬送路２０に向けてエア９０、９１が吹き出される様子を示す模式図である。上部ノズルユニット７０の下方斜視図と下部ノズルユニット８０および基板Ｂの上方斜視図とを遠近表示してある。

本実施形態の吹出ノズル３０ａ、３０ｂのスリット形状は、左右方向に対して所定の傾斜角度で斜めに延在する直線状をなしている点で第一実施形態と相違する。吹出ノズル３０ａから下向きに吹き出されるエア９０と、吹出ノズル３０ｂから上向きに吹き出されるエア９１は、ともに平面状をなす。

そして、一対の吹出ノズル３０ａ、３０ｂが搬送路２０の平面視で搬送路２０の幅方向（左右方向）を対称軸ＡＸとして互いに鏡面対称形状である点で、第一実施形態と共通する。

これにより、本実施形態の吹出ノズル３０ａ、３０ｂは搬送路２０の平面視でＸ字状をなし、エア９０と搬送路２０との交差形状２１と、エア９１と搬送路２０との交差形状２２とは、搬送路２０において幅方向（左右方向）の中央で交差する。これにより、面状に吹き出されるエア９０とエア９１とは中央の一部のみで衝突し、辺の全長に亘って不安定に衝突することがない。このため、エア９０、９１の状態が変動しても被清掃体（基板Ｂ）に作用する付勢力は実質的に変動せず、被清掃体（基板Ｂ）のばたつきを抑制することができる。

なお、吹出ノズル３０ａ、３０ｂが屈曲点３４ａ、３４ｂを有する第一実施形態の異物除去装置１００は、直線部３２（図２参照）の傾斜角度を第二実施形態と共通とした場合、ノズル形成領域４１の前後寸法を略半分に低減することが可能である。このため、第一実施形態によれば、上部ノズルユニット７０および下部ノズルユニット８０の前後寸法を抑制し、搬送シャフト１２ｅと搬送シャフト１２ｆとの距離を近づけることができる。これにより、搬送シャフト１２ｅからオーバーハングして下部ノズルユニット８０を通過する基板Ｂの先端部２５（図３参照）を搬送シャフト１２ｆで直ちに安定して支持することができる。また、ノズルヘッド４０ｂの前後に位置する一対の吸引口８２で基板Ｂを吸引する間隔が短縮されるため、エア９０、９１が吹き付けられて面直方向に撓もうとする基板Ｂの変形が吸引力によって抑制される。このため、基板Ｂに対してエア９０、９１が安定して吹き付けられるため異物が好適に除去される。

図６（ａ）は、本発明の第三実施形態の下部ノズルユニット８０の平面図である。同図には、上部ノズルユニット７０（図１（ａ）参照）における吹出ノズル３０ａを下部ノズルユニット８０に投影した形状を二点鎖線で示してある。図６（ｂ）は、本実施形態の吹出ノズル３０ａ、３０ｂから搬送路２０に向けてエア９０、９１が吹き出される様子を示す模式図である。上部ノズルユニット７０の下方斜視図と下部ノズルユニット８０および基板Ｂの上方斜視図とを遠近表示してある。

本実施形態の吹出ノズル３０ａ、３０ｂは、それぞれ複数個の屈曲点３４ａ、３４ｂを有している点で第一実施形態と相違する。具体的には、本実施形態の吹出ノズル３０ａ、３０ｂは、それぞれ３個の屈曲点３４ａ、３４ｂを有し、平面視でＷ字状をなしている。

そして、吹出ノズル３０ａ、３０ｂの少なくとも一方が屈曲形状をなしている点、および一対の吹出ノズル３０ａ、３０ｂの屈曲点３４ａ、３４ｂが搬送手段１０の搬送方向（前後方向）に関して異なる位置に設けられている点で第一実施形態と共通する。

また、一対の吹出ノズル３０ａ、３０ｂが搬送路２０の幅方向を対称軸ＡＸとして互いに鏡面対称形状である点でも第一実施形態と共通する。

本実施形態によれば、吹出ノズル３０ａ、３０ｂのスリット形状が複数個の屈曲点３４ａ、３４ｂを有していることで、直線部３２の傾斜角度を第一実施形態と共通とした場合に、吹出ノズル３０ｂのノズル形成領域４１および下部ノズルユニット８０の前後寸法を更に低減することが可能である。

図７（ａ）は、本発明の第四実施形態の下部ノズルユニット８０の平面図である。同図には、上部ノズルユニット７０（図１（ａ）参照）における吹出ノズル３０ａを下部ノズルユニット８０に投影した形状を二点鎖線で示してある。図７（ｂ）は、本実施形態の吹出ノズル３０ａ、３０ｂから搬送路２０に向けてエア９０、９１が吹き出される様子を示す模式図である。上部ノズルユニット７０の下方斜視図と下部ノズルユニット８０および基板Ｂの上方斜視図とを遠近表示してある。

本実施形態の吹出ノズル３０ａ、３０ｂのスリット形状は略Ｖ字状であり、搬送路２０の平面視で幅方向（左右方向）に鏡面対称形状をなしている。

すなわち、本実施形態は、吹出ノズル３０ａ、３０ｂの少なくとも一方（本実施形態では両方）が屈曲形状をなしている点で第一実施形態と共通する。また、一対の吹出ノズル３０ａ、３０ｂがともに屈曲形状をなしており、搬送路２０の平面視で吹出ノズル３０ａ、３０ｂの屈曲形状の屈曲点３４ａ、３４ｂが搬送路２０の面内方向の異なる位置に設けられている点でも第一実施形態と共通する。

そして、本実施形態の吹出ノズル３０ａ、３０ｂは、搬送路２０の平面視で屈曲点３４ａ、３４ｂが互いに搬送方向の同位置かつ幅方向の異なる位置に設けられている点で第一実施形態と相違している。すなわち、搬送路２０の平面視で、一対の吹出ノズル３０ａ、３０ｂは幅方向に鏡面対称ではなく、屈曲点３４ａ、３４ｂが前後方向ではなく幅方向（左右方向）に並んでいる。

本実施形態の吹出ノズル３０ａ、３０ｂでも、エア９０と搬送路２０との交差形状２１と、エア９１と搬送路２０との交差形状２２とは、搬送路２０において交差する。これにより、Ｖ字状の曲面状に吹き出されるエア９０とエア９１とは一部のみで局所的に衝突し、辺の全長に亘って不安定に衝突することがないため、基板Ｂのばたつきを抑制することができる。

図８は、本発明の第五実施形態の異物除去装置１００および搬送手段１１の断面模式図である。同図に示す搬送手段１１は、搬送シャフト１２に代えて送出ロール１６および巻取ロール１７を備える点で図４に示した搬送手段１０と相違する。

送出ロール１６の周囲にはシート状の長尺かつ可撓性の基板Ｂが巻き付けられており、図８に矢印で示すように軸回転することで基板Ｂを送り出すロール体である。巻取ロール１７は、送出ロール１６と同方向に軸回転して基板Ｂを巻き取るロール体である。基板Ｂは、送出ロール１６と巻取ロール１７とに亘って所定の張力をもって張架されている。巻取ロール１７を回転させて基板Ｂを引き取りながら、送出ロール１６から基板Ｂを送り出すことで基板Ｂは搬送される。これにより、基板Ｂに沿って空中に搬送路２０が仮想平面として形成される。

本実施形態の異物除去装置１００は、送出ロール１６と巻取ロール１７とからなる既存の搬送手段１１に対して、後付けにより設置して用いられる。具体的には、被清掃体（基板Ｂ）の上方および下方に上部ノズルユニット７０および下部ノズルユニット８０を対向して設置し、基板Ｂの下面を下部ノズルユニット８０の搬送シャフト１２ｄ〜１２ｇで下支えするとともに、吹出ノズル３０ａと基板Ｂとを所定の面直方向距離として用いられる。異物除去装置１００の構成は第一実施形態と共通であるため重複する説明は省略する。

本実施形態の異物除去装置１００によれば、既存の搬送手段１１に対して上部ノズルユニット７０および下部ノズルユニット８０を設置するだけで、搬送手段１１により搬送される基板Ｂから異物を除去することが可能である。そして、第一実施形態の搬送手段１０のように搬送シャフト１２（図４参照）を持たずとも、本実施形態で用いられる搬送手段１１のように基板Ｂの一端または両端を駆動してこれを搬送するものでもよい。本実施形態によれば、簡易な構造の搬送手段１１に対して異物除去装置１００を装着して用いることができるため、基板Ｂの搬送ラインを柔軟に設計することができる。

本発明の異物除去装置の各種の構成要素は、個々に独立した存在である必要はない。複数の構成要素が一個の部材として形成されていること、一つの構成要素が複数の部材で形成されていること、ある構成要素が他の構成要素の一部であること、ある構成要素の一部と他の構成要素の一部とが重複していること、等を許容する。

本発明の上記実施形態は、以下の技術思想を包含するものである。
（１）被清掃体に付着している異物を前記被清掃体にエアを吹き付けて除去する異物除去装置であって、前記被清掃体を搬送する搬送路の上方および下方にそれぞれ設けられて前記搬送路に向けて面状にエアを吹き出すスリット形状の一対の吹出ノズルを備え、一対の前記吹出ノズルのスリット方向が互いに異なるとともに、前記吹出ノズルからそれぞれ吹き出される面状の前記エアが前記搬送路において互いに交差することを特徴とする異物除去装置。
（２）一対の前記吹出ノズルが、前記搬送路の平面視で互いに交差している上記（１）に記載の異物除去装置。
（３）前記吹出ノズルの少なくとも一方が屈曲形状をなしている上記（１）または（２）に記載の異物除去装置。
（４）前記屈曲形状の屈曲点が、前記搬送路の平面視で前記搬送路の幅方向の略中央に位置している上記（３）に記載の異物除去装置。
（５）一対の前記吹出ノズルがともに屈曲形状をなしており、前記搬送路の平面視で前記屈曲形状の屈曲点が前記搬送路の面内方向の異なる位置に設けられている上記（３）または（４）に記載の異物除去装置。
（６）一対の前記吹出ノズルの前記屈曲点が、前記被清掃体の搬送方向に関して異なる位置に設けられている上記（５）に記載の異物除去装置。
（７）一対の前記吹出ノズルが、前記搬送路の平面視で、前記搬送路の幅方向を対称軸として互いに鏡面対称形状である上記（１）から（６）のいずれか一項に記載の異物除去装置。
（８）前記スリット形状の前記吹出ノズルが開口形成された平坦なノズルヘッドが前記搬送路の上方および下方に互いに対向して配置されており、一の前記ノズルヘッドの前記吹出ノズルから吹き出される前記エアが、対向する他の前記ノズルヘッドにおいて前記吹出ノズルが開口形成されていないノズル非形成領域に衝突することを特徴とする上記（１）から（７）のいずれか一項に記載の異物除去装置。
（９）前記ノズルヘッドは、前記吹出ノズルが開口形成されているノズル形成領域と、前記ノズル形成領域に対して前記被清掃体の搬送方向の異なる位置に設けられた前記ノズル非形成領域と、を有し、一対の前記ノズルヘッドが前記搬送路の面内方向の同位置に対向して配置され、前記吹出ノズルから前記被清掃体に対して前記エアが垂直に吹き出されることを特徴とする上記（８）に記載の異物除去装置。
（１０）前記ノズルヘッドにおける前記搬送方向の前縁および後縁にそれぞれ隣接して開口形成された吸引口と、前記吸引口を負圧に吸引してエアを吸い込む吸込手段と、を更に備え、当該ノズルヘッドにおける前記吹出ノズルから前記前縁または前記後縁までの前記搬送方向の距離の最小値（Ｌｍｉｎ）および最大値（Ｌｍａｘ）と、当該ノズルヘッドの前記吹出ノズルから前記被清掃体の上面までの面直方向距離であるノズルギャップ（Ｇ）と、が以下の式（１）および式（２）；
Ｌｍｉｎ＞Ｇ ・・・（１）
Ｌｍａｘ＜１０×Ｇ ・・・（２）
を満たすことを特徴とする上記（９）に記載の異物除去装置。

１０、１１ 搬送手段
１２、１２ａ〜１２ｊ 搬送シャフト
１３ フランジ部
１４、１５ 搬送ローラ
１６ 送出ロール
１７ 巻取ロール
２０ 搬送路
２１、２２ 交差形状
２３ 交点
２５ 先端部
２６、２７ 通孔部
２８ 側端部
３０ａ、３０ｂ 吹出ノズル
３２ 直線部
３４ａ、３４ｂ 屈曲点
４０ａ、４０ｂ ノズルヘッド
４１ ノズル形成領域
４２ ノズル非形成領域
４３ 第一ヘッド部
４４ 第二ヘッド部
４５ 側縁部
４６、５６ 前縁
４７、５７ 後縁
７０ 上部ノズルユニット
７２ ローラシャフト
７３ 押えローラ
７４ 上部高圧室
７５ａ、７５ｂ ノズル平板
７６ 段差部
７７ スリット部
７８ 吸引口
７９ 上部吸気室
８０ 下部ノズルユニット
８２ 吸引口
８４ 下部高圧室
８５ａ、８５ｂ ノズル平板
８６ 段差部
８７ スリット部
８８ 下部吸気室
９０、９１ エア
９２、９３ 屈曲ライン
１００ 異物除去装置
ＡＸ 対称軸
Ｂ 基板
Ｄ１ 距離（吸引口の開口寸法）
Ｌｍｉｎ 距離の最小値
Ｌｍａｘ 距離の最大値
ＮＷ 非ワーク領域
Ｗ ワーク領域

Claims (10)

1. 被清掃体に付着している異物を前記被清掃体にエアを吹き付けて除去する異物除去装置であって、
   前記被清掃体を搬送する搬送路の上方および下方にそれぞれ設けられて前記搬送路に向けて面状にエアを吹き出すスリット形状の一対の吹出ノズルを備え、
   前記搬送路の幅方向に対する一対の前記スリット形状の前記吹出ノズルの延在方向が互いに異なるとともに、前記吹出ノズルからそれぞれ吹き出される面状の前記エアが前記搬送路において互いに交差することを特徴とする異物除去装置。
2. 一対の前記吹出ノズルが、前記搬送路の平面視で互いに交差している請求項１に記載の異物除去装置。
3. 前記吹出ノズルの少なくとも一方が屈曲形状をなしている請求項１または２に記載の異物除去装置。
4. 前記屈曲形状の屈曲点が、前記搬送路の平面視で前記搬送路の幅方向の略中央に位置している請求項３に記載の異物除去装置。
5. 一対の前記吹出ノズルがともに屈曲形状をなしており、前記搬送路の平面視で前記屈曲形状の屈曲点が前記搬送路の面内方向の異なる位置に設けられている請求項３または４に記載の異物除去装置。
6. 一対の前記吹出ノズルの前記屈曲点が、前記被清掃体の搬送方向に関して異なる位置に設けられている請求項５に記載の異物除去装置。
7. 一対の前記吹出ノズルが、前記搬送路の平面視で、前記搬送路の幅方向を対称軸として互いに鏡面対称形状である請求項１から６のいずれか一項に記載の異物除去装置。
8. 前記スリット形状の前記吹出ノズルが開口形成された平坦なノズルヘッドが前記搬送路の上方および下方に互いに対向して配置されており、
   一の前記ノズルヘッドの前記吹出ノズルから吹き出される前記エアが、対向する他の前記ノズルヘッドにおいて前記吹出ノズルが開口形成されていないノズル非形成領域に衝突することを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の異物除去装置。
9. 前記ノズルヘッドは、前記吹出ノズルが開口形成されているノズル形成領域と、前記ノズル形成領域に対して前記被清掃体の搬送方向の異なる位置に設けられた前記ノズル非形成領域と、を有し、
   一対の前記ノズルヘッドが前記搬送路の面内方向の同位置に対向して配置され、前記吹出ノズルから前記被清掃体に対して前記エアが垂直に吹き出されることを特徴とする請求項８に記載の異物除去装置。
10. 前記ノズルヘッドにおける前記搬送方向の前縁および後縁にそれぞれ隣接して開口形成された吸引口と、前記吸引口を負圧に吸引してエアを吸い込む吸込手段と、を更に備え、
    当該ノズルヘッドにおける前記吹出ノズルから前記前縁または前記後縁までの前記搬送方向の距離の最小値（Ｌｍｉｎ）および最大値（Ｌｍａｘ）と、当該ノズルヘッドの前記吹出ノズルから前記被清掃体の上面までの面直方向距離であるノズルギャップ（Ｇ）と、が以下の式（１）および式（２）；
    Ｌｍｉｎ＞Ｇ ・・・（１）
    Ｌｍａｘ＜１０×Ｇ ・・・（２）
    を満たすことを特徴とする請求項９に記載の異物除去装置。

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