JPH0811224B2 - 物品清浄装置 - Google Patents
物品清浄装置Info
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- JPH0811224B2 JPH0811224B2 JP5085792A JP5085792A JPH0811224B2 JP H0811224 B2 JPH0811224 B2 JP H0811224B2 JP 5085792 A JP5085792 A JP 5085792A JP 5085792 A JP5085792 A JP 5085792A JP H0811224 B2 JPH0811224 B2 JP H0811224B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板や液晶板
等の物品の製造ラインに設置され、物品の表面の塵埃を
除去してクリーンルームへ搬送する物品清浄装置の改良
に関するものである。
等の物品の製造ラインに設置され、物品の表面の塵埃を
除去してクリーンルームへ搬送する物品清浄装置の改良
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】プリント基板等の製造ラインにおいて、
上記基板の表面に塵埃が付着していると、この塵埃が上
記基板等に回路パターンを印刷するスクリーン印刷膜に
付着し、この結果、上記塵埃が上記基板等に一緒に印刷
されて回路パターンに不良が生じる。
上記基板の表面に塵埃が付着していると、この塵埃が上
記基板等に回路パターンを印刷するスクリーン印刷膜に
付着し、この結果、上記塵埃が上記基板等に一緒に印刷
されて回路パターンに不良が生じる。
【０００３】このため、特開昭６２−４９９８４号公報
に開示された従来技術のように、基板上の塵埃を除去し
て上記印刷工程の設置されたクリーンルームへ搬送する
清浄装置が知られている。
に開示された従来技術のように、基板上の塵埃を除去し
て上記印刷工程の設置されたクリーンルームへ搬送する
清浄装置が知られている。
【０００４】この清浄装置は、装置内の基板搬送空間が
仕切りパネルにより３室に分割されており、搬送方向の
下流に向かうに従って空間の清浄度が上がるとともに、
各室において基板表面に付着している塵埃を除去するよ
うになっている。すなわち、清浄装置の各室では、イオ
ン発生装置によって基板にイオン風を当て、基板表面に
付着している塵埃の電荷を放電して剥離し易い状態に
し、除電及び剥離用のブラシで上記塵埃を剥離させた
後、パンカールーバー型吹出ノズルからの清浄空気を上
記基板表面に当てることにより、塵埃を浮遊させて取り
除くようになっている。
仕切りパネルにより３室に分割されており、搬送方向の
下流に向かうに従って空間の清浄度が上がるとともに、
各室において基板表面に付着している塵埃を除去するよ
うになっている。すなわち、清浄装置の各室では、イオ
ン発生装置によって基板にイオン風を当て、基板表面に
付着している塵埃の電荷を放電して剥離し易い状態に
し、除電及び剥離用のブラシで上記塵埃を剥離させた
後、パンカールーバー型吹出ノズルからの清浄空気を上
記基板表面に当てることにより、塵埃を浮遊させて取り
除くようになっている。
【０００５】ところで、この清浄装置では、パンカール
ーバー型吹出ノズルからの清浄空気は乱流になるため、
浮遊した塵埃が乱流に乗って基板表面に戻ることが多
く、この結果、上記基板へ再付着し易いことになる。
ーバー型吹出ノズルからの清浄空気は乱流になるため、
浮遊した塵埃が乱流に乗って基板表面に戻ることが多
く、この結果、上記基板へ再付着し易いことになる。
【０００６】この対策として、特開昭６２−４９９８４
号公報では、清掃ローラにより基板上の塵埃を剥離した
後、ノズルから吹き出す高速清浄気流で基板上の塵埃を
基板の搬送方向の上流側に吹き飛ばし、その際、塵埃が
基板表面に戻らないようにノズルの周辺に微風速の清浄
気流を吹き出させ、これにより塵埃の基板への再付着を
防止するようにした清浄装置が提案されている。
号公報では、清掃ローラにより基板上の塵埃を剥離した
後、ノズルから吹き出す高速清浄気流で基板上の塵埃を
基板の搬送方向の上流側に吹き飛ばし、その際、塵埃が
基板表面に戻らないようにノズルの周辺に微風速の清浄
気流を吹き出させ、これにより塵埃の基板への再付着を
防止するようにした清浄装置が提案されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、特開昭６２
−４９９８４号公報の清浄装置にあっては、装置内の空
気は、基板の搬入口の近傍に配設された有孔板等によっ
て吸引されるため、上記搬入口から外気が入り易く、こ
の外気に含まれた塵埃により装置内の清浄度が低下する
ことになる。これにより、塵埃を除去するフィルターが
汚れ易いことになる。
−４９９８４号公報の清浄装置にあっては、装置内の空
気は、基板の搬入口の近傍に配設された有孔板等によっ
て吸引されるため、上記搬入口から外気が入り易く、こ
の外気に含まれた塵埃により装置内の清浄度が低下する
ことになる。これにより、塵埃を除去するフィルターが
汚れ易いことになる。
【０００８】また、ノズルからの高速清浄気流は、基板
の搬送方向の上流側に流れるようになっており、清掃ロ
ーラ等に当たって乱流を生じさせる。このため、塵埃が
上記乱流に乗って清掃ローラの下流側で基板に付着する
ことが生じる。この塵埃は清掃ローラにより剥離されな
いので、ノズルからの高速清浄気流によっては吹き飛ば
すことができないことになる。
の搬送方向の上流側に流れるようになっており、清掃ロ
ーラ等に当たって乱流を生じさせる。このため、塵埃が
上記乱流に乗って清掃ローラの下流側で基板に付着する
ことが生じる。この塵埃は清掃ローラにより剥離されな
いので、ノズルからの高速清浄気流によっては吹き飛ば
すことができないことになる。
【０００９】本発明は、上記問題を解決するもので、装
置内の清浄度を高くすることができるとともに、剥離し
た塵埃が物品に再付着することを確実に防止することが
できる物品清浄装置を提供することを目的とする。
置内の清浄度を高くすることができるとともに、剥離し
た塵埃が物品に再付着することを確実に防止することが
できる物品清浄装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、物品を搬送する搬送手段と、物品の搬送
空間を物品の搬送方向の上流側と下流側に分割して成る
第１，第２のチャンバーと、上記第１のチャンバー内で
物品表面の塵埃を除去する清掃手段と、複数個の孔が穿
設され、各チャンバーの上下を塞ぐようにそれぞれ配設
された一対の有孔板と、上記第１，第２のチャンバーの
上方の有孔板を通して上記第１，第２のチャンバーにそ
れぞれ送風する第１，第２の送風手段とを備え、上記第
１，第２の送風手段は互いに等しい送風能力を有した物
品清浄装置において、上記第１のチャンバーの一対の有
孔板は、上方の有孔板を通して上記第１のチャンバーへ
供給される空気量が下方の有孔板を通して排気される空
気量よりも少なくなるように開口率が設定され、上記第
２のチャンバーの一対の有孔板は、第２のチャンバー内
の気圧が第１のチャンバー内の気圧よりも高くなるよう
に開口率が設定されたものである。
に、本発明は、物品を搬送する搬送手段と、物品の搬送
空間を物品の搬送方向の上流側と下流側に分割して成る
第１，第２のチャンバーと、上記第１のチャンバー内で
物品表面の塵埃を除去する清掃手段と、複数個の孔が穿
設され、各チャンバーの上下を塞ぐようにそれぞれ配設
された一対の有孔板と、上記第１，第２のチャンバーの
上方の有孔板を通して上記第１，第２のチャンバーにそ
れぞれ送風する第１，第２の送風手段とを備え、上記第
１，第２の送風手段は互いに等しい送風能力を有した物
品清浄装置において、上記第１のチャンバーの一対の有
孔板は、上方の有孔板を通して上記第１のチャンバーへ
供給される空気量が下方の有孔板を通して排気される空
気量よりも少なくなるように開口率が設定され、上記第
２のチャンバーの一対の有孔板は、第２のチャンバー内
の気圧が第１のチャンバー内の気圧よりも高くなるよう
に開口率が設定されたものである。
【００１１】
【作用】上記構成の物品清浄装置によれば、第１のチャ
ンバー内の気圧が外気圧よりも高くなるようにしたこと
により、物品清浄装置の外部から第１のチャンバー内へ
の塵埃の侵入を防ぐことができ、第２のチャンバー内の
気圧が第１のチャンバー内の気圧よりも高くなるように
したことにより、第１のチャンバーや物品清浄装置の外
部から第２のチャンバー内への塵埃の侵入を防ぐことが
できる。
ンバー内の気圧が外気圧よりも高くなるようにしたこと
により、物品清浄装置の外部から第１のチャンバー内へ
の塵埃の侵入を防ぐことができ、第２のチャンバー内の
気圧が第１のチャンバー内の気圧よりも高くなるように
したことにより、第１のチャンバーや物品清浄装置の外
部から第２のチャンバー内への塵埃の侵入を防ぐことが
できる。
【００１２】
【実施例】図１〜図３は、本発明に係る物品清浄装置の
一実施例を示し、図１は側面からみた概略構成図、図２
は図１のII−II線矢視図、図３は高圧ノズル及び吸込部
の拡大図である。
一実施例を示し、図１は側面からみた概略構成図、図２
は図１のII−II線矢視図、図３は高圧ノズル及び吸込部
の拡大図である。
【００１３】この物品清浄装置Ａは、クリーンルームＢ
へ偏光板や液晶板やプリント基板等の物品（以下、物品
Ｐという）を搬入する搬入部に設置されるもので、物品
Ｐの表面に付着している塵埃を除去して上記クリーンル
ームＢへ搬出するようになっている。また、物品清浄装
置Ａは、第１，第２のチャンバー１，２と、還流路６０
とから構成されている。
へ偏光板や液晶板やプリント基板等の物品（以下、物品
Ｐという）を搬入する搬入部に設置されるもので、物品
Ｐの表面に付着している塵埃を除去して上記クリーンル
ームＢへ搬出するようになっている。また、物品清浄装
置Ａは、第１，第２のチャンバー１，２と、還流路６０
とから構成されている。
【００１４】第１，第２のチャンバー１，２は、仕切板
６により仕切られており、第１のチャンバー１は、その
上下を塞ぐように上パンチング板１１及び下パンチング
板１２が配設され、この第１のチャンバー１の上部に
は、シロッコファン１３とＵＬＰＡフィルタ１４とが配
設されている。第２のチャンバー２は、その上下を塞ぐ
ように上パンチング板２１及び下パンチング板２２が配
設され、この第２のチャンバー２の上部には、シロッコ
ファン２３とＵＬＰＡフィルタ２４とが配設されてい
る。シロッコファン１３，２３は、互いにほぼ等しい回
転速度（送風能力）で回転するようになっている。
６により仕切られており、第１のチャンバー１は、その
上下を塞ぐように上パンチング板１１及び下パンチング
板１２が配設され、この第１のチャンバー１の上部に
は、シロッコファン１３とＵＬＰＡフィルタ１４とが配
設されている。第２のチャンバー２は、その上下を塞ぐ
ように上パンチング板２１及び下パンチング板２２が配
設され、この第２のチャンバー２の上部には、シロッコ
ファン２３とＵＬＰＡフィルタ２４とが配設されてい
る。シロッコファン１３，２３は、互いにほぼ等しい回
転速度（送風能力）で回転するようになっている。
【００１５】上記還流路６０は、第１，第２のチャンバ
ー１，２の下方から第１，第２のチャンバー１，２の後
方を通ってシロッコファン１３，２３の上方まで形成さ
れ、第１，第２のチャンバー１，２の下方の還流路６０
と第１，第２のチャンバー１，２の後方の還流路６０と
は吸込口６１を通して接続されている。
ー１，２の下方から第１，第２のチャンバー１，２の後
方を通ってシロッコファン１３，２３の上方まで形成さ
れ、第１，第２のチャンバー１，２の下方の還流路６０
と第１，第２のチャンバー１，２の後方の還流路６０と
は吸込口６１を通して接続されている。
【００１６】上記第１のチャンバー１のパンチング板１
１，１２及び第２のチャンバー２のパンチング板２１，
２２は、複数個の孔が均一に分布するように穿設され、
シロッコファン１３，２３からの送風を整流するように
なっている。
１，１２及び第２のチャンバー２のパンチング板２１，
２２は、複数個の孔が均一に分布するように穿設され、
シロッコファン１３，２３からの送風を整流するように
なっている。
【００１７】そして、第２のチャンバー２内の気圧が第
１のチャンバー１内の気圧よりも高くなるように、各チ
ャンバー１，２の上下のパンチング板１１，１２，２
１，２２の孔の開口率が設定されている。ところで本実
施例においては、各チャンバー１，２にそれぞれ設けら
れた各パンチング板１１，１２，２１，２２の面積、シ
ロッコファン１３，２３の送風能力、ＵＬＰＡフィルタ
１４，２４を通る空気の圧力損失等の諸条件が第１チャ
ンバー１と第２チャンバー２とで略同一に設定されてい
る。このような条件下で第２のチャンバー２内の気圧を
第１のチャンバー１内の気圧よりも高くする一つの方策
として、本実施例においては、第１のチャンバー１の上
パンチング板１１の開口率を、下パンチング板１２の開
口率よりも小さくするとともに、第２のチャンバー２の
上パンチング板２１の開口率を、下パンチング板２２の
開口率よりも大きくしている。例えば、下パンチング板
１２の開口率を８０％に設定し、上パンチング板１１の
開口率を２０％に設定して第１のチャンバー１内の気圧
が外気より０．２ｍｍＡｑ程度高くなるようにする。こ
の第１のチャンバー内の気圧と外気圧との気圧差によ
り、第１のチャンバー１内から搬入口４を通って装置外
へ常に気流が生じ、装置外の塵埃が搬入口４を通って第
１のチャンバー１内に侵入することが防がれる。
１のチャンバー１内の気圧よりも高くなるように、各チ
ャンバー１，２の上下のパンチング板１１，１２，２
１，２２の孔の開口率が設定されている。ところで本実
施例においては、各チャンバー１，２にそれぞれ設けら
れた各パンチング板１１，１２，２１，２２の面積、シ
ロッコファン１３，２３の送風能力、ＵＬＰＡフィルタ
１４，２４を通る空気の圧力損失等の諸条件が第１チャ
ンバー１と第２チャンバー２とで略同一に設定されてい
る。このような条件下で第２のチャンバー２内の気圧を
第１のチャンバー１内の気圧よりも高くする一つの方策
として、本実施例においては、第１のチャンバー１の上
パンチング板１１の開口率を、下パンチング板１２の開
口率よりも小さくするとともに、第２のチャンバー２の
上パンチング板２１の開口率を、下パンチング板２２の
開口率よりも大きくしている。例えば、下パンチング板
１２の開口率を８０％に設定し、上パンチング板１１の
開口率を２０％に設定して第１のチャンバー１内の気圧
が外気より０．２ｍｍＡｑ程度高くなるようにする。こ
の第１のチャンバー内の気圧と外気圧との気圧差によ
り、第１のチャンバー１内から搬入口４を通って装置外
へ常に気流が生じ、装置外の塵埃が搬入口４を通って第
１のチャンバー１内に侵入することが防がれる。
【００１８】一方、第２のチャンバー２のパンチング板
２１，２２は、上パンチング板２１が上記上パンチング
板１１よりも大きい開口率を有し、下パンチング板２２
が上パンチング板２１よりも小さい開口率を有するよう
に、例えば、上パンチング板２１の開口率を８０％に設
定し、下パンチング板２２の開口率を２０％に設定して
第２のチャンバー２内の気圧が第１のチャンバー１内の
気圧より０．２ｍｍＡｑ程度高くなるようにする。この
第１のチャンバー１内の気圧と第２のチャンバー２内の
気圧との気圧差により、第２のチャンバー２内から通過
口８を通って第１のチャンバー１へ常に気流が生じ、第
１のチャンバー１内の塵埃が通過口８を通って第２のチ
ャンバー２内へ侵入することが防がれる。なお、クリー
ンルームＢの気圧は通常大気圧のため、第２のチャンバ
ー２内から搬出口５を通ってクリーンルームＢへも気流
が生じる。これにより、クリーンルームＢからの塵埃が
第２のチャンバー２内に侵入することが防がれる。
２１，２２は、上パンチング板２１が上記上パンチング
板１１よりも大きい開口率を有し、下パンチング板２２
が上パンチング板２１よりも小さい開口率を有するよう
に、例えば、上パンチング板２１の開口率を８０％に設
定し、下パンチング板２２の開口率を２０％に設定して
第２のチャンバー２内の気圧が第１のチャンバー１内の
気圧より０．２ｍｍＡｑ程度高くなるようにする。この
第１のチャンバー１内の気圧と第２のチャンバー２内の
気圧との気圧差により、第２のチャンバー２内から通過
口８を通って第１のチャンバー１へ常に気流が生じ、第
１のチャンバー１内の塵埃が通過口８を通って第２のチ
ャンバー２内へ侵入することが防がれる。なお、クリー
ンルームＢの気圧は通常大気圧のため、第２のチャンバ
ー２内から搬出口５を通ってクリーンルームＢへも気流
が生じる。これにより、クリーンルームＢからの塵埃が
第２のチャンバー２内に侵入することが防がれる。
【００１９】なお、ＵＬＰＡフィルタ１４，２４は、シ
ロッコファン１３，２３による第１，第２のチャンバー
１，２内の気圧の維持をほとんど妨げない通気性を有す
るようになっている。
ロッコファン１３，２３による第１，第２のチャンバー
１，２内の気圧の維持をほとんど妨げない通気性を有す
るようになっている。
【００２０】また、第１のチャンバー１の側板であって
物品搬入側には搬入口４が、仕切板６には通過口８が、
第２のチャンバー２の側板であってクリーンルームＢ側
には搬出口５が形成され、これらを貫通するようにコン
ベヤ３が配設されている。そして、コンベヤ３により物
品Ｐが搬入口４から搬出口５まで搬送されるようになっ
ている。
物品搬入側には搬入口４が、仕切板６には通過口８が、
第２のチャンバー２の側板であってクリーンルームＢ側
には搬出口５が形成され、これらを貫通するようにコン
ベヤ３が配設されている。そして、コンベヤ３により物
品Ｐが搬入口４から搬出口５まで搬送されるようになっ
ている。
【００２１】また、第１のチャンバー１内であってコン
ベヤ３の上方には清掃ブラシ７が配設され、この清掃ブ
ラシ７の下流側には通過口８を挾んで第１のチャンバー
１側に吸引部９ｂが、第２のチャンバー２側に高圧ノズ
ル９ａが配設されている。また、第１，第２のチャンバ
ー１，２の後方の還流路６０には、高圧ブロア９ｅと外
気取入ユニット１０とが設けられている。
ベヤ３の上方には清掃ブラシ７が配設され、この清掃ブ
ラシ７の下流側には通過口８を挾んで第１のチャンバー
１側に吸引部９ｂが、第２のチャンバー２側に高圧ノズ
ル９ａが配設されている。また、第１，第２のチャンバ
ー１，２の後方の還流路６０には、高圧ブロア９ｅと外
気取入ユニット１０とが設けられている。
【００２２】上記高圧ブロア９ｅは、高速気流を送風す
るもので、その送風側がエアパイプ９ｃを介して上記高
圧ノズル９ａに接続され、吸気側がダクト９ｆを介して
上記吸引部９ｂに接続されている。上記高圧ノズル９ａ
は、例えば、複数個のフラットジェットノズル９０をコ
ンベヤ３の幅方向に並設して構成されている。各ノズル
９０は、図３に示すように、コンベヤ３の搬送方向の下
流側にθ（例えば６０°）傾くように配設されるととも
に、その空気吹き出し口の高さｈは、コンベヤ３上の物
品Ｐから、例えば１０ｍｍ〜２０ｍｍになるように配設
されている。吸引部９ｂは、高圧ノズル９ａに向かって
開口９０ｂが形成されている。
るもので、その送風側がエアパイプ９ｃを介して上記高
圧ノズル９ａに接続され、吸気側がダクト９ｆを介して
上記吸引部９ｂに接続されている。上記高圧ノズル９ａ
は、例えば、複数個のフラットジェットノズル９０をコ
ンベヤ３の幅方向に並設して構成されている。各ノズル
９０は、図３に示すように、コンベヤ３の搬送方向の下
流側にθ（例えば６０°）傾くように配設されるととも
に、その空気吹き出し口の高さｈは、コンベヤ３上の物
品Ｐから、例えば１０ｍｍ〜２０ｍｍになるように配設
されている。吸引部９ｂは、高圧ノズル９ａに向かって
開口９０ｂが形成されている。
【００２３】また、高圧ブロア９ｅと高圧ノズル９ａと
の間には、インライン型フィルタ９ｄが配設されてお
り、高圧ブロア９ｅからの高速気流から塵埃が除去され
るようになっている。
の間には、インライン型フィルタ９ｄが配設されてお
り、高圧ブロア９ｅからの高速気流から塵埃が除去され
るようになっている。
【００２４】次に、上記構成の物品清浄装置の作用につ
いて説明する。シロッコファン１３，２３が図示しない
駆動モータ等により回転されることにより送風が開始
し、上パンチング板１１，２１により整流され、ＵＬＰ
Ａフィルタ１４，２４により塵埃が除去された空気が、
第１，第２のチャンバー１，２へ垂直方向の気流として
供給される。この空気は、下パンチング板１２，２２を
通って還流路６０へ排気された後、この還流路６０から
上パンチング板１１，２１を通ってシロッコファン１
３，２３へ還流される。
いて説明する。シロッコファン１３，２３が図示しない
駆動モータ等により回転されることにより送風が開始
し、上パンチング板１１，２１により整流され、ＵＬＰ
Ａフィルタ１４，２４により塵埃が除去された空気が、
第１，第２のチャンバー１，２へ垂直方向の気流として
供給される。この空気は、下パンチング板１２，２２を
通って還流路６０へ排気された後、この還流路６０から
上パンチング板１１，２１を通ってシロッコファン１
３，２３へ還流される。
【００２５】そして、パンチング板１１，１２の開口率
の差により、第１のチャンバー１内へ供給される空気量
よりも排気される空気量が少なくなるようにしているた
め、第１のチャンバー１内の気圧が外気より０．２ｍｍ
Ａｑ程度高くなる。一方、パンチング板２１，２２の開
口率の差により、第２のチャンバー２内の気圧が第１の
チャンバー１内の気圧より０．２ｍｍＡｑ程度高くな
る。
の差により、第１のチャンバー１内へ供給される空気量
よりも排気される空気量が少なくなるようにしているた
め、第１のチャンバー１内の気圧が外気より０．２ｍｍ
Ａｑ程度高くなる。一方、パンチング板２１，２２の開
口率の差により、第２のチャンバー２内の気圧が第１の
チャンバー１内の気圧より０．２ｍｍＡｑ程度高くな
る。
【００２６】一方、搬入口４の外側でコンベヤ３に載置
された物品Ｐは、コンベヤ３によりクリーンルームＢへ
向けて搬送される。この搬送途中で物品Ｐに付着してい
る塵埃が、清掃ブラシ７により擦られて剥離された後、
高圧ノズル９ａの各ノズル９０からの高速気流により吹
き飛ばされ、上記各ノズル９０からの高速気流とともに
開口９０ｂを介して吸引部９ｂに全て吸引される。そし
て、この塵埃の除去された物品Ｐが第２のチャンバー２
を通って搬出口５へ搬送される。
された物品Ｐは、コンベヤ３によりクリーンルームＢへ
向けて搬送される。この搬送途中で物品Ｐに付着してい
る塵埃が、清掃ブラシ７により擦られて剥離された後、
高圧ノズル９ａの各ノズル９０からの高速気流により吹
き飛ばされ、上記各ノズル９０からの高速気流とともに
開口９０ｂを介して吸引部９ｂに全て吸引される。そし
て、この塵埃の除去された物品Ｐが第２のチャンバー２
を通って搬出口５へ搬送される。
【００２７】なお、外気取入ユニット１０により外気か
ら塵埃を除去して還流路６０内に送風することによって
第１，第２のチャンバー１，２内が冷却される。
ら塵埃を除去して還流路６０内に送風することによって
第１，第２のチャンバー１，２内が冷却される。
【００２８】このように、上パンチング板１１と下パン
チング板１２の開口率の差によって第１のチャンバー１
内の気圧を外気圧よりも高くなるように設定し、上パン
チング板１１と上パンチング板２１の開口率の差及び上
パンチング板２１と下パンチング板２２の開口率の差に
よって第２のチャンバー２内の気圧を第１のチャンバー
１内の気圧よりも高くなるように設定したので、装置外
から第１のチャンバー１内への塵埃の侵入、及び第１の
チャンバー１やクリーンルームＢから第２のチャンバー
２内への塵埃の侵入を防ぐことができる。
チング板１２の開口率の差によって第１のチャンバー１
内の気圧を外気圧よりも高くなるように設定し、上パン
チング板１１と上パンチング板２１の開口率の差及び上
パンチング板２１と下パンチング板２２の開口率の差に
よって第２のチャンバー２内の気圧を第１のチャンバー
１内の気圧よりも高くなるように設定したので、装置外
から第１のチャンバー１内への塵埃の侵入、及び第１の
チャンバー１やクリーンルームＢから第２のチャンバー
２内への塵埃の侵入を防ぐことができる。
【００２９】また、第１，第２のチャンバー１，２内で
は、気流は整流されて垂直方向に流れるため、塵埃が拡
散されることなく第１，第２のチャンバー１，２外へ排
出される。従って、第１，第２のチャンバー１，２内の
清浄度を高く保つことができ、物品Ｐに塵埃が付着する
ことを防止することができる。さらに、高圧ノズル９ａ
から物品表面に吹き付けられた高速気流は、第１のチャ
ンバー１内に若干入った位置で物品Ｐへ斜めに吹き付け
られるため、物品Ｐに吹き付けられた気流は第２のチャ
ンバー２側へ流れない。
は、気流は整流されて垂直方向に流れるため、塵埃が拡
散されることなく第１，第２のチャンバー１，２外へ排
出される。従って、第１，第２のチャンバー１，２内の
清浄度を高く保つことができ、物品Ｐに塵埃が付着する
ことを防止することができる。さらに、高圧ノズル９ａ
から物品表面に吹き付けられた高速気流は、第１のチャ
ンバー１内に若干入った位置で物品Ｐへ斜めに吹き付け
られるため、物品Ｐに吹き付けられた気流は第２のチャ
ンバー２側へ流れない。
【００３０】なお、パンチング板１１，１２，２１，２
２の各開口率を同じにしてシロッコファン１３，２３の
回転速度をそれぞれ異ならせることにより、第１，第２
のチャンバー１，２内の気圧を上述した気圧に設定する
ことも可能であるが、このためには各シロッコファン１
３，２３の回転速度をそれぞれ所望の回転速度に制御す
る制御手段等を設ける必要があり、コストアップを招く
ことになる。一方、上記実施例では、シロッコファン１
３，２３は、互いに等しい回転速度でよいので、同一規
格のファンを配設すればよくコストの低減を図ることが
できる。
２の各開口率を同じにしてシロッコファン１３，２３の
回転速度をそれぞれ異ならせることにより、第１，第２
のチャンバー１，２内の気圧を上述した気圧に設定する
ことも可能であるが、このためには各シロッコファン１
３，２３の回転速度をそれぞれ所望の回転速度に制御す
る制御手段等を設ける必要があり、コストアップを招く
ことになる。一方、上記実施例では、シロッコファン１
３，２３は、互いに等しい回転速度でよいので、同一規
格のファンを配設すればよくコストの低減を図ることが
できる。
【００３１】また、パンチング板１１，１２，２１，２
２の各開口率は、第１のチャンバー１内の気圧が外気圧
よりも高く、第２のチャンバー２内の気圧が第１のチャ
ンバー１内の気圧よりも高くなるものであれば、上述し
た開口率に限定されるものではない。また、上記実施例
では、上パンチング板１１，２１をＵＬＰＡフィルタ１
４，２４の上方に配設したが、ＵＬＰＡフィルタ１４，
２４の下方に上パンチング板１１，２１を配設してもよ
い。さらに、１つのシロッコファンで第１，第２のチャ
ンバー１，２にそれぞれ送風してもよい。
２の各開口率は、第１のチャンバー１内の気圧が外気圧
よりも高く、第２のチャンバー２内の気圧が第１のチャ
ンバー１内の気圧よりも高くなるものであれば、上述し
た開口率に限定されるものではない。また、上記実施例
では、上パンチング板１１，２１をＵＬＰＡフィルタ１
４，２４の上方に配設したが、ＵＬＰＡフィルタ１４，
２４の下方に上パンチング板１１，２１を配設してもよ
い。さらに、１つのシロッコファンで第１，第２のチャ
ンバー１，２にそれぞれ送風してもよい。
【００３２】また、物品Ｐの搬送手段は、コンベヤ３に
限られるものではなく、ローラ等であってもよい。
限られるものではなく、ローラ等であってもよい。
【００３３】また、物品Ｐの搬送手段の下方側に高圧ノ
ズル及び吸引部を設け、この高圧ノズルにより物品Ｐの
下側に付着している塵埃を吹き飛ばすようにしてもよ
い。
ズル及び吸引部を設け、この高圧ノズルにより物品Ｐの
下側に付着している塵埃を吹き飛ばすようにしてもよ
い。
【００３４】
【発明の効果】本発明は、第１のチャンバー内の気圧が
外気圧よりも高くなるように、第２のチャンバー内の気
圧が第１のチャンバー内の気圧よりも高くなるようにし
たので、物品清浄装置の外部から第１のチャンバー内へ
の塵埃の侵入、及び第１のチャンバーや物品清浄装置の
外部から第２のチャンバー内への塵埃の侵入を防ぐこと
ができる。従って、第１，第２のチャンバー内の清浄度
を高く保つことができるとともに、物品に塵埃が再付着
することを確実に防止することができる。
外気圧よりも高くなるように、第２のチャンバー内の気
圧が第１のチャンバー内の気圧よりも高くなるようにし
たので、物品清浄装置の外部から第１のチャンバー内へ
の塵埃の侵入、及び第１のチャンバーや物品清浄装置の
外部から第２のチャンバー内への塵埃の侵入を防ぐこと
ができる。従って、第１，第２のチャンバー内の清浄度
を高く保つことができるとともに、物品に塵埃が再付着
することを確実に防止することができる。
【図１】本発明に係る物品清浄装置の一実施例を示す側
面からみた概略構成図である。
面からみた概略構成図である。
【図２】図１のII−II線矢視図である。
【図３】高圧ノズル及び吸引部の拡大図である。
１ 第１のチャンバー ２ 第２のチャンバー ３ コンベヤ（搬送手段） ４ 搬入口 ５ 搬出口 ６ 仕切板 ７ 清掃ブラシ（清掃手段） ８ 通過口 ９ａ 高圧ノズル（清掃手段） ９ｂ 吸引部（清掃手段） １１，２１ 上パンチング板（有孔板） １２，２２ 下パンチング板（有孔板） １３，２３ シロッコファン（送風手段） １４，２４ ＵＬＰＡフィルタ ６０ 還流路 ９０ フラットジェットノズル Ａ 物品清浄装置 Ｂ クリーンルーム Ｐ 物品
Claims (1)
- 【請求項１】 物品を搬送する搬送手段と、物品の搬送
空間を物品の搬送方向の上流側と下流側に分割して成る
第１，第２のチャンバーと、上記第１のチャンバー内で
物品表面の塵埃を除去する清掃手段と、複数個の孔が穿
設され、各チャンバーの上下を塞ぐようにそれぞれ配設
された一対の有孔板と、上記第１，第２のチャンバーの
上方の有孔板を通して上記第１，第２のチャンバーにそ
れぞれ送風する第１，第２の送風手段とを備え、上記第
１，第２の送風手段は互いに等しい送風能力を有した物
品清浄装置において、上記第１のチャンバーの一対の有
孔板は、上方の有孔板を通して上記第１のチャンバーへ
供給される空気量が下方の有孔板を通して排気される空
気量よりも少なくなるように開口率が設定され、上記第
２のチャンバーの一対の有孔板は、第２のチャンバー内
の気圧が第１のチャンバー内の気圧よりも高くなるよう
に開口率が設定されたことを特徴とする物品清浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5085792A JPH0811224B2 (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | 物品清浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5085792A JPH0811224B2 (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | 物品清浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05253550A JPH05253550A (ja) | 1993-10-05 |
| JPH0811224B2 true JPH0811224B2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=12870399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5085792A Expired - Fee Related JPH0811224B2 (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | 物品清浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0811224B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1259157C (zh) * | 1996-07-30 | 2006-06-14 | 松下电器产业株式会社 | 电子机器的拆卸方法及其拆卸装置 |
| KR100566032B1 (ko) * | 1999-11-11 | 2006-03-30 | 휴글엘렉트로닉스가부시키가이샤 | 제진장치 |
| JP3655918B1 (ja) * | 2004-04-09 | 2005-06-02 | 株式会社十和田エンジニアリング | カバーテープ除去装置 |
| JP4637155B2 (ja) * | 2007-10-30 | 2011-02-23 | 小島プレス工業株式会社 | 除電除塵装置及び除電除塵方法 |
| JP4740927B2 (ja) * | 2007-11-27 | 2011-08-03 | 日東精機株式会社 | 半導体ウエハの保護テープ切断方法およびその装置 |
| KR100928691B1 (ko) * | 2009-03-24 | 2009-11-27 | 주식회사 지디머신즈 | 슬릿형 초음속 노즐 및 이를 구비한 표면처리장치 |
| JP2013148221A (ja) * | 2010-05-11 | 2013-08-01 | Sharp Corp | クリーンルーム |
| DE102011052325A1 (de) * | 2011-08-01 | 2013-02-07 | Roth & Rau Ag | Reinigungsmodul und Reinigungsverfahren für Substrate und/oder Substratträger |
| CN103143531B (zh) * | 2013-02-21 | 2015-09-16 | 江苏汇成光电有限公司 | 一种柔性电路板表面微尘清除器 |
| CN105057276B (zh) * | 2015-07-22 | 2017-04-12 | 国网山东省电力公司济南供电公司 | 变电站二次设备清扫装置 |
| JP2017196575A (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 異物除去装置及び異物除去システム |
| KR102120704B1 (ko) * | 2018-09-28 | 2020-06-10 | 무진전자 주식회사 | 에어 커튼을 이용한 케미컬 퓸 제거장치 |
| CN110802955A (zh) * | 2019-12-09 | 2020-02-18 | 成都优迅奇科技有限公司 | 一种能有效清理打印机灰尘的方法 |
-
1992
- 1992-03-09 JP JP5085792A patent/JPH0811224B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05253550A (ja) | 1993-10-05 |
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