JP4637155B2 - 除電除塵装置及び除電除塵方法 - Google Patents

Description

本発明は、除電除塵装置及び除電除塵方法に係り、特に、イオンを気体と共に被処理物に吹き付けることにより、被処理物を除電・除塵処理する装置の改良された構造と、そのような被処理物の除電・除塵処理を有利に実施する方法とに関するものである。

一般に、樹脂材料やゴム材料等の不導体（絶縁体）材料からなる、所謂不導体製品（以下からは、これら不導体材料からなる製品を不導体製品という）を、各種の金型を用いて、様々な成形手法により成形したり、或いは二次加工したりする場合には、それらの成形加工に用いられる金型と不導体製品との間で種々の帯電現象が惹起されて、不導体製品に静電気が不可避的に発生する。例えば、樹脂成形品を射出成形する際には、金型材料や樹脂材料により若干の差はあるものの、一般に、±２０ｋＶ以上もの高電圧の静電気が発生せしめられるようになる。

この不導体製品に発生した静電気は、製品表面に埃等の異物を引き寄せるため、例えば塗装等の表面処理の実施時における不具合の発生原因となっていた。また、そのような不導体製品以外にも、クリーンルーム内で組立加工等される各種の電子部品や医療用品等に、静電気によって埃等の異物が付着すると、クリーンルーム内に異物が持ち込まれるといった深刻な事態が惹起されることとなる。

そこで、従来から、そのような不導体製品や電子部品、医療用品等の成形加工に際しては、上記の如き様々な不具合の発生を未然に防止すべく、それら不導体製品や電子部品、医療用品等の被処理物に対する除電処理と除塵処理とが実施されている。そして、近年では、かかる被処理物に対する除電・除塵処理の効率化を図るべく、除電処理と除塵処理とを一挙に行い得る除電除塵装置が、種々、提案されている。

すなわち、例えば、（ア）エアガンの内部にイオン発生器が組み込まれてなり、イオン発生器にて発生させたイオンを、エアガンから噴射される圧縮空気と共に被処理物に吹き付けることによって、被処理物を除電・除塵処理する装置（例えば、下記特許文献１参照）や、（イ）被処理物が収容可能な収容部を備えた基台ボックスに、イオン発生器にてイオン化された空気を噴出する噴出ノズルが設けられてなり、収容部内に収容された被処理物に対して、噴出ノズルから噴出されるイオン化空気を吹き付けることによって、被処理物を除電・除塵処理する装置（例えば、下記特許文献２参照）、更には（ウ）取付板が、上下方向に延びるフレームに対して上下方向に往復移動可能に支持されると共に、かかる取付板に対して、圧縮空気吹付ノズルとイオン発生器とが取り付けられてなり、取付板の移動に伴って、それら圧縮空気吹付ノズルとイオン発生器とを上下方向に往復移動させつつ、イオン発生器にて発生させたイオンを、圧縮空気吹付ノズルから噴射される圧縮空気と共に被処理物に吹き付けることによって、被処理物を除電・除塵処理する装置（例えば、下記特許文献３参照）等が、提案されている。

ところが、（ア）の除電除塵装置を用いる場合、イオンと共に圧縮空気を被処理物に吹き付ける作業を、作業者がエアガンを操作しながらの手作業で行わなければならず、そのため、そのような吹付作業が、手間の掛かる非効率的なものとなっていた。

また、（イ）の除電除塵装置においては、被処理物に対するイオン化空気の吹付作業が自動で行われるものの、イオン化空気を噴射する噴射ノズルが位置固定とされているため、例えば、被処理物が比較的に大型のものであると、そのような被処理物の全体に、イオン化空気を均一に吹き付けることが困難であったのであり、しかも、そのために、一旦、被処理物から吹き飛ばされて舞い上がった埃等の異物が、被処理物に再付着する恐れさえもあったのである。

さらに、（ウ）の除電除塵装置にあっては、圧縮空気吹付ノズルを、上下方向の一方向に自動で移動させつつ、イオンと共に圧縮空気を被処理物に吹き付けるようにすれば、被処理物が比較的に大型のものであっても、圧縮空気吹付ノズルと対向する側の面に限っては、その全体に、圧縮空気とイオンとを、手間無く且つ均一に吹き付けることが可能となるものの、反対側の面には、圧縮空気とイオンとを吹き付けることが不可能であった。それ故、圧縮空気吹付ノズルとの対向面から吹き飛ばされた埃等の異物が、かかる対向面とは反対側に回り込んで、反対側の面に再付着するといった懸念があったのである。

特開２００５−２１１７９７号公報 特開２００６−７０１２号公報 特開平７−２７５７５７号公報

ここにおいて、本発明は、上述せる如き事情を背景にして為されたものであって、その解決課題とするところは、被処理物の大きさに拘わらず、その意匠面に対して、イオンを気体と共に自動的に吹き付けて、被処理物の意匠面から静電気と埃等の異物とを効率的に除去することが出来、しかも、除去された異物の被処理物への再付着を効果的に防止し得る除電除塵装置と除電除塵方法とを提供することにある。

そして、本発明にあっては、除電除塵装置に係る課題の解決のために、その要旨とするところは、クリーンルームに連通するように設けられたトンネル部内に配設された搬送手段によって、上面が意匠面とされた被処理物を該クリーンルーム内に搬送するに際して、かかる被処理物に対して、イオン発生器にて発生させたイオンを気体と共に吹き付けることにより、該被処理物を除電・除塵処理する除電除塵装置にして、前記搬送手段にて搬送される被処理物の上方と下方にそれぞれ位置するように、前記気体と共に前記イオンを該被処理物に吹き付ける一対の吹付ヘッドを設け、且つそれら吹付ヘッドの噴射方向が、それら吹付ヘッドの互いに向かい合う方向で、該被処理物の搬送方向の後方側に向かう方向となるように構成すると共に、該吹付ヘッドの対を該被処理物の搬送方向に互いに所定距離を隔てて離間するように複数配設せしめ、更に各対の吹付ヘッドにおいて、該被処理物の上方に位置せしめられる上側吹付ヘッドが、下方に位置せしめられる下側吹付ヘッドよりも前記搬送方向の前方側に設けられて、前記搬送手段にて搬送される被処理物に対して、前記イオンと気体とが、該下側吹付ヘッドから噴射された後、該上側吹付ヘッドから、該被処理物の前記意匠面に噴射せしめられるように構成したことを特徴とする除電除塵装置にある。

なお、このような本発明に従う除電除塵装置の好ましい態様の一つによれば、前記移動手段が、電気絶縁性を有する支持部を備え、前記被処理物を該支持部にて支持した状態で、前記吹付ヘッドに対して相対移動させ得るように構成される。

また、本発明に従う除電除塵装置の他の望ましい態様の一つによれば、前記トンネル部が、電気絶縁性を有する材料を用いて形成される。

さらに、本発明に従う除電除塵装置の更に他の好ましい態様の一つによれば、前記トンネル部が、電気絶縁体を介して床面上に設置される。

そして、本発明にあっては、前記せる除電除塵方法に係る課題の解決のために、クリーンルームに連通するように設けられたトンネル部内に配設された搬送手段によって、上面が意匠面とされた被処理物を該クリーンルーム内に搬送するに際して、かかる被処理物に対して、イオン発生器にて発生させたイオンを気体と共に被処理物に吹き付けることにより、該被処理物を除電・除塵処理する方法にして、（ａ）前記搬送手段にて搬送される被処理物の上方と下方にそれぞれ位置するように、前記気体と共に前記イオンを該被処理物に吹き付ける一対の吹付ヘッドを設けると共に、該吹付ヘッドの対を該被処理物の搬送方向に互いに所定距離を隔てて離間するように複数配設せしめ、更に各対の吹付ヘッドにおいて、該被処理物の上方に位置せしめられる上側吹付ヘッドを、下方に位置せしめられる下側吹付ヘッドよりも前記搬送方向の前方側に設ける工程と、（ｂ）前記被処理物が、前記複数対の上側吹付ヘッドと下側吹付ヘッドとの間を通過するように、該被処理物を前記搬送手段により前記クリーンルーム内に搬送する工程と、（ｃ）前記各対の吹付ヘッドのそれぞれの噴射方向が、それら吹付ヘッドの互いに向かい合う方向で、且つ前記被処理物の搬送方向の後方側に向かう方向に向かって、それら吹付ヘッドから前記気体を前記イオンと共に該被処理物に吹き付けると共に、前記搬送手段にて搬送される被処理物に対して、それらイオンと気体とを、前記各対における下側吹付ヘッドから噴射した後、上側吹付ヘッドから、該被処理物の前記意匠面に噴射する工程とを含むことを特徴とする除電除塵方法をも、また、その要旨とするものである。

すなわち、本発明に従う除電除塵装置にあっては、被処理物が搬送手段により搬送せしめられつつ、被処理物に対して、それを間に挟んだ両側から、気体が、イオンと共に、各吹付ヘッドにて吹き付けられるようになっている。それ故、被処理物が小型のものである場合は勿論、比較的に大型のものであっても、かかる被処理物の両側の全面に、気体をイオンと共に自動的に且つ均一に吹き付けることが出来、以て、被処理物の表面に発生した静電気を中和除去すると共に、この静電気にて吸着された埃等の異物を被処理物の表面の全面から除去することが可能となる。

また、かかる本発明装置では、被処理物の両側に、イオンと共に気体が吹き付けられるようになっているところから、被処理物の片側の面のみに、イオンと共に気体が吹き付けられるように構成された従来装置とは異なって、被処理物から吹き飛ばされた埃等の異物が、気体の吹付側とは反対側に回り込んで、被処理物の気体の吹付側とは反対側面に再付着することが、有利に回避され得る。

しかも、本発明に係る除電除塵装置においては、各吹付ヘッドから噴射される気体が、被処理物を間に挟んで両側に位置せしめられる吹付ヘッド同士の離間方向内方で、且つ搬送手段にて搬送せしめられる被処理物の搬送方向の後方側に向かう方向に噴射されるようになっている。これによって、各吹付ヘッドから噴射された気体が、被処理物の表面に対して確実に吹き付けられ得る一方、かかる気体が被処理物の表面に反射して生ずる気流が、既に気体が吹き付けられた被処理物の表面部分に対して再び接触するようなことが有利に回避され得る。そして、その結果、かかる気流中に浮遊する埃等の異物が被処理物に再付着することが、効果的に防止され得る。

従って、かくの如き本発明に従う除電除塵装置にあっては、被処理物の大きさに拘わらず、その全面から、静電気と埃等の異物とを効率的に除去することが可能で、しかも、除去された異物の被処理物への再付着を極めて確実に且つ効果的に防止することが出来るのである。

そして、本発明に従う除電除塵方法にあっても、吹付ヘッド又は被処理物を搬送させつつ、被処理物に対して、それを間に挟んだ両側から、気体をイオンと共に各吹付ヘッドにて吹き付けるように為し、しかもその際に、被処理物を間に挟んで両側に位置せしめられる吹付ヘッド同士の離間方向内方で、且つ被処理物の搬送方向の後方側に向かう方向に、各吹付ヘッドから気体を噴射するようにしたものであるところから、前述せる本発明に従う除電除塵装置によって奏される作用・効果と実質的に同一の作用・効果が、極めて有効に享受され得ることとなる。

以下、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発明の構成について、図面を参照しつつ、詳細に説明することとする。

先ず、図１には、本発明に従う構造を有する除電除塵装置の一実施形態が、一部切欠部分を含む正面形態において概略的に示されている。かかる図１から明らかなように、本実施形態の除電除塵装置は、除電・除塵処理されるべき樹脂成形品からなる、上面が意匠面とされた被処理物１０を搬送する、移動手段としての搬送コンベヤ１２と、この搬送コンベヤ１２にて搬送される被処理物１０に対して圧縮空気と共に所定のイオンを吹き付ける複数（ここでは４個）の吹付ヘッド１３とを含んで構成されている。

より具体的には、搬送コンベヤ１２は、図１及び図２に示される如く、公知のベルトコンベヤ式の構造を有し、所定幅を有する、支持部としての無端の搬送ベルト１４が巻き掛けられてなる長手の搬送部１６と、この搬送部１６を支持する複数の脚部１８とを備えている。そして、搬送ベルト１４が、搬送部１６に固定された図示しない電動モータの駆動に伴って走行せしめられることにより、搬送ベルト１４上に載置されて、支持された複数の被処理物１０が、搬送部１６の長手方向たる水平方向の一方向（図１及び図２中に、それぞれ、白抜き矢印で示す方向）に、順次、搬送され得るようになっている。

また、かかる搬送コンベヤ１２においては、搬送ベルト１４が、例えばポリプロピレン等の合成樹脂材料を用いて形成された、比較的に大きな網目を有するメッシュベルトにて構成されており、それによって、搬送ベルト１４に対して、電気絶縁性と十分な通気性とが付与されている。

そして、このような搬送ベルト１４を有する搬送コンベヤ１２の長さ方向の一端側部分が、合成樹脂製で電気絶縁性を有する仕切壁２０にて一般ルーム２２と仕切られてなるクリーンルーム２４内に突入位置せしめられている。即ち、搬送コンベヤ１２が、仕切壁２０に設けられた比較的に大きな矩形の窓部２６を通じて、搬送部１６における被処理物１０の搬送方向（搬送ベルト１４の走行方向）の下流側の端部部分をクリーンルーム２４内に突入させた状態で、複数の脚部１８にて、一般ルーム２２の床面２８上に設置されているのである。

また、クリーンルーム２４と一般ルーム２２とを仕切る仕切壁２０には、窓部２６に対応した大きさの開口部を備えた矩形筒状を呈する、筒状収容体としてのトンネル部３０が、窓部２６の周りを取り囲んだ状態で、一般ルーム２２内に所定長さで突出して、水平方向に延びるように一体形成されている。

これによって、ここでは、トンネル部３０が、仕切壁２０と同じ合成樹脂材料を用いて形成されて、電気絶縁性が具備せしめられており、また、そのようなトンネル部３０の内部に、搬送コンベヤ１２の搬送部１６の長さ方向中間部が、所定長さに亘って収容位置せしめられている。なお、このトンネル部３０は、搬送コンベヤ１２の搬送部１６のうち、クリーンルーム２４内に突入せしめられた一端側の端部とそれとは反対側の端部とを除く部分の全体を収容可能な、比較的に長い軸方向長さを有している。そして、その下面に一体形成された脚部３２によって、一般ルーム２２の床面２８上に設置されている。

一方、４個の吹付ヘッド１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄは、何れも、ヘッド本体３４を有している。このヘッド本体３４は、前記搬送コンベヤ１２の搬送ベルト１４の幅と略同程度の大きさの幅を有する横長矩形の筐体形態を呈している。そして、それら４個の吹付ヘッド１３ａ〜ｄのうちの２個の吹付ヘッド１３ａ，１３ｂの各ヘッド本体３４の上面には、給気パイプ３６が、また、その下面には、複数（ここでは４個）のノズル３８が、ヘッド本体３４内に連通する状態で、それぞれ、取り付けられている。一方、４個の吹付ヘッド１３のうちの残りの２個の吹付ヘッド１３ｃ，１３ｄの各ヘッド本体３４においては、それぞれの下面に、給気パイプ３６が、また、その上面に、複数（ここでは４個）のノズル３８が、ヘッド本体３４内に連通する状態で、それぞれ、取り付けられている。

そして、それら各吹付ヘッド１３ａ〜ｄのヘッド本体３４の上面又は下面に取り付けられた給気パイプ３６が、ヘッド本体３４側とは反対側の先端部において、例えば、圧縮空気の発生源たるコンプレッサ４０に接続されており、また、その中間部には、例えば、一対の電極を有し、それら一対の電極間でのコロナ放電によりイオンを発生させる公知の構造を備えたイオン発生器４２が設けられている。これによって、コンプレッサ４０にて発生せしめられた圧縮空気が、先ず、給気パイプ３６の上流側部分を通じてイオン発生器４２内に導入されて、そこでのコロナ放電によりイオン化され、その後、このイオン化された空気（イオンを含む空気）が、イオン発生器４２よりも下流側の給気パイプ３６部分を通じて、各吹付ヘッド１３ａ〜ｄのヘッド本体３４内に供給されるようになっている。

また、各吹付ヘッド１３ａ〜ｄのヘッド本体３４の下面又は上面に取り付けられた複数のノズル３８は、何れも小径の筒状を呈し、ヘッド本体３４の幅方向（図１中の紙面に垂直な方向で且つ図２中の左右方向）の互いに等間隔を隔てた位置に、それぞれ１個ずつ突設されている。更に、それら各ノズル３８が、先端開口部を、鉛直方向に対して、ヘッド本体３４の幅方向と直角な方向の一方側（図１中の右側）に所定角度だけ傾いた方向に開口させた状態で、位置せしめられている。これにより、各吹付ヘッド１３ａ〜ｄのヘッド本体３４内に供給されたイオン化された空気が、各吹付ヘッド１３ａ〜ｄの各ノズル３８から、その先端開口部の開口方向に向かって噴射されるようになっている。また、ここでは、各ノズル３８が小径とされていることで、後述する如く、各ノズルから噴射されるイオン化空気を被処理物１０に吹き付ける際に、イオン化空気が、被処理物１０の全体でなく、その一部分に吹き付けられるようになっている。

そして、本実施形態においては、そのような構造とされた４個の吹付ヘッド１３ａ〜ｄが、トンネル部３０の内面にそれぞれ取り付けられている。

より詳細には、４個の吹付ヘッド１３ａ〜ｄのうち、ヘッド本体３４の下面に複数のノズル３８が設けられた２個の吹付ヘッド１３ａ，１３ｂが、矩形の筒状を呈するトンネル部３０内において、その長さ方向に所定距離を隔てた位置、換言すれば、トンネル部３０内に収容される搬送コンベヤ１２の搬送部１６による被処理物１０の搬送方向（移動方向）の上流側（後方）と下流側（前方）とに所定距離を隔てた位置に、複数のノズル３８を、被処理物１０の搬送方向に対して直角な方向（トンネル部３０の長さ方向に直角な方向で且つ搬送コンベヤ１２の搬送ベルト１４の幅方向）に等間隔を隔てて並べた状態で、トンネル部３０の上側筒壁部４４の下面（内面）に固定されている。これによって、ヘッド本体３４の下面に複数のノズル３８が設けられた２個の吹付ヘッド１３ａ，１３ｂのうち、トンネル部３０の上側筒壁部４４における被処理物１０の搬送方向の上流側に固定されたものと、その下流側に固定されたものとが、それぞれ、上流側第一吹付ヘッド１３ａと下流側第一吹付ヘッド１３ｂとされている。

また、そのような固定状態下で、それら上流側及び下流側第一吹付ヘッド１３ａ，１３ｂの各ヘッド本体３４の上面に設けられた給気パイプ３６が、トンネル部３０の上側筒壁部４４を貫通して、上方に延出せしめられている。更に、各ヘッド本体３４の下面に設けられた複数のノズル３８の全てが、搬送コンベヤ１２による被処理物１０の搬送方向の上流側（移動方向の後方側）に向かって下傾せしめられている。

一方、４個の吹付ヘッド１３ａ〜ｄのうち、上面に複数のノズル３８が設けられた残りの２個の吹付ヘッド１３ｃ，１３ｄは、トンネル部３０内において、搬送コンベヤ１２の搬送部１６による被処理物１０の搬送方向の上流側と下流側とに所定距離を隔てた位置に、上流側及び下流側第一吹付ヘッド１３ａ，１３ｂのトンネル部３０内での配置形態と同様な形態で配置されて、トンネル部３０の下側筒壁部４６の上面（内面）に固定されている。これによって、ヘッド本体３４の上面に複数のノズル３８が設けられた２個の吹付ヘッド１３ｃ，１３ｄのうち、トンネル部３０の下側筒壁部４６における被処理物１０の搬送方向の上流側に固定されたものと、その下流側に固定されたものとが、それぞれ、上流側第二吹付ヘッド１３ｃと下流側第二吹付ヘッド１３ｄとされている。

また、かかる固定状態下で、上流側及び下流側第二吹付ヘッド１３ｃ，１３ｄの各ヘッド本体３４の下面に設けられた給気パイプ３６が、下側筒壁部４６を貫通して、下方に延出せしめられている。更に、各ヘッド本体３４の上面に設けられた複数のノズル３８の全てが、搬送コンベヤ１２による被処理物１０の搬送方向の上流側（移動方向の後方側）に向かって上傾せしめられている。

そして、ここでは、特に、トンネル部３０の上側筒壁部４４に固定された上流側及び下流側第一吹付ヘッド１３ａ，１３ｂ同士の間の距離：Ｌ₁ と、下側筒壁部４６に固定された上流側及び下流側第二吹付ヘッド１３ｃ，１３ｄ同士の間の距離：Ｌ₂ とが互いに同一とされているものの、上流側第二吹付ヘッド１３ｃが、上流側第一吹付ヘッド１３ａよりも、所定寸法だけ、被処理物１０の搬送方向の上流側（移動方向の後方側）に位置せしめられていると共に、下流側第二吹付ヘッド１３ｄが、下流側第一吹付ヘッド１３ｂよりも、所定寸法だけ、被処理物１０の搬送方向の上流側（移動方向の後方側）に位置せしめられている。また、被処理物１０の搬送方向における上流側第二吹付ヘッド１３ｃと上流側第一吹付ヘッド１３ａとの間の距離：Ｓ₁ や下流側第二吹付ヘッド１３ｄと下流側第一吹付ヘッド１３ｂとの間の距離：Ｓ₂ は、上流側及び下流側第一吹付ヘッド１３ａ，１３ｂ同士の間の距離：Ｌ₁ （上流側及び下流側第二吹付ヘッド１３ｃ，１３ｄ同士の間の距離：Ｌ₂ ）よりも小さくされている。つまり、ここでは、上流側第二吹付ヘッド１３ｃと上流側第一吹付ヘッド１３ａとが互いに対を為し、また、下流側第二吹付ヘッド１３ｄと下流側第一吹付ヘッド１３ｂとが互いに対を為した状態で、トンネル部３０内に固定されている。

かくして、本実施形態の除電除塵装置にあっては、トンネル部３０内に、上流側第一吹付ヘッド１３ａと上流側第二吹付ヘッド１３ｃとが、搬送コンベヤ１２の搬送部１６を間に挟んだ両側に、上下方向に所定距離を隔てて離間し、且つ上流側第二吹付ヘッド１３ｃが、上流側第一吹付ヘッド１３ａよりも所定距離：Ｓ₁ だけ被処理物１０の搬送方向の上流側に位置せしめられた状態で、固定的に配置されると共に、それら上流側第一吹付ヘッド１３ａと上流側第二吹付ヘッド１３ｃの固定位置よりも被処理物１０の搬送方向の下流側において、下流側第一吹付ヘッド１３ｂと下流側第二吹付ヘッド１３ｄとが、搬送コンベヤ１２の搬送部１６を間に挟んだ両側に、上下方向に所定距離を隔てて離間し、且つ下流側第二吹付ヘッド１３ｄが、下流側第一吹付ヘッド１３ｂよりも所定距離：Ｓ₂ だけ被処理物１０の搬送方向の上流側に位置せしめられた状態で、固定的に配置されている。

そして、搬送コンベヤ１２の搬送ベルト１４上に載置されて、支持された複数の被処理物１０が、トンネル部３０内において、各吹付ヘッド１３ａ〜ｄに対して相対的に移動せしめられるように、上流側第一吹付ヘッド１３ａと上流側第二吹付ヘッド１３ｃとの間、及び下流側第一吹付ヘッド１３ｂと下流側第二吹付ヘッド１３ｄとの間をそれぞれ通過して、クリーンルーム２４内に次々と搬送されるようになっている。

また、そのようにして被処理物１０がクリーンルーム２４内に搬送される途中で、各吹付ヘッド１３の複数のノズル３８からイオン化された空気が噴射されることによって、トンネル部３０内で、かかるイオン化空気が、被処理物１０に対して吹き付けられ得るようになっている（イオンと共に空気を被処理物１０に吹き付け得るようになっている）。

そして、このとき、１個の被処理物１０におけるイオン化空気の吹付箇所が、かかる被処理物１０の搬送に伴って、その搬送方向の下流側から上流側に向かって（移動方向の前方側から後方側に向かって）徐々に移動せしめられるようになる。また、かかるイオン化空気が、上流側及び下流側第一吹付ヘッド１３ａ，１３ｂの各ノズル３８から、被処理物１０の意匠面たる上面に対して、被処理物１０の搬送方向の上流側に向かって吹き付けられる一方、上流側及び下流側第二吹付ヘッド１３ｃ，１３ｄの各ノズル３８から、被処理物１０の非意匠面たる下面に対しても、被処理物１０の搬送方向の上流側に向かって吹き付けられるようになっている。

これによって、本実施形態の除電除塵装置では、被処理物１０が小型のものである場合は勿論、比較的に大型のものであっても、かかる被処理物１０の上下両側の全面に、イオン化空気を自動的に且つ均一に吹き付けることが出来、以て、被処理物１０の意匠面と非意匠面の全面から、静電気と埃等の異物を、より確実に且つ効率的に除去することが出来る。そして、そのような清浄な状態とされた被処理物１０を、クリーンルーム２４内に順次搬送することが可能となる。

しかも、かかる除電除塵装置においては、例えば、被処理物１０の意匠面たる上面だけ、或いは下面だけにイオン化空気が吹き付けられる従来装置とは異なって、イオン化空気が被処理物１０の上面又は下面に反射して生ずる気流が、イオン化空気の吹付側とは反対の面側に回り込んで、かかる反対側の面と接触し、それにより、そのような気流中に含まれる埃等の異物が、イオン化空気の吹付側とは反対側の面に再付着するようなことが有利に防止され得る。

従って、本実施形態に係る除電除塵装置を用いれば、複数の被処理物１０のそれぞれの表面の全面が、順次、効果的に且つ効率的に清浄化され得る。そして、そのような清浄な複数の被処理物１０がクリーンルーム２４内に次々と搬送され得、以て、クリーンルーム２４内で、複数の被処理物１０に対する種々の加工、処理を実施する際に、各被処理物１０の表面に発生乃至は付着する静電気や埃等の異物により各種の不具合が生ずることが、極めて有利に防止され得ることとなる。しかも、埃等の異物が、被処理物１０に付着した状態で、クリーンルーム２４内に侵入せしめられることが、未然に阻止され得る。

また、かかる本実施形態の除電除塵装置では、被処理物１０におけるイオン化空気の吹付箇所が、被処理物１０の搬送方向の下流側から上流側（被処理物１０の移動方向の前方側から後方側）に徐々に移動せしめられると共に、イオン化空気が、被処理物１０の上面と下面とに対して、被処理物１０の搬送方向の上流側（被処理物１０の移動方向の後方側）に向かって吹き付けられるようになっているところから、例えば、イオン化空気が被処理物１０の表面に反射して生ずる気流が、既にイオン化空気が吹き付けられた被処理物１０の表面部分に対して再び接触するようなことが有利に回避され得る。これによっても、かかる気流中に浮遊する埃等の異物の被処理物１０への再付着が効果的に防止され得る。

さらに、本実施形態においては、被処理物１０の搬送方向の上流側に、上流側第二吹付ヘッド１３ｃと上流側第一吹付ヘッド１３ａとが互いに対応して位置せしめられる一方、それらの下流側に、下流側第二吹付ヘッド１３ｄと下流側第一吹付ヘッド１３ｂとが互いに対応して位置せしめられている。そのため、１個の被処理物１０が搬送コンベヤ１２にてクリーンルーム２４内に搬送される間に、かかる１個の被処理物１０に対して、除電・除塵処理が２回にわたって実施され得、それによって、比較的に簡略な構造において、被処理物１０が、より確実に清浄化され得る。

その上、上流側第二吹付ヘッド１３ｃが、上流側第一吹付ヘッド１３ａよりも被処理物１０の搬送方向の上流側に位置せしめられていることで、上流側第二吹付ヘッド１３ｃが、上流側第一吹付ヘッド１３ａよりも早く、被処理物１０に対してイオン化空気を吹き付け得るようになっており、また、下流側第二吹付ヘッド１３ｄが、下流側第一吹付ヘッド１３ｂよりも被処理物１０の搬送方向の上流側に位置せしめられていることで、下流側第二吹付ヘッド１３ｄが、下流側第一吹付ヘッド１３ｂよりも早く、被処理物１０に対してイオン化空気を吹き付け得るようになっている。それ故、上流側第二吹付ヘッド１３ｃと上流側第一吹付ヘッド１３ａからのイオン化空気の被処理物１０への吹付時と、下流側第二吹付ヘッド１３ｄと下流側第一吹付ヘッド１３ｂからのイオン化空気の被処理物１０への吹付時の何れにおいても、イオン化空気が、被処理物１０の意匠面たる上面よりも先に、非意匠面たる下面に対して吹き付けられるようになる。

これによって、例えば、被処理物１０の上下両面に対して同時に、或いは意匠面たる上面に対して、非意匠面たる下面よりも先に、イオン化空気が吹き付けられる場合とは異なって、非意匠面たる下面から吹き飛ばされた埃等の異物が意匠面に付着することがあっても、この意匠面に付着した異物が、その後から意匠面たる上面に吹き付けられるイオン化空気により意匠面から吹き飛ばされて、除去され得る。そして、その結果として、被処理物１０の意匠面が、より清浄化され得、以て、除電・除塵処理後に実施される種々の加工、処理に際して、かかる意匠面に発生乃至は付着する静電気や埃等の異物にて各種の不具合が生ずることが更に効果的に防止され得て、意匠面の良好な外観が有効に確保され得ることとなる。

また、本実施形態では、１個の吹付ヘッド１３ａ〜ｄに対して、複数のノズル３８が、搬送コンベヤ１２の搬送ベルト１４の幅方向に並んで位置するように設置されているため、被処理物１０に対して、イオン化空気を、可及的にムラなく均一に吹き付けることが可能となっている。

さらに、かかる除電除塵装置においては、被処理物１０を支持する搬送コンベヤ１２の搬送ベルト１４が、十分な通気性を有するメッシュベルトにて構成されているところから、搬送ベルト１４の下側に設置された上流側及び下流側第二吹付ヘッド１３ｃ，１３ｄの各ノズル３８から噴射されるイオン化空気が、かかる搬送ベルト１４の網目を通じて、被処理物１０の下面に対して確実に吹き付けられ得る。また、そのような搬送ベルト１４が、合成樹脂材料を用いて形成されて、電気絶縁性を有している。これによって、被処理物１０の表面の全面に対する除電・除塵処理が、更に一層確実且つ効果的に行われ得るのである。

更にまた、本実施形態では、被処理物１０に対するイオン化空気の吹付による除電・除塵処理がトンネル部３０内で実施されるようになっているため、除電・除塵処理後の被処理物１０と埃等の異物が大量に浮遊する一般ルーム２２内の空気との接触が可及的に防止され、それによって、除電・除塵処理後の被処理物１０に対する埃等の異物の再付着が、より有利に阻止され得る。

また、本実施形態においては、トンネル部３０が、合成樹脂製で電気絶縁性を有しているところから、被処理物１０に吹き付けられたイオン化空気中のイオンが、トンネル部３０に吸着されることが効果的に防止され、それによって、かかるトンネル部３０内での被処理物１０に対する除電処理が、より確実に且つ効率的に実施され得る。

さらに、本実施形態では、吹付ヘッド１３ａ〜ｄが、被処理物１０を一般ルーム２２からクリーンルーム２４内に搬送する搬送コンベヤ１２を間に挟んで設置されているため、被処理物１０を搬送するためのスペースに吹付ヘッド１３ａ〜ｄを設置が可能となり、それによって、吹付ヘッド１３ａ〜ｄを設置するための専用のスペースが有利に省略され得ると共に、被処理物１０を除電・除塵処理するための専用スペースも効果的に省略され得る。

以上、本発明の代表的な一つの実施形態について詳述してきたが、それは、あくまでも例示であって、本発明は、そのような実施形態における具体的な記述によって何等限定的に解釈されるものでない。

例えば、被処理物１０を吹付ヘッド１３に対して相対移動させ得るように構成する場合にあっても、この被処理物１０の移動手段として、例示の搬送コンベヤ１２以外の装置も適宜に用いられ得る。即ち、例えば、図３に示されるように、被処理物１０を支持する支持部４８が、案内レール５０に沿って、ピニオンとラック等によるギヤ機構やボールねじ軸を利用したねじ送り機構等を利用した公知の各種の移動機構にてスライド移動可能とされた移動装置５２にて、移動手段を構成することも出来る。なお、図３には、前記実施形態と同様な構造とされた部材及び部位について、図１及び図２と同一の符号を付した。それによって、それらの部材及び部位に関する詳細な説明を省略した。

さらに、被処理物１０を搬送する搬送コンベヤ１２にて移動手段を構成する場合にも、被処理物１０を支持する支持部として、搬送ベルト１４に代えて、多数の搬送ローラを用いることも可能である。なお、この場合には、かかる搬送ローラが、電気絶縁体にて構成されていることが、望ましい。

また、吹付ヘッド１３の数や設置位置も例示のものに、特に限定されるものではなく、互いに所定距離を隔てた二つ以上のものが、それらの間を被処理物１０が通過可能に位置せしめられるようになっておれば良い。なお、吹付ヘッド１３と被処理物１０との間の距離は、吹付ヘッド１３から被処理物１０にイオンと共に気体を吹き付けることで、被処理物１０の除電・除塵処理が確実且つ有効に実施可能な距離とされている必要がある。

さらに、前記実施形態では、吹付ヘッド１３がイオン化空気を噴射するようになっていたが、吹付ヘッド１３は、イオンを気体と共に噴射し得るようになっておれば良く、従って、吹付ヘッド１３から、イオン発生器にて発生せしめられたイオンが混入せしめられた気体を噴射するようにしても良く、また、１個の吹付ヘッド１３に設けられた互いに別個のノズル３８から気体とイオンとを別々に噴射させたり、或いは互いに異なる吹付ヘッド１３のそれぞれのノズル３８から、気体とイオンとを別々に噴射させたりすることも出来る。

更にまた、吹付ヘッド１３から噴射される気体は、必ずしも空気に限定されるものではなく、空気以外の気体であっても、何等差し支えない。

また、吹付ヘッド１３に設けられたノズル３８を省略して、単なる噴出孔を通じて、吹付ヘッド１３から気体が噴射されるように構成することも可能である。その場合には、噴射孔が気体が前述せる如き所定方向に噴射されるように、吹付ヘッド１３の全体が傾けられた状態で設置される。

更にまた、前記実施形態では、吹付ヘッド１３から噴射された気体が、被処理物１０に対して部分的に吹き付けられるようになっていたが、かかる気体が、被処理物１０の全体に吹き付けられるように為すことも、勿論可能である。

また、前記実施形態では、筒状収容体としてのトンネル部３０の全体が、合成樹脂材料を用いて形成されることで、トンネル部３０に対して電気絶縁性が付与されていたが、例えば、トンネル部３０を支持する脚部３２の全部又は一部を電気絶縁性材料にて構成することにより、トンネル部３０が、電気絶縁体を介して、一般ルーム２２の床面２８上に設置して、トンネル部３０全体を絶縁状態と為すことも出来る。これによって、トンネル部３０の形成材料が自由に選択され得るといった利点が得られる。なお、かかるトンネル部３０は、本発明において、何等必須のものでないことは言うまでもないところである。

さらに、移動手段としての搬送コンベヤ１２と、その搬送部１６が収容される筒状収容部としてのトンネル部３０とが、何れも移動可能とされていても良い。

加えて、前記実施形態では、本発明を、樹脂成形品からなる被処理物の除電除塵装置と除電除塵方法とに適用したものの具体例を示したが、本発明は、樹脂成形品以外の被処理物の除電除塵装置と除電除塵方法の何れに対しても、有利に適用され得るものであることは、勿論である。

その他、一々列挙はしないが、本発明は、当業者の知識に基づいて、種々なる変更、修正、改良等を加えた態様において実施され得るものであり、そして、そのような実施態様が、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、何れも、本発明の範疇に属するものであることは、言うまでもないところである。

本発明に従う構造を有する除電除塵装置の一実施形態を示す一部切欠図を含む正面説明図である。 図１の横断面における部分拡大説明図である。 本発明に従う構造を有する除電除塵装置の別の実施形態の要部を示す斜視説明図である。

符号の説明

１０ 被処理物 １２ 搬送コンベヤ
１３ 吹付ヘッド １４ 搬送ベルト
２４ クリーンルーム ３０ トンネル部
３４ ヘッド本体 ３６ 給気パイプ
３８ ノズル ４０ コンプレッサ
４２ イオン発生器

Claims (5)

1. クリーンルームに連通するように設けられたトンネル部内に配設された搬送手段によって、上面が意匠面とされた被処理物を該クリーンルーム内に搬送するに際して、かかる被処理物に対して、イオン発生器にて発生させたイオンを気体と共に吹き付けることにより、該被処理物を除電・除塵処理する除電除塵装置にして、
   前記搬送手段にて搬送される被処理物の上方と下方にそれぞれ位置するように、前記気体と共に前記イオンを該被処理物に吹き付ける一対の吹付ヘッドを設け、且つそれら吹付ヘッドの噴射方向が、それら吹付ヘッドの互いに向かい合う方向で、該被処理物の搬送方向の後方側に向かう方向となるように構成すると共に、該吹付ヘッドの対を該被処理物の搬送方向に互いに所定距離を隔てて離間するように複数配設せしめ、更に各対の吹付ヘッドにおいて、該被処理物の上方に位置せしめられる上側吹付ヘッドが、下方に位置せしめられる下側吹付ヘッドよりも前記搬送方向の前方側に設けられて、前記搬送手段にて搬送される被処理物に対して、前記イオンと気体とが、該下側吹付ヘッドから噴射された後、該上側吹付ヘッドから、該被処理物の前記意匠面に噴射せしめられるように構成したことを特徴とする除電除塵装置。
2. 前記搬送手段が、電気絶縁性を有する支持部を備え、前記被処理物を該支持部にて支持した状態で、前記吹付ヘッドに対して相対移動させ得るように構成されている請求項１に記載の除電除塵装置。
3. 前記トンネル部が、電気絶縁性を有する材料を用いて形成されている請求項１又は請求項２に記載の除電除塵装置。
4. 前記トンネル部が、電気絶縁体を介して床面上に設置されている請求項１乃至請求項３のうちの何れか１項に記載の除電除塵装置。
5. クリーンルームに連通するように設けられたトンネル部内に配設された搬送手段によって、上面が意匠面とされた被処理物を該クリーンルーム内に搬送するに際して、かかる被処理物に対して、イオン発生器にて発生させたイオンを気体と共に被処理物に吹き付けることにより、該被処理物を除電・除塵処理する方法にして、
   前記搬送手段にて搬送される被処理物の上方と下方にそれぞれ位置するように、前記気体と共に前記イオンを該被処理物に吹き付ける一対の吹付ヘッドを設けると共に、該吹付ヘッドの対を該被処理物の搬送方向に互いに所定距離を隔てて離間するように複数配設せしめ、更に各対の吹付ヘッドにおいて、該被処理物の上方に位置せしめられる上側吹付ヘッドを、下方に位置せしめられる下側吹付ヘッドよりも前記搬送方向の前方側に設ける工程と、
   前記被処理物が、前記複数対の上側吹付ヘッドと下側吹付ヘッドとの間を通過するように、該被処理物を前記搬送手段により前記クリーンルーム内に搬送する工程と、
   前記各対の吹付ヘッドのそれぞれの噴射方向が、それら吹付ヘッドの互いに向かい合う方向で、且つ前記被処理物の搬送方向の後方側に向かう方向に向かって、それら吹付ヘッドから前記気体を前記イオンと共に該被処理物に吹き付けると共に、前記搬送手段にて搬送される被処理物に対して、それらイオンと気体とを、前記各対における下側吹付ヘッドから噴射した後、上側吹付ヘッドから、該被処理物の前記意匠面に噴射する工程と、
   を含むことを特徴とする除電除塵方法。

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