JP5572522B2 - 除電除塵装置 - Google Patents
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Description
14…送風装置 16…処理チャンバ
18…集塵装置 38…イオン発生部
42…イオン 44…除電空間
46…送風部
50…空気吹出し口(第1の空気吹出し口)
52、52a〜52e…エア管
70…空気吹出し口(第2の空気吹出し口)
Claims (4)
- イオンを発生する少なくとも1つの無風型除電器と、
複数の送風部を有し、被除電対象物に向けて清浄空気を送風する送風装置と、を備えた除電除塵装置であって、
前記無風型除電器は、複数のイオン発生部が長手方向に間隔を置いて設けられた長尺状のバー型除電器であり、
前記送風部は、それぞれ、前記被除電対象物に向けて清浄空気を噴出する複数の空気吹出し口が長手方向に間隔を置いて設けられたエア管であり、
前記エア管の個数は、前記無風型除電器の個数よりも多く、
すべての前記エア管は、前記被除電対象物と前記無風型除電器との間に配置されており、
前記除電除塵装置は、パレット上に縦方向及び横方向に複数個ずつ並べられた前記被除電対象物に対して除電及び除塵をするものであり、
複数の前記被除電対象物によって複数の列が形成され、前記列毎に、前記エア管が前記列に対向するように設けられ、
前記無風型除電器で発生させたイオンを、前記複数の送風部からの清浄空気により前記被除電対象物に到達させ、前記被除電対象物の除電及び除塵を行う、
ことを特徴とする除電除塵装置。 - 請求項1記載の除電除塵装置において、
前記エア管は、互いに間隔を置いて、前記無風型除電器の長手方向と平行に配置されている、
ことを特徴とする除電除塵装置。 - 請求項1記載の除電除塵装置において、
前記エア管の空気吹出し口は、前記各列における前記被除電対象物の各々に対応した位置に設けられている、
ことを特徴とする除電除塵装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の除電除塵装置において、
前記無風型除電器及び前記送風装置が内部に設置され、前記被除電対象物を収容可能な処理チャンバと、
前記処理チャンバに接続された集塵装置と、をさらに備える、
ことを特徴とする除電除塵装置。
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