CN114671217A - 自体清洁的输送装置及包含输送装置的加热设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种自体清洁的输送装置及包含输送装置的加热设备,自体清洁的输送装置包含:输送构件、板构件、送风构件及至少一个风刀构件,输送构件沿输送方向输送料件,板构件与输送构件相向设置而位于输送构件的上方,板构件具有多个喷流孔,送风构件设置于朝向多个喷流孔,经由喷流孔而朝向输送构件吹送气体,至少一个风刀构件设置于输送构件的一侧的上方,风刀构件朝向输送构件吹送气体而形成气流障壁。加热设备包含前述的自体清洁的输送装置及至少一个第一热源构件。本发明的自体清洁的输送装置及加热设备提高了输送装置及加热设备的洁净度。

Description

自体清洁的输送装置及包含输送装置的加热设备
技术领域
本发明涉及一种输送装置,更特别的是涉及一种自体清洁的输送装置及包含输送装置的加热设备。
背景技术
输送装置为工业生产制造领域上运用得非常普遍的装置,用于将料件移动。使用输送装置的时候,也可能同时对料件进行其他工序,例如执行热制程或其他制程。传统的输送装置难以避免尘粒造成的污染,当料件需要较高洁净度时,尘粒便会直接影响料件的质量。并且传统的输送装置需要定期人工清洁以去除累积的尘粒。
发明内容
本发明的目的在于解决公知输送装置的种种问题,提出一种自体清洁的输送装置及包含输送装置的加热设备。
为达上述目的及其他目的,本发明提出一种自体清洁的输送装置,其包含:输送构件,沿输送方向输送料件;板构件,与该输送构件相向设置而位于该输送构件的上方,该板构件具有多个喷流孔;送风构件,设置于朝向该多个喷流孔,经由该多个喷流孔而朝向该输送构件吹送气体;以及至少一个风刀构件,设置于该输送构件的一侧的上方,该至少一个风刀构件朝向该输送构件吹送气体而形成气流障壁。
可选地,还包括导流构件,设置于该多个喷流孔的下方,该导流构件的尺寸大于该多个喷流孔的尺寸,以使通过该多个喷流孔的气流被该导流构件分流。
可选地,该板构件包含上壁体、下壁体及侧壁体,该上壁体、该下壁体及该侧壁体连接形成具有容置空间的中空板,该送风构件设置于该容置空间中,该多个喷流孔贯穿该下壁体。
可选地,还包括控制构件,讯号连接该送风构件及该至少一个风刀构件,该控制构件控制该送风构件及该至少一个风刀构件的开启与关闭。
可选地,还包括至少两个该风刀构件,分别设置于该输送构件的入料侧的上方及出料侧的上方。
本发明又提出一种包含输送装置的加热设备,其包含:如前述的自体清洁的输送装置;以及至少一个第一热源构件,朝向该输送构件。
可选地,该板构件为导热板。
可选地,该板构件为中空导热板,该至少一个第一热源构件设置于该板构件中。
可选地,还包括至少一个第二热源构件,该至少一个第一热源构件设置于该输送构件的上方,该至少一个第二热源构件设置于该输送构件的下方。
可选地,还包括第三热源构件,该第三热源构件连接该送风构件以加热该送风构件所吹送的气体。
可选地,还包括第四热源构件,该第四热源构件连接该至少一个风刀构件以加热该至少一个风刀构件所吹送的气体。
借此,本发明的自体清洁的输送装置及加热设备可广泛应用于各种输送领域,特别是运送需要高洁净度的料件。自体清洁的输送装置不仅可以在停机维护时开启送风构件执行自体清洁,在输送料件的运转过程也可以时时保持输送构件的清洁,风刀构件更可以维护输送构件不被外部的尘粒侵入污染。
为使能更进一步了解本发明的特征及技术内容,请参阅以下有关发明的详细说明与附图,但是此说明与所附附图仅用来说明本发明,而非对本发明的权利范围作任何的限制。
附图说明
图1为本发明实施例的加热设备的剖面示意图。
图2为本发明实施例的板构件的立体示意图。
图3为本发明实施例的板构件的另一视角的立体示意图。
图4为本发明实施例的板构件的剖面示意图。
附图标记:
100自体清洁的输送装置
200加热设备
1输送构件
2板构件
21上壁体
22下壁体
23侧壁体
24侧壁体
25喷流孔
3送风构件
4风刀构件
5导流构件
6控制构件
71第一热源构件
72第二热源构件
73第三热源构件
74第四热源构件
8第二板构件
d输送方向
d1入料侧
d2出料侧
S容置空间
具体实施方式
为了充分了解本发明,通过下述具体的实施例,并配合所附的附图,对本发明做一详细说明。本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本发明的目的、特征及功效。须注意的是,本发明可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用,本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用,在不悖离本发明的精神下进行各种修饰与变更。另外,本发明所附的附图仅为简单示意说明,并非依实际尺寸的描绘。以下的实施方式将进一步详细说明本发明的相关技术内容,但所公开的内容并非用以限制本发明的权利要求。说明如后:
如图1所示,本发明实施例的自体清洁的输送装置100,其包含:输送构件1、板构件2、送风构件3及至少一个风刀构件4。
输送构件1例如为一组输送滚轮或输送履带,将待输送的料件沿输送方向d输送。根据输送方向d的上、下游关系,输送构件1具有入料侧d1及出料侧d2。
板构件2与输送构件1相向设置而位于输送构件1的上方。在通常状况下,输送构件1水平摆放,因此板构件2位于输送构件1的重力方向的上方。如图2所示,板构件2具有多个喷流孔25。
送风构件3设置于朝向多个喷流孔25。送风构件3可制造气流,例如为小型风扇。送风构件3经由这些喷流孔25而朝向输送构件1吹送气体,即,朝下方的输送构件1产生气流。由于板构件2呈面状并设置于输送构件1的上方,因此限制送风构件3所吹送的气流夹在输送构件1与板构件2之间,并往两侧(入料侧d1及出料侧d2)流动。这个过程可清扫输送构件1上的尘粒,确保输送构件1的清洁。送风构件3可以在输送构件1运转的时候送风,也可以在输送构件1停机的时候送风,并不受限制。
至少一个风刀构件4设置于输送构件1的一侧的上方,朝向输送构件1吹送气体而形成气流障壁。而在较佳的实施例中,为一对风刀构件4(至少两个风刀构件4)。两个风刀构件4分别设置于输送构件1的入料侧d1的上方及出料侧d2的上方,且这些风刀构件4朝向输送构件1吹送气体而形成气流障壁。也就是说,两个风刀构件4在输送构件1的头尾两端,以垂直输送方向d的方向吹送气体,其形成的气流障壁可防止外部的尘粒侵入、污染输送构件1。较佳地,风刀构件4在输送构件1运转时吹送气体,以形成气流阻障,保护料件不受尘粒干扰。
送风构件3及风刀构件4的气体源可来自压缩干燥空气(CLEAN DRY AIR,CDA)系统,经过滤后输入至送风构件3及风刀构件4。
综上所述,本发明的自体清洁的输送装置100可广泛应用于输送领域,特别是运送需要高洁净度的料件。自体清洁的输送装置100不仅可以在停机维护时开启送风构件执行自体清洁,在输送料件的运转过程也可以时时保持输送构件1的清洁,风刀构件4更可以维护输送构件1不被外部的尘粒侵入污染。本发明的自体清洁的输送装置100可达到Class100的无尘度,适宜运用在对清洁度有高要求的制造领域。
进一步地,如图1、图3及图4所示,在本实施例中,自体清洁的输送装置100还包括导流构件5,设置于喷流孔25的下方(即送风构件3及导流构件5分别位于喷流孔25的上下二侧)。导流构件5的尺寸大于喷流孔25的尺寸,以使通过喷流孔25的气流被导流构件5分流,因而绕过导流构件5而向外扩散。
进一步地,如图2及图4所示,在本实施例中,板构件2包含上壁体21、下壁体22及侧壁体23、24。上壁体21、下壁体22及侧壁体23、24连接形成具有容置空间S的中空板。送风构件3设置于容置空间S中,喷流孔25贯穿下壁体22。借此,可简单地固定送风构件3的位置并对准喷流孔25,并进一步缩减自体清洁的输送装置100的体积。然而本发明不限于此,在其他实施例中板构件2可为实心板或其他形式的板,送风构件3位于板构件2之上。
进一步地,如图1及图2所示,在本实施例中,板构件2可沿输送方向d而平行地组合、延伸,因此可设置多个送风构件3于每个中空的板构件2中。
进一步地,如图1所示,在本实施例中,自体清洁的输送装置100还包括控制构件6,讯号连接送风构件3及风刀构件4。控制构件4控制送风构件3及风刀构件4的开启与关闭。例如,控制构件4可根据输送构件1是否运转而决定是否开启送风构件3及风刀构件4,以及决定风速。控制构件4可以例如是控制芯片或控制电路。
当自体清洁的输送装置100加上了热制程的功能,便可形成自体清洁的加热设备200。如图1所示,在本实施例中,加热设备200包括上述的自体清洁的输送装置100以及至少一个第一热源构件71。
第一热源构件71朝向输送构件1释放热能。且并不限定于输送构件1的哪一侧。在本实施例中,第一热源构件71设置于输送构件1的上方,但本发明不限于此,也可以改设于输送构件1的下方。第一热源构件71可以为辐射加热灯管、电阻式加热设备、或其他原理的致热设备,且本发明不限于此。
在本实施例中,板构件2也同时为导热板,例如金属板。导热的板构件2具有良好的导热能力,吸收第一热源构件71的热能并均匀传播至输送构件1,加强输送构件1各处的温度均匀性。较佳地,可达到温度差在正负二摄氏度以内。
进一步地,如图2至图4所示,在本实施例中,板构件2为前述的中空板并且是导热板,至少一个第一热源构件71设置于中空的板构件2中。借此,可简单地固定第一热源构件71的位置,并进一步缩减加热设备200的体积。然而本发明不限于此,第一热源构件71可以有别的设置方式,不必须整合于板构件2中。
进一步地,如图1所示,在本实施例中,加热设备200还包括至少一个第二热源构件72。第二热源构件72与第一热源构件71相对设置,也就是第一热源构件71设置于输送构件1的上方,第二热源构件72设置于输送构件1的下方。同样地,第二热源构件72可以为辐射加热灯管、电阻式加热设备、或其他原理的致热设备。而在本实施例中,第二热源构件72与第一热源构件71为相同的加热灯管,并且第二热源构件72也设置于与板构件2相同的第二板构件8中。第二板构件8同样为中空导热板,主要作用为承载第二热源构件72,并且使第二热源构件72的加热均匀。
进一步地,如图1所示,在本实施例中,加热设备200还包括第三热源构件73。第三热源构件73连接送风构件3以加热送风构件3所吹送的气体。第三热源构件73可以设置于前述的气体源端,也可以设置于邻近送风构件3,并且讯号连接控制构件6。控制构件6可选择是否启动第三热源构件73以加热送风构件3所吹送的气体,达到进一步调节加热设备200内部的温度的功效。
相似地,如图1所示,在本实施例中,加热设备200还包括第四热源构件74,第四热源构件74连接至少一个风刀构件4以加热风刀构件4所吹送的气体。第四热源构件74可以设置于前述的气体源端,也可以设置于邻近风刀构件4,并且讯号连接控制构件6。控制构件6可选择是否启动第四热源构件74以加热风刀构件4所吹送的气体,达到进一步调节加热设备200内部的温度的功效。
本发明在上文中已以较佳实施例揭露,然而本领域技术人员应理解的是,所述实施例仅用于描绘本发明,而不应解读为限制本发明的范围。应注意的是,凡是与所述实施例等效的变化与置换,均应设定为涵盖在本发明的范围内。因此,本发明的保护范围当以权利要求所界定的内容为准。

Claims (11)

1.一种自体清洁的输送装置,其特征在于,所述自体清洁的输送装置包括:
输送构件,沿输送方向输送料件;
板构件,与所述输送构件相向设置而位于所述输送构件的上方,所述板构件具有多个喷流孔;
送风构件,设置于朝向所述多个喷流孔,经由所述多个喷流孔而朝向所述输送构件吹送气体;以及
至少一个风刀构件,设置于所述输送构件的一侧的上方,所述至少一个风刀构件朝向所述输送构件吹送气体而形成气流障壁。
2.根据权利要求1所述的自体清洁的输送装置,其特征在于,还包括导流构件,设置于所述多个喷流孔的下方,所述导流构件的尺寸大于所述多个喷流孔的尺寸,以使通过所述多个喷流孔的气流被所述导流构件分流。
3.根据权利要求1所述的自体清洁的输送装置,其特征在于,所述板构件包含上壁体、下壁体及侧壁体,所述上壁体、所述下壁体及所述侧壁体连接形成具有容置空间的中空板,所述送风构件设置于所述容置空间中,所述多个喷流孔贯穿所述下壁体。
4.根据权利要求1所述的自体清洁的输送装置,其特征在于,还包括控制构件,讯号连接所述送风构件及所述至少一个风刀构件,所述控制构件控制所述送风构件及所述至少一个风刀构件的开启与关闭。
5.根据权利要求1所述的自体清洁的输送装置,其特征在于,还包括至少两个所述风刀构件,分别设置于所述输送构件的入料侧的上方及出料侧的上方。
6.一种包含输送装置的加热设备,其特征在于,所述加热设备包括:
根据权利要求1至5中任一权利要求所述的自体清洁的输送装置;以及
至少一个第一热源构件,朝向所述输送构件。
7.根据权利要求6所述的加热设备,其特征在于,所述板构件为导热板。
8.根据权利要求7所述的加热设备,其特征在于,所述板构件为中空导热板,所述至少一个第一热源构件设置于所述板构件中。
9.根据权利要求6所述的加热设备,其特征在于,还包括至少一个第二热源构件,所述至少一个第一热源构件设置于所述输送构件的上方,所述至少一个第二热源构件设置于所述输送构件的下方。
10.根据权利要求6所述的加热设备,其特征在于,还包括第三热源构件,所述第三热源构件连接所述送风构件以加热所述送风构件所吹送的气体。
11.根据权利要求6所述的加热设备,其特征在于,还包括第四热源构件,所述第四热源构件连接所述至少一个风刀构件以加热所述至少一个风刀构件所吹送的气体。
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Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0448977A (ja) * 1990-06-15 1992-02-18 Toshiba Corp ブロー洗浄装置
JPH09330972A (ja) * 1996-06-13 1997-12-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置
JP2004288823A (ja) * 2003-03-20 2004-10-14 Dainippon Printing Co Ltd 基板搬送システム
JP2004296773A (ja) * 2003-03-27 2004-10-21 Dainippon Printing Co Ltd 基板の温度管理方法及び温度管理装置
CN1541917A (zh) * 2003-04-14 2004-11-03 ������������ʽ���� 板状体输送装置
JP2006159125A (ja) * 2004-12-09 2006-06-22 Murata Mach Ltd ワーク洗浄装置
CN1913982A (zh) * 2004-02-18 2007-02-14 川崎成套设备股份有限公司 板材的洗涤设备
TWM330131U (en) * 2007-09-29 2008-04-11 Yu Cheng Machinery Co Ltd Cleaning apparatus for board
JP2008140987A (ja) * 2006-12-01 2008-06-19 Airtech Japan Ltd 半導体ウエハー及び液晶ガラスエアー浮上搬送装置
CN101796625A (zh) * 2007-09-05 2010-08-04 株式会社Ihi 无尘输送系统
CN102024678A (zh) * 2009-09-18 2011-04-20 东京毅力科创株式会社 热处理装置
JP2012094724A (ja) * 2010-10-28 2012-05-17 Honda Motor Co Ltd 除電除塵装置
CN102825050A (zh) * 2012-08-14 2012-12-19 深圳市华星光电技术有限公司 一种玻璃基板清洗机
KR101324001B1 (ko) * 2013-07-17 2013-10-30 홍광수 컨베이어 장치
JP2015131274A (ja) * 2014-01-14 2015-07-23 Jfeスチール株式会社 鋼板の洗浄装置
CN107680916A (zh) * 2016-06-28 2018-02-09 株式会社荏原制作所 清洗装置、具有该清洗装置的镀覆装置及清洗方法
TWM586790U (zh) * 2019-07-12 2019-11-21 志聖工業股份有限公司 導熱片結構、具有導熱片結構的加熱板及加熱設備

Patent Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0448977A (ja) * 1990-06-15 1992-02-18 Toshiba Corp ブロー洗浄装置
JPH09330972A (ja) * 1996-06-13 1997-12-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置
JP2004288823A (ja) * 2003-03-20 2004-10-14 Dainippon Printing Co Ltd 基板搬送システム
JP2004296773A (ja) * 2003-03-27 2004-10-21 Dainippon Printing Co Ltd 基板の温度管理方法及び温度管理装置
CN1541917A (zh) * 2003-04-14 2004-11-03 ������������ʽ���� 板状体输送装置
CN1913982A (zh) * 2004-02-18 2007-02-14 川崎成套设备股份有限公司 板材的洗涤设备
JP2006159125A (ja) * 2004-12-09 2006-06-22 Murata Mach Ltd ワーク洗浄装置
JP2008140987A (ja) * 2006-12-01 2008-06-19 Airtech Japan Ltd 半導体ウエハー及び液晶ガラスエアー浮上搬送装置
CN101796625A (zh) * 2007-09-05 2010-08-04 株式会社Ihi 无尘输送系统
TWM330131U (en) * 2007-09-29 2008-04-11 Yu Cheng Machinery Co Ltd Cleaning apparatus for board
CN102024678A (zh) * 2009-09-18 2011-04-20 东京毅力科创株式会社 热处理装置
JP2012094724A (ja) * 2010-10-28 2012-05-17 Honda Motor Co Ltd 除電除塵装置
CN102825050A (zh) * 2012-08-14 2012-12-19 深圳市华星光电技术有限公司 一种玻璃基板清洗机
KR101324001B1 (ko) * 2013-07-17 2013-10-30 홍광수 컨베이어 장치
JP2015131274A (ja) * 2014-01-14 2015-07-23 Jfeスチール株式会社 鋼板の洗浄装置
CN107680916A (zh) * 2016-06-28 2018-02-09 株式会社荏原制作所 清洗装置、具有该清洗装置的镀覆装置及清洗方法
TWM586790U (zh) * 2019-07-12 2019-11-21 志聖工業股份有限公司 導熱片結構、具有導熱片結構的加熱板及加熱設備

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