JP2012094724A - 除電除塵装置 - Google Patents

Abstract

【課題】安価な装置構成で、広範囲に配置された被除電対象物を除電及び除塵することができる除電除塵装置を提供する。
【解決手段】除電除塵装置１０Ａは、イオン４２を発生する無風型除電器１２と、無風型除電器１２の個数よりも多い複数の送風部４６（エア管５２）を有し、ワークＷに向けて清浄空気５３を送風する送風装置１４とを備える。無風型除電器１２で発生させたイオン４２を、複数のエア管５２からの清浄空気５３によりワークＷに到達させ、ワークＷの除電及び除塵を行う。
【選択図】図３

Description

本発明は、正極性若しくは負極性の電荷により帯電している各種帯電物、例えば半導体関連の被除電対象物等について除電及び除塵を行うための除電除塵装置に関する。

従来、放電電極（放電針）と、放電電極の周囲に空気流を噴出する空気吹出し口を有するイオナイザー（除電装置若しくは除電除塵装置とも呼ばれる）が知られている（例えば、特許文献１、２参照）。このような構成のイオナイザーでは、放電電極に対して高電圧をかけ、放電電極の先端部近辺でコロナ放電させて空気をイオン化させるとともに、空気吹出し口から清浄空気を噴出させ、被除電対象物（ワーク）にイオンを含んだ清浄空気を吹き付けて除電及び除塵する。一方、送風装置を持たないタイプのイオナイザー（無風型イオナイザー）も知られている（例えば、特許文献３参照）。

特開２００９−２８５６２８号公報 特開２００６−１５６２１９号公報 特開２００６−１９１５４号公報

しかしながら、従来のイオナイザーでは、半導体装置のような小さいワークを複数製造する場合に、すべてのワークに対してばらつきなく除電するためには、除電したいワーク列につき１つのイオナイザーが必要となる。すなわち、多箇所（広範囲）にわたって除電したい場合には、イオナイザーが多数必要となり、装置が高価なものとなる。また、無風型イオナイザーでは、イオンをワークに十分に照射することが困難であるとともに、除電に長い時間を要し、しかも除塵ができないという問題がある。

本発明はこのような課題を考慮してなされたものであり、安価な装置構成で、広範囲に配置された被除電対象物を除電及び除塵することができる除電除塵装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するため、本発明に係る除電除塵装置は、イオンを発生する少なくとも１つの無風型除電器と、前記無風型除電器の個数よりも多い複数の送風部を有し、被除電対象物に向けて清浄空気を送風する送風装置と、を備え、前記無風型除電器で発生させたイオンを、前記複数の送風部からの清浄空気により前記被除電対象物に到達させ、前記被除電対象物の除電及び除塵を行うことを特徴とする。

上記の構成によれば、無風型除電器で発生させたイオンを、複数の送風部からの空気により被除電対象物に迅速且つ広範囲に到達させることができる。よって、安価な装置構成で、広範囲に配置された被除電対象物を除電及び除塵することができる。

上記の除電除塵装置において、前記無風型除電器は、複数のイオン発生部が長手方向に間隔を置いて設けられた長尺状のバー型除電器であり、前記送風部は、それぞれ、前記被除電対象物に向けて清浄空気を噴出する複数の空気吹出し口が長手方向に間隔を置いて設けられたエア管であり、前記エア管は、互いに間隔を置いて、前記無風型除電器の長手方向と平行に配置されているとよい。

これにより、無風型除電器で発生させたイオンを広い範囲に効果的に拡散させることができるため、除電及び除塵をより効果的に行うことができるとともに、除電時間の短縮化を図ることができる。

上記の除電除塵装置において、前記送風装置は、前記被除電対象物と前記無風型除電器との間に配置されるとよい。

これにより、無風型除電器で発生させたイオンを被除電対象物に対して好適に吹き付けることができ、除電及び除塵をより効果的に行うことができる。

上記の除電除塵装置において、前記除電除塵装置は、パレット上に縦方向及び横方向に複数個ずつ並べられた前記被除電対象物に対して除電及び除塵をするものであり、前記エア管は、前記被除電対象物からなる複数の列のそれぞれに対応して設けられているとよい。

これにより、被除電対象物の列毎にイオンを含む清浄空気が吹き連れられるため、すべての被除電対象物に対して確実に除電及び除塵を実施することができる。

また、上記の除電除塵装置において、前記エア管の空気吹出し口は、前記各列における前記被除電対象物の各々に対応した位置に設けられているとよい。

これにより、イオンの照射と空気の吹付けを被除電対象物毎に確実に行うことができるため、除電及び除塵をより効果的に行うことができる。

さらに、上記の除電除塵装置において、前記無風型除電器及び前記送風装置が内部に設置され、前記被除電対象物を収容可能な処理チャンバと、前記処理チャンバに接続された集塵装置と、をさらに備えるとよい。

これにより、除塵された塵埃が周囲に飛散して被除電対象物に再付着することを防止することができ、除電及び除塵をより確実に行うことができる。

本発明の除電除塵装置によれば、安価な装置構成で、広範囲に配置された被除電対象物を除電及び除塵することができる。

本発明の第１実施形態に係る除電除塵装置の斜視図である。 図１におけるＩＩ−ＩＩ線に沿った一部省略断面図である。 図１におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った一部省略断面図である。 被除電対象物を載置した状態のパレットの斜視図である。 第２実施形態に係る除電除塵装置の一部省略断面図である。

以下、本発明に係る除電除塵装置について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら説明する。

図１〜図３は、第１実施形態に係る除電除塵装置１０Ａの構成を示す図であって、図１は、除電除塵装置１０Ａの斜視図であり、図２は、図１におけるＩＩ−ＩＩ線に沿った一部省略断面図であり、図３は、図１におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った一部省略断面図である。この除電除塵装置１０Ａは、ワークＷ（被除電対象物）に対して、正イオン及び負イオンを照射することにより除電を行うとともに、清浄空気５３を吹き付けて除塵を行うものである。

そこで、除電除塵装置１０Ａの構成を説明する前に、まず、処理対象となるワークＷについて説明する。図４に示すように、除電及び除塵の対象となるワークＷは、例えば、半導体装置であり、パレット２上に複数個が載置された状態で、上流側工程から除電除塵装置１０Ａに搬入され、除電及び除塵の処理が実施された後、下流側工程に向けて搬出される。

パレット２は、平面視で略四角形であり、その上面には、縦方向（図４中、Ｘ方向）及び横方向（図４中、Ｙ方向）に、複数のワーク保持溝４が形成されている。図示例に係るパレット２では、横方向に並ぶ５つのワークＷを１列として、これが縦方向に５列分配列されている。なお、１つのワーク列を構成するワークＷの個数及びワーク列の列数は、それぞれ５個及び５列に限らず、ワークＷの種類、大きさ、パレット２の大きさ等によって、適宜変更可能である。

次に、除電除塵装置１０Ａの構成について説明する。図１〜図３に示すように、除電除塵装置１０Ａは、無風型除電器１２と、送風装置１４と、処理チャンバ１６と、集塵装置１８とを備え、無風型除電器１２によりイオン４２を発生させ、発生させたイオン４２を送風装置１４から噴出される清浄空気５３によりワークＷに吹き付けて除電及び除塵を行い、さらに、ワークＷの周囲に飛散した塵埃を集塵装置１８により回収（収集）する。以下、各構成要素について、具体的に説明する。

処理チャンバ１６は、中空の箱型であって、その内部に形成された処理室２０（処理空間）の上部側に、無風型除電器１２及び送風装置１４が設置されている。また、処理チャンバ１６は、ワークＷを載置したパレット２を内部に収容できるように構成されるとともに、ワーク搬送方向Ａの上流側の側面２２にはパレット２を搬入するための搬入口２４が形成され、ワーク搬送方向Ａの下流側の側面２６にはパレット２を搬出するための搬出口２８が形成されている。

本実施形態において、パレット２は水平姿勢で工程ライン上を搬送され、処理チャンバ１６に対しても、水平姿勢で搬出及び搬入が行われる。このため、搬入口２４及び搬出口２８は、搬送方向に直交する方向に長手方向を有する長尺な開口部として構成されている。また、処理チャンバ１６内には、パレット２を搬送するための搬送コンベア３０が、ワーク搬送方向Ａに沿って設けられている。搬送コンベア３０は、後述するコントローラ４０によって、その駆動が制御される。処理室２０内に搬入されたパレット２は、搬送コンベア３０上で図示しない位置決め機構により所定位置に位置決めされるようになっている。

処理チャンバ１６において、常時開口している部分は搬入口２４及び搬出口２８のみであり、処理チャンバ１６内（処理室２０）は、略密閉状態が保持される。このような略密閉状態を効果的に保持するため、搬入口２４及び搬出口２８の大きさ（高さ及び幅）は、ワークＷを載置したパレット２の搬入及び搬出に際して、当該パレット２が通過でき且つ当該パレット２と搬入口２４及び搬出口２８とが接触しない程度に、パレット２の通過断面積より僅かに大きく形成されるのがよい。

なお、処理室２０のメンテナンス等の利便性を考慮し、処理チャンバ１６の上面板３４の一部又は全部を開閉できるように構成してもよい。また、処理室２０の密閉性を高めるため、搬入口２４及び搬出口２８をそれぞれ開閉する扉を処理チャンバ１６に設け、パレット２の搬入時及び搬出時に当該扉を開き、除電及び除塵の処理時には当該扉を閉じるように構成してもよい。

図示した構成の無風型除電器１２は、筐体（ケース）を構成する本体３２の全体形状が長尺状をなすバー型イオナイザーとして構成されており、本実施形態では処理チャンバ１６内に１つだけ設置されている。無風型除電器１２は、処理チャンバ１６におけるワーク搬送方向Ａの略中央に、ワーク搬送方向Ａと直交する水平方向に長手方向を向けた状態で、処理チャンバ１６の上面板３４に適宜の固定手段（図示せず）により固定されている。無風型除電器１２の配置方向は、図示例に限らず、例えば、ワーク搬送方向Ａに沿う方向でもよい。

無風型除電器１２は、本体３２の長手方向に間隔を置いて設けられた複数（図示例では、６個）のイオン発生部３８と、イオン発生部３８に高電圧を印加する高電圧発生部３６（高電圧発生回路）とを有する。イオン発生部３８は、放電電極３８ａ（放電針とも呼ばれる）により構成されており、本体３２の下部（下面）に配置されている。すなわち、放電電極３８ａは、下方に向けて配置されている。

高電圧発生部３６は、放電電極３８ａに電気的に接続されており、放電電極３８ａの周囲にコロナ放電を生じさるべく、放電電極３８ａへ高電圧を印加するように構成されている。高電圧発生部３６の形態としては、直流電圧を発生するもの（直流式）、交流電圧を発生するもの（交流式）のいずれの形式であってもよい。

高電圧発生部３６が交流電圧を発生する場合、当該交流電圧は、正弦波状であってもよい。また、高電圧発生部３６は、直流式又は交流式のいずれにおいても、パルス（矩形波）状の電圧を発生するものであってもよい。このような高電圧発生部３６は、コントローラ４０の制御作用下に高電圧の発生が制御される。なお、高電圧発生部３６は、図示例では、無風型除電器１２の本体３２内に設けられているが、本体３２外に設けられてもよい。

上記のように構成された無風型除電器１２において、コントローラ４０の制御作用下に高電圧発生部３６が直流電圧又は交流電圧を発生し、当該直流電圧又は交流電圧が放電電極３８ａに印加されると、放電電極３８ａの周囲にてコロナ放電が発生し、当該コロナ放電によって周囲空気がイオン化されることで、イオン４２（正イオン及び負イオン）が生成される。このようにして発生したイオン４２は、図２及び図３に示すように、発生位置（発生源）から下方に向かって広がるように拡散し、これにより処理室２０内に除電空間４４（イオン４２を含む領域）が形成される。

送風装置１４は、清浄空気５３をワークＷに向かって噴出させる複数の送風部４６と、当該送風部４６に清浄空気５３を供給するエア供給源４８（空気供給装置、エアコンプレッサ）とを有する。送風部４６は、無風型除電器１２の個数よりも多く設けられる。すなわち、本実施形態の場合、無風型除電器１２の個数は１であるため、送風部４６は２以上設けられる。無風型除電器１２が２以上設けられる場合、送風部４６は、３以上設けられる。

複数の送風部４６は、それぞれ、長尺なエア管５２ａ〜５２ｅとして構成されている。各エア管５２ａ〜５２ｅには、ワークＷに向けて清浄空気５３を噴出する複数の空気吹出し口５０が長手方向に間隔を置いて設けられている。なお、以下の説明において、エア管５２ａ〜５２ｅ同士を区別する必要がない場合には、それらに共通の参照符号５２を用いる。

各エア管５２には、空気供給ライン５４（空気供給管）を介して、処理チャンバ１６の外部に設けられたエア供給源４８から清浄空気５３が供給されるようになっている。エア供給源４８は、コントローラ４０の制御作用下に駆動が制御され、これにより各エア管５２には供給量が調整・制御された清浄空気５３が供給される。

これらのエア管５２は、互いに間隔を置いて、無風型除電器１２の長手方向と平行に配置されている。すなわち、本実施形態において、無風型除電器１２と複数のエア管５２は、互いに平行に配置されている。また、エア管５２は、処理チャンバ１６の上面板３４に固定されたブラケット３５により支持及び固定され、無風型除電器１２よりも下方で、且つ、処理時においてパレット２が存在する位置より上方すなわち、無風型除電器１２とパレット２との間に配置されている。

図２に示すように、エア管５２は、複数のワーク列（図４で、Ｙ方向に並ぶ複数のワークＷにより構成される列）のそれぞれに対応して設けられている。すなわち、複数のエア管５２は、ワーク列の間隔と同じ間隔で、ワーク搬送方向Ａに関して互いに間隔を置いて配置され、略真下に位置するワーク列に対して清浄空気５３を吹き付けるように構成されている。

このようなエア管５２の組は、両端のエア管５２ａ、５２ｅ間の中心が、無風型除電器１２の略真下に位置するように配置されている。本実施形態では、送風装置１４は５個（奇数）のエア管５２ａ〜５２ｅを有するため、中央のエア管５２ｃが無風型除電器１２の略真下に位置している。

また、図３に示すように、各エア管５２の空気吹出し口５０は、各ワーク列におけるワークＷの各々に対応した位置に設けられている。すなわち、空気吹出し口５０は、ワーク列を構成するワークＷの間隔（ワーク搬送方向Ａに直交する方向のワーク間隔）と同じ間隔で、エア管５２の長手方向に関して互いに間隔を置いて配置され、それらの各々の略真下に位置するワークＷに対して清浄空気５３を吹き付けるように構成されている。

このように、本実施形態では、１つのワークＷに対して１つの空気吹出し口５０が割り当てられているため、パレット２上のすべてのワークＷに対して清浄空気５３を吹き付けることができる。

また、図１に示すように、本実施形態に係る除電除塵装置１０Ａには、集塵装置１８が設けられている。この集塵装置１８は、処理チャンバ１６に接続され処理室２０に向けて開口するダクト５８と、ダクト５８に接続された集塵装置本体５９とを有する。ダクト５８は、処理室２０に臨む幅広に形成された吸込み口６０と、一端が吸込み口６０に連結され、他端が集塵装置本体５９に連結された管状のダクト本体６２とを有する。

図示例の吸込み口６０は、処理チャンバ１６におけるワーク搬送方向Ａと直交する水平方向の一方側を構成する側面６３に設けられており、ワーク搬送方向Ａに沿って延在するように幅広に形成されている。図３に示すように、吸込み口６０は、処理チャンバ１６内に収容されたパレット２と略同一高さで開口するように設けられるとよい。このような位置に吸込み口６０を設けると、吸込み口６０とワークＷとの距離を小さくすることができ、ワークＷの周囲に飛散した塵埃を効果的に回収することができる。

ダクト本体６２は、例えば、フレキシブルパイプにより構成することができるが、このような構成に限らず、柔軟性を有しない構成であってもよい。また、幅広の吸込み口６０を省略し、ダクト本体６２の一端部を直接、処理チャンバ１６の側面６３に接続した構成であってもよい。

集塵装置本体５９は、ダクト５８を介して処理室２０内の塵埃を含む空気を吸引し、吸引した空気中の塵埃を内蔵されたフィルタで除去（回収）し、塵埃が除去された空気を除電除塵装置１０Ａの外部に排出するものである。図示例に係る集塵装置本体５９は、処理チャンバ１６の下部に設けられた基台６４に格納され、保持されている。なお、集塵装置本体５９は、上述したコントローラ４０の制御作用下に駆動が制御され、これによって、処理室２０からの吸引量が調整・制御される。

本実施形態に係る除電除塵装置１０Ａは、基本的には以上のように構成されるものであり、以下、その作用及び効果について説明する。

除電除塵装置１０Ａにおいて、複数のワークＷを載置したパレット２が搬入口２４を介して処理室２０内に搬入されると、図示しない位置決め機構により、パレット２が処理室２０内の所定位置に位置決めされる。次に、コントローラ４０の制御作用下に、無風型除電器１２、送風装置１４及び集塵装置１８が動作を開始する。すなわち、無風型除電器１２では、高電圧発生部３６により放電電極３８ａに高電圧が印加されることで放電電極３８ａの周囲にイオン４２が発生し、イオン４２が拡散する。また、送風装置１４では、エア供給源４８から清浄空気５３がエア管５２に供給され、エア管５２の空気吹出し口５０からパレット２上のワークＷに向けて清浄空気５３が噴出（射出）される。さらに、集塵装置１８の集塵装置本体５９が駆動することで、ダクト５８の吸込み口６０から処理室２０内が吸引される。

そうすると、無風型除電器１２により発生させたイオン４２は、エア管５２から噴出された清浄空気５３によりワークＷに向けて迅速に移動し、ワークＷに照射される。これにより、ワークＷに帯電していた電荷がイオンにより中和される。すなわち、ワークＷが除電される。また、ワークＷに吹き付けられた清浄空気５３により、ワークＷに付着していた塵埃が除去される。

本実施形態に係る除電除塵装置１０Ａでは、送風装置１４は、無風型除電器１２よりも多い数の送風部４６（エア管５２）を有するので、無風型除電器１２で発生させたイオン４２を、複数の送風部４６からの空気によりワークＷに迅速且つ広範囲に到達させることができる。よって、安価な装置構成で、広範囲に配置されたワークＷを除電及び除塵することができる。特に、本実施形態に係る除電除塵装置１０Ａでは、無風型除電器１２が１つのみであるため、装置の製造コストをより安価にすることができる。

また、本実施形態に係る除電除塵装置１０Ａでは、無風型除電器１２がバー型除電器であり、送風部４６が複数の空気吹出し口５０を有するエア管５２であるため、無風型除電器１２で発生させたイオン４２を効果的に拡散させ、広範囲に除電空間４４を形成できる。このため、除電及び除塵の能力が向上し、除電時間の短縮化を図ることができる。

さらに、本実施形態に係る除電除塵装置１０Ａでは、送風装置１４の送風部４６（エア管４２）は、ワークＷと無風型除電器１２との間に配置されるため、無風型除電器１２で発生させたイオン４２をワークＷに対して好適に吹き付けることができる。よって、除電及び除塵を一層効果的に行うことができる。

また、本実施形態に係る除電除塵装置１０Ａでは、エア管５２は、複数のワーク列のそれぞれに対応して設けられているので、ワーク列毎にイオン４２を含む清浄空気５３が吹き付けられる（図２参照）。これにより、すべてのワークＷに対して確実に除電及び除塵を実施することができる。

またさらに、本実施形態に係る除電除塵装置１０Ａでは、エア管５２の空気吹出し口５０は、各ワーク列におけるワークＷの各々に対応した位置に設けられているので（図３参照）、イオン４２の照射と空気の吹付けをワークＷ毎に確実に行うことができる。

上記のようにしてワークＷから除去された塵埃は、ダクト５８の吸込み口６０からダクト本体６２を介して集塵装置本体５９に吸引され、集塵装置本体５９に内蔵されたフィルタにより回収される。従って、除塵された塵埃が周囲に飛散してワークＷに再付着することを防止することができ、除電及び除塵をより確実に行うことができる。

以上のようにしてワークＷに対する除電及び除塵が実施されたら、パレット２は搬出口２８を介して搬出され、下流側工程に移送される。

次に、図５を参照し、第２実施形態に係る除電除塵装置１０Ｂについて説明する。なお、第２実施形態に係る除電除塵装置１０Ｂにおいて、第１実施形態に除電除塵装置１０Ａと同一又は同様な機能及び効果を奏する要素には同一の参照符号を付し、詳細な説明を省略する。

図５に示すように、本実施形態に係る除電除塵装置１０Ｂでは、複数のエア管５２のうち両端のエア管５２ａ、５２ｅ以外のエア管５２ｂ〜５２ｄには、空気吹出し口５０に加え、さらに別の空気吹出し口７０が設けられている。なお、以下では、空気吹出し口５０と空気吹出し口７０とを区別するため、空気吹出し口５０を「第１の空気吹出し口５０」と言い、空気吹出し口７０を「第２の空気吹出し口７０」と言う。

各エア管５２ｂ〜５２ｄにおいて、第２の空気吹出し口７０は、無風型除電器１２との距離がより遠い位置に隣接する他のエア管５２側に向かって清浄空気５３が噴出されるように形成されている。すなわち、図５の構成例のように、中央のエア管５２ｃが無風型除電器１２の略真下に配置されている場合、中央のエア管５２ｃには、その両側に隣接するエア管５２ｂ、５２ｄ側にそれぞれ開口した第２の空気吹出し口７０が設けられている。エア管５２ｂには、無風型除電器１２からの距離が当該エア管５２ｂよりも遠い位置に隣接する他のエア管５２ａ側に第２の空気吹出し口７０が設けられている。エア管５２ｄには、無風型除電器１２からの距離が当該エア管５２ｄよりも遠い位置に隣接する他のエア管５２ｅ側に第２の空気吹出し口７０が設けられている。各第２の空気吹出し口７０は、斜め下方に向けて開口しているが、水平方向に向けて開口してもよい。

各エア管５２ｂ〜５２ｄにおいて、第２の空気吹出し口７０は、長手方向に沿って間隔を置いて複数設けられている。第２の空気吹出し口７０は、エア管５２ｂ〜５２ｄの長手方向に関して第１の空気吹出し口５０と同じ位置に設けられてもよく、異なる位置に設けられてもよい。

上記のように構成された除電除塵装置１０Ｂによれば、無風型除電器１２で発生させたイオン４２が、第２の空気吹出し口７０から噴出される清浄空気５３により、中心から端に向かって、すなわち両端に位置するエア管５２ａ、５２ｅ側に向かって拡散されるので、イオン４２を広範囲に迅速に到達させることができる。よって、広範囲にわたってパレット２上に載置されたワークＷに対してより効果的にイオン４２を供給することができるため、すべてのワークＷ対する除電及び除塵を一層確実に実施することが可能となる。

なお、第２実施形態において、第１実施形態と共通する各構成部分については、第１実施形態における当該共通の各構成部分がもたらす作用及び効果と同一又は同様の作用及び効果が得られることは勿論である。

上記において、本発明について好適な実施の形態を挙げて説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の改変が可能なことは言うまでもない。

１０Ａ、１０Ｂ…除電除塵装置 １２…無風型除電器
１４…送風装置 １６…処理チャンバ
１８…集塵装置 ３８…イオン発生部
４２…イオン ４４…除電空間
４６…送風部
５０…空気吹出し口（第１の空気吹出し口）
５２、５２ａ〜５２ｅ…エア管
７０…空気吹出し口（第２の空気吹出し口）

Claims (6)

1. イオンを発生する少なくとも１つの無風型除電器と、
   前記無風型除電器の個数よりも多い複数の送風部を有し、被除電対象物に向けて清浄空気を送風する送風装置と、を備え、
   前記無風型除電器で発生させたイオンを、前記複数の送風部からの清浄空気により前記被除電対象物に到達させ、前記被除電対象物の除電及び除塵を行う、
   ことを特徴とする除電除塵装置。
2. 請求項１記載の除電除塵装置において、
   前記無風型除電器は、複数のイオン発生部が長手方向に間隔を置いて設けられた長尺状のバー型除電器であり、
   前記送風部は、それぞれ、前記被除電対象物に向けて清浄空気を噴出する複数の空気吹出し口が長手方向に間隔を置いて設けられたエア管であり、
   前記エア管は、互いに間隔を置いて、前記無風型除電器の長手方向と平行に配置されている、
   ことを特徴とする除電除塵装置。
3. 請求項１又は２記載の除電除塵装置において、
   前記送風装置は、前記被除電対象物と前記無風型除電器との間に配置される、
   ことを特徴とする除電除塵装置。
4. 請求項２記載の除電除塵装置において、
   前記除電除塵装置は、パレット上に縦方向及び横方向に複数個ずつ並べられた前記被除電対象物に対して除電及び除塵をするものであり、
   前記エア管は、前記被除電対象物からなる複数の列のそれぞれに対応して設けられている、
   ことを特徴とする除電除塵装置。
5. 請求項４記載の除電除塵装置において、
   前記エア管の空気吹出し口は、前記各列における前記被除電対象物の各々に対応した位置に設けられている、
   ことを特徴とする除電除塵装置。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の除電除塵装置において、
   前記無風型除電器及び前記送風装置が内部に設置され、前記被除電対象物を収容可能な処理チャンバと、
   前記処理チャンバに接続された集塵装置と、をさらに備える、
   ことを特徴とする除電除塵装置。

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