JP2017196575A - 異物除去装置及び異物除去システム - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献2に記載の方法は、所定湿度(60%)以上の空気を用いてエアーブローを行うが、この方法では、対象物が湿度管理を行って生産する必要のある高湿度に弱い電子部品ものには適用することができない。
さらに、間欠エアーブローを行うことで付着異物に振動を与える為、連続エアーブローと比較し、異物除去性が高くなり、また、生産工場におけるエアー使用量も低減できる。
また、対象物の帯電防止を考慮した高速エアーブローを行うことが可能となり、高速なエアー噴流の力により、静電気の力による付着でなく、自身の接着性により付着している異物が、可動性異物であるか、非可動性異物であるかを切り分けることができるようになる。
図1に異物除去装置1の側面図を示す。異物除去装置1は、バッファーステージ2、ブローステージ3、移載ステージ4から構成される。異物除去装置1が、前工程の装置から対象物5をバッファーステージ2に受け入れ、その後ブローステージ3に移載する。対象物5の搬送は吸着搬送機構6により行う。各ステージへの搭載は高い位置決め精度で行うのが望ましい。
除電エアーブロー機構8の除電エアーブロー用ノズル11には、一般的なブローノズルを用いる。除電エアーブロー用ノズル11はエアー噴出による反力を考慮し、剛性の高い構造として、除電エアーブロー機構8に固定する。
除電エアーブロー用のエアー圧及び高速エアーブロー用のエアー圧は、それぞれレギュレーターにより調整できるようにする。
2 バッファーステージ
3 ブローステージ
4 移載ステージ
5 対象物
6 吸着搬送機構
7 クランプ機構
8 除電エアーブロー機構
9 高速エアーブロー機構
10 集塵機構
11 除電エアーブロー用ノズル
12 高速エアーブロー用ノズル
13 除電エアーブロー用ノズルの先端と対象物との距離
14 高速エアーブロー用ノズルの先端と対象物との距離
15 X軸調整マイクロメーター
16 Y軸調整マイクロメーター
17 Z軸調整マイクロメーター
18 除電エアーブローのエアー噴出角度
19 角度調整マイクロメーター
20 高速エアーブローのエアー噴出角度
21 吸引フード部
22 異物回収機構
Claims (9)
- エアーブローを用いた異物除去装置において、対象物を除電する除電エアーブローと、対象物に付着した異物を吹き飛ばす高速エアーブローと、吹き飛ばされて飛散する異物を吸引する集塵機構とを有することを特徴とする異物除去装置及び異物除去システム。
- 除電エアーブローは、イオン発生機構とエアー噴出機構とを有し、イオン化したエアーを吹き付けることで対象物が帯電していた場合に静電気を除去することができ、エアー噴出機構のノズルの噴出口は直径が0.5〜4mm程度であり、ノズルの噴出口から5〜50mmの距離における風速が毎秒数〜数十m程度となるエアーを噴出すことができることを特徴とする。
- 高速エアーブローは、エアー噴出機構を有し、エアー噴出機構のノズルの噴出口は直径が0.5〜4mm程度であり、ノズルの噴出口から5〜50mmの距離における風速が毎秒100〜200m程度となる高速なエアーを噴出すことができることを特徴とする。
- 除電エアーブロー及び高速エアーブローは、いずれも間欠的にエアー噴出を行うよう制御でき、間欠的なエアー噴出の間隔は毎秒1〜10回の範囲で任意に設定できることを特徴とする。
- 除電エアーブロー及び高速エアーブローは、間欠的にエアー噴出を行うが、その際、一方がエアー噴出をしていないタイミングで、もう一方がエアー噴出を行うように制御し、除電エアーブロー及び高速エアーブローが交互に繰り返し対象物に向けてエアー噴出を行うことを特徴とする。
- 除電エアーブロー及び高速エアーブローは、あらかじめ設定した任意の時間だけ対象物に向けて交互にエアー噴出を繰り返すが、その開始時の最初のエアー噴出及び終了時の最後のエアー噴出は除電エアーブローであることを特徴とする。
- 対象物は、電子部品が実装されたプリント基板、若しくはパッケージであり、少なくとも一部に絶縁材料が含まれ、温度及び湿度が管理された生産ラインで製造する必要があることを特徴とする。
- 異物は、電子部品が実装されたプリント基板、若しくはパッケージの製造工程のなかで付着するものを対象とし、大きさは20μm〜数百μm程度であることを特徴とする。
- 異物は、静電気の力による付着でなく自身の接着性により付着している状態において、ある流速の高速エアーブローのエアー噴流の力により吹き飛ぶ異物を可動性異物、吹き飛ばない異物を非可動性異物というように、切り分けることができることを特徴とする。
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