JP7177665B2 - 除塵装置 - Google Patents

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Description

本発明は、工業製品の部品等を処理の対象物としてこれに付着した塵埃を除去する除塵装置に関する。
電子機器等の工業製品を製造する際には、電子機器を組み立てるための部品に付着したゴミ、異物、ちり等の塵埃、つまりほこりを除去する必要がある。自動車部品や樹脂成形品等の工業製品の部品においても、ゴミ等の塵埃を除去する必要がある。このような工業製品の部品を被処理物つまり対象物として、これに付着した塵埃を除去するために、圧縮空気やイオン化空気を対象物に吹き付けるようにした除塵装置が知られている。
対象物にイオン化空気を吹き付けることにより、付着した塵埃を対象物から除去するようにした除電除塵装置が、例えば、特許文献1、2に記載されている。
特開2006-7012号公報 特開2009-285628号公報
除電除塵装置により対象物に圧縮空気やイオン化空気を吹き付けて塵埃を除去する場合には、塵埃を除去できたか否かは、作業者の目視観察により確認している。このため、作業者により除塵作業にバラツキが発生している。
従来の除電除塵装置においては、処理対象物の帯電状態や塵埃付着状態の如何にかかわらず、一定量の圧縮空気やイオン化空気を対象物に吹き付けるようにしている。このため、あまり塵埃が付着していない対象物に対して、過度の圧縮空気を吹き付け過ぎてしまうことがあり、その場合には圧縮空気の消費量が多くなる。一方、大量の塵埃が付着している対象物に対しては、不十分な量の圧縮空気しか吹き付けることができず、塵埃を完全に除塵できない場合がある。また、あまり帯電していないにもかかわらず、大量のイオン化空気を対象物に吹き付けると、無駄なイオン化空気を浪費することになる。一方、帯電量が多い対象物に対して一定量のイオン化空気しか吹き付けないために、対象物から確実に除塵できない場合がある。このように、従来の除電除塵装置では、効率的に対象物から塵埃を除去することができないという課題がある。
さらに、除塵装置により対象物から除去された塵埃を、集塵ファンにより集塵する場合には、従来では、塵埃の量にかかわらず、集塵ファンを一定の回転速度で駆動するようにしている。また、集塵ファンにより吸引された空気から塵埃を除去するために、フィルタが使用されており、フィルタの目詰まりにより塵埃を除去することができない場合がある。
本発明の目的は、対象物に付着した塵埃を対象物から効率的に除去し得る除塵装置を提供することにある。
本発明の除塵装置は、収容空間に配置された対象物の塵埃を除塵する除塵装置であって、対象物に向けて圧縮空気を噴出する除塵ノズルと、イオン化空気を対象物に向けて噴射する除電ノズルと、対象物の塵埃を監視する除塵監視手段と、前記除塵監視手段により監視された塵埃の量に応じて前記除塵ノズルから噴出される圧縮空気の噴射量と、前記除電ノズルからのイオン化空気の噴射量との少なくともいずれか一方の噴射量を制御する除塵制御手段と、を有する。
対象物に向けて圧縮空気を噴射して対象物の塵埃を除塵する除塵ノズルの噴射量は、除塵監視手段により検出された塵埃の量に応じて制御されるので、最適量の圧縮空気を対象物に吹き付けることができ、対象物から効率的に塵埃を除去することができる。
(A)はケースに装着された一実施の形態である除塵装置を示す斜視図であり、(B)はケースの一方の側壁を取り除いた状態を示す斜視図である。 (A)は図1(B)の正面図であり、(B)は(A)の右側面図である。 図1(A)の背面図である。 図1および図2に示された除塵ユニットを上から見た斜視図である。 図4の除塵ユニットを下から見た斜視図である。 除塵装置の空気圧回路図である。 図1および図2に示された集塵ユニットの正面側を示す斜視図である。 図6の背面側を示す斜視図である。 集塵ユニットの断面図である。 除塵装置の制御回路図である。 除塵ユニットに設けられた操作パネルを示す正面図である。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1~図3に示す除塵装置10は、収容空間11に配置された対象物Wの塵埃を除塵するために使用される。収容空間11はケース12に形成される。ケース12は、底壁13、前壁14、後壁15、左右の側壁16、17、および天壁18からなる6つの壁体を備えている。開口部19が前壁14に形成されており、対象物Wが、この開口部19から収容空間11に配置されたり、収容空間11から外部へ取り出されたりする。
除塵ユニット21がケース12の天壁18に着脱自在に装着される。除塵ユニット21は、図4および図5に示されるように、ユニットケース22を有し、ユニットケース22は、底壁23、前壁24、後壁25、左右の側壁26、27、および天壁28からなる6つの壁体を備えている。図2(B)に示されるように、ケース12の天壁18には、ユニットケース22の底壁23よりも小さい開口部29が形成されている。除塵ユニット21が天壁18に装着されると、開口部29はユニットケース22の底壁23により覆われる。底壁23はケース12に対する第1の着脱面であり、第1の着脱面はケース12の壁体である天壁18の少なくとも一部を形成する。また、第1の着脱面は天壁18と接触する第1の接触部23aと、開口部29から収容空間11に露出する第1の露出部23bとで形成される。接触部23aは、露出部23bを囲うように形成される。接触部23aは平面形状であり、天壁18と密着する。そのため、ユニットケース22と開口部29との間の隙間がなくなり、開口部29から収容空間11に塵埃が入ることが防止される。第1の着脱面の露出部23bには2つの除塵ノズル31、32が取り付けられ、それぞれの除塵ノズル31、32は第1の着脱面から突出している。供給ポート33がユニットケース22の側壁27に取り付けられている。
図示しない取付ブラケットが除塵ユニット21に複数個取り付けられており、それぞれの取付ブラケットをねじ部材によりケース12にねじ止めすることにより、除塵ユニット21はケース12に着脱自在に装着される。
図6は除塵装置の空気圧回路図であり、圧縮空気の供給源34がホースや配管を介して供給ポート33に接続される。配管35が供給ポート33と除塵ノズル31、32の間に接続され、配管35には流量調整弁つまりスロットル弁36が設けられている。スロットル弁36の流量調整ノズル36aが図4および図5に示されるように、側壁27から外部に突出している。配管35の流路を開閉するための電磁弁37がユニットケース22内に設けられ、電磁弁37のソレノイドに外部から供給される駆動信号により、配管35の流路は開閉される。配管35にはパルスエア発生器38が設けられている。電磁弁37がオンとなっている状態のもとで、パルスエア発生器38は、オンとオフとを繰り返す。パルスエア発生器38がオンのとき、除塵ノズル31、32が所定の周波数で圧縮空気を噴射する。一方、パルスエア発生器38がオフのとき、その噴射が停止する。
パルスエア発生器38を設けることにより、除塵ノズル31、32からは所定の周波数で間欠的に圧縮空気が吐出される。なお、パルスエア発生器38を設けない場合でも、電磁弁37がオンオフを繰り返すことで、間欠的に圧縮空気を吐出することもできる。しかし、周波数の調整をするためには、パルスエア発生器38を設ける方が好ましい。第1の着脱面としての底壁23には2つの除塵ノズル31、32が設けられているが、着脱面に設けられる除塵ノズルの数は任意の数に設定することができる。図2(B)に示されるように、ケース12の底壁13の上に配置された対象物Wに向けて除塵ノズル31、32から圧縮空気を噴出すると、対象物Wの塵埃が除塵つまり除去される。
除塵ユニット21はケース12に着脱自在となっており、図1~図3に示したケース12のみならず、対象物Wの大きさ、種類、形状に応じた種々のサイズのケースが選択可能である。除塵ユニット21は、壁体に複数の開口部が形成されるケースに対して選択的に装着し得る。また、露出部23bに対応する開口部29を、壁体の任意の場所に設けることで、除塵ユニット21の設置場所を容易に変更することができる。このように、対象物の条件に応じたサイズのケースに、除塵ユニット21を装着できるので、対象物に付着した塵埃を効率良く除塵することができる。例えば、ケースに開口部29を複数形成して、除塵ユニット21を複数取り付けても良い。他の例としては、ケースの開口部19を2つ設けて、一方の開口部19から対象物Wを収容空間11に配置し、他方の開口部19から対象物Wを収容空間11から外部へ取り出すようにしてもよい。
図5に示されるように、除電ノズル41が除塵ユニット21に取り付けられており、除電ノズル41は第1の着脱面から突出している。図6に示されるように、配管42が除電ノズル41と供給ポート33の間に接続され、配管42は配管35の上流側から分岐されている。配管42には圧力調整弁つまりレギュレータ43が設けられている。レギュレータ43の圧力調整ハンドル43aが側壁27から外部に突出している。配管42の流路を開閉するための電磁弁44がユニットケース22内に設けられる。電磁弁44のソレノイドに外部から供給される駆動信号により、配管42の流路は開閉される。配管42にはイオン発生器45が設けられている。イオン発生器45は、供給ポート33に外部から供給された圧縮空気をイオン化し、除電ノズル41はイオン発生器45により生成されたイオン化空気を噴出する。
電磁弁44とイオン発生器45との間にパルスエア発生器を設けると、間欠的なイオン化空気が、除電ノズル41から噴出される。このとき、イオン化空気は、除塵ノズル31、32から噴出される圧縮空気とは相違した周波数で除電ノズル41から噴出することができる。配管42の分岐部よりも上流側にパルスエア発生器38を設けることにより、除塵ノズル31、32から噴出される圧縮空気と、除電ノズル41から噴出されるイオン化空気とが、同じ周波数とすることができる。なお、レギュレータ43に代えてスロットル弁36を使用しても良く、スロットル弁36に代えてレギュレータ43を使用しても良い。
ユニットケース22内で配管が分岐しているため、除塵ノズル31,32に接続される供給ポートと、除電ノズル41に接続される供給ポートとを別々に設ける必要がない。つまり、圧縮空気の供給源34が供給ポート33に接続されれば、除塵ノズル31,32からの圧縮空気と除電ノズル41からのイオン化空気が噴出される。
図2(B)に示されるように、除塵ノズル31、32から圧縮空気が、ケース12の底壁13の上に配置された対象物Wに向けて噴出すると、風圧により、対象物Wの塵埃が除塵つまり除去される。これにより、対象物Wの表面に付着していた塵埃は、対象物Wから離れる。そして、除電ノズル41から対象物Wに噴出されるイオン化空気により、対象物Wや対象物Wの周囲の塵埃の静電気が除電される。除塵装置10は、除塵ノズル31、32のみを備えた形態と、図示するように、除塵ノズル31、32と除電ノズル41とを備えた形態とがある。除電ノズル41を設ける場合、イオン化空気により、対象物Wの表面から離れた塵埃の静電気が除電されるので、対象物Wに塵埃が再付着することが確実に防止される。除塵ノズル31,32からの圧縮空気と、除電ノズル41からのイオン化空気とが噴出を開始するタイミングは、同時でも良いし、イオン化空気を先に噴出し始めても良い。また、圧縮空気とイオン化空気の噴出を終えるタイミングは、同時に終了してもいいし、イオン化空気のみを最後に噴出しても良い。
図5に示されるように、LEDなどの照明部48が除塵ユニット21に設けられており、照明部48は、着脱面から収容空間に向けて点灯する。例えば、収容空間が暗いときは、照明部48が使用され、対象物Wが照らされる。対象物Wが照明部48により照らされることで、対象物Wの視認性が向上する。
集塵ユニット51がケース12の後壁15に着脱自在に装着される。集塵ユニット51は、図7~図9に示されるように、ユニットケース52を有し、ユニットケース52は、底壁53、前壁54、後壁55、左右の側壁56、57、および天壁58からなる6つの壁体を備えており、内部に集塵空間59が形成されている。図1(B)に示されるように、ケース12の後壁15には、ユニットケース52の前壁54よりも小さい開口部46が形成されている。集塵ユニット51が後壁15に装着されると、開口部46はユニットケース52の前壁54により覆われる。前壁54はケース12に対する第2の着脱面であり、第2の着脱面はケース12の壁体である後壁15の少なくとも一部を形成する。また、第2の着脱面は後壁15と接触する第2の接触部54aと、開口部46から収容空間11に露出する第2の露出部53bとで形成される。接触部54aは、露出部54bを囲うように形成される。接触部54aは平面形状であり、後壁15と密着する。そのため、ユニットケース52と開口部46との間の隙間がなくなり、開口部46から収容空間11に塵埃が入ることが防止される。
取付ブラケット50が集塵ユニット51の側壁56、57に取り付けられている。それぞれの取付ブラケット50をねじ部材によりケース12にねじ止めすることにより、集塵ユニット51はケース12に着脱自在に装着される。
図7に示されるように、2つの吸入口枠体61が前壁54に形成された貫通孔に取り付けられており、吸入口枠体61はユニットケース52の内部に空気を吸入する開口部61aを有している。入口側のフィルタ62が吸入口枠体61と前壁54との間に挟み付けられている。フィルタ62は、ねじなどの異物が集塵ユニット51の中に混入しないように設けられており、ファンモータ65,66の破損を防止する。図9に示されるように、支持台63がそれぞれの吸入口枠体61に対応させて前壁54の内面に取り付けられている。2つの吸入口枠体61に対応させて2つ集塵ファン64がユニットケース52内に配置され、それぞれの集塵ファン64を駆動するファンモータ65、66がそれぞれの支持台63に取り付けられている。2つのファンモータ65、66の駆動時、集塵ファン64により収容空間11内の空気は、フィルタ62を通過して集塵ユニット51内に吸引される。したがって、収容空間11内に飛散している塵埃つまりほこりは集塵ファン64により集塵ユニット51の内部の集塵空間59に吸引される。
図8に示されるように、吐出口枠体67が後壁55に形成された貫通孔に取り付けられており、吐出口枠体67はユニットケース52の内部から空気を外部に排出する開口部67aを有している。出口側のフィルタ68が吐出口枠体67と後壁55との間に挟み付けられている。ケース12内の収容空間11から集塵ユニット51内に流入した空気は、フィルタ68を通過して吐出口枠体67内から外部に吐出される。フィルタ68の通気孔はフィルタ62よりも小さく、集塵ユニット51内に流入する空気に含まれていた塵埃は、フィルタ68により捕捉される。前述の除塵ユニット21により対象物Wから離れた塵埃が、集塵ユニット51により収容空間11から排出されることで、対象物Wへの塵埃再付着が防止される。
図10は除塵装置10の制御回路図である。除塵ユニット21は除塵制御部71を有し、集塵ユニット51は集塵制御部72を有し、除塵制御部71と集塵制御部72は、信号ケーブル73により接続される。除塵制御部71と集塵制御部72は、制御信号を演算するマイクロプロセッサ、および制御プログラムや演算式等が格納されるメモリを備えている。
図5に示されるように、センサボックス74が除塵ユニット21の底壁23つまり着脱面に設けられている。センサボックス74には除塵監視手段としての電位センサ75が設けられており、電位センサ75の出力信号は、除塵制御手段としての除塵制御部71に送られる。図10に示されるように、除塵制御部71からは、図6に示した電磁弁37、44、パルスエア発生器38、イオン発生器45に駆動信号が送られる。
対象物Wが帯電していると、塵埃が対象物に引き寄せられて付着し、付着量は帯電量に比例する。対象物Wが帯電していると、その周囲には帯電量に比例した強さの電界が発生するので、この電界の強さを測定するために電位センサ75が用いられる。
除塵監視手段としての電位センサ75が対象物Wの電位を測定し、電位に対応した出力信号を除塵制御部71に出力する。除塵制御部71は、電位センサ75からの出力信号に基づいて、電磁弁37のオンオフを設定して除塵ノズル31から噴出される空気の噴射量を制御する。対象物の帯電量が多いときには、小さいときよりも噴射量が多く設定される。このように、対象物の帯電量に応じた空気の噴射量が、あらかじめ除塵制御部71に設定されることにより、空気の噴射量が最適値に設定される。帯電量に応じた噴射量の制御方式としては、噴射時間を変化させても良いし、噴射時間を変化させることなく、除塵ノズル31から噴出される圧縮空気の流量を変化させるようにしても良い。また、電位センサ75からの出力信号にあらかじめ第1の判定基準を設け、この判定基準に基づいて、除塵制御部71の外部へ信号を出力することもできる。この出力信号を第1の判定信号とする。例えば、対象物Wの帯電量が判定基準以下になった場合、判定信号が外部へ出力される。この判定信号により、対象物の帯電量が判定基準以下になったこと、つまり、対象物Wが除電されたことを確認できる。なお、判定基準は、可変に設定することができる。
集塵ユニット51には、除塵監視手段としてのほこりセンサ76が設けられており、ほこりセンサ76の出力信号は、集塵制御部72に送られる。ほこりセンサ76は、集塵ユニット51の集塵空間59に光を照射する発光部と、集塵空間59内に存在する塵埃からの反射光を受光する受光部とを備える。ほこりセンサ76は、受光部の受光出力に基づいて、集塵空間59内の塵埃の有無および濃度を測定する。集塵空間59の塵埃の濃度は収容空間11の塵埃の濃度に対応する。ほこりセンサ76は、塵埃の有無および濃度に対応した出力信号を、集塵制御部72と通信ケーブル73を介して除塵制御部71に出力する。ほこりセンサ76の出力信号に応じて、すなわち、集塵空間59内の塵埃の濃度に応じて、除塵制御部71は、除塵ノズル31から噴出される空気の噴射量を制御する。この場合には、塵埃の量が多いときには、少ないときよりも噴射量が多く設定される。このように、集塵空間59内の塵埃の量に応じた空気の噴射量が、あらかじめ除塵制御部71に設定されることにより、空気の噴射量が最適値に設定される。塵埃の量に応じた噴射量の制御方式としては、上述のように、帯電量に応じた噴射量の制御方式と同様に、噴射時間を変化させても良いし、噴射時間を変化させることなく、除塵ノズル31から噴出される圧縮空気の流量を変化させるようにしても良い。また、ほこりセンサ76からの出力信号にあらかじめ第2の判定基準を設定し、この判定基準に基づいて、除塵制御部71の外部へ信号を出力することができる。この出力信号を第2の判定信号とする。例えば、塵埃の濃度が判定基準以下になった場合、判定信号が外部へ出力される。この判定信号により、塵埃の濃度が判定基準以下になったこと、つまり、塵埃が除去されたことを確認できる。なお、判定基準は、可変に設定することができる。
除塵監視手段としては、上述のように、対象物Wの表面電位を測定する電位センサ75と、集塵空間59内の塵埃の量を測定するほこりセンサ76とのいずれかを使用しても良く、さらには、両方を使用するようにしても良い。両方を使用する場合には、検出結果に応じて演算された除塵ノズル31,32からの噴射量の多い方の値を使用するようにしても良い。さらに、ほこりセンサ76を集塵ユニット51に加え、除塵ユニット21にも設けるようにしても良く、除塵ユニット21に設けられたほこりセンサ76の信号は除塵制御部71に送られる。
除塵監視手段としての電位センサ75からの出力信号に基づいて、除塵制御部71が、除電ノズル41から対象物Wに噴出されるイオン化空気の噴射量を制御する。対象物の帯電量が多いときには、少ないときよりもイオン化空気の噴射時間が長く設定される。このように、対象物の帯電量に応じたイオン化空気の噴射量が、あらかじめ除塵制御部71に設定されることにより、イオン化空気の噴射量が最適値に設定される。
さらに、除塵監視手段としてのほこりセンサ76により測定された集塵空間59内の塵埃の濃度に応じて、除塵制御部71が、イオン化空気の噴射量を制御することができる。この場合には、塵埃の量が多いときには、少ないときよりも噴出量が多く設定される。このように、集塵空間59内の塵埃の量に応じてイオン化空気の噴射量を設定することにより、イオン化空気の噴射量が最適値に設定される。
除塵監視手段の出力信号に基づく、イオン化空気の噴射量の制御方式としては、上述のように、除塵ノズル31、32からの圧縮空気の噴射量の制御方式と同様に、噴射時間を変化させても良いし、噴射時間を変化させることなく、除電ノズル41から噴出されるイオン化空気の流量を変化させるようにしても良い。また、イオン化空気の噴射量の制御方式としては、除電ノズル41から噴出されるイオン化空気のイオンバランスを変化させるようにしても良い。この場合、対象物がプラスに帯電しているときには、マイナスイオンを噴射するというように、対象物の帯電極性と逆極性のイオンが噴射される。
除塵監視手段からの測定結果に基づいて、上述のように、除塵ノズル31、32からの圧縮空気の噴射量と、除電ノズル41からのイオン化空気の噴射量との双方を制御するようにしても良く、さらには圧縮空気の噴射量とイオン化空気の噴射量の一方を制御するようにしても良い。このように、除塵監視手段からの測定結果に基づいて、除塵ノズル31、32からの圧縮空気の噴射量と、除電ノズル41からのイオン化空気の噴射量との少なくともいずれか一方の噴射量を制御するようにすれば、対象物に付着する塵埃を効率良く除塵することができる。
上述のように、電位センサ75やほこりセンサ76からの信号に基づいて、除塵ノズル31、32からの圧縮空気の噴射量の制御や、除電ノズル41からのイオン化空気の噴射量の制御が、対象物Wに対する最適量の圧縮空気やイオン化空気の噴射を可能にする。従来では、対象物の帯電状態や塵埃の付着状態の如何に関わらず、一定量の圧縮空気やイオン化空気を噴射するようにしていた。その場合には、あまり塵埃が付着していない対象物に対して、圧縮空気が必要以上に噴射されてしまったり、塵埃が大量に付着している対象物に対して、圧縮空気が十分に噴射されなかったりしていた。同様に、あまり帯電していない対象物に対して、イオン化空気が必要以上に噴射されてしまったり、帯電量が多い対象物に対して、イオン化空気が十分に噴射されない場合があった。上述した除塵装置10においては、このような従来技術の問題点が解消され、除塵監視手段からの信号に基づいて、最適量の圧縮空気やイオン化空気が対象物Wに噴射される。さらに、あらかじめ設定された判定基準に基づいて、電位センサ75やほこりセンサ76の判定信号を利用することで、効率的で確実な除塵と除電が可能となる。
図5に示したセンサボックス74には光電センサ77が設けられている。光電センサ77は、収容空間11に対象物Wが配置されているか否かを検出するためのものであり、対象物を検知する対象物検知手段を構成する。光電センサ77には、反射型や透過型等があり、いずれをも使用することができる。反射型は、対象物Wに向けて光を照射する発光素子と、反射光を受光する受光素子とが組み込まれた投受光器を有している。透過型は、発光素子と受光素子とが対向して分離され、発光素子と受光素子との間に対象物が配置される。
このように、光電センサ77が収容空間11内に配置されている対象物Wを検知したとき、除塵ノズル31および除電ノズル41を作動させることができる。同時に、照明部48を作動させることもできる。
ファンモータ65、66は、集塵ユニット51に設けられた2つの集塵ファン64をそれぞれ駆動させ、ファンモータ65、66の回転数は、除塵監視手段としてのほこりセンサ76からの出力信号に基づいて制御される。除塵監視手段としての電位センサ75からの出力信号に基づいてファンモータ65、66の回転数を制御することも可能である。その場合には、電位センサ75の出力信号は、除塵制御部71を介して集塵制御部72に送られる。集塵ユニット51は、2つのファンモータ65、66を備えているので、一方のファンモータのみを駆動するように制御することもできる。
さらに、除塵ノズル31、32から噴射される圧縮空気の噴射量、または除電ノズル41から噴射されるイオン化空気の噴射量に基づいて、ファンモータ65、66の回転数を制御するようにしても良い。除塵ノズル31、32からの圧縮空気の噴射、除電ノズル41からのイオン化空気の噴射が終了した後には、ファンモータ65、66の駆動は停止される。
対象物Wに吹き付けられる圧縮空気やイオン化空気からなる気体の対象物Wの周囲における流れ方向を検出するために、図10に示されるように、風量検知手段としての風量センサ47がケース12内に配置される。風量センサ47の検出信号は除塵制御部71に送られ、風量センサ47の検出信号に基づいて、除塵ユニット21の取付位置を決定することもできる。さらに、複数の集塵ユニットをケース12に設置する場合、複数の風量センサ47の検出信号に基づいて、風量センサ47の信号を検出した方向に位置する集塵ユニットのみ駆動させ、効率よく集塵することもできる。その場合には、風量センサ47を集塵ユニット51に設けるようにしても良い。
集塵ユニット51内には、図10に示されるように、ファンモータ65、66の回転数を検出する回転数検知部78と、ファンモータ65,66に供給される電流値を検出する電流検知部79とが設けられている。
図8に示される出口側のフィルタ68は、集塵ユニット51内に流入した空気に含まれる塵埃を捕捉するために使用されており、捕捉された塵埃によりフィルタ68に目詰まりが発生すると、フィルタ68の通気抵抗が大きくなる。通気抵抗が大きくなると、ファンモータ65、66の回転数が低下し、モータの電流値が高くなる。回転数検知部78により検出されたファンモータ65、66の回転数が基準値よりも低下した場合には、フィルタ68に目詰まりが発生していると判断する。一方、電流検知部79により検出されたファンモータ65、66の電流値が基準値を超えた場合には、フィルタ68に目詰まりが発生していると判断する。このように、回転数検知部78と電流検知部79との少なくとも一方によりフィルタ68に目詰まりが発生していると判断されたときには、除塵ユニット21の前壁24に設けられた操作パネル80のアラームが作動する。
除塵制御部71は、除塵ユニット21に設けられたコネクタにより、コンピュータやPLCなどの外部の制御機器に接続されている。例えば、電位センサ75の出力信号が外部の制御機器へ出力される。また、電位センサ75の判定基準が外部の制御機器から設定される。一方、集塵制御部72は信号ケーブル73により除塵制御部71に接続されているので、外部の制御機器により除塵ユニット21と集塵ユニット51とを一元管理することができる。例えば、ほこりセンサ76の出力信号を外部の制御機器へ出力することができる。また、ほこりセンサ76の判定基準を外部の制御機器から設定することができる。また、フィルタ68が目詰まりした場合、外部の制御機器へアラーム信号を出力することができる。また、ファンモータ65,66の回転数を外部の制御機器から設定することができる。
図11は除塵ユニット21の前壁24に設けられた操作パネル80を示す正面図である。操作パネル80には、フィルタ68の目詰まりが発生していると判断されたときに作動するブザーが設けられている。ブザーに代えてランプを点灯させるようにしても良い。
操作パネル80にはブロー時間設定部81が設けられる。このブロー時間設定部81により、除塵ノズル31、32から圧縮空気が吐出される時間が設定されてもよい。除塵ノズル31、32から間欠的に吐出される圧縮空気のオン動作とオフ動作の周波数は、周波数設定部82により入力されてもよい。ブロー時間設定部81と周波数設定部82は、それぞれ除塵装置10の作動条件を入力する設定部を構成している。
複数の除塵ユニット21を使用する場合に、除塵制御部71をデイジーチェーン方式で接続することができる。デイジーチェーン接続の入力/出力端子83が操作パネル80に設けられている。このように、複数の除塵制御部71は信号ケーブルにより接続可能である。デイジーチェーン接続する時のアドレス設定部84が操作パネル80に設けられている。さらに、イオン発生器45に供給される圧縮空気の圧力を表示するための圧力計85が操作パネル80に設けられている。
電源スイッチ86がオンされると点灯する電源供給ランプ87、電位センサ75等のセンサやイオン発生器45が故障したときに点灯する警報ランプ88、およびイオン発生器45の放電時間、電磁弁37、44の作動回数が設定回数を超えたら点灯するメンテナンスランプ89が操作パネル80に設けられている。また、イオン発生器45が作動していることを示す運転表示ランプ91、電位センサ75が信号を出力すると点灯する電位センサ出力ランプ92と、ほこりセンサ76が信号を出力すると点灯するほこりセンサ出力ランプ93とがそれぞれ操作パネル80に設けられている。ほこりセンサ出力ランプ93は、3つのランプ93a、93b、93cを有し、塵埃の検出量に応じて3段階に色彩表示する。上述したランプ87~93は、除塵装置10の作動状態を表示する表示部を構成している。
さらに、メンテナンススイッチ94が操作パネル80に設けられており、このメンテナンススイッチ94がオンされると、電磁弁37、44の作動回数と、イオン発生器45の放電時間がメモリに記録される。
図4および図5に示されるように、除塵ユニット21の側壁27にはコネクタ領域95が設けられている。このコネクタ領域95には、電源用コネクタ、外部制御機器用コネクタ、集塵ユニット接続用コネクタ、複数のセンサ接続用のコネクタ等が設けられている。
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
10 除塵装置
11 収容空間
12 ケース
21 除塵ユニット
22 ユニットケース
29 開口部
31、32 除塵ノズル
33 供給ポート
34 供給源
36 スロットル弁
37 電磁弁
38 パルスエア発生器
41 除電ノズル
43 レギュレータ
44 電磁弁
45 イオン発生器
46 開口部
47 風量センサ
50 取付ブラケット
51 集塵ユニット
52 ユニットケース
59 集塵空間
61 吸入口枠体
62 フィルタ
64 集塵ファン
65 ファンモータ
67 吐出口枠体
68 フィルタ
71 除塵制御部
72 集塵制御部
73 信号ケーブル
75 電位センサ
76 ほこりセンサ
77 光電センサ
80 操作パネル

Claims (12)

  1. 収容空間に配置された対象物の塵埃を除塵する除塵装置であって、
    対象物に向けて圧縮空気を噴出する除塵ノズルと、
    イオン化空気を対象物に向けて噴射する除電ノズルと、
    対象物の塵埃を監視する除塵監視手段と、
    前記除塵監視手段により監視された塵埃の量に応じて前記除塵ノズルから噴出される圧縮空気の噴射量と、前記除電ノズルからのイオン化空気の噴射量との少なくともいずれか一方の噴射量を制御する除塵制御手段と、
    を有する、除塵装置。
  2. 請求項1記載の除塵装置において、
    前記除塵監視手段は、対象物の帯電量を監視する電位センサであり、
    前記除塵制御手段は、帯電量に応じた前記電位センサからの信号に基づいて、前記除塵ノズルからの圧縮空気の噴射量と、前記除電ノズルからのイオン化空気の噴射量との少なくともいずれか一方の噴射量を制御する、除塵装置。
  3. 請求項記載の除塵装置において、
    前記電位センサは、あらかじめ設定された第1の判定基準に基づいて、前記除塵制御手段の外部へ第1の判定信号を出力する、除塵装置。
  4. 請求項1記載の除塵装置において、
    前記除塵監視手段は、前記収容空間の塵埃の量を監視するほこりセンサであり、
    前記除塵制御手段は、塵埃の量に応じた前記ほこりセンサからの信号に基づいて、前記除塵ノズルからの圧縮空気の噴射量と、前記除電ノズルからのイオン化空気の噴射量との少なくともいずれか一方の噴射量を制御する、除塵装置。
  5. 請求項4記載の除塵装置において、
    前記ほこりセンサは、あらかじめ設定された第2の判定基準に基づいて、前記除塵制御手段の外部へ第2の判定信号を出力する、除塵装置。
  6. 請求項1~のいずれか1項に記載の除塵装置において、
    ファンモータにより駆動され、対象物から飛散した塵埃を吸引する集塵ファンを備えた集塵ユニットを有し、
    前記除塵監視手段により監視された塵埃の量に応じて、前記ファンモータの回転数を制御する、除塵装置。
  7. 請求項1~のいずれか1項に記載の除塵装置において、
    ファンモータにより駆動され、対象物から飛散した塵埃を吸引する集塵ファンを備えた集塵ユニットを有し、
    前記除塵ノズルからの対象物に噴出される圧縮空気の噴射量に基づいて、前記ファンモータの回転数を制御する、除塵装置。
  8. 請求項または記載の除塵装置において、
    前記集塵ユニットは、塵埃を捕捉するフィルタと、前記ファンモータの回転数検知部と、前記ファンモータの電流検知部とを備える、除塵装置。
  9. 請求項記載の除塵装置において、
    前記回転数検知部と電流検知部は、外部に信号を出力する、除塵装置。
  10. 請求項または記載の除塵装置において、
    前記回転数検知部は、前記ファンモータの回転数が基準値よりも低下したときにアラームを出力する、除塵装置。
  11. 請求項またはに記載の除塵装置において、
    前記電流検知部は、前記ファンモータの電流値が基準値を超えたときにアラームを出力する、除塵装置。
  12. 請求項1~11のいずれか1項に記載の除塵装置において、
    前記収容空間に配置された対象物を検知する対象物検知手段を有する、除塵装置。
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