JP2010104971A - 除塵装置、及び除電除塵装置 - Google Patents

Abstract

【課題】外部から供給される気体を除塵性能の低下を低減しつつ複数の噴射手段から噴射する除塵装置、及び除電除塵装置を提供する。
【解決手段】対象物に向けて気体を噴射する除塵装置であって、複数の噴射手段と、外部から供給される気体を、複数の前記噴射手段を１つ以上の前記噴射手段からなるグループに分けた各グループから互いに異なるタイミングで噴射させる噴射制御手段と、を備える。各グループから互いに異なるタイミングで気体を噴射するので、あるグループからは気体が噴射され、別のグループからは気体が噴射されないという期間が生じる。したがって、少なくともその期間においては、全てのグループから同時に気体を噴射する場合に比べて噴射される気体の圧力の低下が小さくなり、除塵性能の低下を低減できる。
【選択図】図６

Description

本発明は、除塵装置、及び除電除塵装置に関する。

従来、同一の空気供給装置から供給される空気をイオン化して複数の噴射口から同時に噴射するイオン化装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このイオン化装置によると、イオン化した空気を噴射することにより対象物を除電できるとともに、噴射した空気によって塵埃を飛散させることにより対象物を除塵することができる。
特開２００２−２１６９９６公報

しかしながら、同一の空気供給装置から供給される空気を複数の噴射口から同時に噴射すると、一つの噴射口のみから噴射する場合に比べて噴射される空気の圧力が低下する。このため、対象物に付着している塵埃が飛散し難くなり、除塵性能が低下するという問題がある。

本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、外部から供給される気体を除塵性能の低下を低減しつつ複数の噴射手段から噴射する除塵装置、及び除電除塵装置を提供することを目的とする。

第１の発明は、対象物に向けて気体を噴射する除塵装置であって、複数の噴射手段と、外部から供給される気体を、複数の前記噴射手段を１つ以上の前記噴射手段からなるグループに分けた各グループから互いに異なるタイミングで噴射させる噴射制御手段と、を備える。
この発明によると、各グループから互いに異なるタイミングで気体を噴射するので、あるグループからは気体が噴射され、別のグループからは気体が噴射されないという期間が生じる。したがって、少なくともその期間においては、全てのグループから同時に気体を噴射する場合に比べて噴射される気体の圧力の低下が小さくなり、除塵性能の低下を低減できる。
よってこの発明によると、外部から供給される気体を除塵性能の低下を低減しつつ複数の噴射手段から噴射できる。

第２の発明は、第１の発明の除塵装置であって、前記噴射制御手段は、各前記グループから排他的に気体を噴射させる。
この発明によると、各グループから排他的に気体を噴射するので、あるグループから気体が噴射されている間は別のグループからは気体が噴射されない。したがって、どの時点においても、全てのグループから同時に気体を噴射する場合に比べて噴射される気体の圧力の低下が小さくなり、除塵性能の低下をより低減できる。

第３の発明は、第１又は第２の発明の除塵装置であって、外部の気体供給装置が接続される一つの接続部と、一端側が前記接続部に接続され他端側が分岐して各前記噴射手段に接続される気体流路部と、前記他端側の分岐した各前記気体流路部を開閉する複数の電磁弁と、を備え、前記噴射制御手段は各前記電磁弁を制御して各前記グループから互いに異なるタイミングで気体を噴射させる。
この発明によると、電磁弁を制御して他端側の分岐した各気体流路部を開閉することにより、各グループから互いに異なるタイミングで気体を噴射させることができる。

第４の発明は、除電除塵装置であって、第１〜第３のいずれかの発明の除塵装置と、放電針と前記放電針に電圧を印加してイオンを発生させる電圧印加手段とを有するイオン生成手段と、を備え、前記噴射手段は前記イオン生成手段で生成したイオンを噴射する。
この発明によると、除塵とともに除電を行うことができる。

第５の発明は、第４の発明の除電除塵装置であって、前記イオン生成手段は、当該除電除塵装置の作動期間中は、前記噴射手段からの気体の噴射とは無関係に常にイオンを生成する。
電圧印加手段によって放電針に電圧を印加してからイオンの生成が立ち上がるまでにはある程度の時間を要するので、噴射手段からの気体の噴射が停止するごとにイオンの生成を停止すると、気体の噴射が開始されてからイオンが噴射されるまでにタイムラグが生じる。
この発明によると、当該除電除塵装置の作動期間中は、噴射手段からの気体の噴射とは無関係に常にイオンを生成するので、噴射手段からの気体の噴射が開始されてからイオンが噴射されるまでのタイムラグを低減できる。

本発明によれば、外部から供給される気体を除塵性能の低下を低減しつつ複数の噴射手段から噴射できる。

＜実施形態１＞
本発明の実施形態１を図１ないし図６によって説明する。
（１）除電除塵装置の概略
図１は本発明の実施形態１に係る除電除塵装置１の斜視図であり、図２は除電除塵装置１の正面図、図３は図２に示すＸ方向から見た側面図である。

除電除塵装置１は、空気（気体の一例）をイオン化して対象物に向けて噴射することにより対象物を除電、除塵する装置である。例えば電子部品のように静電気によって破損する虞がある対象物の場合は、イオン化した空気を吹き付けて静電気を中和することにより、静電気を除電することができる。
また、例えば静電気によって塵埃が付着した対象物の場合は、イオン化した空気を吹き付けて除電することにより静電気による付着力を失わせ、風圧によって塵埃を飛散させることにより除塵することができる。

図１に示すように、除電除塵装置１の筺体１１は略Ｌ字状に形成されており、筺体１１と透明な板状の部材１２、１３、１４とによって収容室１５が形成されている。収容室１５の前面は開放されており、前面から対象物が収容室１５内に搬入、搬出される。
筺体１１の上部にはコロナ放電によって空気をイオン化するタイプのイオン発生器１６（１６ａ及び１６ｂ）（以下「イオナイザ」という）が設けられている。各イオナイザ１６ａ、１６ｂは収容室１５の上方に設けられており、外部のエアコンプレッサから供給される圧縮空気をイオン化して収容室１５内に向けて吹き付ける。

筺体１１の台座部１７は上側が開口しており、その開口は多数の通気孔が形成されているエキスパンドメタル１８によって覆われている。イオナイザ１６から噴射された空気によって対象物から飛散した塵埃は筺体１１内に設けられている排気ファン４７（図４参照）によって開口から筺体１１内に吸い込まれ、筺体１１の背面に設けられている図示しない排気ダクトから筺体１１外に排出される。なお、排気ダクトに塵埃を集塵するフィルタを設けてもよい。

図２に示すように、各イオナイザ１６は先端に噴射ノズル１９（１９ａ及び１９ｂ）を有している。各噴射ノズル１９の先端には空気を噴射する噴射口２２（２２ａ、２２ｂ）が形成されている。図２において一点鎖線２１ａ及び２１ｂはそれぞれ各噴射口２２ａ、２２ｂの噴射軸線を示している。噴射軸線２１ａ、２１ｂは図示するように収容室１５内の一点で互いに交差するように噴射ノズル１９によって方向が設定されている。

図示するように噴射軸線２１ａ、２１ｂは互いに平行ではなく、したがって収容室１５の噴射軸線２１ａ、２１ｂが交差する点（交差点）付近に対象物８７を配置した場合には、対象物８７において当該交差点とその周囲に２方向から空気が噴射される、言い換えると、対象物８７の同一箇所に２方向から空気が噴射される。

（２）除電除塵装置の構成
図４は、除電除塵装置１の要部構成を示すブロック図である。除電除塵装置１は、制御回路４４、継手３１〜３５、樹脂製のチューブ５１〜６０、レギュレータ３８、圧力センサ３９、エアバルブ４０（４０ａ、４０ｂ）、イオナイザ１６（１６ａ、１６ｂ）、操作パネル４５、動作設定部４６、排気ファン４７、光電センサ４８などを備えている。

チューブ５１〜６０は継手３２〜３５によって接続されることにより、継手３１に接続される図示しないエアコンプレッサ（気体供給装置の一例）からの空気をイオナイザ１６に供給する空気流路部（気体流路部の一例）を構成している。ここで継手３１は接続部の一例であり、空気流路部は一端側が継手３１に接続され、他端側が分岐して各イオナイザ１６ａ、１６ｂに接続されている。
制御回路４４（噴射制御手段、電圧印加手段、イオン生成手段の一例）は、図示しないＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、フラッシュメモリ、各種の入出力インタフェースなどを有するマイクロコンピュータである。制御回路４４にはレギュレータ３８、圧力センサ３９、エアバルブ４０、イオナイザ１６、操作パネル４５、動作設定部４６、排気ファン４７、光電センサ４８などが電気的に接続されており、制御回路４４はこれら各部の作動を制御する。

レギュレータ３８は、エアコンプレッサから供給された空気の圧力脈動などを除去して空気の圧力を安定させる。
圧力センサ３９は、レギュレータ３８とエアバルブ４０との間の空気の圧力を検出して制御回路４４に出力する。制御回路４４は圧力センサ３９によって空気の圧力異常を検出すると所定の異常時処理を実行する。

エアバルブ４０（噴射制御手段の一例）は、空気流路部を開閉する電磁弁である。エアバルブ４０は制御回路４４からパルス信号として出力される開閉信号によって駆動され、例えば開閉信号がＯＮになると空気流路部を開き、開閉信号がＯＦＦになると空気流路部を閉じる。制御回路４４は開閉信号を断続的にＯＮにし、これによりイオナイザ１６から空気が間欠的に噴射される。

イオナイザ１６（噴射手段、電圧印加手段の一例）は、放電針に交流電圧を印加して接地電極との間にコロナ放電を起こすいわゆる交流電圧タイプのものである。なお、イオナイザ１６は交流電圧タイプのものに限定されず、例えば正極性及び負極性の直流電圧がそれぞれ印加される正負１対の放電針を備えたいわゆる直流電圧タイプのものを用いてもよい。

操作パネル４５は、圧力センサ３９で検出される圧力の表示や、圧力異常を判定するための閾値を設定するためのものであり、圧力センサ３９で検出される圧力を表示するための表示装置や圧力異常を判定するための閾値を設定するための複数の押しボタンなどで構成されている。
動作設定部４６は、作業者が除電除塵装置１の動作を設定するためのものである。動作設定部４６は各種の動作を設定するための複数のディップスイッチなどで構成されており、筐体１１の背面に設けられている。

排気ファン４７は、モータと当該モータによって回転駆動されるファンなどで構成されている。
光電センサ４８は、投光器４８ａと受光器４８ｂとを有している。投光器４８ａと受光器４８ｂとは収容室１５内に上下に分かれて配置されている。収容室１５内に対象物が搬入されていないときは投光器４８ａから発光された光が受光器４８ｂに入光し、対象物が収容室１５内に搬入されると投光器４８ａから発光された光が対象物によって遮られる。投光器４８ａから発光された光が遮られると受光器４８ｂから制御回路４４に検出信号が出力される。制御回路４４は受光器４８ｂから検出信号が出力されることにより、収容室１５内に対象物が搬入されたことを検知する。制御回路４４は収容室１５内に対象物が搬入されたことを検知すると各エアバルブ４０に上述した開閉信号を出力する。

（３）イオナイザの内部構造
図５は、イオナイザ１６ａの内部構造を示す模式図である。イオナイザ１６ｂはイオナイザ１６ａと同構造であるためここではイオナイザ１６ａを例に説明する。イオナイザ１６ａは、イオン生成室６５、イオン生成室６５内に配置されている放電針６６（イオン生成手段の一例）、接地電極６７（イオン生成手段の一例）、噴射ノズル１９ａなどを有している。

接地電極６７は金属の筒状部材で構成されており、イオン生成室６５にネジ固定されている。図示するように筒状の接地電極６７の内周部には放電針６６に近い側に筒状の絶縁物６８が嵌合されている。
イオン生成室６５には空気流路からイオン生成室６５内に空気を流入させる空気流入口６９、及び空気流入口６９から流入した空気を噴射ノズル１９ａへ放出する空気放出口７０が形成されている。

イオナイザ１６ａは放電針６６に交流電圧を印加して接地電極６７との間にコロナ放電を起こすことにより、放電針６６の周囲の空気をプラスイオンとマイナスイオンとに交互にイオン化する。

噴射ノズル１９ａはイオナイザ１６ａに支持されている側の端部を始端として鉛直下向きに伸びる鉛直部分７１、鉛直部分７１の下端側から収容室１５内の前述した交差点に向かって傾いた姿勢で延びる傾斜部分７２などで構成されている。噴射ノズル１９ａは回動軸線７３周りに回動可能にイオナイザ１６ａに支持されており、噴射ノズル１９ａを回動軸線７３周りに回動させることにより空気を噴射する方向を変更することもできる。

（４）除電除塵装置の作動
（４−１）作動の概要
本実施形態では、２つの噴射口２２ａ、２２ｂから互いに異なるタイミングで空気を噴射する。
仮に同一のエアコンプレッサから供給される空気を複数の噴射口から同時に噴射するようにすると、一つの噴射口のみから噴射する場合に比べて噴射される空気の圧力が低下する。このため、対象物に付着している塵埃が飛散し難くなり、除塵性能が低下する。以下、具体的に説明する。

式１、式２は流量と圧力損失との関係を示す式である。ここでＲは配管（チューブ）による定数、Ｑは流量である。
圧力Ｐ＝元圧Ｐ'−圧力損失ΔＰ ・・・ 式１
ΔＰ＝Ｒ×Ｑ２ ・・・ 式２
上記式１及び式２によれば、流量の二乗に比例して圧力損失が増大する。すなわち、同時に複数の噴射口から空気を噴射すると、流量が多くなり、その多くなった流量の二乗に比例して圧力損失が発生することにより、対象物に噴射される空気の圧力が低下する。このため、対象物に付着している塵埃が飛散し難くなり、除塵性能が低下する。

逆にいうと、例えば噴射口が２つある場合は、同時に一つの噴射口のみから空気を噴射するようにすると、同時に２つの噴射口から空気を噴射する場合に比べて圧力損失は１／４に低下する。同様に、噴射口が３つある場合は、同時に一つの噴射口のみから空気を噴射するようにすると、同時に３つの噴射口から空気を噴射する場合に比べて圧力損失は１／９に低下する。

そこで、本実施形態では同一のエアバルブに接続されている噴射口を１つのグループとし、グループ毎に互いに異なるタイミングで空気を噴射する。具体的には、本実施形態では噴射口２２ａ、２２ｂ毎に独立してエアバルブ４０を設け、各噴射口２２ａ、２２ｂをそれぞれ１つのグループとする。ここでは噴射口２２ａを第１グループ、噴射口２２ｂを第２グループというものとし、第１グループと第２グループとから交互に空気を噴射する。すなわち第１グループと第２グループとから空気を排他的に噴射する。

（４−２）作動の詳細
図６は、制御回路４４が各エアバルブ４０に出力する開閉信号のタイミングチャートである。実施形態１に係る制御回路４４は図示するように各エアバルブ４０間でタイミングをずらして開閉信号をＯＮにする。具体的には、一方のエアバルブ４０ａ（図６では第１エアバルブ）の開閉信号をＯＮにしている間（期間Ｔ１）は他方のエアバルブ４０ｂ（図６では第２エアバルブ）の開閉信号をＯＦＦにする。そして、一方のエアバルブ４０ａの開閉信号をＯＮにしてから一定時間が経過すると当該一方のエアバルブ４０ａの開閉信号をＯＦＦにする。期間Ｔ２ではいずれのエアバルブ４０ａの開閉信号もＯＦＦとし、期間Ｔ３では他方のエアバルブ４０ｂの開閉信号をＯＮにする。そして、期間Ｔ４では再びいずれのエアバルブ４０の開閉信号もＯＦＦにする。

したがって２つのエアバルブ４０ａ、４０ｂは同時に開状態にはならず、第１グループから空気が噴射されている間（期間Ｔ１）は第２グループからは空気は噴射されない。そして、一定時間が経過すると第１グループからの空気の噴射が停止し、第２グループから空気が噴射される（期間Ｔ３）。これにより、２つの噴射口から排他的に空気が噴射される。

なお、本実施形態ではいずれのエアバルブ４０の開閉信号もＯＦＦにする休止期間（期間Ｔ２及びＴ４）を設けているが、休止期間を設けずに常にどちらかのエアバルブ４０の開閉信号をＯＮにするようにしてもよい。

前述したように制御回路４４は収容室１５内に対象物が搬入されたことを検知すると各エアバルブ４０に上述した開閉信号を出力する。本実施形態ではこの開閉信号が出力されている期間を除電除塵装置１の作動期間というものとする。制御回路４４（電圧印加手段の一例）は、除電除塵装置１の作動期間中は、イオナイザ１６ａ、１６ｂからの空気の噴射とは無関係に常に放電針６６に電圧を印加してイオンを生成する。

制御回路４４によって放電針６６に電圧を印加してからイオンの生成が立ち上がるまでにはある程度の時間を要するので、イオナイザ１６からの空気の噴射が停止するごとにイオンの生成を停止すると、空気の噴射が開始されてからイオンが噴射されるまでにタイムラグが生じる。除電除塵装置１の作動期間中は、イオナイザ１６からの空気の噴射とは無関係に常にイオンを生成するようにすると、イオナイザ１６からの空気の噴射が開始されてからイオンが噴射されるまでのタイムラグを低減できる。

（５）実施形態の効果
以上説明した本発明の実施形態１に係る除電除塵装置１によると、各グループから排他的に空気を噴射するので、あるグループから空気が噴射されている間は別のグループからは空気が噴射されない。したがって、どの時点においても、全てのグループから同時に空気を噴射する場合に比べて噴射される空気の圧力の低下が小さくなり、除塵性能の低下を低減できる。したがって除電除塵装置１によると、同一のエアコンプレッサから供給される空気を除塵性能の低下を低減しつつ複数のイオナイザから噴射できる。

更に、除電除塵装置１によると、作動期間中はイオナイザ１６からの空気の噴射とは無関係に常にイオンを生成するので、イオナイザ１６からの空気の噴射が開始されてからイオンが噴射されるまでのタイムラグを低減できる。

更に、除電除塵装置１によると、対象物にイオン化した空気を噴射するので、除塵とともに除電を行うことができる。

更に、除電除塵装置１によると、対象物の同一箇所に向けて２方向から空気を噴射するので、当該同一箇所に付着した塵埃を飛散させるとき、１方向からのみ空気をあてる場合に比べて塵埃が飛散し易い。よってこの発明によると、対象物に付着した塵埃を除塵する能力が高い。
なお、本実施形態では対象物の同一箇所に向けて空気を噴射するので、対象物の全体を除塵する場合には、作業者が対象物の位置を変えて各個所に空気をあてるようにすればよい。

＜実施形態２＞
次に、本発明の実施形態２を図７によって説明する。
実施形態２では、グループ毎に互いに異なるタイミングで空気を噴射するが、各グループから空気が噴射される時期が一部重なる。

図７は、実施形態２に係る制御回路４４が各エアバルブ４０に出力する開閉信号のタイミングチャートである。実施形態２に係る制御回路４４は図示するように期間Ｓ１では一方のエアバルブ４０ａ（図７では第１エアバルブ）の開閉信号をＯＮにし、他方のエアバルブ４０ｂ（図７では第２エアバルブ）の開閉信号をＯＦＦにする。

期間Ｓ２では、制御回路４４は一方のエアバルブ４０ａの開閉信号をＯＦＦにし、他方のエアバルブ４０ｂの開閉信号をＯＮにする。
したがって期間Ｓ１及びＳ２では２つのグループから交互に空気が噴射される。
期間Ｔ３では、制御回路４４は各エアバルブ４０の開閉信号を同時にＯＮにする。したがって期間Ｓ３では２つのグループから同時に空気が噴射される。

以上説明した本発明の実施形態２に係る除電除塵装置によると、各グループから互いに異なるタイミングで空気を噴射するので、あるグループからは空気が噴射され、別のグループからは空気が噴射されないという期間（期間Ｓ１、Ｓ２）が生じる。したがって、少なくともその期間においては、全てのグループから同時に空気を噴射する場合に比べて噴射される空気の圧力の低下が小さくなり、除塵性能の低下を低減できる。

更に、実施形態２に係る除電除塵装置によると、各グループから空気が噴射される時期が一部重なるようにしているので、空気の圧力に強弱を持たせることができ、これにより塵埃の周囲にランダムな空気の流れが生じ易くなり、一方向のみから空気を噴射する場合に比べて塵埃が飛散し易くなる。
実施形態２はその他の点において実施形態１と同一である。

＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。

（１）上記実施形態１では１つのグループが１つのイオナイザからなる場合を例に説明したが、グループの分割の仕方はこれに限られるものではない。例えばイオナイザが３つあって各イオナイザがそれぞれ異なるエアバルブに接続されている場合は、１つのイオナイザを１グループとして３つのグループに分けてもよいし、２つのイオナイザを１グループとし、残りのイオナイザを別の１グループとしてもよい。また、例えばイオナイザが４つあって２つ毎に同じエアバルブに接続されている場合は、同一のエアバルブに接続されている２つのイオナイザが１つのグループを構成することになる。

（２）上記実施形態１及び２では対象物の同一箇所に向けて２方向から空気を噴射する場合を例に説明したが、必ずしも同一箇所に向けて噴射しなくてもよい。例えば図８に模式的に示すように２つのイオナイザ１１０ａ、１１０ｂの各噴射口１１１ａ、１１１ｂから同じ方向に噴射するようにしてもよいし、図９に模式的に示すように２つのイオナイザ１１０ａ、１１０ｂの各噴射口１１１ａ、１１１ｂから逆向きに噴射するようにしてもよい。ここで図中の一点鎖線１１２ａ、１１２ｂは噴射軸線を示している。この場合は作業者が対象物８７の位置をずらして対象物の同一箇所に複数の方向から空気が当たるようにすることにより、１方向からのみ空気を噴射する場合に比べて対象物に複数の方向からの空気があたる可能性が高くなり、塵埃が飛散し易くなる。

（３）上記実施形態１では除電除塵装置１の上方から見て２つの噴射軸線が一直線上になるように噴射軸線２１ａ、２１ｂを設定しているが、これらは必ずしも一直線上である必要はなく、例えば図１０に示すように噴射軸線２１ａ、２１ｂが９０度で交差するように設定してもよい。図１０は除電除塵装置１を上方から見た模式図であり、一点鎖線２１ａと２１ｂとは９０度の角度で交差するように設定されている。なお、２つの噴射軸線２１ａ、２１ｂが交差する角度は９０度に限られるものではなく、適宜設定可能である。

（４）上記実施形態では除電除塵装置を例に説明したが、イオナイザを備えないもの、すなわちイオン化されていない空気を噴射して除塵のみを行う除塵装置であってもよい。この場合はイオナイザ本体を備えず噴射バルブのみを備えるようにすればよい。

（５）噴射ノズルには、その噴射ノズルから吹き出す空気の噴射軸線を示す可視光を出射する手段を設けてもよい。これにより、作業者は対象物をどこに配置すればよいかを視覚的に把握できる。この可視光を出射する手段としては、例えばＬＥＤなどを用いることができる。

本発明の一実施形態に係る除塵装置の斜視図。 本発明の一実施形態に係る除塵装置の正面図。 本発明の一実施形態に係る除塵装置の側面図。 本発明の一実施形態に係る除塵装置のブロック図。 本発明の一実施形態に係るイオナイザの内部構造を示す模式図。 本発明の一実施形態に係るタイミングチャート。 本発明の一実施形態に係るタイミングチャート。 本発明の一実施形態に係る噴射手段の模式図。 本発明の一実施形態に係る噴射手段の模式図。 本発明の一実施形態に係る噴射軸線の模式図。

符号の説明

１・・・除電除塵装置（除塵装置）
１６・・・イオナイザ（噴射手段）
４０・・・エアバルブ（噴射制御手段、電磁弁）
４４・・・制御回路（噴射制御手段、電圧印加手段、イオン生成手段）
３１・・・継手（接続部）
３２〜３５・・・継手（気体流路部）
５１〜６０・・・チューブ（気体流路部）
６６・・・放電針（イオン生成手段）
６７・・・接地電極（イオン生成手段）

Claims (5)

1. 対象物に向けて気体を噴射する除塵装置であって、
   複数の噴射手段と、
   外部から供給される気体を、複数の前記噴射手段を１つ以上の前記噴射手段からなるグループに分けた各グループから互いに異なるタイミングで噴射させる噴射制御手段と、
   を備える除塵装置。
2. 請求項１に記載の除塵装置であって、
   前記噴射制御手段は、各前記グループから排他的に気体を噴射させる。
3. 請求項１又は請求項２に記載の除塵装置であって、
   外部の気体供給装置が接続される一つの接続部と、
   一端側が前記接続部に接続され他端側が分岐して各前記噴射手段に接続される気体流路部と、
   前記他端側の分岐した各前記気体流路部を開閉する複数の電磁弁と、
   を備え、
   前記噴射制御手段は各前記電磁弁を制御して各前記グループから互いに異なるタイミングで気体を噴射させる。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の除塵装置と、
   放電針と前記放電針に電圧を印加してイオンを発生させる電圧印加手段とを有するイオン生成手段と、
   を備え、前記噴射手段は前記イオン生成手段で生成したイオンを噴射する、除電除塵装置。
5. 請求項４に記載の除電除塵装置であって、
   前記イオン生成手段は、当該除電除塵装置の作動期間中は、前記噴射手段からの気体の噴射とは無関係に常にイオンを生成する。
   

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