JPH05301083A - エアー洗浄装置 - Google Patents
エアー洗浄装置Info
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- JPH05301083A JPH05301083A JP10338592A JP10338592A JPH05301083A JP H05301083 A JPH05301083 A JP H05301083A JP 10338592 A JP10338592 A JP 10338592A JP 10338592 A JP10338592 A JP 10338592A JP H05301083 A JPH05301083 A JP H05301083A
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- Japan
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- air
- valve
- nozzle
- clean
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 潤滑油や金属粉により汚染されないクリーン
エアーを安定して供給してエアー洗浄を行う。 【構成】 クリーンエアー供給部１から供給されるクリ
ーンエアーをノズル２から被洗浄物３に噴出して被洗浄
物３をエアー洗浄するための装置である。クリーンエア
ー供給部１とノズル２との間のエアー流路４の途中にエ
アー流路４を開閉するための耐磨耗性樹脂からなるバル
ブ５を設ける。このことによりバルブ５を通過する際に
クリーンエアーが潤滑油や金属粉により汚染されない。
エアーを安定して供給してエアー洗浄を行う。 【構成】 クリーンエアー供給部１から供給されるクリ
ーンエアーをノズル２から被洗浄物３に噴出して被洗浄
物３をエアー洗浄するための装置である。クリーンエア
ー供給部１とノズル２との間のエアー流路４の途中にエ
アー流路４を開閉するための耐磨耗性樹脂からなるバル
ブ５を設ける。このことによりバルブ５を通過する際に
クリーンエアーが潤滑油や金属粉により汚染されない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、リレーなどの電気機器
等の被洗浄物にクリーンエアーを吹き付けて洗浄するた
めのエアー洗浄装置に関する発明である。
等の被洗浄物にクリーンエアーを吹き付けて洗浄するた
めのエアー洗浄装置に関する発明である。
【０００２】
【従来の技術】従来からリレーなどの電気機器等の被洗
浄物にクリーンエアーを吹き付けて洗浄するエアー洗浄
装置が知られている。このエアー洗浄装置は、図１４に
示すように、加圧空気をクリーンエアー供給部１に供給
し、クリーンエアー供給部１からのクリーンエアーをノ
ズル２に供給してノズル２からリレー等の被洗浄物３に
クリーンエアーを噴射して洗浄し、集塵機２３により集
塵するようになっている。クリーンエアー供給部１は市
販のフィルター９、ミストセパレータ１０、レギュレー
ターのような圧力調整部１４等から構成してあって、加
圧空気をクリーンエアーにしてノズル２側に供給するよ
うになっている。クリーンエアー供給部１からノズル２
までクリーンエアーを供給するエアー流路４の途中には
エアー流路４を開閉するためのバルブ５が設けてある。
浄物にクリーンエアーを吹き付けて洗浄するエアー洗浄
装置が知られている。このエアー洗浄装置は、図１４に
示すように、加圧空気をクリーンエアー供給部１に供給
し、クリーンエアー供給部１からのクリーンエアーをノ
ズル２に供給してノズル２からリレー等の被洗浄物３に
クリーンエアーを噴射して洗浄し、集塵機２３により集
塵するようになっている。クリーンエアー供給部１は市
販のフィルター９、ミストセパレータ１０、レギュレー
ターのような圧力調整部１４等から構成してあって、加
圧空気をクリーンエアーにしてノズル２側に供給するよ
うになっている。クリーンエアー供給部１からノズル２
までクリーンエアーを供給するエアー流路４の途中には
エアー流路４を開閉するためのバルブ５が設けてある。
【０００３】そして、従来にあっては、上記バルブ５が
金属製の電磁ソレノイドバルブまたは禁油処理された電
磁ソレノイドバルブにより構成してある。図１４におい
て６はバルブ５の開閉操作を制御するシーケンサーのよ
うな制御部である。
金属製の電磁ソレノイドバルブまたは禁油処理された電
磁ソレノイドバルブにより構成してある。図１４におい
て６はバルブ５の開閉操作を制御するシーケンサーのよ
うな制御部である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な従来例にあっては、クリーンエアー供給部１でクリー
ン化されたエアーがバルブ５を通過する際にバルブ５内
の潤滑油や金属粉に汚染されてしまうという問題があ
り、また、洗浄効果を上げるためにパルスブロー（例え
ば３回／秒〜１０回／秒）を行おうとすると、更にバル
ブ５を通過する際に金属粉の発生が激しくなり、エアー
洗浄としては適さないという問題があり、これらの理由
により接点等の重要部分のエアー洗浄には適さないもの
である。また、従来にあっては静電気により付着したご
みを落とすため、洗浄能力を向上させる必要があり、比
較的高いエアー圧（４ｋｇ／ｃｍ2 〜６ｋｇ／ｃｍ2 ）
でエアーブローする必要があって、音がうるさいという
問題があった。
な従来例にあっては、クリーンエアー供給部１でクリー
ン化されたエアーがバルブ５を通過する際にバルブ５内
の潤滑油や金属粉に汚染されてしまうという問題があ
り、また、洗浄効果を上げるためにパルスブロー（例え
ば３回／秒〜１０回／秒）を行おうとすると、更にバル
ブ５を通過する際に金属粉の発生が激しくなり、エアー
洗浄としては適さないという問題があり、これらの理由
により接点等の重要部分のエアー洗浄には適さないもの
である。また、従来にあっては静電気により付着したご
みを落とすため、洗浄能力を向上させる必要があり、比
較的高いエアー圧（４ｋｇ／ｃｍ2 〜６ｋｇ／ｃｍ2 ）
でエアーブローする必要があって、音がうるさいという
問題があった。
【０００５】本発明は上記の従来例の問題点に鑑みて発
明したものであって、その目的とするところは、潤滑油
や金属粉により汚染されないクリーンエアーを安定して
供給してエアー洗浄ができてエアー洗浄の信頼性が向上
するエアー洗浄装置を提供することを主な目的とし、ま
た、パルスエアーブローをしても潤滑油や金属粉により
汚染されず、パルスエアーブローにより洗浄力を向上さ
せることができ、更に、静電気を中和させることで、低
圧力での洗浄が可能となるエアー洗浄装置を提供するこ
とを別の目的とし、更に、主要な部品を本体ケースに組
み込んでユニット化することで他設備への転用が容易に
できるエアー洗浄装置を提供することを更に他の目的と
するものである。
明したものであって、その目的とするところは、潤滑油
や金属粉により汚染されないクリーンエアーを安定して
供給してエアー洗浄ができてエアー洗浄の信頼性が向上
するエアー洗浄装置を提供することを主な目的とし、ま
た、パルスエアーブローをしても潤滑油や金属粉により
汚染されず、パルスエアーブローにより洗浄力を向上さ
せることができ、更に、静電気を中和させることで、低
圧力での洗浄が可能となるエアー洗浄装置を提供するこ
とを別の目的とし、更に、主要な部品を本体ケースに組
み込んでユニット化することで他設備への転用が容易に
できるエアー洗浄装置を提供することを更に他の目的と
するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の従来例の問題点を
解決して本発明の目的を達成するために、本発明のエア
ー洗浄装置は、クリーンエアー供給部１から供給される
クリーンエアーをノズル２から被洗浄物３に噴出して被
洗浄物３をエアー洗浄するための装置であって、クリー
ンエアー供給部１とノズル２との間のエアー流路４の途
中にエアー流路４を開閉するための耐磨耗性樹脂からな
るバルブ５を設けて成ることを特徴とするものである。
解決して本発明の目的を達成するために、本発明のエア
ー洗浄装置は、クリーンエアー供給部１から供給される
クリーンエアーをノズル２から被洗浄物３に噴出して被
洗浄物３をエアー洗浄するための装置であって、クリー
ンエアー供給部１とノズル２との間のエアー流路４の途
中にエアー流路４を開閉するための耐磨耗性樹脂からな
るバルブ５を設けて成ることを特徴とするものである。
【０００７】また、耐磨耗性樹脂をフッソ樹脂又はポリ
イミド樹脂により形成してあることが好ましい。また、
バルブ５を高頻度開閉を行いパルスブローを行うための
制御部６を有する構造とすることも好ましい。また、正
又は負イオンを発生するイオン発生装置７をエアー流路
に設けることも好ましい。
イミド樹脂により形成してあることが好ましい。また、
バルブ５を高頻度開閉を行いパルスブローを行うための
制御部６を有する構造とすることも好ましい。また、正
又は負イオンを発生するイオン発生装置７をエアー流路
に設けることも好ましい。
【０００８】また、クリーンエアー供給部１とノズル２
との間のエアー流路４の途中にエアー流路４を開閉する
ための耐磨耗性樹脂からなるバルブ５を設け、該バルブ
５と、バルブ５をエアー駆動により開閉するために駆動
用バルブ１８と、バルブ５を流れるエアー圧を調整する
圧力調整部１４を本体ケース３０内に収納した構成とす
ることも好ましい。
との間のエアー流路４の途中にエアー流路４を開閉する
ための耐磨耗性樹脂からなるバルブ５を設け、該バルブ
５と、バルブ５をエアー駆動により開閉するために駆動
用バルブ１８と、バルブ５を流れるエアー圧を調整する
圧力調整部１４を本体ケース３０内に収納した構成とす
ることも好ましい。
【０００９】
【作用】上記のような構成の本発明によれば、クリーン
エアー供給部１とノズル２との間のエアー流路４の途中
にエアーのノズル２側への供給をオン、オフするための
耐磨耗性樹脂からなるバルブ５を設けることで、バルブ
５を通過する際に従来のように金属粉や潤滑油で汚染さ
れないようにできたものである。
エアー供給部１とノズル２との間のエアー流路４の途中
にエアーのノズル２側への供給をオン、オフするための
耐磨耗性樹脂からなるバルブ５を設けることで、バルブ
５を通過する際に従来のように金属粉や潤滑油で汚染さ
れないようにできたものである。
【００１０】そして、バルブ５を高頻度開閉を行いパル
スブローを行うための制御部６を有する構造とするもの
においては、被洗浄物３のエアー洗浄力を向上すること
ができるようになったものである。また、正又は負イオ
ンを発生するイオン発生装置７をエアー流路に設けるも
のにおいては、被洗浄物３の静電気を中和することがで
きて、静電付着を防止することができるようになったも
のである。
スブローを行うための制御部６を有する構造とするもの
においては、被洗浄物３のエアー洗浄力を向上すること
ができるようになったものである。また、正又は負イオ
ンを発生するイオン発生装置７をエアー流路に設けるも
のにおいては、被洗浄物３の静電気を中和することがで
きて、静電付着を防止することができるようになったも
のである。
【００１１】また、クリーンエアー供給部１とノズル２
との間のエアー流路４の途中にエアー流路４を開閉する
ための耐磨耗性樹脂からなるバルブ５を設け、該バルブ
５と、バルブ５を開閉制御する制御部６と、バルブ５を
流れるエアー圧を調整する圧力制御部を本体ケース３０
内に収納した構成とするものにおいては、本体ケース３
０にバルブ５と、バルブ５をエアー駆動により開閉する
ために駆動用バルブ１８と、バルブ５を流れるエアー圧
を調整する圧力調整部１４を本体ケース３０内に収納す
ることで、他の設備に転用する場合、ユニット化して組
み込んだ本体ケース３０を他の設備に設置することで簡
単に対応することができるようになったものである。
との間のエアー流路４の途中にエアー流路４を開閉する
ための耐磨耗性樹脂からなるバルブ５を設け、該バルブ
５と、バルブ５を開閉制御する制御部６と、バルブ５を
流れるエアー圧を調整する圧力制御部を本体ケース３０
内に収納した構成とするものにおいては、本体ケース３
０にバルブ５と、バルブ５をエアー駆動により開閉する
ために駆動用バルブ１８と、バルブ５を流れるエアー圧
を調整する圧力調整部１４を本体ケース３０内に収納す
ることで、他の設備に転用する場合、ユニット化して組
み込んだ本体ケース３０を他の設備に設置することで簡
単に対応することができるようになったものである。
【００１２】
【実施例】以下本発明を添付図面に示す実施例に基づい
て詳述する。クリーンエアー供給部１は加圧エアー供給
路８から供給される加圧エアーをクリーンエアーにして
ノズル２側に供給するための部分であり、図１に示すよ
うに、フィルター９、ミストを除去するためのミストセ
パレータ１０、更に微細なミストを除去するためのマイ
クロミストセパレータ１１、ドライヤ１２、更に微細な
ミストを除去するためのミストセパレータ１３、レギュ
レータのような圧力調整部１４等を組合わせて構成して
あって、例えば、このクリーンエアー供給部１によりろ
過度０．０１μｍ，油分０．０１ｍｇｆ／Ｎｍ3 、大気
圧露点−３０℃のクリーンエアーとしてノズル２側に供
給するものである。
て詳述する。クリーンエアー供給部１は加圧エアー供給
路８から供給される加圧エアーをクリーンエアーにして
ノズル２側に供給するための部分であり、図１に示すよ
うに、フィルター９、ミストを除去するためのミストセ
パレータ１０、更に微細なミストを除去するためのマイ
クロミストセパレータ１１、ドライヤ１２、更に微細な
ミストを除去するためのミストセパレータ１３、レギュ
レータのような圧力調整部１４等を組合わせて構成して
あって、例えば、このクリーンエアー供給部１によりろ
過度０．０１μｍ，油分０．０１ｍｇｆ／Ｎｍ3 、大気
圧露点−３０℃のクリーンエアーとしてノズル２側に供
給するものである。
【００１３】クリーンエアー供給部１とノズル２との間
のエアー流路４の途中にはエアー流路４を開閉するため
のバルブ５が設けてあり、バルブ５はフッソ樹脂又はポ
リイミド樹脂等の耐磨耗性樹脂により構成してある。そ
して、この耐磨耗性樹脂により構成したバルブ５はエア
ーにより開閉制御される構造のものであり、駆動用バル
ブ１８とバルブ５とを駆動用エアー管１５により接続
し、駆動用バルブ１８を開閉することでエアー駆動によ
りバルブ５を開閉するようになっている。ここで、図中
１６は加圧エアー供給路８から分岐した分岐管であって
上記駆動用バルブ１８に接続してある。分岐管１６の途
中にはフィルタレギュレーター１７が設けてある。駆動
用バルブ１８はシーケンサーのような制御部６により制
御されて動作するようになっており、駆動用バルブ１８
としては通常の電磁ソレノイドバルブが用いられる。こ
のように、駆動用バルブ１８によるエアー駆動によりバ
ルブ５を開閉するようにしているので、バルブ５として
電磁ソレノイドバルブのようなものを用いる必要がなく
て、金属を使用せず耐磨耗性樹脂によりバルブ５を形成
できるようになったものである。
のエアー流路４の途中にはエアー流路４を開閉するため
のバルブ５が設けてあり、バルブ５はフッソ樹脂又はポ
リイミド樹脂等の耐磨耗性樹脂により構成してある。そ
して、この耐磨耗性樹脂により構成したバルブ５はエア
ーにより開閉制御される構造のものであり、駆動用バル
ブ１８とバルブ５とを駆動用エアー管１５により接続
し、駆動用バルブ１８を開閉することでエアー駆動によ
りバルブ５を開閉するようになっている。ここで、図中
１６は加圧エアー供給路８から分岐した分岐管であって
上記駆動用バルブ１８に接続してある。分岐管１６の途
中にはフィルタレギュレーター１７が設けてある。駆動
用バルブ１８はシーケンサーのような制御部６により制
御されて動作するようになっており、駆動用バルブ１８
としては通常の電磁ソレノイドバルブが用いられる。こ
のように、駆動用バルブ１８によるエアー駆動によりバ
ルブ５を開閉するようにしているので、バルブ５として
電磁ソレノイドバルブのようなものを用いる必要がなく
て、金属を使用せず耐磨耗性樹脂によりバルブ５を形成
できるようになったものである。
【００１４】上記エアー流路４のバルブ５とノズル２と
の間の部分には更に正又は負イオンを発生するイオン発
生装置７がエアー流路に設けてある。図１中１９はイオ
ン発生装置７となる静電気除去装置１９であって先端部
の除電ヘッド２０部分で正又は負イオンを発生させるよ
うになっている。ここで、静電気除去装置１９は正イオ
ン、負イオンが別々に調整可能となっている。
の間の部分には更に正又は負イオンを発生するイオン発
生装置７がエアー流路に設けてある。図１中１９はイオ
ン発生装置７となる静電気除去装置１９であって先端部
の除電ヘッド２０部分で正又は負イオンを発生させるよ
うになっている。ここで、静電気除去装置１９は正イオ
ン、負イオンが別々に調整可能となっている。
【００１５】エアー流路４の先端部に設けられたノズル
２は例えばフラットジェットノズル等が使用されて、流
れを整流し、騒音を低減するようになっている。そし
て、このノズル２は図２、図３に示すようにエアー洗浄
装置の洗浄室２１内に突入して配置してある。洗浄室２
１内にはガイドレール２２が通っており、このガイドレ
ール２２に沿ってリレーのような電気機器等の被洗浄物
３が洗浄室２１内に搬入される。洗浄室２１には集塵機
２３が接続してあり、集塵機２３はスライダック２４に
より印加電圧を変えて吸引能力を可変できるようにして
あり、洗浄室２１内の乱流を防ぐようになっている。図
３において２５は洗浄室２１の内部に設けた整流板部で
ある。なお、図２、図４に示す実施例においては２個の
ノズル２を逆ハ字状に配置してこれを一組として被洗浄
物３に対向するように配置してある。また、洗浄室２１
の入口と出口とにはエアーカーテン２６により遮断され
るようになっている。
２は例えばフラットジェットノズル等が使用されて、流
れを整流し、騒音を低減するようになっている。そし
て、このノズル２は図２、図３に示すようにエアー洗浄
装置の洗浄室２１内に突入して配置してある。洗浄室２
１内にはガイドレール２２が通っており、このガイドレ
ール２２に沿ってリレーのような電気機器等の被洗浄物
３が洗浄室２１内に搬入される。洗浄室２１には集塵機
２３が接続してあり、集塵機２３はスライダック２４に
より印加電圧を変えて吸引能力を可変できるようにして
あり、洗浄室２１内の乱流を防ぐようになっている。図
３において２５は洗浄室２１の内部に設けた整流板部で
ある。なお、図２、図４に示す実施例においては２個の
ノズル２を逆ハ字状に配置してこれを一組として被洗浄
物３に対向するように配置してある。また、洗浄室２１
の入口と出口とにはエアーカーテン２６により遮断され
るようになっている。
【００１６】ところで、実際の装置においては、図１の
バルブ５と除電ヘッド２０との接続距離Ｈは５０ｍｍ以
下とし、また、除電ヘッド２０とノズル２との接続距離
Ｌは５０ｍｍ以下としてある。また、ノズル２先端と被
洗浄物３との距離は１０ｍｍ以下としてある。そして、
上記のような構成の本発明においては、加圧エアー供給
路８から供給される加圧エアーをクリーンエアー供給部
１でクリーンエアーにしてノズル２側に供給するもので
あり、この場合、バルブ５部分を開にすることでクリー
ンエアーがイオン発生装置７を通過してノズル２から被
洗浄物３に噴射されて、クリーンエアーにより被洗浄物
３がエアー洗浄され、被洗浄物３から吹き飛ばしたごみ
やほこりは集塵機２３に集塵されるものである。ここ
で、洗浄に当たっては、正、負のイオンを発生させるの
で被洗浄物３の静電気を中和して異物の脱落を促進し、
また再付着を防止するものである。
バルブ５と除電ヘッド２０との接続距離Ｈは５０ｍｍ以
下とし、また、除電ヘッド２０とノズル２との接続距離
Ｌは５０ｍｍ以下としてある。また、ノズル２先端と被
洗浄物３との距離は１０ｍｍ以下としてある。そして、
上記のような構成の本発明においては、加圧エアー供給
路８から供給される加圧エアーをクリーンエアー供給部
１でクリーンエアーにしてノズル２側に供給するもので
あり、この場合、バルブ５部分を開にすることでクリー
ンエアーがイオン発生装置７を通過してノズル２から被
洗浄物３に噴射されて、クリーンエアーにより被洗浄物
３がエアー洗浄され、被洗浄物３から吹き飛ばしたごみ
やほこりは集塵機２３に集塵されるものである。ここ
で、洗浄に当たっては、正、負のイオンを発生させるの
で被洗浄物３の静電気を中和して異物の脱落を促進し、
また再付着を防止するものである。
【００１７】本発明において、バルブ５は制御部６によ
り高頻度開閉を行ってパルスブロー（３回／秒〜１０回
／秒）を行うように制御されるものである。このように
バルブ５は制御部６により高頻度開閉を行ってパルスブ
ローにより被洗浄物３を洗浄すると、図６のようにエア
ー圧の最大圧力を利用した空気洗浄ができることにな
る。すなわち、連続してブローする場合は図６に示すよ
うに最初のみが最大圧力Ｐ1 であるが、すぐ定常圧力Ｐ
2 となってこの定常圧力Ｐ2 が使用圧力となってエアー
洗浄が行われるが、パルスブローを行うと、図６のよう
に最大圧力Ｐ1 を頂点とするのこぎり状の噴射圧力とな
り、最大圧力Ｐ1 が使用圧力となったエアー洗浄ができ
ることになる。また、パルスブローをすることで、図７
のように被洗浄物３の表面のごみやほこり２７が揺動さ
れ、脱落を促することができるものである。また、図８
に示すように被洗浄物３の表面に表面層流２８が存在し
ても、パルスブローをすることで、表面層流２８をパル
スブローの衝撃波で破り、被洗浄物の表面のごみやほこ
り２７を吹き飛ばして洗浄できるものである。なお、こ
こで、図４のように２個のノズル２を逆ハ字状に配置し
てこれを一組とするような実施例においては、第１のノ
ズル２ａと第２のノズル２ｂとに対応した各バルブ５の
高頻度開閉を図５に示すように交互に開閉するように設
定しておくと、いっそう洗浄効果が期待できるものであ
る。
り高頻度開閉を行ってパルスブロー（３回／秒〜１０回
／秒）を行うように制御されるものである。このように
バルブ５は制御部６により高頻度開閉を行ってパルスブ
ローにより被洗浄物３を洗浄すると、図６のようにエア
ー圧の最大圧力を利用した空気洗浄ができることにな
る。すなわち、連続してブローする場合は図６に示すよ
うに最初のみが最大圧力Ｐ1 であるが、すぐ定常圧力Ｐ
2 となってこの定常圧力Ｐ2 が使用圧力となってエアー
洗浄が行われるが、パルスブローを行うと、図６のよう
に最大圧力Ｐ1 を頂点とするのこぎり状の噴射圧力とな
り、最大圧力Ｐ1 が使用圧力となったエアー洗浄ができ
ることになる。また、パルスブローをすることで、図７
のように被洗浄物３の表面のごみやほこり２７が揺動さ
れ、脱落を促することができるものである。また、図８
に示すように被洗浄物３の表面に表面層流２８が存在し
ても、パルスブローをすることで、表面層流２８をパル
スブローの衝撃波で破り、被洗浄物の表面のごみやほこ
り２７を吹き飛ばして洗浄できるものである。なお、こ
こで、図４のように２個のノズル２を逆ハ字状に配置し
てこれを一組とするような実施例においては、第１のノ
ズル２ａと第２のノズル２ｂとに対応した各バルブ５の
高頻度開閉を図５に示すように交互に開閉するように設
定しておくと、いっそう洗浄効果が期待できるものであ
る。
【００１８】図９、図１０には本考案の他の実施例が示
してある。この実施例においては、クリーンエアー供給
部１とノズル２との間のエアー流路４の途中にエアー流
路４を開閉するための耐磨耗性樹脂からなるバルブ５を
設け、該バルブ５と、バルブ５をエアー駆動により開閉
するために駆動用バルブ１８と、バルブ５を流れるエア
ー圧を調整するレギュレータ等の圧力調整部１４を本体
ケース３０内に収納したものである。また、この場合、
圧力調整部１４の先のエアー流路４には図９、図１０に
示すようにマニホールド３１が設けてあり、マニホール
ド３１からエアー流路４ａが分岐し、分岐したエアー流
路４ａにバルブ５が接続してある。そして、本体ケース
３０には上記のバルブ５、駆動用バルブ１８、圧力調整
部１４、マニホールド３１が組み込みセットしてあり、
本体ケース３０の外面部にクリーンエアー取り入れ用接
続部３２、駆動エアー取り入れ用接続部３３、シーケン
サー等に接続するためのワンタッチタイプのコネクタ３
４が設けてある。また、この本体ケース３０の外面の他
の部分には図９（ｂ）に示すように各バルブ５に接続し
た配管ポート３５が設けてあり、圧力調整部１４の調整
つまみ３６、圧力計３９も設けてある。本体ケース３０
には内面に吸音材３８を貼り付けたカバー３７が取付け
られる。そして、上記のような必要部品をユニット化し
て組み込んだ本体ケース３０は種々の空気洗浄を必要と
する設備にセットして使用するものである。例えば、図
１１には電気部品の組み立て装置４０に上記必要部品を
ユニット化して組み込んだ本体ケース３０をセットした
実施例を示し、図１２には半導体製造工程でのエアー洗
浄（クリーンルーム４１内でエアー洗浄）に使用した実
施例を示し、図１３は自動車の塗装前処理（ボディ等の
付着物を取る）において使用した実施例を示し、図１３
において４２は塗装ロボットを示している。このよう
に、エアー洗浄に必要な制御のための必要な各部品をユ
ニット化して本体ケース３０に組み込むことで、エアー
洗浄を必要とする種々の設備への転用が容易に行えるこ
とになる。ところで、図９に示すものは３回路用（３連
ブロー）仕様が示してあるが、３回路用のみに限定され
るものではなく、１〜１０連のものが考えられる。ま
た、図９に示すものにおける具体例につき述べると、ク
リーンエア取り入れ用接続部３２から取り入れるインプ
ットエアーは０〜５Ｋｇ／ｃｍ2、配管ポート３５から
吐出するアウトプットエアーは０〜５Ｋｇ／ｃｍ2 でパ
ルス回数が最大２０ｃ／ｓであり、３回路用の場合の本
体ケース３０の大きさは巾１２０×高さ８０×奥行き１
５０ｍｍである。
してある。この実施例においては、クリーンエアー供給
部１とノズル２との間のエアー流路４の途中にエアー流
路４を開閉するための耐磨耗性樹脂からなるバルブ５を
設け、該バルブ５と、バルブ５をエアー駆動により開閉
するために駆動用バルブ１８と、バルブ５を流れるエア
ー圧を調整するレギュレータ等の圧力調整部１４を本体
ケース３０内に収納したものである。また、この場合、
圧力調整部１４の先のエアー流路４には図９、図１０に
示すようにマニホールド３１が設けてあり、マニホール
ド３１からエアー流路４ａが分岐し、分岐したエアー流
路４ａにバルブ５が接続してある。そして、本体ケース
３０には上記のバルブ５、駆動用バルブ１８、圧力調整
部１４、マニホールド３１が組み込みセットしてあり、
本体ケース３０の外面部にクリーンエアー取り入れ用接
続部３２、駆動エアー取り入れ用接続部３３、シーケン
サー等に接続するためのワンタッチタイプのコネクタ３
４が設けてある。また、この本体ケース３０の外面の他
の部分には図９（ｂ）に示すように各バルブ５に接続し
た配管ポート３５が設けてあり、圧力調整部１４の調整
つまみ３６、圧力計３９も設けてある。本体ケース３０
には内面に吸音材３８を貼り付けたカバー３７が取付け
られる。そして、上記のような必要部品をユニット化し
て組み込んだ本体ケース３０は種々の空気洗浄を必要と
する設備にセットして使用するものである。例えば、図
１１には電気部品の組み立て装置４０に上記必要部品を
ユニット化して組み込んだ本体ケース３０をセットした
実施例を示し、図１２には半導体製造工程でのエアー洗
浄（クリーンルーム４１内でエアー洗浄）に使用した実
施例を示し、図１３は自動車の塗装前処理（ボディ等の
付着物を取る）において使用した実施例を示し、図１３
において４２は塗装ロボットを示している。このよう
に、エアー洗浄に必要な制御のための必要な各部品をユ
ニット化して本体ケース３０に組み込むことで、エアー
洗浄を必要とする種々の設備への転用が容易に行えるこ
とになる。ところで、図９に示すものは３回路用（３連
ブロー）仕様が示してあるが、３回路用のみに限定され
るものではなく、１〜１０連のものが考えられる。ま
た、図９に示すものにおける具体例につき述べると、ク
リーンエア取り入れ用接続部３２から取り入れるインプ
ットエアーは０〜５Ｋｇ／ｃｍ2、配管ポート３５から
吐出するアウトプットエアーは０〜５Ｋｇ／ｃｍ2 でパ
ルス回数が最大２０ｃ／ｓであり、３回路用の場合の本
体ケース３０の大きさは巾１２０×高さ８０×奥行き１
５０ｍｍである。
【００１９】
【発明の効果】本発明にあっては、上述のように、クリ
ーンエアー供給部から供給されるクリーンエアーをノズ
ルから被洗浄物に噴出して被洗浄物をエアー洗浄するた
めの装置であって、クリーンエアー供給部とノズルとの
間のエアー流路の途中にエアー流路を開閉するための耐
磨耗性樹脂からなるバルブを設けてあるので、バルブを
通過する際に従来のように潤滑油や金属粉により汚染さ
れることがなく、この結果、潤滑油や金属粉により汚染
されないクリーンエアーを安定して供給してエアー洗浄
ができてエアー洗浄の信頼性が向上するものである。
ーンエアー供給部から供給されるクリーンエアーをノズ
ルから被洗浄物に噴出して被洗浄物をエアー洗浄するた
めの装置であって、クリーンエアー供給部とノズルとの
間のエアー流路の途中にエアー流路を開閉するための耐
磨耗性樹脂からなるバルブを設けてあるので、バルブを
通過する際に従来のように潤滑油や金属粉により汚染さ
れることがなく、この結果、潤滑油や金属粉により汚染
されないクリーンエアーを安定して供給してエアー洗浄
ができてエアー洗浄の信頼性が向上するものである。
【００２０】また、バルブを高頻度開閉を行いパルスブ
ローを行うための制御部を有するものにおいては、いっ
そう被洗浄物のエアー洗浄力を向上することができるも
のである。また、正又は負イオンを発生するイオン発生
装置をエアー流路に設けるものにおいては、被洗浄物の
静電気を中和することができて、静電付着を防止するこ
とができ、この結果低圧力でもエアー洗浄が可能とな
り、低圧力にした場合には騒音を防止することが可能と
なるものである。
ローを行うための制御部を有するものにおいては、いっ
そう被洗浄物のエアー洗浄力を向上することができるも
のである。また、正又は負イオンを発生するイオン発生
装置をエアー流路に設けるものにおいては、被洗浄物の
静電気を中和することができて、静電付着を防止するこ
とができ、この結果低圧力でもエアー洗浄が可能とな
り、低圧力にした場合には騒音を防止することが可能と
なるものである。
【００２１】また、クリーンエアー供給部とノズルとの
間のエアー流路の途中にエアー流路を開閉するための耐
磨耗性樹脂からなるバルブを設け、該バルブと、バルブ
をエアー駆動により開閉するために駆動用バルブと、バ
ルブを流れるエアー圧を調整する圧力調整部を本体ケー
ス内に収納したものにおいては、本体ケースにバルブ
と、バルブをエアー駆動により開閉するために駆動用バ
ルブと、バルブを流れるエアー圧を調整する圧力調整部
を本体ケース内に収納することで、他の設備に転用する
場合、ユニット化して組み込んだ本体ケースを他のエア
ー洗浄を必要とする種々の設備に設置することで簡単に
対応することができるものである。
間のエアー流路の途中にエアー流路を開閉するための耐
磨耗性樹脂からなるバルブを設け、該バルブと、バルブ
をエアー駆動により開閉するために駆動用バルブと、バ
ルブを流れるエアー圧を調整する圧力調整部を本体ケー
ス内に収納したものにおいては、本体ケースにバルブ
と、バルブをエアー駆動により開閉するために駆動用バ
ルブと、バルブを流れるエアー圧を調整する圧力調整部
を本体ケース内に収納することで、他の設備に転用する
場合、ユニット化して組み込んだ本体ケースを他のエア
ー洗浄を必要とする種々の設備に設置することで簡単に
対応することができるものである。
【図１】本発明の全体の配管図である。
【図２】同上の装置の全体を示す一部破断した側面図で
ある。
ある。
【図３】同上の装置の全体を示す一部破断した正面図で
ある。
ある。
【図４】同上のノズル部分を示す拡大正面図である。
【図５】同上の２つのノズルに対応したバルブの開閉を
示すグラフである。
示すグラフである。
【図６】同上のパルスブローと連続ブローとの使用圧力
を示す比較説明図である。
を示す比較説明図である。
【図７】同上のほこりがパルスブローにより揺動させら
れている状態を説明するための説明図である。
れている状態を説明するための説明図である。
【図８】同上の表面層流がパルスブローの衝撃波で破ら
れることを説明するための説明図である。
れることを説明するための説明図である。
【図９】本発明の他の実施例を示す図面で、（ａ）は本
体ケースに組み込んだ部分を示す分解斜視図であり、
（ｂ）は正面図である。
体ケースに組み込んだ部分を示す分解斜視図であり、
（ｂ）は正面図である。
【図１０】同上の本体ケースに組み込む部品の概略配管
説明図である。
説明図である。
【図１１】同上の必要部品をユニット化して組み込んだ
本体ケースを電気部品の組み立て設備にセットした実施
例を示す説明図である。
本体ケースを電気部品の組み立て設備にセットした実施
例を示す説明図である。
【図１２】同上の必要部品をユニット化して組み込んだ
本体ケースを半導体製造工程でのエアー洗浄に使用した
実施例を示す説明図である。
本体ケースを半導体製造工程でのエアー洗浄に使用した
実施例を示す説明図である。
【図１３】同上の必要部品をユニット化して組み込んだ
本体ケースを自動車の塗装前処理（ボディ等の付着物を
取る）においてセットして使用した実施例を示す説明図
である。
本体ケースを自動車の塗装前処理（ボディ等の付着物を
取る）においてセットして使用した実施例を示す説明図
である。
【図１４】従来例の配管図である。
１ クリーンエアー供給部 ２ ノズル ３ 被洗浄物 ４ エアー流路 ５ バルブ ６ 制御部 ７ イオン発生装置 １４ 圧力調整部 １８ 駆動用バルブ ３０ 本体ケース
Claims (5)
- 【請求項１】 クリーンエアー供給部から供給されるク
リーンエアーをノズルから被洗浄物に噴出して被洗浄物
をエアー洗浄するための装置であって、クリーンエアー
供給部とノズルとの間のエアー流路の途中にエアー流路
を開閉するための耐磨耗性樹脂からなるバルブを設けて
成ることを特徴とするエアー洗浄装置。 - 【請求項２】 耐磨耗性樹脂がフッソ樹脂又はポリイミ
ド樹脂から成ることを特徴とする請求項１記載のエアー
洗浄装置。 - 【請求項３】 バルブを高頻度開閉を行いパルスブロー
を行うための制御部を有することを特徴とする請求項１
記載のエアー洗浄装置。 - 【請求項４】 正又は負イオンを発生するイオン発生装
置をエアー流路に設けて成ることを特徴とする請求項１
記載のエアー洗浄装置。 - 【請求項５】 クリーンエアー供給部から供給されるク
リーンエアーをノズルから被洗浄物に噴出して被洗浄物
をエアー洗浄するための装置であって、クリーンエアー
供給部とノズルとの間のエアー流路の途中にエアー流路
を開閉するための耐磨耗性樹脂からなるバルブを設け、
該バルブと、バルブをエアー駆動により開閉するために
駆動用バルブと、バルブを流れるエアー圧を調整する圧
力調整部を本体ケース内に収納して成ることを特徴とす
るエアー洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10338592A JP3299299B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-04-23 | エアー洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4299892 | 1992-02-28 | ||
| JP4-42998 | 1992-02-28 | ||
| JP10338592A JP3299299B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-04-23 | エアー洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05301083A true JPH05301083A (ja) | 1993-11-16 |
| JP3299299B2 JP3299299B2 (ja) | 2002-07-08 |
Family
ID=26382735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10338592A Expired - Lifetime JP3299299B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-04-23 | エアー洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3299299B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006073143A1 (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-13 | Gunji Norinobu | 流体圧力調整器及びそれを利用した装置 |
| JP2010104969A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Sunx Ltd | 除塵装置、及び除電除塵装置 |
| JP2010104971A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Sunx Ltd | 除塵装置、及び除電除塵装置 |
| JP2011161384A (ja) * | 2010-02-10 | 2011-08-25 | Kanto Auto Works Ltd | エアーブロー装置 |
| WO2014125907A1 (ja) | 2013-02-12 | 2014-08-21 | オムロン株式会社 | エアー洗浄方法、エアー洗浄装置、プログラムおよび記録媒体 |
| JP2017196575A (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 異物除去装置及び異物除去システム |
| WO2021261677A1 (ko) * | 2020-06-23 | 2021-12-30 | 주식회사 윈텍오토메이션 | 초경인서트 제품 디버링 장치 |
-
1992
- 1992-04-23 JP JP10338592A patent/JP3299299B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006073143A1 (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-13 | Gunji Norinobu | 流体圧力調整器及びそれを利用した装置 |
| JP2010104969A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Sunx Ltd | 除塵装置、及び除電除塵装置 |
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| WO2014125907A1 (ja) | 2013-02-12 | 2014-08-21 | オムロン株式会社 | エアー洗浄方法、エアー洗浄装置、プログラムおよび記録媒体 |
| EP2957357A4 (en) * | 2013-02-12 | 2016-07-20 | Omron Tateisi Electronics Co | AIR FLUSHING PROCESS, AIR FLUSHING DEVICE, PROGRAM AND RECORDING MEDIUM |
| US9630218B2 (en) | 2013-02-12 | 2017-04-25 | Omron Corporation | Air-flushing method, air-flushing device, and recording medium |
| JP2017196575A (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 異物除去装置及び異物除去システム |
| WO2021261677A1 (ko) * | 2020-06-23 | 2021-12-30 | 주식회사 윈텍오토메이션 | 초경인서트 제품 디버링 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3299299B2 (ja) | 2002-07-08 |
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