JP3299299B2 - エアー洗浄装置 - Google Patents
エアー洗浄装置Info
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Description
等の被洗浄物にクリーンエアーを吹き付けて洗浄するた
めのエアー洗浄装置に関する発明である。
浄物にクリーンエアーを吹き付けて洗浄するエアー洗浄
装置が知られている。このエアー洗浄装置は、図14に
示すように、加圧空気をクリーンエアー供給部1に供給
し、クリーンエアー供給部1からのクリーンエアーをノ
ズル2に供給してノズル2からリレー等の被洗浄物3に
クリーンエアーを噴射して洗浄し、集塵機23により集
塵するようになっている。クリーンエアー供給部1は市
販のフィルター9、ミストセパレータ10、レギュレー
ターのような圧力調整部14等から構成してあって、加
圧空気をクリーンエアーにしてノズル2側に供給するよ
うになっている。クリーンエアー供給部1からノズル2
までクリーンエアーを供給するエアー流路4の途中には
エアー流路4を開閉するためのバルブ5が設けてある。
金属製の電磁ソレノイドバルブまたは禁油処理された電
磁ソレノイドバルブにより構成してある。図14におい
て6はバルブ5の開閉操作を制御するシーケンサーのよ
うな制御部である。
な従来例にあっては、クリーンエアー供給部1でクリー
ン化されたエアーがバルブ5を通過する際にバルブ5内
の潤滑油や金属粉に汚染されてしまうという問題があ
り、また、洗浄効果を上げるためにパルスブロー(例え
ば3回/秒〜10回/秒)を行おうとすると、更にバル
ブ5を通過する際に金属粉の発生が激しくなり、エアー
洗浄としては適さないという問題があり、これらの理由
により接点等の重要部分のエアー洗浄には適さないもの
である。また、従来にあっては静電気により付着したご
みを落とすため、洗浄能力を向上させる必要があり、比
較的高いエアー圧(4kg/cm2 〜6kg/cm2 )
でエアーブローする必要があって、音がうるさいという
問題があった。
明したものであって、その目的とするところは、潤滑油
や金属粉により汚染されないクリーンエアーを安定して
供給してエアー洗浄ができてエアー洗浄の信頼性が向上
するエアー洗浄装置を提供することを主な目的とし、ま
た、パルスエアーブローをしても潤滑油や金属粉により
汚染されず、パルスエアーブローにより洗浄力を向上さ
せることができ、更に、静電気を中和させることで、低
圧力での洗浄が可能となるエアー洗浄装置を提供するこ
とを別の目的とし、更に、主要な部品を本体ケースに組
み込んでユニット化することで他設備への転用が容易に
できるエアー洗浄装置を提供することを更に他の目的と
するものである。
解決して本発明の目的を達成するために、本発明のエア
ー洗浄装置は、クリーンエアー供給部1から供給される
クリーンエアーをノズル2から被洗浄物3に噴出して被
洗浄物3をエアー洗浄するための装置であって、クリー
ンエアー供給部1とノズル2との間のエアー流路4の途
中にエアー流路4を開閉するための耐磨耗性樹脂からな
るバルブ5を設け、ノズル2をこれに対応する各バルブ
5が交互に開閉する2個のノズル2a,2bで構成して
成ることを特徴とするものである。
イミド樹脂により形成してあることが好ましい。また、
バルブ5を高頻度開閉を行いパルスブローを行うための
制御部6を有する構造とすることも好ましい。また、正
又は負イオンを発生するイオン発生装置7をエアー流路
に設け、イオン発生装置7の除電ヘッド20とノズル2
との接続距離Lを50mm以下にすることも好ましい。
との間のエアー流路4の途中にエアー流路4を開閉する
ための耐磨耗性樹脂からなるバルブ5を設け、ノズル2
をこれに対応する各バルブ5が交互に開閉する2個のノ
ズル2a,2bで構成し、バルブ5と、バルブ5をエア
ー駆動により開閉するために駆動用バルブ18と、バル
ブ5を流れるエアー圧を調整する圧力調整部14を本体
ケース30内に収納した構成とすることも好ましい。
エアー供給部1とノズル2との間のエアー流路4の途中
にエアーのノズル2側への供給をオン、オフするための
耐磨耗性樹脂からなるバルブ5を設けることで、バルブ
5を通過する際に従来のように金属粉や潤滑油で汚染さ
れないようにできると共に、ノズル2をこれに対応する
各バルブ5が交互に開閉する2個のノズル2a,2bで
構成したことで、バルブ5を交互に高頻度開閉すること
で被洗浄物3の表面のごみやほこり27等の異物の揺動
を促進して脱落を促すことが可能となり、いっそう洗浄
効果が期待できるものである。
スブローを行うための制御部6を有する構造とするもの
においては、被洗浄物3のエアー洗浄力を向上すること
ができるようになったものである。また、正又は負イオ
ンを発生するイオン発生装置7をエアー流路に設けるも
のにおいては、被洗浄物3の静電気を中和することがで
きて、静電付着を防止することができるようになるもの
であり、更に、イオン発生装置7の除電ヘッド20とノ
ズル2との接続距離Lを50mm以下にすることで、イ
オンの減衰が少なく異物除去に効果的なエアーを被洗浄
物に噴射することが可能となるものである。
との間のエアー流路4の途中にエアー流路4を開閉する
ための耐磨耗性樹脂からなるバルブ5を設け、ノズル2
をこれに対応する各バルブ5が交互に開閉する2個のノ
ズル2a,2bで構成し、バルブ5と、バルブ5を開閉
制御する制御部6と、バルブ5を流れるエアー圧を調整
する圧力制御部を本体ケース30内に収納した構成とす
るものにおいては、本体ケース30にバルブ5と、バル
ブ5をエアー駆動により開閉するために駆動用バルブ1
8と、バルブ5を流れるエアー圧を調整する圧力調整部
14を本体ケース30内に収納することで、他の設備に
転用する場合、ユニット化して組み込んだ本体ケース3
0を他の設備に設置することで簡単に対応することがで
きるようになったものである。
て詳述する。クリーンエアー供給部1は加圧エアー供給
路8から供給される加圧エアーをクリーンエアーにして
ノズル2側に供給するための部分であり、図1に示すよ
うに、フィルター9、ミストを除去するためのミストセ
パレータ10、更に微細なミストを除去するためのマイ
クロミストセパレータ11、ドライヤ12、更に微細な
ミストを除去するためのミストセパレータ13、レギュ
レータのような圧力調整部14等を組合わせて構成して
あって、例えば、このクリーンエアー供給部1によりろ
過度0.01μm,油分0.01mgf/Nm3 、大気
圧露点−30℃のクリーンエアーとしてノズル2側に供
給するものである。
のエアー流路4の途中にはエアー流路4を開閉するため
のバルブ5が設けてあり、バルブ5はフッソ樹脂又はポ
リイミド樹脂等の耐磨耗性樹脂により構成してある。そ
して、この耐磨耗性樹脂により構成したバルブ5はエア
ーにより開閉制御される構造のものであり、駆動用バル
ブ18とバルブ5とを駆動用エアー管15により接続
し、駆動用バルブ18を開閉することでエアー駆動によ
りバルブ5を開閉するようになっている。ここで、図中
16は加圧エアー供給路8から分岐した分岐管であって
上記駆動用バルブ18に接続してある。分岐管16の途
中にはフィルタレギュレーター17が設けてある。駆動
用バルブ18はシーケンサーのような制御部6により制
御されて動作するようになっており、駆動用バルブ18
としては通常の電磁ソレノイドバルブが用いられる。こ
のように、駆動用バルブ18によるエアー駆動によりバ
ルブ5を開閉するようにしているので、バルブ5として
電磁ソレノイドバルブのようなものを用いる必要がなく
て、金属を使用せず耐磨耗性樹脂によりバルブ5を形成
できるようになったものである。
の間の部分には更に正又は負イオンを発生するイオン発
生装置7がエアー流路に設けてある。図1中19はイオ
ン発生装置7となる静電気除去装置19であって先端部
の除電ヘッド20部分で正又は負イオンを発生させるよ
うになっている。ここで、静電気除去装置19は正イオ
ン、負イオンが別々に調整可能となっている。
2は例えばフラットジェットノズル等が使用されて、流
れを整流し、騒音を低減するようになっている。そし
て、このノズル2は図2、図3に示すようにエアー洗浄
装置の洗浄室21内に突入して配置してある。洗浄室2
1内にはガイドレール22が通っており、このガイドレ
ール22に沿ってリレーのような電気機器等の被洗浄物
3が洗浄室21内に搬入される。洗浄室21には集塵機
23が接続してあり、集塵機23はスライダック24に
より印加電圧を変えて吸引能力を可変できるようにして
あり、洗浄室21内の乱流を防ぐようになっている。図
3において25は洗浄室21の内部に設けた整流板部で
ある。なお、図2、図4に示す実施例においては2個の
ノズル2を逆ハ字状に配置してこれを一組として被洗浄
物3に対向するように配置してある。また、洗浄室21
の入口と出口とにはエアーカーテン26により遮断され
るようになっている。
バルブ5と除電ヘッド20との接続距離Hは50mm以
下とし、また、除電ヘッド20とノズル2との接続距離
Lは50mm以下としてある。また、ノズル2先端と被
洗浄物3との距離は10mm以下としてある。そして、
上記のような構成の本発明においては、加圧エアー供給
路8から供給される加圧エアーをクリーンエアー供給部
1でクリーンエアーにしてノズル2側に供給するもので
あり、この場合、バルブ5部分を開にすることでクリー
ンエアーがイオン発生装置7を通過してノズル2から被
洗浄物3に噴射されて、クリーンエアーにより被洗浄物
3がエアー洗浄され、被洗浄物3から吹き飛ばしたごみ
やほこりは集塵機23に集塵されるものである。ここ
で、洗浄に当たっては、正、負のイオンを発生させるの
で被洗浄物3の静電気を中和して異物の脱落を促進し、
また再付着を防止するものである。
り高頻度開閉を行ってパルスブロー(3回/秒〜10回
/秒)を行うように制御されるものである。このように
バルブ5は制御部6により高頻度開閉を行ってパルスブ
ローにより被洗浄物3を洗浄すると、図6のようにエア
ー圧の最大圧力を利用した空気洗浄ができることにな
る。すなわち、連続してブローする場合は図6に示すよ
うに最初のみが最大圧力P1 であるが、すぐ定常圧力P
2 となってこの定常圧力P2 が使用圧力となってエアー
洗浄が行われるが、パルスブローを行うと、図6のよう
に最大圧力P1 を頂点とするのこぎり状の噴射圧力とな
り、最大圧力P1 が使用圧力となったエアー洗浄ができ
ることになる。また、パルスブローをすることで、図7
のように被洗浄物3の表面のごみやほこり27が揺動さ
れ、脱落を促することができるものである。また、図8
に示すように被洗浄物3の表面に表面層流28が存在し
ても、パルスブローをすることで、表面層流28をパル
スブローの衝撃波で破り、被洗浄物の表面のごみやほこ
り27を吹き飛ばして洗浄できるものである。更に、図
4のように2個のノズル2を逆ハ字状に配置してこれを
一組とすることで、第1のノズル2aと第2のノズル2
bとに対応した各バルブ5の高頻度開閉を図5に示すよ
うに交互に開閉するように設定しておくと、いっそう洗
浄効果が期待できるものである。
してある。この実施例においては、クリーンエアー供給
部1とノズル2との間のエアー流路4の途中にエアー流
路4を開閉するための耐磨耗性樹脂からなるバルブ5を
設け、該バルブ5と、バルブ5をエアー駆動により開閉
するために駆動用バルブ18と、バルブ5を流れるエア
ー圧を調整するレギュレータ等の圧力調整部14を本体
ケース30内に収納したものである。また、この場合、
圧力調整部14の先のエアー流路4には図9、図10に
示すようにマニホールド31が設けてあり、マニホール
ド31からエアー流路4aが分岐し、分岐したエアー流
路4aにバルブ5が接続してある。そして、本体ケース
30には上記のバルブ5、駆動用バルブ18、圧力調整
部14、マニホールド31が組み込みセットしてあり、
本体ケース30の外面部にクリーンエアー取り入れ用接
続部32、駆動エアー取り入れ用接続部33、シーケン
サー等に接続するためのワンタッチタイプのコネクタ3
4が設けてある。また、この本体ケース30の外面の他
の部分には図9(b)に示すように各バルブ5に接続し
た配管ポート35が設けてあり、圧力調整部14の調整
つまみ36、圧力計39も設けてある。本体ケース30
には内面に吸音材38を貼り付けたカバー37が取付け
られる。そして、上記のような必要部品をユニット化し
て組み込んだ本体ケース30は種々の空気洗浄を必要と
する設備にセットして使用するものである。例えば、図
11には電気部品の組み立て装置40に上記必要部品を
ユニット化して組み込んだ本体ケース30をセットした
実施例を示し、図12には半導体製造工程でのエアー洗
浄(クリーンルーム41内でエアー洗浄)に使用した実
施例を示し、図13は自動車の塗装前処理(ボディ等の
付着物を取る)において使用した実施例を示し、図13
において42は塗装ロボットを示している。このよう
に、エアー洗浄に必要な制御のための必要な各部品をユ
ニット化して本体ケース30に組み込むことで、エアー
洗浄を必要とする種々の設備への転用が容易に行えるこ
とになる。ところで、図9に示すものは3回路用(3連
ブロー)仕様が示してあるが、3回路用のみに限定され
るものではなく、1〜10連のものが考えられる。ま
た、図9に示すものにおける具体例につき述べると、ク
リーンエア取り入れ用接続部32から取り入れるインプ
ットエアーは0〜5Kg/cm2、配管ポート35から
吐出するアウトプットエアーは0〜5Kg/cm2 でパ
ルス回数が最大20c/sであり、3回路用の場合の本
体ケース30の大きさは巾120×高さ80×奥行き1
50mmである。
ーンエアー供給部から供給されるクリーンエアーをノズ
ルから被洗浄物に噴出して被洗浄物をエアー洗浄するた
めの装置であって、クリーンエアー供給部とノズルとの
間のエアー流路の途中にエアー流路を開閉するための耐
磨耗性樹脂からなるバルブを設けてあるので、バルブを
通過する際に従来のように潤滑油や金属粉により汚染さ
れることがなく、この結果、潤滑油や金属粉により汚染
されないクリーンエアーを安定して供給してエアー洗浄
ができてエアー洗浄の信頼性が向上するものであり、ま
た、ノズルをこれに対応する各バルブが交互に開閉する
2個のノズルで構成してあるので、バルブを交互に高頻
度開閉することで被洗浄物の表面のごみやほこり等の異
物の揺動を促進して脱落を促すことが可能となり、いっ
そう洗浄効果が期待できるものである。
ローを行うための制御部を有するものにおいては、いっ
そう被洗浄物のエアー洗浄力を向上することができるも
のである。また、正又は負イオンを発生するイオン発生
装置をエアー流路に設けるものにおいては、被洗浄物の
静電気を中和することができて、静電付着を防止するこ
とができ、この結果低圧力でもエアー洗浄が可能とな
り、低圧力にした場合には騒音を防止することが可能と
なるものであり、更に、イオン発生装置の除電ヘッドと
ノズルとの接続距離を50mm以下にすることで、イオ
ンの減衰が少なく異物除去に効果的なエアーを被洗浄物
に噴射することが可能となる。
間のエアー流路の途中にエアー流路を開閉するための耐
磨耗性樹脂からなるバルブを設け、ノズルをこれに対応
する各バルブが交互に開閉する2個のノズルで構成し、
バルブと、バルブをエアー駆動により開閉するために駆
動用バルブと、バルブを流れるエアー圧を調整する圧力
調整部を本体ケース内に収納したものにおいては、本体
ケースにバルブと、バルブをエアー駆動により開閉する
ために駆動用バルブと、バルブを流れるエアー圧を調整
する圧力調整部を本体ケース内に収納することで、他の
設備に転用する場合、ユニット化して組み込んだ本体ケ
ースを他のエアー洗浄を必要とする種々の設備に設置す
ることで簡単に対応することができるものである。
ある。
ある。
示すグラフである。
を示す比較説明図である。
れている状態を説明するための説明図である。
れることを説明するための説明図である。
体ケースに組み込んだ部分を示す分解斜視図であり、
(b)は正面図である。
説明図である。
本体ケースを電気部品の組み立て設備にセットした実施
例を示す説明図である。
本体ケースを半導体製造工程でのエアー洗浄に使用した
実施例を示す説明図である。
本体ケースを自動車の塗装前処理(ボディ等の付着物を
取る)においてセットして使用した実施例を示す説明図
である。
Claims (5)
- 【請求項1】 クリーンエアー供給部から供給されるク
リーンエアーをノズルから被洗浄物に噴出して被洗浄物
をエアー洗浄するための装置であって、クリーンエアー
供給部とノズルとの間のエアー流路の途中にエアー流路
を開閉するための耐磨耗性樹脂からなるバルブを設け、
ノズルをこれに対応する各バルブが交互に開閉する2個
のノズルで構成して成ることを特徴とするエアー洗浄装
置。 - 【請求項2】 耐磨耗性樹脂がフッソ樹脂又はポリイミ
ド樹脂から成ることを特徴とする請求項1記載のエアー
洗浄装置。 - 【請求項3】 バルブを高頻度開閉を行いパルスブロー
を行うための制御部を有することを特徴とする請求項1
記載のエアー洗浄装置。 - 【請求項4】 正又は負イオンを発生するイオン発生装
置をエアー流路に設け、イオン発生装置の除電ヘッドと
ノズルとの接続距離を50mm以下にして成ることを特
徴とする請求項1記載のエアー洗浄装置。 - 【請求項5】 クリーンエアー供給部から供給されるク
リーンエアーをノズルから被洗浄物に噴出して被洗浄物
をエアー洗浄するための装置であって、クリーンエアー
供給部とノズルとの間のエアー流路の途中にエアー流路
を開閉するための耐磨耗性樹脂からなるバルブを設け、
ノズルをこれに対応する各バルブが交互に開閉する2個
のノズルで構成し、バルブと、バルブをエアー駆動によ
り開閉するために駆動用バルブと、バルブを流れるエア
ー圧を調整する圧力調整部を本体ケース内に収納して成
ることを特徴とするエアー洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10338592A JP3299299B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-04-23 | エアー洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4-42998 | 1992-02-28 | ||
JP4299892 | 1992-02-28 | ||
JP10338592A JP3299299B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-04-23 | エアー洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH05301083A JPH05301083A (ja) | 1993-11-16 |
JP3299299B2 true JP3299299B2 (ja) | 2002-07-08 |
Family
ID=26382735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10338592A Expired - Lifetime JP3299299B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-04-23 | エアー洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3299299B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
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---|---|---|---|---|
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JP2010104969A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Sunx Ltd | 除塵装置、及び除電除塵装置 |
JP2010104971A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Sunx Ltd | 除塵装置、及び除電除塵装置 |
JP5215333B2 (ja) * | 2010-02-10 | 2013-06-19 | トヨタ自動車東日本株式会社 | エアーブロー装置 |
JP5998975B2 (ja) * | 2013-02-12 | 2016-09-28 | オムロン株式会社 | エアー洗浄方法、エアー洗浄装置、プログラムおよび記録媒体 |
JP2017196575A (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 異物除去装置及び異物除去システム |
KR102426794B1 (ko) * | 2020-06-23 | 2022-07-28 | 주식회사 윈텍오토메이션 | 초경인서트 제품 디버링 장치 |
-
1992
- 1992-04-23 JP JP10338592A patent/JP3299299B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05301083A (ja) | 1993-11-16 |
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