JP2009140982A

JP2009140982A - 除塵装置及び除塵方法

Info

Publication number: JP2009140982A
Application number: JP2007313124A
Authority: JP
Inventors: Takatsugu Hongo; 隆次本郷
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2007-12-04
Filing date: 2007-12-04
Publication date: 2009-06-25

Abstract

【課題】被除塵体に付着した塵埃を確実に除去することのできる除塵装置及び除塵方法を提供すること。
【解決手段】外周面が接着力を有するピックアップローラ１２と、このピックアップローラ１２に接着した塵埃を除去する転着ローラ１３と、当該転着ローラ１３を介してピックアップローラ１２を回転させる駆動手段１５と、ピックアップローラ１２の両側に配置された第１及び第２の除電手段１６、１７とを備えて防塵装置１０が構成されている。被除塵体となるテーブルＴは第１の除電手段１６により除電された後にピックアップローラ１２により塵埃が除去され、その後に、第２の除電手段１７により更に除電される。
【選択図】図１

Description

本発明は除塵装置及び除塵方法に係り、特に、半導体製造装置における除塵装置及び除塵方法に関する。

半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する）は、その回路面形成側に保護用の接着シートを貼付して裏面研削等、種々の処理を施すものとされている。
半導体製造工程においては、このような接着シートを貼付する際に、ウエハや接着シート、又は、ウエハと接着シートとの間等に塵埃が付着しない環境に保つことが要求される。
特許文献１には、帯状のシートに除塵ローラを接触させて除塵を行うとともに、除塵ローラに対してシート繰出方向下流側に除電器を設置する構成が示唆されている。これによれば、シートが帯電した場合であっても静電気を除去して塵埃の付着を回避とすることが期待される。

特開２０００−２８８４８３号公報

しかしながら、特許文献１に記載された構成にあっては、除塵ローラを通過した後のシートに静電気が帯電した場合に除電可能となるが、除塵ローラにシートを供給する前の段階で、当該シートに帯電した静電気を除電する構成とはなっていない。そのため、静電気によってシートに強固に付着した塵埃を確実に除去することができない、という不都合を招来する。
また、シートの繰り出しを停止している状態では、除塵ローラは停止する構成であるため、その間は、除塵ローラに付着した塵埃のクリーニングは行われないものとなり、これが塵埃の確実な除去を妨げる要因ともなる。

［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、静電気によって被除塵体に塵埃が強く付着していても、確実に除塵を行うことのできる除塵装置及び除塵方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、被除塵体に付着した塵埃を接着により除塵するピックアップローラのクリーニングを継続的に行うことのできる除塵装置及び除塵方法を提供することにある。

前記目的を達成するため、本発明は、外周面が接着力を有するピックアップローラと、当該ピックアップローラの外周面に接着した塵埃を転着させる転着ローラとを含み、前記ピックアップローラの外周面と被除塵体とを接触させることで被除塵体に付着した塵埃を除去する除塵装置において、前記ピックアップローラと被除塵体とを接触させる前に、被除塵体の除電を行う第１の除電手段と、前記ピックアップローラと被除塵体とを接触させた後に、被除塵体の除電を更に行う第２の除電手段とを設ける、という構成を採っている。

また、本発明は、外周面が接着力を有するピックアップローラと、当該ピックアップローラの外周面に接着した塵埃を転着させる転着ローラとを含み、前記ピックアップローラの外周面と半導体ウエハを載置するテーブルとを接触させることで前記テーブルに付着した塵埃を除去する除塵装置において、前記ピックアップローラとテーブルとを接触させる前に、テーブルの除電を行う第１の除電手段と、前記ピックアップローラとテーブルとを接触させた後に、テーブルの除電を更に行う第２の除電手段とを設ける、という構成を採っている。

更に、本発明は、前記ピックアップローラと転着ローラとは駆動手段を介して回転可能に設けられる、という構成を採っている。

また、本発明は、外周面が接着力を有するピックアップローラを被除塵体に接触させることで当該被除塵体に付着した塵埃を除去する除塵方法において、前記被除塵体をピックアップローラに接触させる前に被除塵体の除電を行っておき、ピックアップローラを被除塵体に接触させて除塵した後、被除塵体を更に除電する、という手法を採っている。

本発明によれば、ピックアップローラによる除塵を行う前の段階で被除塵体の除電を行うため、被除塵体に塵埃が強く付着していても、ピックアップローラで容易且つ確実に除塵を行うことができ、その上、ピックアップローラが被除塵体の塵埃を除塵した後にも被除塵体の除電を行う構成であるため、被除塵体に対する塵埃の再付着を防止することができる。
更に、ピックアップローラと転着ローラとは駆動手段を介して回転可能に設けられているため、除塵前の段階と除塵後の段階でもピックアップローラと転着ローラとを回転させることで、ピックアップローラを事前にクリーニングしておくことができるとともに、ピックアップローラに接着した塵埃を転着ローラに確実に転着させることができる。

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。

図１には、本実施形態に係る除塵装置がシート貼付装置に併設された概略正面図が示されている。この図において、除塵装置１０は、下端側が開放するケース１１と、このケース１１内に配置されたピックアップローラ１２と、当該ピックアップローラ１２の外周面に当接する転着ローラ１３と、これらピックアップローラ１２及び転着ローラ１３を回転駆動させる駆動手段１５と、ピックアップローラ１２を中間位置として両側に配置された第１及び第２の除電手段１６、１７とを備えて構成されている。

前記ケース１１は下端側が開放した箱形形状を備え、図示しない移動手段を介して上下方向に移動可能に支持されている。

前記ピックアップローラ１２は、外周面が接着力を有する樹脂製のローラによって構成されており、外周面の一部がケース１１の下端位置よりも下方に位置する状態で当該ケース１１に回転可能に支持されている。

前記転着ローラ１３は、前記ピックアップローラ１３の接着力よりも大きい接着力を有する外周面を備えているとともに、ピックアップローラ１３よりも大径のローラにより構成されている。

前記駆動手段１５は、ケース１１の上面に設けられたモータＭと、このモータＭの出力軸２０に固定されたプーリ２１と、前記転着ローラ１３の回転軸２２に固定されたプーリ２４と、プーリ２１、２４間に巻装されたベルト２５とを含む。この駆動手段１５は、ピックアップローラ１２による除塵開始前、除塵終了後の双方において駆動することで、ピックアップローラ１２のクリーニングを継続的に行うようになっている。ここで、駆動手段１５によるピックアップローラ１２の回転速度は、後述するテーブルＴの移動速度と一致するように設定され、ピックアップローラ１２が除塵を行う際に、テーブルＴとの間に大きな回転抵抗が生じないように保たれる。

前記第１及び第２の除電手段１６、１７は、イオナイザにより構成されている。これら除塵手段１６、１７は、図１中紙面直交方向に沿って電極が配置されたものが採用されている。これにより、イオン放出領域が大きく確保できるようになっている。

前記除塵装置１０の下方には、被除塵体としてのテーブルＴが移動手段３０を介して左右方向に移動可能に設けられ、テーブルＴの上部側には、シート貼付装置３１が配置されている。移動手段３０は、図１中紙面直交方向に一対配置されたガイドレール３３と、これらガイドレール３３間に位置する送りねじ軸３４と、当該送りねじ軸３４を回転駆動させる図示しないモータとを含む。

前記テーブルＴは、前記ガイドレール３３上を移動するスライダ３６と、送りねじ軸３４にねじ係合するナット部材３７とを下端部に備え、上面側はウエハＷの吸着保持面とされている。

前記シート貼付装置３１は、剥離シートＲＬに接着シートＳが仮着されたロール状の原反Ｒを支持する支持ローラ３８と、剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離するピールプレート４０と、剥離シートＲＬを挟み込んで原反Ｒに繰出力を付与する繰出手段４１と、剥離シートＲＬを巻き取る巻取ローラ４２と、接着シートＳをウエハＷに貼付するプレスローラ４３とを含む。

次に、前記テーブルＴを被除塵体として上面側を除塵する方法について説明する。

テーブルＴが除塵装置１０に向かって移動を開始し、移動手段３０上の所定位置を通過したことを図示しないセンサが検出すると、除塵装置１０は、ピックアップローラ１２の下端位置がテーブルＴの上面位置に接する高さ位置に下降する。なお、駆動手段１５は予め駆動されるように設定されているため、転着ローラ１３及びピックアップローラ１２が回転し、ピックアップローラ１２の外周面のクリーニングが事前に行われている。

テーブルＴが第１の除電装置１６を通過するときには、テーブルＴに帯電した静電気が除電されて当該テーブルＴに付着した塵埃が除去し易い状態とされ、ピックアップローラ１２がテーブルＴ上に接触しつつ回転することで塵埃がピックアップローラ１２の外周面に接着して除去される。そして、ピックアップローラ１２に接着した塵埃は、転着ローラ１３に転着される。

ピックアップローラ１２を通過したテーブルＴの領域には、第２の除電手段１７によって除電が行われる。これにより、ピックアップローラ１２とテーブルＴとの接触によって当該テーブルＴに静電気が帯電するようなことがあっても、速やかに除電して当該テーブルＴに塵埃を引き寄せ難く保つこととなる。

このようにしてテーブルＴの除電、除塵を完了すると、除塵装置１０は上昇位置に変位するとともに、テーブルＴ上にウエハＷが載置され、シート貼付装置３１のプレスローラ４３の位置よりも図中右側に移動する。

ウエハＷが移載されたテーブルＴがシート貼付装置３１の下方位置から図中左側に移動すると、この動作に同期して、繰出手段４１の駆動によって接着シートＳが剥離シートＲＬから剥離されて繰り出され、プレスローラ４３による押圧力によって接着シートＳがウエハＷに貼付される。なお、ピックアップローラ１２は駆動手段１５の駆動によって回転し続けることによって、テーブルＴ上を除塵しているときはもとより、除塵していないときもピックアップローラ１２は転着ローラ１３によってクリーニング作用を継続的に受けることとなる。このように構成することによって、極薄に研削されたウエハＷに接着シートＳを貼付する場合、テーブルＴに付着した塵埃ごと押圧してウエハＷにダメージを与えてしまうようなことを防止することができる。

従って、このような実施形態によれば、テーブルＴから塵埃を確実に除去することができ、半導体製造装置に要求される除塵対策を効果的に講ずることができる。

本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、材料、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それら形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

例えば、前記実施形態では、テーブルＴを被除塵体とした場合を図示、説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ウエハＷをも被除塵体とし、当該ウエハＷをテーブルＴに移載した状態で、前述と同様の作用を介してウエハＷの除塵、除電を行い、その後に、接着シートＳを貼付するようにしたり、ウエハＷに貼付された接着シートＳ上の除塵を行うように構成してもよい。要するに、被除塵体は、静電気等の作用によって付着した塵埃を除去する必要のある有体物であれば、除塵の対象とすることができる。

また、前記テーブルＴは移動手段３０を介して除塵装置１０の下方を通過する構成としたが、除塵装置１０を適宜な移動手段に支持させてテーブルＴ上で図中左右方向に移動させるようにしてもよいし、テーブルＴと除塵装置１０の両方を移動させるように構成してもよい。

また、前記実施形態では、駆動手段１５を介してピックアップローラ１２が回転する構成としたが、駆動手段１５を省略することも可能である。この場合、ピックアップローラ１２は、テーブルＴとの接触抵抗によって回転することとなる。但し、駆動手段１５を設けた構成では、ピックアップローラ１２の事前クリーニングと、事後クリーニングの双方を行えるため、常に、ピックアップローラ１２の外周面を綺麗に保つことができる点で有利となるほか、回転抵抗によってウエハＷがテーブルＴ上で移動してしまうようなことも防止することができる。

更に、前記実施形態では、駆動手段１５によって転着ローラ１３を回転させて、ピックアップローラ１２を間接的に回転させる構成としたが、駆動手段１５によってピックアップローラ１２を回転させて、転着ローラ１３を間接的に回転させてもよいし、各ローラ１２、１３両方を回転させるように構成してもよい。

また、除塵装置１０に、プラス、マイナスのどちらに帯電しているのかを検知する検知手段を設け、イオナイザから放射されるイオンの極性を制御するように構成してもよい。

更に、第１、第２の除電手段１６、１７は、イオナイザ以外に、地面と導体で接続して除電を行うアース方式等の除電装置であってよい。

本実施形態における除塵装置がシート貼付装置に併設された概略正面図。

符号の説明

１０除塵装置
１２ピックアップローラ
１３転着ローラ
１５駆動手段
１６第１の除電手段
１７第２の除電手段
Ｔテーブル（被除塵体）
Ｗ半導体ウエハ

Claims

外周面が接着力を有するピックアップローラと、当該ピックアップローラの外周面に接着した塵埃を転着させる転着ローラとを含み、前記ピックアップローラの外周面と被除塵体とを接触させることで被除塵体に付着した塵埃を除去する除塵装置において、
前記ピックアップローラと被除塵体とを接触させる前に、被除塵体の除電を行う第１の除電手段と、前記ピックアップローラと被除塵体とを接触させた後に、被除塵体の除電を更に行う第２の除電手段とを設けたことを特徴とする除塵装置。
外周面が接着力を有するピックアップローラと、当該ピックアップローラの外周面に接着した塵埃を転着させる転着ローラとを含み、前記ピックアップローラの外周面と半導体ウエハを載置するテーブルとを接触させることで前記テーブルに付着した塵埃を除去する除塵装置において、
前記ピックアップローラとテーブルとを接触させる前に、テーブルの除電を行う第１の除電手段と、前記ピックアップローラとテーブルとを接触させた後に、テーブルの除電を更に行う第２の除電手段とを設けたことを特徴とする除塵装置。
前記ピックアップローラと転着ローラとは駆動手段を介して回転可能に設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の除塵装置。
外周面が接着力を有するピックアップローラを被除塵体に接触させることで当該被除塵体に付着した塵埃を除去する除塵方法において、
前記被除塵体をピックアップローラに接触させる前に被除塵体の除電を行っておき、ピックアップローラを被除塵体に接触させて除塵した後、被除塵体を更に除電することを特徴とする除塵方法。