KR20030060471A - 반도체 팩키지 제조용 테이프 커버 박리 장치 및, 테이프커버 박리 방법 - Google Patents

반도체 팩키지 제조용 테이프 커버 박리 장치 및, 테이프커버 박리 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따르면, 박리용 테이프를 공급하는 공급용 릴; 상기 박리용 테이프의 장력을 조절하는 장력 조절 장치; 상기 박리용 테이프를 필름형 리이드 프레임에 부착된 양면 접착 테이프의 보호 커버에 대하여 밀착시킬 수 있도록 승강 가능하게 설치된 압착 롤러; 상기 보호 커버가 접착된 상태의 박리용 테이프를 회수하는 회수용 릴; 및, 상기 필름형 리이드 프레임을 그 위에 흡착시켜서 유지하는 진공 치구;를 구비하는 반도체 팩키지 제조용 테이프 커버 박리 장치가 제공된다.

Description

반도체 팩키지 제조용 테이프 커버 박리 장치 및, 테이프 커버 박리 방법{Method and apparatus for removing tape cover for manufacturing semiconductor package}
본 발명은 반도체 팩키지 제조용 테이프 커버 박리 장치 및, 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 접착성이 있는 박리용 테이프를 이용하여 반도체 팩키지의 제조중에 사용되는 양면 테이프의 커버를 효과적으로 제거하는 테이프 커버 박리 장치 및, 방법에 관한 것이다.
통상적으로 비금속형 리이드 프레임을 가지는 반도체 팩키지 또는 볼 그리드 어레이 반도체 팩키지에서는 리이드 프레임으로서 필름형 리이드 프레임을 사용하게 된다. 필름형 리이드 프레임은 필름 재료의 표면에 동박으로 회로 패턴을 형성함으로써 제조되며, 이러한 필름형 리이드 프레임이 종래의 금속형 리이드 프레임의 역할을 하게 된다. 즉, 필름형 리이드 프레임의 표면에 형성된 동박의 회로 패턴은 반도체 칩의 전극과 외로 회로를 연결하게 되며, 필름 소재는 반도체 칩을 지지하는 역할을 하는 것이다.
필름형 리이드 프레임을 사용하는 반도체 팩키지에서는 필름형 리이드 프레임에 반도체 칩을 부착하기 위해서 양면 테이프를 사용한다. 양면 테이프의 양측 표면은 보호 커버에 의해서 덮인 상태로 제공된다. 일 표면의 보호 커버는 필름형 리이드 프레임에 대한 접착을 위해서 제거된다. 다른 표면의 보호 커버는 반도체칩에 대한 접착을 위해서 제거되어야 한다. 종래 기술에서 필름형 리이드 프레임에 부착된 상태로 제공되는 양면 테이프의 보호 커버를 박리하는 장치는 박리용 테이프가 필름형 리이드 프레임에 대하여 넓은 면적에 걸쳐서 면접촉을 하게 되므로, 필름형 리이드 프레임을 손상시키는 경향이 있었다. 즉, 박리용 테이프는 필름형 리이드 프레임상에 부착된 양면 테이프의 보호 커버뿐만 아니라 회로 패턴 동박에도 접촉될 수 있으므로 회로 패턴이 손상될 가능성이 있는 것이다.
본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 필름형 리이드 프레임의 회로 패턴을 손상시키지 않는 반도체 팩키지 제조용 커버 테이프 박리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 필름형 리이드 프레임의 회로 패턴을 손상시키지 않는 반도체 팩키지 제조용 커버 테이프 박리 방법을 제공하는 것이다.
도 1 에 도시된 것은 필름형 리이드 프레임에 양면 테이프가 부착된 것을 개략적인 단면으로 나타낸 것이다.
도 2 에 도시된 것은 본원 발명의 원리를 개략적으로 설명한 사시도이다.
도 3 에 도시된 것은 도 2 에 도시된 것을 개략적인 단면으로 나타낸 것이다.
도 4 는 본원 발명에 따른 반도체 팩키지 제조용 테이프 커버 박리 장치에 대한 개략적인 정면도이다.
도 5a 및, 도 5b 는 도 4 의 공급부에 대한 확대된 정면도 및, 측면도이다.
도 6 은 도 4 의 박리부에 대한 개략적인 구성을 나타낸 설명도이다.
도 7 은 도 6 의 압착 롤러에 대한 개략적인 분해 사시도이다.
도 8a 및, 도 8b 는 도 4 의 이송부에 대한 확대된 정면도 및, 측면도이다.
< 도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명 >
11. 필름형 리이드 프레임 12. 양면 접착 테이프
13. 보호 커버 14. 캐리어 프레임
15. 접착 테이프 16. 진공 치구
17. 압착 롤러 18.19. 가이드 롤러
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 박리용 테이프를 공급하는 공급용 릴; 상기 박리용 테이프의 장력을 조절하는 장력 조절 장치; 상기 박리용 테이프를 필름형 리이드 프레임에 부착된 양면 접착 테이프의 보호 커버에 대하여 밀착시킬 수 있도록 승강 가능하게 설치된 압착 롤러; 상기 보호 커버가 접착된 상태의 박리용 테이프를 회수하는 회수용 릴; 및, 상기 필름형 리이드 프레임을 그 위에 흡착시켜서 유지하는 진공 치구;를 구비하는 반도체 팩키지 제조용 테이프 커버 박리 장치가 제공된다.
본 발명의 일 특징에 따르면, 상기 압착 롤러는 실린더에 의해서 승강된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 압착 롤러를 회전 가능하게 유지하는 제 1 브랙킷과, 상기 압착 롤러의 회전축에 대하여 평면상 직각인 방향에서 상기 압착 롤러를 회동시킬 수 있도록 제 1 브랙킷에 대하여 회동 가능하게 연결된 제 2 브랙킷을 더 구비하며, 상기 실린더의 로드는 상기 제 2 브랙킷에 대하여 고정된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 장력 조절 장치는, 선형 운동 가이드; 상기 선형 운동 가이드를 따라서 승강 가능하게 설치된 승강 롤러; 상기 승강 롤러를 일방향으로 탄성 견인하는 스프링; 및, 상기 승강 롤러를 따라서 주행하는 박리용 테이프를 안내하도록 설치된 가이드 롤러;를 구비한다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 진공 치구를 이송시킬 수 있도록 이송부가 더 구비되고, 상기 이송부는, 상기 진공 치구가 그 위에 장착되는 반송 플레이트; 상기 반송 플레이트에 고정된 너트와 결합되는 볼 스크류 및, 상기 볼 스크류를 회전 구동시키는 서보 모터;가 더 구비된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 필름형 리이드 프레임을 상기 진공 치구상에 올려 놓을 수 있도록 공급부가 더 구비되고, 상기 공급부는, 상기 필름형 리이드 프레임을 진공 흡착하는 흡착 노즐; 상기 흡착 노즐을 승강 운동시키는 실린더; 및, 상기 실린더를 왕복 운동시키도록 상기 실린더에 대하여 고정된 너트에 결합되는 볼 스크류; 및, 상기 볼 스크류를 회전 구동시키는 서보 모터;를 더 구비한다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 보호 커버가 박리된 상태로 상기 진공 치구상에 놓여있는 필름형 리이드 프레임을 취출할 수 있도록 취출부가 더 구비되고, 상기 취출부는, 상기 필름형 리이드 프레임을 진공 흡착하는 흡착 노즐; 상기 흡착 노즐을 승강 운동시키는 실린더; 및, 상기 실린더를 왕복 운동시키도록 상기 실린더에 대하여 고정된 너트에 결합되는 볼 스크류; 및, 상기 볼 스크류를 회전 구동시키는 서보 모터;를 더 구비한다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 필름형 리이드 프레임은 캐리어 프레임에 접착된 상태로 제공된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 캐리어 프레임에 접착된 필름형 리이드 프레임은 다수개가 카세트에 적재된 상태로 제공된다.
또한 본 발명에 따르면, 양면 접착 테이프의 일면은 필름형 리이드 프레임에 부착되고 다른 면에는 보호 커버가 부착되어 있는 필름형 리이드 프레임을 공급하는 단계; 상기 필름형 리이드 프레임을 진공 치구로써 진공 흡착시켜서 고정시키는 단계; 압착 롤러의 원주면을 따라서 주행하는 박리용 테이프를 상기 필름형 리이드 프레임상의 보호 커버에 대하여 밀착시킴으로써 박리용 테이프와 상기 보호 커버를 선접촉시키는 단계; 및, 상기 압착 롤러의 원주면을 따른 상기 박리용 테이프의 주행과, 상기 진공 치구의 이송에 의해서 상기 보호 커버를 박리하는 단계; 및, 상기 보호 커버가 박리된 필름형 리이드 프레임을 취출하여 적재하는 단계;를 구비하는 반도체 팩키지 제조용 테이프 박리 장치가 제공된다.
이하 본 발명을 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 보다 상세히 설명하기로 한다.
도 1 에 도시된 것은 필름형 리이드 프레임에 양면 테이프가 부착된 것을 개략적인 단면으로 나타낸 것이다.
도면을 참조하면, 필름형 리이드 프레임(11)에는 양면 접착 테이프(12)가 접착되어 있고, 양면 접착 테이프(12)의 일 표면에는 양면 접착 테이프의 표면을 보호하기 위한 보호 커버(13)가 접착되어 있다. 필름형 리이드 프레임(11)상에는 소정의 회로 패턴이 형성되는데, 도 1 에는 도시되지 않았다. 본원 발명의 장치 및, 방법에서는 테이프 보호 커버(13)를 박리시킴으로써, 이후 공정에서 양면 접착 테이프(12)의 표면에 반도체 칩(미도시)을 접착할 수 있게 한다.
도 2 에 도시된 것은 본원 발명의 원리를 개략적으로 설명한 사시도이다.
도면을 참조하면, 필름형 리이드 프레임(11)은 캐리어 프레임(14)에 부착된다. 접착 테이프(15)가 필름형 리이드 프레임(11)의 양쪽 가장자리를 캐리어 프레임(14)의 양면에 접착시킨다. 캐리어 프레임(14)은 유연성이 있는 필름형 리이드 프레임(11)을 반도체 팩키지 제조 과정중에 평탄하게 펼쳐진 상태로 유지하는 역할을 한다. 필름형 리이드 프레임(11)에는 도 1 을 참조하여 설명된 바와 같이 보호 커버(13)가 접착된 양면 접착 테이프(12)들이 다수개 배치되어 있다.
가이드 롤러(18, 19) 및, 승강 압착 롤러(17)를 통해서 박리용 테이프(20)가 안내를 받으면서 주행하게 된다. 박리용 테이프(20)는 승강 압착 롤러(17)에 의해서 보호 커버(13)의 표면에 접촉하게 되는데, 이때 박리용 테이프(20)의 접촉면에 도포된 점착성 물질은 보호 커버(13)가 양면 접착 테이프(12)로부터 박리되어 박리용 테이프(20)에 접착될 수 있게 한다. 이후에 승강 압착 롤러(17)는 상승하게 되며, 보호 커버(13)가 접착된 박리용 테이프(20)는 가이드 롤러(19)를 통해서 계속 주행하게 된다. 승강 압착 롤러(17)의 직경은 승강 압착 롤러(17)와 보호 커버(13)가 서로에 대하여 선접촉을 할 수 있을 정도로 충분히 작은 것이 바람직스럽다.
도 3 에 도시된 것은 도 2 에 도시된 것을 개략적인 단면으로 나타낸 것이며, 이로부터 본 발명의 작동 원리를 보다 명확하게 이해할 수 있다. 즉, 박리용 테이프(20)의 접착면(21)은 박리용 테이프(20)의 주행 및, 승강 압착 롤러(17)의 승강에 의해서 보호 커버(13)상에 접촉하게 되며, 그에 의해서 보호 커버(13)가 박리용 테이프(20)에 접착된 상태로 박리되는 것이다.
도 4 에 도시된 것은 본 발명에 따른 장치에 대한 개략적인 정면도이다.
도면을 참조하면, 본 발명에 따른 도 2 를 통해서 설명된 바와 같은, 테이프 커버 박리 장치는, 캐리어 프레임(14)상에 유지된 필름형 리이드 프레임(11)을 공급하기 위한 공급부(31)와, 상기 필름형 리이드 프레임(11)을 이송시키기 위한 이송부(32)와, 보호 커버를 박리하기 위한 박리부(43)와, 상기 박리된 필름형 리이드 프레임(11)을 후공정으로 이동시키기 위한 취출부(34)를 구비한다. 필름형 리이드 프레임(11)은 도 2 에 도시된 바와 같이 캐리어 프레임(14)에 부착된 상태로, 다수개로써 카세트에 적재된 상태로 제공된다. 공급부(31)에는 흡착 노즐 장치(이후에 보다 상세하게 설명됨)가 구비되어 있어서 필름형 리이드 프레임을 집어 올려서 이송부(32)에 올려놓는다. 이송부(32)에는 도 2 를 참조하여 설명되 진공 치구(16)가 구비되어 있으며, 상기 진공 치구(16)는 일 방향으로 왕복 운동할 수있다. 이송부(32)에 의해서 필름형 리이드 프레임(11)은 박리부(33)의 하부에 배치될 수 있으며, 박리부(33)에서 보호 커버(13)를 박리하게 된다. 박리가 종료된 필름형 리이드 프레임(11)은 다시 이송부(32)에 의해서 취출부(34)로 이동하게 된다. 취출부(34)에 구비된 흡착 노즐은 필름형 리이드 프레임을 흡착하여 다시 카세트(미도시)에 적재한다. 이때 보호 커버가 제거된 양면 접착 테이프에 이물질이 부착되는 것을 방지하기 위하여 간지들이 필름형 리이드 프레임 사이에 삽입된다. 이러한 간지의 삽입도 취출부(34)에 구비된 흡착 노즐 장치에 의해서 수행되며, 간지도 카세트에 적재된 상태로 취출부(34)에 제공된다. 카세트에 적재된 필름형 리이드 프레임은 후공정의 수행을 위해 다른 장치로 반송된다.
도 5a 및, 도 5b 에 도시된 것은 도 4 를 참조하여 설명된 공급부에 구비된 흡착 노즐 장치에 대한 정면도 및, 측면도이다. 도 5a 및, 도 5b 를 이해함으로써 도 4 의 취출부(34)의 구성도 이해할 수 있을 것이다.
도면을 참조하면, 메인 프레임(40)상에는 수직 지지 프레임(41)이 고정되어 있고, 수직 지지 프레임(41)의 사이에는 수평 지지 프레임(42)이 설치되어 있다. 수평 지지 프레임(42)에 대하여 수평 방향으로 직선 운동하는 수평 운동 플레이트(43)가 설치된다. 수평 운동 플레이트(43)는 당해 기술 분야에서 공지된 볼스크류(미도시)에 의해서 이루어진다. 즉, 도 4b 에 표시된 바와 같이, 서보 모터(39)에 의해서 회전하는 볼스크류(미도시)는 수평 운동 플레이트(43)에 연결된 너트(미도시)에 삽입됨으로써 수평 운동 플레이트(43)를 수평 방향으로 운동시킬 수 있다.
수평 운동 플레이트(43)에는 승강 실린더(45)가 고정된다. 승강 실린더(45)의 로드에는 승강 운동 플레이트(44)가 연결되어 있으며, 따라서 승강 실린더(45)의 작용에 의해서 승강 운동 플레이트(44)는 승강될 수 있다. 승강 운동 플레이트(44)는 연결부(44a)를 통해서 흡착 노즐(46)에 연결된다. 따라서, 승강 실린더(45)의 승강 작용은 결과적으로 흡착 노즐(46)의 승강 작용을 일으킨다.
상기에 설명된 바로부터 알 수 있는 바로서, 흡착 노즐(46)은 서보 모터(39)의 동력으로 수평 운동하는 수평 운동 플레이트(43)에 의해서 수평 방향으로 운동할 수 있다. 이러한 수평 방향의 운동은 흡착 노즐(46)이 캐리어 프레임에 부착된 필름형 리이드 프레임의 공급 카세트와 진공 치구(16)의 상부로 이동될 수 있게 한다. 또한, 흡착 노즐(46)은 승강 실린더(45)의 동력으로 승강 운동하는 승강 운동 플레이트(44)에 의해서 승강 운동을 할 수 있다. 이러한 승강 운동은 흡착 노즐(46)이 공급 카세트(미도시)와 진공 치구(16)의 표면으로 접근하거나 그로부터 이격될 수 있게 한다.
한편, 이송부(14)에 구비된 반송 플레이트(47)는 레일 프레임(48)에 설치된 레일을 따라서 상기 흡착 노즐(46)의 하부에 도달할 수 있게 한다. 또한, 각 카세트(미도시)에 구비된 카세트를 소정의 높이로 승강시키기 위해서, 모터(49)와 스크류(50)가 구비된다. 모터(49)의 회전력은 기어(미도시)를 통해서 스크류(50)를 승강시킬 수 있으며, 이때 가이드(40)가 안내 작용을 하게 된다. 승강하는 스크류(50)의 상단부에 카세트(미도시)를 배치할 수 있는 파지 기구(미도시)가 구비됨으로써 카세트들이 승강될 수 있다.
도 6 에 도시된 것은 박리부에 대한 개략적인 구성도이다.
도면을 참조하면, 박리용 테이프(20)는 공급용 릴(61)로부터 풀려나가서 공급되며, 박리 작용을 수행한 이후에 회수용 릴(62)에 감기게 된다. 상기 공급용 릴(61) 또는 회수용 릴(62)은 서보 모터에 의해서 회전 구동될 수 있다. 박리용 테이프(20)는 실린더(63)의 작용에 의해서 실리콘 롤러(65)에 대하여 가압되는 가압 로러(64)의 사이를 통과하여, 장력 조절 장치(77)를 통과하게 된다. 장력 조절 장치(77)는 박리용 테이프(20)의 장력을 조절하기 위한 장치로서, 선형 운동 가이드(69)와, 상기 선형 운동 가이드(69)를 따라서 승강하는 승강 블록(68)과, 상기 승강 블록(68)에 회전 가능하게 설치된 승강 롤러(67)와, 상기 승강 블록(68)에 탄성력을 제공하는 스프링(70)을 구비한다. 박리용 테이프(66)는 가이드 롤러(66)를 따라서 안내되어 승강 롤러(67)의 외주면을 따라 주행한 이후에 다시 상기 가이드 롤러(66)와 동일한 높이에 설치된 다른 가이드 롤러(66')를 따라서 안내된다. 승강 롤러(67)는 승강 블록(68)에 설치되어 있으며, 스프링(70)에 의한 견인을 받고 있다. 박리용 테이프(20)의 장력이 강해지면 승강 블록(68)은 장력에 의해 상승될 것이며, 이러한 장력에 의한 승강 블록(68)의 상승은 스프링(70)의 탄성 견인력에 의해서 억제될 것이다. 즉, 박리용 테이프(20)의 장력은 스프링(70)의 탄성 견인력에 의해서 제한될 것이다.
가이드 롤러(66')에 의해서 안내된 박리용 테이프(20)는 가이드 롤러(18), 압착 롤러(17) 및, 가이드 롤러(19)를 따라서 주행하게 된다. 가이드 롤러(18,19)는 일 위치에 회전 가능하게 고정 설치된 것인 반면에, 압착 롤러(17)는실린더(71)에 의해서 승강 가능하게 설치된다. 실린더(71)의 로드가 신장하게 되면 압착 롤러(17)는 필름형 리이드 프레임에 접근하여 박리용 테이프를 진공 치구(17)에 흡착된 필름형 리이드 프레임의 보호 커버에 밀착시킬 수 있고, 반대로 실린더(71)의 로드가 수축하게 되면 박리용 테이프는 필름형 리이드 프레임으로부터 이격될 수 있다. 박리용 테이프(20)가 보호 커버에 밀착된 상태에서 박리용 테이프(20)와 보호 커버는 선접촉을 한다. 이것은 박리용 테이프(20)가 압착 롤러(17)의 외주면을 따라서 주행하기 때문이다.
이와 같이 선 접촉한 상태에서, 박리용 테이프(20)가 주행함과 동시에 진공 치구(16)가 이동하게 되면, 박리용 테이프(20)는 보호 커버의 전체면에 걸쳐서 차례로 접촉하면서 보호 커버를 박리하게 된다. 일단 하나의 보호 커버가 박리되고 나면, 다음 차례의 보호 커버가 압착 롤러(17)의 하부에 올때까지 실린더(71)는 수축하게 된다. 박리용 테이프(20)의 주행, 압착 롤러(17)의 접근 및, 이격, 진공 치구(16)의 운동이 적절히 조합됨으로써 필름형 리이드 프레임상의 회로 패턴을 손상시키지 않으면서 보호 커버를 박리할 수 있다. 압착 롤러(17)의 승강을 가능하게 하는 실린더(71)의 로드의 신장 및, 수축과, 압착 롤러(17)의 외주면을 따라 주행하는 박리용 테이프(20)의 주행 속도 및, 장력과, 진공 치구(16)를 이송시키는 이송부(32)의 이송 속도들은 상호 적절하게 조절되어야 한다. 실제에 있어서 압착 롤러(17)는 이후에 보다 상세하게 설명되는 제 1 브랙킷(81) 및, 제 2 브랙킷(82)을 통해서 실린더(71)의 로드에 연결된다.
박리 작용이 종료된 이후에, 보호 커버를 일 표면에 부착시킨 박리용테이프(20)는 다른 실리콘 롤러(73)와 가압 롤러(74)의 사이를 통해서 회수용 릴(62)에 감기게 된다. 가압 롤러(74)는 실린더(75)에 의해서 실리콘 롤러(73)의 표면에 대하여 가압된다.
도 7 에 도시된 것은 도 6 에 도시된 압착 롤러(17)가 실린더(71)에 설치되는 것을 도시한 개략적인 분해 사시도이다.
도면을 참조하면, 압착 롤러(17)는 제 1 브랙킷((81)에 회전 가능하게 설치되며, 상기 제 1 브랙킷(81)은 제 2 브랙킷(82)에 대하여 핀(83)을 통해 화살표 A 의 방향으로 회동 가능하게 설치된다. 제 2 브랙킷(82)은 실린더(71)의 로드 단부에 고정된다. 결과적으로, 압착 롤러(71)는 화살표 A 의 방향으로 회동할 수 있게 된다. 즉, 제 2 브랙킷(82)은 압착 롤러(72)의 회전축에 대하여 평면상 직각인 방향에서의 회동이 가능하게 하는 것이다. 이와 같은 회동 작용에 의해서 압착 롤러(71)는 필름형 리이드 프레임(11)의 표면에 대하여 평행한 상태로 접근하여 박리용 테이프(20)를 여러개의 보호 커버에 대하여 고르게 밀착시킬 수 있는 것이다.
도 8a 및, 도 8b 에 도시된 것은 도 4 의 이송부(32)에 대한 개략적인 정면도 및, 측면도를 도시한 것이다.
도면을 참조하면, 레일 프레임(91)의 상부에 평행한 레일(92)이 설치되고, 상기 레일(92)을 따라서 반송 플레이트(47)가 이동하게 된다. 반송 플레이트(47)의 상부에는 진공 치구(16)가 설치된다. 진공 치구(16)는 진공 통로(95)가 그 내부에 형성된 것이며, 상부 표면에 다수의 진공 흡착공이 형성된 것이다. 따라서 필름형 리이드 프레임이 접착된 캐리어 프레임(14)이 그 위에 놓이게 되면 진공의 힘으로흡착시킬 수 있다.
반송 플레이트(47)는 서보 모터(94)의 동력에 의해서 왕복 운동하게 된다. 서보 모터(94)는 레일 프레임(48)의 내부에 설치된 볼 스크류(미도시)를 회전시키며, 상기 볼 스크류는 반송 플레이트(47)에 대하여 고정된 너트(미도시)에 대하여 결합된다. 서보 모터(94)의 동력에 의해서 반송 플레이트(47)는 도 4 의 공급부(31), 박리부(33), 취출부(34)의 하부로 각각 이동될 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 장치의 작용을 간단히 설명하기로 한다.
필름형 리이드 프레임(11)은 캐리어 프레임(14)에 접착된 상태로 공급부(31)에 구비된 카세트에 적재되어 제공된다. 공급부(31)의 흡착 노즐 장치는 흡착 노즐(46)을 승하강 및, 수평 운동시킴으로써 필름형 리이드 프레임(11)을 이송부(32)의 진공 치구(16)상에 올려 놓는다. 진공 치구(16)는 반송 플레이트(47)에 의해서 박리부(33)의 하부로 이동한다. 박리부(33)에서는 박리용 테이프(20)에 의해서 보호 커버(13)가 박리된다. 이후에 진공 치구(16)는 취출부(34)로 이송된다. 취출부(34)에서는 보호 커버(13)가 제거된 필름형 리이드 프레임을 다시 카세트에 적재하게 되는데, 이때 필름형 리이드 프레임들 사이에 간지를 삽입할 수 있다. 필름형 리이드 프레임을 카세트에 적재시키거나 또는 간지를 삽입하는 작용은 취출부(34)에 구비된 흡착 노즐 장치로 이루어질 수 있다.
본 발명에 따른 반도체 팩키지 제조용 테이프 커버 박리 장치 및, 테이프 커버 박리 방법에서는 박리용 테이프가 보호 커버에 대해서 선접촉을 하게 되므로 필름형 리이드 프레임상에 형성된 동박 회로 패턴을 손상시킴이 없이 보호 커버를 박리할 수 있다는 장점이 있다. 또한 모든 공정이 자동화되어 이루어지므로, 생산성이 향상되는 장점이 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예지적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

Claims (5)

  1. 박리용 테이프를 공급하는 공급용 릴;
    상기 박리용 테이프를 필름형 리이드 프레임에 부착된 양면 접착 테이프의 보호 커버에 대하여 밀착시킬 수 있도록 승강 가능하게 설치된 압착 롤러;
    상기 보호 커버가 접착된 상태의 박리용 테이프를 회수하는 회수용 릴; 및,
    상기 필름형 리이드 프레임을 그 위에 작업시간동안 고정시키는 치구;를 구비하는 반도체 팩키지 제조용 테이프 커버 박리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 압착 롤러는
    상기 압착 롤러를 회전 가능하게 유지하는 제 1 브랙킷과,
    상기 압착 롤러의 회전축에 대하여 평면상 직각인 방향에서 상기 압착 롤러를 회동시킬 수 있도록 제 1 브랙킷에 대하여 회동 가능하게 연결된 제 2 브랙킷을 더 구비하며,
    상기 실린더의 로드는 상기 제 2 브랙킷에 대하여 고정되는 것을 특징으로 하는 반도체 팩키지 제조용 테이프 커버 박리 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 박리용 테이프의 장력을 조절하기 위하여
    선형 운동 가이드;
    상기 선형 운동 가이드를 따라서 승강 가능하게 설치된 승강 롤러;
    상기 승강 롤러를 일방향으로 탄성 견인하는 스프링; 및,
    상기 승강 롤러를 따라서 주행하는 박리용 테이프를 안내하도록 설치된 가이드 롤러;를 구비하는 장력 조절 장치를 더 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 팩키지 제조용 테이프 커버 박리 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 필름형 리이드 프레임을 상기 진공 치구상에 올려 놓을 수 있도록 공급부가 더 구비되고, 상기 공급부는,
    상기 필름형 리이드 프레임을 진공 흡착하는 흡착 노즐;
    상기 흡착 노즐을 승강 운동시키는 실린더; 및,
    상기 실린더를 왕복 운동시키도록 상기 실린더에 대하여 고정된 너트에 결합되는 볼 스크류; 및,
    상기 볼 스크류를 회전 구동시키는 서보 모터;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 팩키지 제조용 테이프 커버 박리 장치.
  5. 양면 접착 테이프의 일면은 필름형 리이드 프레임에 부착되고 다른 면에는 보호 커버가 부착되어 있는 필름형 리이드 프레임을 공급하는 단계;
    상기 필름형 리이드 프레임을 진공 치구로써 진공 흡착시켜서 고정시키는 단계;
    압착 롤러의 원주면을 따라서 주행하는 박리용 테이프를 상기 필름형 리이드 프레임상의 보호 커버에 대하여 밀착시킴으로써 박리용 테이프와 상기 보호 커버를 선접촉시키는 단계; 및,
    상기 압착 롤러의 원주면을 따른 상기 박리용 테이프의 주행과, 상기 진공 치구의 이송에 의해서 상기 보호 커버를 박리하는 단계; 및,
    상기 보호 커버가 박리된 필름형 리이드 프레임을 취출하여 적재하는 단계;를 구비하는 반도체 팩키지 제조용 테이프 박리 장치.
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