JP7401904B2 - 基板への接着テープの貼付装置及び貼り付け方法 - Google Patents

Description

本発明は、ウエハ等の基板に保護テープ等の接着テープを貼り付けるための貼付装置及び貼り付け方法に関する。

携帯電話、ノート型ＰＣ、タブレット型ＰＣ、ＰＤＡ等の携帯型電子機器は、小型化、軽量化及び高機能化が求められており、これに伴い、これらの電子機器に用いられる半導体デバイスの高集積化及び薄型化のニーズが高まっている。かかるニーズを満たす半導体パッケージング技術として、ファンアウト型の半導体パッケージが提案されている。ファンアウト型は、半導体チップに形成された微細な再配線層がチップの外形より外側に拡張して形成された構造のパッケージであり、薄型化を実現しながら電気信号の伝送速度を高速化できるうえ、外部接続端子を半導体チップの外側に配置できるので、多ピン対応が可能であり、半導体チップの小型化にも対応可能である。

ファンアウト型の半導体パッケージの製造工程においては、半導体チップに再配線層を形成したり、はんだボールを形成したりするのに高温の熱処理が必要であるが、このときに半導体チップを樹脂封止した封止基板（樹脂ウエハ）の収縮が起こり、封止基板（樹脂ウエハ）に反りが発生するおそれがある。

ここで、半導体パッケージの製造工程では、薄型化のために封止基板（樹脂ウエハ）の裏面を研磨したり、個片化のために封止基板（樹脂ウエハ）をダイシングしたりする際に、封止基板（樹脂ウエハ）の表面に保護テープを貼り付ける作業を行う。封止基板（樹脂ウエハ）の表面に保護テープを貼り付ける方法として、封止基板（樹脂ウエハ）よりも幅広の帯状の保護テープを封止基板（樹脂ウエハ）上に引き出し、貼付ローラで押圧して封止基板（樹脂ウエハ）の表面に貼り付けた後、封止基板（樹脂ウエハ）の外形に沿って保護テープをカットする方法がある。しかし、封止基板（樹脂ウエハ）に反りが発生していると、保護テープを封止基板（樹脂ウエハ）の表面に綺麗に貼り付けることが困難であるという課題がある。

基板の反りを解消するため、特許文献１には、被着体を吸着保持が可能な保持面を有する保持手段と、保持手段に被着体を押圧する反り矯正手段とを備えており、被着体に反りが生じている場合に、保持手段が被着体を保持面で吸着保持しながら、反り矯正手段が被着体を保持面に所定時間、押し付けることで、被着体の反りを矯正し、被着体の全面を保持面に吸着保持させる技術が開示されている。

特開２０１９－９６７０４号公報

しかし、特許文献１に記載の技術では、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段を駆動して被着体を保持面に吸着保持する必要があるため、作業効率が低下するうえ、装置コストがかかるとの課題がある。また、ウエハによっては、吸着保持ができない場合もあり、特許文献１に記載の技術が適用できないという課題もある。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、反りの生じたウエハ等の基板に保護テープ等の接着テープを作業効率よく低コストでかつ綺麗に貼り付けるための貼付装置及び貼付方法を提供する。

本発明の第１態様は、基板に接着テープを貼り付ける貼付装置に関する。本発明の貼付装置は、基板を載置する支持テーブルと、前記基板上に供給される接着テープを上から押圧して前記基板に貼り付ける貼付ローラと、前記基板を上から押圧して前記支持テーブルに押し付ける押付ローラと、前記貼付ローラ及び前記押付ローラが前記基板上を同時に相対的に移動するように前記貼付ローラ及び前記押付ローラと前記支持テーブルとの少なくも一方を移動させる移動機構と、前記移動機構を制御する制御手段と、を備え、前記押付ローラは、前記基板上を相対的に移動する際に前記貼付ローラの前方を移動するように配置され、前記制御手段は、前記貼付ローラが前記接着テープをその一端側の部分から順次、前記基板に貼り付けるとともに、前記貼付ローラが前記接着テープを前記基板に貼り付ける前に前記押圧ローラが前記基板を前記支持テーブルに押し付けるように、前記移動機構を制御することを特徴としている。

本発明の貼付装置においては、前記押圧ローラが前記基板上を相対的に移動し始める際、前記押圧ローラは、前記基板の遠位端の位置から、前記基板の近位端及び遠位端の間の長さの中央位置までの範囲で前記基板と接触するように、構成することができる。

また、本発明の貼付装置においては、前記貼付ローラにより前記接着テープを前記基板に貼り付けた後、前記接着テープの前記基板に貼り付けられていない部分を前記基板に貼り付けられた部分から切断する切断装置をさらに備えるように、構成することができる。

また、本発明の貼付装置においては、前記移動機構は、前記貼付ローラ及び前記押付ローラを同時に移動させ、該貼付装置は、前記基板に貼り付けられた前記接着テープを上から押圧して前記基板に押し付ける二次貼付ローラと、前記二次貼付ローラが前記基板上を相対的に移動するように前記二次貼付ローラ及び前記支持テーブルの少なくも一方を移動させる第二移動機構と、をさらに備え、前記制御手段は、前記二次貼付ローラが前記接着テープをその一端側の部分から順次、前記基板に押し付けるように、前記第二移動機構を制御するように、構成することができる。

本発明の第２態様は、基板に接着テープを貼り付ける貼付方法に関する。本発明の貼付方法は、支持テーブルに載置された基板上に接着テープを供給するテープ供給工程と、貼付ローラが前記基板上を相対的に移動することにより、前記貼付ローラにより前記接着テープを上から押圧してその一端側の部分から順次、前記基板に貼り付ける貼付工程と、押圧ローラが前記貼付ローラの前方を前記貼付ローラと同時に前記基板上を相対的に移動することにより、前記貼付ローラが前記接着テープを前記基板に貼り付ける動作に先行して前記押付ローラにより前記基板を上から押圧して前記支持テーブルに押し付ける押付工程と、を含むことを特徴としている。

本発明の貼付方法においては、前記貼付ローラにより前記接着テープを前記基板に貼り付けた後、前記接着テープの前記基板に貼り付けられていない部分を前記基板に貼り付けられた部分から切断する切断工程をさらに含むように、構成することができる。

また、本発明の貼付方法においては、前記貼付ローラにより前記接着テープを前記基板に貼り付けた後、二次貼付ローラが前記基板上を相対的に移動することにより、前記二次貼付ローラにより前記接着テープを上から押圧してその一端側の部分から順次、前記基板に押し付ける二次貼付工程をさらに含むように、構成することができる。

本発明によれば、貼付ローラが基板上を移動する前方に押付ローラが基板上を同時に移動しており、貼付ローラが接着テープを基板に貼り付ける前に、押付ローラが基板を上から押圧して支持テーブルに押し付けることで基板の反りを矯正している。そのため、貼付ローラは、押付ローラにより反りが矯正された状態の基板に対して接着テープを先端部から順次、その反対側に向かって貼り付けるので、接着テープを基板に綺麗に貼り付けることができる。

また、押付ローラ及び貼付ローラが同時に移動し、押付ローラが基板の反りを矯正した部分から貼付ローラで接着テープを貼り付けており、基板の反りを矯正して直ぐに接着テープの貼り付けを行うことにより、接着テープの貼り付けの際に基板に再び反りが発生しないようにしたので、安定した貼付動作を実現することができる。

加えて、押付ローラが基板の反りを矯正しながら貼付ローラが接着テープを基板に貼り付けるので、効率よく接着テープを基板に貼り付けることができ、作業効率を向上できる。さらに、基板を支持テーブルに吸着保持する必要がなく、接着テープの貼り付け時に減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段が不要であるので、作業コストを低減することができる。

さらに、例えばダイシングフレーム等の支持フレームにダイシングテープ等を用いてマウントした基板に対して接着テープを貼り付ける場合、特許文献１のように減圧手段を駆動して基板を保持面に吸着保持しようとしても、ダイシングテープ等に加工（例えばダイシングテープ等に基板吸着用の丸穴を設ける等の加工）を施さない限り、ダイシングテープ等のみを吸着保持し、基板は吸着保持されない。また、基板を、減圧手段による吸着保持ではなく、ダイシングテープ等の粘着力で基板の反りを矯正しながら保持すると、ダイシングテープ等の粘着力が弱いため、接着テープを基板に貼り付ける前に基板に再び反りが発生する可能性がある。これに対して、本発明では、ダイシングテープ等の使用有無に関係なく、基板に接着テープを効率よく低コストでかつ綺麗に貼り付けることができる。

貼付装置の概略構成を示す平面図である。 テープ供給部及び貼付部の概略構成を示す側面図である。 保護テープが引き出される接着始端位置を説明する図である。 押付ローラの初期位置を説明する図である。 保護テープをウエハに貼り付ける工程を説明する図である。 保護テープをウエハに貼り付ける工程を説明する図である。 保護テープをウエハに貼り付ける工程を説明する図である。 保護テープをウエハに貼り付ける工程を説明する図である。 保護テープをウエハに貼り付ける工程を説明する図である。

本発明は、保護テープ等の接着テープをその接着性を用いてウエハ等の基板に貼付ローラで貼り付ける貼付装置及び貼付方法に関し、基板に反りが生じている場合でも接着テープを基板に綺麗に貼り付けることを目的とするものであり、特にファンアウト型の半導体パッケージの製造工程において有効に利用できるものである。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本実施形態では、ウエハに保護テープを貼り付ける場合を例にして説明する。本実施形態におけるＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ方向及びＹ方向は水平面内の互いに直交する方向であり、Ｚ方向は水平面に直交する鉛直方向（上下方向）である。また、各図においてウエハ、保護テープ、ダイシングフレーム、ダイシングテープ等の厚みは、理解が容易なように誇張して描いてあることに留意されたい。

図１は、本実施形態の貼付装置１の全体構成を概略的に示す平面図である。貼付装置１は、図５に示すようなダイシングフレーム４にダイシングテープ５を介してマウントされたウエハ２に、保護テープ３を貼り付ける装置である。貼付装置１は、図１に示すように、ダイシングフレーム４を複数収納するフレーム供給部Ａと、ウエハ２を複数収納するウエハ供給部Ｂと、保護テープ３を保持するテープ供給部Ｃと、ダイシングフレーム４にマウントされたウエハ２に保護テープ３を貼り付ける貼付部Ｄと、ウエハ２に貼り付けられた保護テープ３をウエハ２に押し付ける二次貼付部Ｅとを備えている。

フレーム供給部Ａではダイシングフレーム４を貼付部Ｄの支持テーブル４０上に供給する（ダイシングフレーム供給工程）。

ウエハ供給部Ｂではウエハ２を貼付部Ｄの支持テーブル４０上に供給し、本実施形態ではダイシングフレーム４にマウントする（基板供給工程）。

テープ供給部Ｃでは保護テープ３を貼付部Ｄのウエハ２上に供給する（テープ供給工程）。

貼付部Ｄでは貼付ローラ４１及び押付ローラ４２がウエハ２上を同時に相対的に移動するように、貼付ローラ４１及び押付ローラ４２と支持テーブル４０との少なくも一方を移動させる。これにより、貼付ローラ４１によりウエハ２上に供給された保護テープ３を上から押圧してその先端側の部分から順次、ウエハ２に貼り付ける。これと同時に、貼付ローラ４１が保護テープ３をウエハ２に貼り付ける前方位置において押付ローラ４２によりウエハ２を上から押圧して支持テーブル４０に押し付けることで、ウエハ２の反りを矯正する（貼付工程及び押付工程）。

なお、本実施形態では、支持テーブル４０（ウエハ２）を静止状態とし、ウエハ２に対して貼付ローラ４１及び押付ローラ４２を同時に相対的に移動している。これに限らず、貼付ローラ４１及び押付ローラ４２を静止状態とし、貼付ローラ４１及び押付ローラ４２に対してウエハ２を相対的に移動するようにしてもよい。また、支持テーブル４０（ウエハ２）と、貼付ローラ４１及び押付ローラ４２との双方を互いに対向する方向に移動させることで、貼付ローラ４１及び押付ローラ４２がウエハ２上を同時に相対的に移動するようにしてもよい。

また、貼付部Ｄでは貼付ローラ４１により保護テープ３をウエハ２に貼り付けた後、切断装置５０を用いて保護テープ３のウエハ２に貼り付けられていない部分をウエハ２に貼り付けられた部分から切断する（切断工程）。

二次貼付部Ｅでは、貼付ローラ４１により保護テープ３をウエハ２に貼り付けた後、支持テーブル４０を移動させることで、二次貼付ローラ６０によりウエハ２に貼り付けられた保護テープ３を上から押圧して、先端部から反対側の他端側の部分（他端部）に向かって順次、ウエハ２に押し付ける（二次貼付工程）。

貼付装置１は、ウエハ２に貼り付けられた保護テープ３の余剰部分を処理するはみ出し処理部Ｆと、保護テープ３が貼り付けられたウエハ２をマウントしたダイシングフレーム４を格納するフレーム格納部Ｇとをさらに備えている。

また、貼付装置１は、各部において各種の動作を行う処理装置や移動機構、各部の間でウエハ２や保護テープ３、ダイシングフレーム４等を搬送する搬送機構等の各種装置の他、各種装置の動作を制御したり、各種装置から受け取る信号やデータを処理する制御手段６をさらに備えている。貼付装置１は、これらの各種装置や制御手段６が機台７や機台７上に立設された側壁８に取り付けられて構成されている。制御手段６は、例えばマイコンやメモリ、ＨＤＤ等を備え、ソフトウェアで処理能力を付与したコンピュータで構成することができる。

まず、フレーム供給部Ａについて説明する。フレーム供給部Ａは、図１に示すように、複数のダイシングフレーム４を上下方向に積層した状態で収納可能な収納カセット１０と、ダイシングフレーム４を取り出すフレーム搬送機構１１とを備えている。収納カセット１０は、例えばエレベータ機構等の昇降機構（図示せず）を用いて昇降可能であり、フレーム搬送機構１１によりダイシングフレーム４が取り出される度に上昇して、複数のダイシングフレーム４を上から順にフレーム搬送機構１１に供給する。

フレーム搬送機構１１は、本実施形態では搬送アームであり、Ｙ方向に延びるガイドレール１２に沿ってフレーム供給部Ａと貼付部Ｄとの間を往復移動可能である。フレーム搬送機構１１は、ダイシングフレーム４を吸着により保持可能であり、アーム部に例えば吸着パッド等の吸着部１３が設けられている。

制御手段６は、収納カセット１０及びフレーム搬送機構１１を制御して、フレーム搬送機構１１により収納カセット１０からダイシングフレーム４を１枚ずつ取り出し、ダイシングフレーム４を貼付部Ｄに搬送、供給して、後述する支持テーブル４０に載置する。

次に、ウエハ供給部Ｂについて説明する。ウエハ供給部Ｂは、図１に示すように、複数のウエハ２を上下方向に積層した状態で収納可能な収納カセット２０と、ウエハ２を取り出すウエハ搬送機構２１を備えている。収納カセット２０は、例えばエレベータ機構等の昇降機構（図示せず）を用いて昇降可能であり、ウエハ搬送機構２１によりウエハ２が取り出される度に上昇して、複数のウエハ２を上から順にウエハ搬送機構２１に供給する。

ウエハ搬送機構２１は、本実施形態では搬送アームであり、Ｙ方向に延びるガイドレール２２及びＸ方向に延びるガイドレール２３を往復移動することで、ウエハ供給部Ｂと貼付部Ｄとの間を移動可能である。ウエハ搬送機構２１は、基部が上下方向に延びる回転軸２４に一体回転可能に連結されており、アーム部は水平面内で旋回可能である。ウエハ搬送機構２１は、ウエハ２を吸着により保持可能であり、アーム部に例えば吸着パッド等の吸着部２５が設けられている。

制御手段６は、収納カセット２０及びウエハ搬送機構２１を制御して、ウエハ搬送機構２１により収納カセット２０からウエハ２を１枚ずつ取り出し、ウエハ２を貼付部Ｄに搬送、供給して、後述する支持テーブル４０に載置する。

次に、テープ供給部Ｃについて説明する。テープ供給部Ｃは、図１及び図２に示すように、保護テープ３を繰り出す繰出装置３０と、保護テープ３を貼付部Ｄまで引き出すチャック機構３１及び引出機構３５とを備えている。保護テープ３は、ウエハ２よりも幅（Ｘ方向の長さ）が大きい帯状のものであって、例えば柔軟な樹脂フィルムや台紙等の基材に粘着剤層等が設けられたものであり、剥離シート９が仮着されている。

繰出装置３０は、保護テープ３の供給ロール３２と、剥離シート９の回収ロール３３と、その他の各種のローラ３４Ａ～３４Ｆとを備えている。保護テープ３は、剥離シート９とともに供給ロール３２にロール状に巻き回されており、各ローラ３４Ａ～３４Ｆを経てチャック機構３１に至る。剥離シート９は、ピンチローラ３４Ｃによって保護テープ３から分離された後、各ローラ３４Ｇ～３４Ｈを経て回収ロール３３に巻き取られる。なお、ローラ３４Ｅはダンサローラである。引出機構３５は保護テープ３を間に挟んで保持可能であり、ガイドレール３６に沿って往復移動可能である。

チャック機構３１は、帯状の保護テープ３の先端部（長さ方向の一端側の端部）を保持する。チャック機構３１は、上下一対のシートチャック３７，３８を備えている。上下一対のシートチャック３７，３８は横長の板状であり、その長さは保護テープ３の幅（Ｘ方向の長さ）よりも大きく、その長さ方向が保護テープ３の幅方向と同じ方向を向いている。上側のシートチャック３７は、本実施形態では、その下面で保護テープ３の先端部を吸着することによってその全幅を保持する。保護テープ３を吸着する手段は特に限定されるのではなく、公知の各種の手段を用いることができる。下側のシートチャック３８は、上側のシートチャック３７との間で保護テープ３の先端部を挟むことによりその全幅を保持する。

一対のシートチャック３７，３８は、別々の水平移動機構によりＹ方向に往復移動する。一対のシートチャック３７，３８は、詳細は後述するが、繰出装置３０から保護テープ３を引き出す引出始点位置（図８（Ｂ）に示す位置）と引出終点位置（図２に示す位置）との間を往復移動する。当該引出終点位置は、保護テープ３の貼り付けを開始する接着始端位置の直上に位置する。ここで、「接着始端位置」とは、ウエハ２の遠位端の近傍位置であり、本実施形態では、図３に示すように、ウエハ２の遠位端の外側にあるダイシングフレーム４上の位置である。なお、ウエハ２の遠位端とは、一対のシートチャック３７，３８により保護テープ３が引き出されて搬送される方向においてウエハ２の最も遠い端を指す。「接着始端位置」は、ウエハ２の遠位端と一致する位置であってもよいが、好ましくは、上述したダイシングフレーム４上の位置であって、ウエハ２の遠位端を外側に越えた位置がよい。一対のシートチャック３７，３８により保持された保護テープ３の先端部が支持テーブル４０に載置されたウエハ２の遠位端まで少なくとも到達することにより、保護テープ３は、支持テーブル４０に載置されたウエハ２上にウエハ２を覆うようにして供給される。

図１及び図２に戻って、当該水平移動機構は、一対のシートチャック３７，３８をＹ方向に往復移動させるものであれば特に限定されるものではなく、公知の各種の手段を用いることができる。上側のシートチャック３７を移動させる水平移動機構については後述する。下側のシートチャック３８は、例えばＹ方向に延びるガイドレール３９をスライド可能なスライダー（図示せず）を下側のシートチャック３８に取り付け、例えばモータを駆動源とするボールねじ、又はシリンダ等を用いてスライダーをガイドレール３９に沿って往復移動させることで、下側のシートチャック３８をＹ方向に往復移動させることができる。

また、上側のシートチャック３７は、ホルダー４３に取り付けられた上下移動機構４５によりホルダー４３に対し独自に上下方向に往復移動可能である。上下移動機構４５は、上側のシートチャック３７を上下方向に移動させるものであれば特に限定されるものではなく、公知の各種の手段を用いることができる。上側のシートチャック３７は、例えばモータを駆動源とするボールねじ、又はシリンダ（図示せず）等に取付部材（図示せず）を介して連結することで、上下方向に移動させることができる。

制御手段６は、繰出装置３０及びチャック機構３１の水平移動機構を制御して、帯状の保護テープ３を供給ロール３２から引き出して貼付部Ｄの後述する支持テーブル４０に載置されたウエハ２上に供給する。

次に、貼付部Ｄについて説明する。貼付部Ｄは、図１及び図２に示すように、ウエハ２を載置する支持テーブル４０と、ウエハ２上に供給される保護テープ３を上から押圧してウエハ２に貼り付ける貼付ローラ４１と、支持テーブル４０に載置されるウエハ２を上から押圧して支持テーブル４０に押し付ける押付ローラ４２と、貼付ローラ４１及び押付ローラ４２を同時にＹ方向に往復移動させる水平移動機構と、保護テープ３を切断する切断装置５０とを備えている。

支持テーブル４０は、その上面でウエハ２を支持する。本実施形態では、ダイシングフレーム４が支持テーブル４０に載置され、ウエハ２がダイシングフレーム４にダイシングテープ５を介してマウントされている。ダイシングフレーム４は、支持テーブル４０に位置決めした状態で載置され、図示しない固定手段により位置ずれしないよう固定される。また、ウエハ２は、ダイシングフレーム４に位置決めした状態でマウントされる。

支持テーブル４０は、ウエハ２を支持しながら昇降機構により昇降可能である。支持テーブル４０は、常時は、ウエハ２が貼付ローラ４１や押付ローラ４２、上側のシートチャック３７と離れる位置（図２や図５（Ａ）に示す位置）にあるが、当該昇降機構により上昇することにより、ウエハ２が貼付ローラ４１や押付ローラ４２、上側のシートチャック３７と接触する位置（図５（Ｂ）及び図６～図８に示す位置）に移動する。当該昇降機構は、支持テーブル４０を昇降させるものであれば特に限定されるものではなく、公知の種々の手段を用いることができる。支持テーブル４０は、例えばモータを駆動源としたボールねじ、又はシリンダ（図示せず）等に取付部材（図示せず）を介して連結することで、昇降させることができる。

また、支持テーブル４０は、ウエハ２を支持しながら水平移動機構によりＹ方向に往復移動可能である。支持テーブル４０は、詳細は後述するが、貼付ローラ４１の下方位置（図２や図５～図８に示す）と、後述する二次貼付部Ｅの二次貼付ローラ６０（図９に示す位置）の下方位置との間を往復移動する。当該水平移動機構は、支持テーブル４０をＹ方向に往復移動させるものであれば特に限定されるものではなく、公知の各種の手段を用いることができる。例えばＹ方向に延びるレールをスライド可能なスライダー（図示せず）を支持テーブル４０に取り付け、例えばモータを駆動源とするボールねじ、又はシリンダ（図示せず）等を用いてスライダーをガイドレール（図示せず）に沿って往復移動させることで、支持テーブル４０をＹ方向に往復移動させることができる。

貼付ローラ４１は、図１及び図２に示すように、横長の円柱状であり、その長さは保護テープ３の幅（Ｙ方向の長さ）よりも大きく、その長さ方向が保護テープ３の幅方向と同じ方向を向いている。

貼付ローラ４１は、一対のホルダー４３の間に保持されている。一対のホルダー４３は、水平移動機構によりＹ方向に往復移動する。当該水平移動機構は、一対のホルダー４３をＹ方向に往復移動させるものであれば特に限定されるものではなく、公知の各種の手段を用いることができる。例えばＹ方向に延びるガイドレール４４をスライド可能なスライダー（図示せず）を一方のホルダー４３に取り付け、例えばモータを駆動源とするボールねじ、又はシリンダ（図示せず）等を用いてスライダーをガイドレール４４に沿って往復移動させることで、一対のホルダー４３をＹ方向に往復移動させることができ、これに伴い貼付ローラ４１をＹ方向に往復移動させることができる。

貼付ローラ４１は、ホルダー４３に取り付けられた上下移動機構４６によりホルダー４３に対し独自に上下方向に往復移動可能である。上下移動機構４６は、貼付ローラ４１を上下方向に移動させるものであれば特に限定されるものではなく、公知の各種の手段を用いることができる。貼付ローラ４１は、例えばモータを駆動源とするボールねじ、又はシリンダ（図示せず）等に取付部材（図示せず）を介して連結することで、上下方向に移動させることができる。

貼付ローラ４１は、ウエハ２に対する保護テープ３の貼り付けを開始する際には、図３に示すように接着始端位置よりも外側の近傍に位置しており、当該水平移動機構により、当該位置から、ウエハ２に対する保護テープ３の貼り付けを終了する接着終端位置まで移動する。ここで、「接着終端位置」とは、ウエハ２の近位端の近傍の位置であり、ウエハ２の近位端と一致する位置であってもよいし、ウエハ２の近位端を外側に越えたダイシングフレーム４上の位置であってもよい。図３では、「接着終端位置」は、ウエハ２の近位端を外側に越えたダイシングフレーム４上の位置に示されている。なお、ウエハ２の近位端とは、一対のシートチャック３７，３８により保護テープ３が引き出されて搬送される方向においてウエハ２の最も近い端を指す。

図１及び図２に戻って、一対のホルダー４３は、貼付ローラ４１の他に、チャック機構３１の上側のシートチャック３７、押付ローラ４２、切断装置５０及び繰出装置３０のローラ３４Ｆを間に保持している。これにより、上側のシートチャック３７、押付ローラ４２、切断装置５０及び繰出装置３０のローラ３４Ｆは、当該水平移動機構により貼付ローラ４１と同時にＹ方向に往復移動する。

貼付ローラ４１は、上側のシートチャック３７の近傍に配置されており、保護テープ３の貼り付けを開始する際には、保護テープ３の先端部に対して保護テープ３の長さ方向で外側に間隔をあけて位置している。また、貼付ローラ４１は、その下端が上側のシートチャック３７の下端とほぼ同じ高さに位置している。

貼付ローラ４１は、ウエハ２との間に保護テープ３を間に挟んだ状態で当該水平移動機構によりウエハ２に対して移動することにより、保護テープ３を先端部から順次、長さ方向で反対側の他端側に向けて上から押圧する。これにより、保護テープ３をウエハ２に貼り付ける。

押付ローラ４２は、図１及び図２に示すように、横長の円柱状であり、その長さはウエハ２の幅（Ｘ方向の長さ）よりも大きく、その長さ方向が貼付ローラ４１の長さ方向と同じ方向を向いている。押付ローラ４２は、貼付ローラ４１との間に上側のシートチャック３７を挟むように配置されており、貼付ローラ４１よりも保護テープ３の長さ方向の他端側に間隔をあけて位置していて、貼付ローラ４１が保護テープ３をウエハ２に貼り付ける際に貼付ローラ４１がウエハ２に対して移動する方向の前方に位置している。押付ローラ４２は、繰出装置３０のローラ３４Ｆの下側、つまりは、保護テープ３の下側に位置しており、押付ローラ４２の下端は、貼付ローラ４１の下端とほぼ同じ高さに位置している。

押付ローラ４２は、詳細は後述するが、当該水平移動機構によりウエハ２上を移動することにより、貼付ローラ４１が保護テープ３をウエハ２に貼り付ける前にウエハ２を上から押圧する。これにより、ウエハ２を支持テーブル４０に押し付けることで、ウエハ２に反りが生じている場合に、貼付ローラ４１によるウエハ２への保護テープ３の貼付動作に先行してウエハ２の反りを矯正する。

図４を参照して、ウエハ２に対して保護テープ３の貼り付けを開始する際の押付ローラ４２の初期位置、つまりは、押付ローラ４２が貼付ローラ４１とともにウエハ２に対して移動を開始する際の初期位置は、特に限定されない。ただし、貼付ローラ４１で保護テープ３をウエハ２により綺麗に貼り付けるためには、押付ローラ４２でウエハ２の反りを矯正した後、あまり間を置かずに後続の貼付ローラ４１で保護テープ３をウエハ２に貼り付けることが好ましい。押付ローラ４２と貼付ローラ４１との距離が遠いと、押付ローラ４２と貼付ローラ４１との間にウエハ２の反りが残ったり、押付ローラ４２でウエハ２の反りを矯正しても貼付ローラ４１が移動してくるまでの間にウエハ２の反りが戻る等のおそれがあるからである。よって、この観点からは、押付ローラ４２の初期位置は、ウエハ２の遠位端の位置に近いことが好ましい。一方で、押付ローラ４２と貼付ローラ４１との距離が近いと、押付ローラ４２と貼付ローラ４１との間で上側のシートチャック３７で保護テープ３を吸着保持したり、押付ローラ４２と貼付ローラ４１との間に保護テープ３を通すことが難しくなるおそれがある。これらの観点からすると、押付ローラ４２の初期位置は、好ましくは、ウエハ２の遠位端の位置から、その内側の位置でありかつウエハ２において最も大きく反る位置、例えばウエハ２の遠位端及び近位端の間の長さの１／２に当たる中央位置までの範囲であり、より好ましくは、ウエハ２の遠位端の位置から、ウエハ２の遠位端及び近位端の間の長さの１／３に当たる位置までの範囲である。

図１及び図２に戻って、押付ローラ４２は、ホルダー４３に取り付けられた上下移動機構４７によりホルダー４３に対し独自に上下方向に往復移動可能である。上下移動機構４７は、押付ローラ４２を上下方向に移動させるものであれば特に限定されるものではなく、公知の各種の手段を用いることができる。押付ローラ４２は、例えばモータを駆動源とするボールねじ、又はシリンダ（図示せず）等に取付部材（図示せず）を介して連結することで、上下方向に移動させることができる。

なお、押付ローラ４２は、ローラ３４Ｆと一体のユニットとなっており、ユニットごと上下移動機構４７によりホルダー４３に対し独自に上下方向に往復移動可能となっているが、必ずしも押付ローラ４２とローラ３４Ｆとをユニットにする必要はない。

切断装置５０は、カッター５１と、カッター５１を保持するカッターホルダー５２と、カッター５１を上下方向に移動させる上下移動機構とを備えている。カッター５１は、当該上下移動機構により、詳細は後述するが、保護テープ３を切断する切断位置（図８（Ｂ）に示す位置）と、切断位置より上方の待機位置（図２及び図５～図８（Ａ）に示す位置）との間を上下方向に移動する。当該上下移動機構は、カッター５１を上下方向に移動させるものであれば特に限定されるものではなく、公知の各種の手段を用いることができる。例えばカッターホルダー５２を、例えばモータを駆動源とするボールねじ、又はシリンダ（図示せず）等に取付部材（図示せず）を介して連結し、カッターホルダー５２を上下動に移動させることにより、カッター５１を上下方向に移動させることができる。また、カッター５１をカッターホルダー５２に対して上下方向に移動可能に取り付けてもよい。

次に、貼付部Ｄにおいて保護テープ３をウエハ２に貼り付ける方法について説明する。まず、制御手段６は、下側のシートチャック３８の水平移動機構を制御して、図２に示す状態から、図５（Ａ）に示すように、下側のシートチャック３８を接着始端位置の直上の引出終点位置から引出始点位置まで移動させる。

そして、制御手段６は、図５（Ｂ）に示すように、上下移動機構４５,４７を制御して上側のシートチャック３７及び押付ローラ４２を下方向に移動させると同時に、支持テーブル４０の昇降機構を制御して支持テーブル４０を上昇させることで、支持テーブル４０に載置されるウエハ２を上側のシートチャック３７及び押付ローラ４２と接触させる。これにより、ウエハ２の遠位端及びその内外の近傍が上側のシートチャック３７により上から押圧され、上側のシートチャック３７に吸着保持される保護テープ３の先端部がウエハ２及びダイシングフレーム４に仮着される。また、ウエハ２は押付ローラ４２により上から押圧され、支持テーブル４０に押し付けられることで、ウエハ２の反りが部分的に矯正される。

そして、制御手段６は、図６（Ａ）に示すように、上下移動機構４５を制御して上側のシートチャック３７を上方向に移動させてウエハ２から離し、上下移動機構４６を制御して貼付ローラ４１を下方向に移動させる。

そして、制御手段６は、貼付ローラ４１や押付ローラ４２等を保持するホルダー４３の水平移動機構を制御して、図６（Ｂ）に示すように、ホルダー４３を移動させることにより、貼付ローラ４１及び押付ローラ４２を同時にウエハ２に対して移動させる。これにより、押付ローラ４２は、ウエハ２の近位端に向かってウエハ２上を移動しながらウエハ２を上から押圧する。これにより、ウエハ２の反りが押付ローラ４２により次第に矯正されていく。

一方で、貼付ローラ４１は、ウエハ２の遠位端付近の接着始端位置に到達し、保護テープ３の先端部を上から押圧してダイシングフレーム４、さらにはウエハ２に貼り付け、その後、押付ローラ４２の後を追って押付ローラ４２により反りが矯正された状態のウエハ２上を移動しながら保護テープ３を先端部から順次、その反対側に向かってウエハ２に上から押圧する。これにより、保護テープ３が貼付ローラ４１によりウエハ２に次第に貼り付けられていく。

図７（Ａ）に示すように、押付ローラ４２がウエハ２の近位端付近に到達すると、制御手段６は、上下移動機構４７を制御して、押付ローラ４２を上方向に移動させてウエハ２から離す。なお、押付ローラ４２を上方向に移動させなくても、支持テーブル４０を下降させることで、押付ローラ４２をウエハ２から離すこともできる。この場合には、上下移動機構４６を制御して貼付ローラ４１を支持テーブル４０の下降に追随するよう下方向に移動させる。

そして、図７（Ｂ）に示すように、貼付ローラ４１がウエハ２の近位端付近の接着終端位置に到達すると、制御手段６は、貼付ローラ４１や押付ローラ４２等を保持するホルダー４３の水平移動機構を制御して、ホルダー４３の移動を停止することにより、貼付ローラ４１及び押付ローラ４２の移動を停止させる。これにより、保護テープ３がウエハ２の全面に貼り付けられる。

保護テープ３をウエハ２に貼り付けると、制御手段６は、上下移動機構４５を制御して、図８（Ａ）に示すように、上側のシートチャック３７を下方向に移動させて、引出終点位置にある下側のシートチャック３８との間で保護テープ３のウエハ２に貼り付けられていない部分を挟んで保持するとともに吸着保持する。

そして、制御手段６は、カッター５１の上下移動機構を制御して、図８（Ｂ）に示すように、カッター５１を下方向に移動させて、カッター５１を用いて保護テープ３のウエハ２に貼り付けられていない部分をウエハ２に貼り付けられた部分から切断する。これにより、貼付部Ｄにおけるウエハ２への保護テープ３の貼付作業が完了する。制御手段６は、保護テープ３の切断後は、カッター５１の上下移動機構を制御して、カッター５１を上方向に移動させて待機位置に位置させる。

その後、制御手段６は、後述するように支持テーブル４０が二次貼付部Ｅに移動すると、上下移動機構４６，４７を制御して、貼付ローラ４１及び押付ローラ４２をそれぞれ上下方向に適宜移動させて、貼付ローラ４１及び押付ローラ４２の下端が上側のシートチャック３７の下端とほぼ同じ高さに位置するように貼付ローラ４１及び押付ローラ４２を位置させる。そして、上側のシートチャック３７、貼付ローラ４１及び押付ローラ４２等を保持するホルダー４３の水平移動機構を制御して、ホルダー４３を移動させることにより、上側のシートチャック３７、貼付ローラ４１及び押付ローラ４２を再び元の位置に戻す。また、制御手段６は、下側のシートチャック３８の水平移動機構を制御して、下側のシートチャック３８を上側のシートチャック３７とともに引出始点位置から引出終点位置まで移動させて、新たな保護テープ３を接着始端位置の直上まで引き出す。

次に、二次貼付部Ｅについて説明する。二次貼付部Ｅは、図１及び図２に示すように、ウエハ２に貼り付けられた保護テープ３を上から押圧してウエハ２に押し付ける二次貼付ローラ６０を備えている。

二次貼付ローラ６０は、横長の円柱状であり、その長さは保護テープ３の幅（Ｙ方向の長さ）よりも大きく、その長さ方向が保護テープ３の幅方向と同じ方向を向いている。

制御手段６は、支持テーブル４０の昇降機構及び水平移動機構を制御して、図９に示すように、保護テープ３が貼り付けられたウエハ２を載置した支持テーブル４０を二次貼付ローラ６０の下方位置に移動させて、二次貼付ローラ６０をウエハ２上の保護テープ３に接触させる。このとき、二次貼付ローラ６０を、貼付部Ｄにおいて貼付ローラ４１によりウエハ２に最も始めに貼り付けられた保護テープ３の先端部に接触させる。

そして、制御手段６は、支持テーブル４０の水平移動機構を制御して、図９に示すように、支持テーブル４０を移動させて、二次貼付ローラ６０に対してウエハ２を移動させることにより、二次貼付ローラ６０によりウエハ２に貼り付けられた保護テープ３を先端部から順次、他端部、つまり、貼付部Ｄにおいて貼付ローラ４１によりウエハ２に最も始めに貼り付けられた保護テープ３の先端部と長さ方向において反対側の端部に向かって上から押圧して、ウエハ２に押し付ける。これにより、保護テープ３がウエハ２に強く貼り付けられる。また、貼付部Ｄにおける最初の貼り付け時と反対方向から保護テープ３をウエハ２に押し付けるので、保護テープ３をより綺麗に貼り付けることができる。

なお、本実施形態では、二次貼付ローラ６０を静止状態とし、支持テーブル４０（ウエハ２）を移動させて、二次貼付ローラ６０に対してウエハ２を移動させることで、二次貼付ローラ６０がウエハ２上を相対的に移動し、これにより、二次貼付ローラ６０により保護テープ３をウエハ２に押し付けている。これに限らず、支持テーブル４０（ウエハ２）を静止状態とし、二次貼付ローラ６０を移動させて、ウエハ２に対して二次貼付ローラ６０を移動させることで、二次貼付ローラ６０がウエハ２上を同時に相対的に移動するようにしてもよい。また、支持テーブル４０（ウエハ２）及び二次貼付ローラ６０を互いに対向する方向に移動させることで、二次貼付ローラ６０がウエハ２上を相対的に移動するようにしてもよい。

次に、はみ出し処理部Ｆについて説明する。はみ出し処理部Ｆでは、ウエハ２に貼り付けられた保護テープ３について、ダイシングフレーム４又はウエハ２の外周縁からはみ出た部分を処理することで、保護テープ３がダイシングフレーム４又はウエハ２の外周縁からはみ出ないようにする。

図１に示すように、二次貼付部Ｅにおいて保護テープ３が貼り付けられたウエハ２をマウントしたダイシングフレーム４（ウエハ付きダイシングフレーム）は、フレーム搬送機構７０，７１により二次貼付部Ｅの支持テーブル４０からはみ出し処理部Ｆの処理テーブル８０に搬送、供給される。各フレーム搬送機構７０，７１は、本実施形態では搬送アームであり、それぞれＹ方向に延びるガイドレール７２，７３に沿って往復移動可能である。各フレーム搬送機構７０，７１は、ウエハ付きダイシングフレーム４を吸着により保持可能であり、アーム部に例えば吸着パッド等の吸着部７４，７５が設けられている。なお、フレーム搬送機構７１のアーム部は反転可能であり、フレーム搬送機構７０からウエハ付きダイシングフレーム４を受け取った後、アーム部が反転することでウエハ付きダイシングフレーム４を処理テーブル８０に載置可能である。

はみ出し処理部Ｆにおいて、保護テープ３のダイシングフレーム４又はウエハ２の外周縁からはみ出た部分を処理する方法は特に限定されず、例えば保護テープ３をダイシングフレーム４又はウエハ２の外形に沿って切断することで、保護テープ３がウエハ２からはみ出ないようにすることができる。また、保護テープ３のダイシングフレーム４又はウエハ２の外周縁からはみ出た部分を折り返すことで、保護テープ３がダイシングフレーム４又はウエハ２からはみ出ないようにすることができる。これらの処理は、公知の各種の装置（図示せず）を用いて行うことができる。なお、本実施形態におけるダイシングフレーム４の形状は、四角形の角を落とした八角形であるため、保護テープ３のはみ出しが発生している。例えば、保護テープ３のはみ出しをなくすため等の目的でダイシングフレーム４を他の形状にしてもよい。

はみ出し処理がされたウエハ付きダイシングフレーム４は、処理テーブル８０がガイドレール８１に沿って移動することで、フレーム格納部Ｇに搬送、供給される。

フレーム格納部Ｇには、図１に示すように、複数のウエハ付きダイシングフレーム４を上下に積層した状態で収納可能な収納カセット９０が設けられている。収納カセット９０は、例えばエレベータ機構等の昇降機構（図示せず）を用いて昇降可能である。このフレーム格納部Ｇでは、ウエハ付きダイシングフレーム４が収納される毎に収納カセット９０を昇降させて、複数のウエハ付きダイシングフレーム４を順次収納する。

以上のように、本実施形態の貼付装置１及び貼付方法によれば、貼付ローラ４１がウエハ２上を移動する前方に押付ローラ４２がウエハ２上を同時に移動しており、貼付ローラ４１が保護テープ３をウエハ２に貼り付ける前に、押付ローラ４２がウエハ２を上から押圧して支持テーブル４０に押し付けることでウエハ２の反りを矯正している。そのため、貼付ローラ４１は、押付ローラ４２により反りが矯正された状態のウエハ２に対して保護テープ３を先端部から順次、その反対側に向かって貼り付けるので、保護テープ３をウエハ２に綺麗に貼り付けることができる。

また、押付ローラ４２及び貼付ローラ４１が同時に移動し、押付ローラ４２がウエハ２の反りを矯正した部分から貼付ローラ４１で保護テープ３を貼り付けており、ウエハ２の反りを矯正して直ぐに保護テープ３の貼り付けを行うことにより、保護テープ３の貼り付けの際にウエハ２に再び反りが発生しないようにしたので、安定した貼付動作を実現することができる。

加えて、押付ローラ４２がウエハ２の反りを矯正しながら貼付ローラ４１が保護テープ３をウエハ２に貼り付けるので、効率よく保護テープ３をウエハ２に貼り付けることができ、作業効率を向上できる。さらに、ウエハ２を支持テーブル４０に吸着保持する必要がなく、保護テープ３の貼り付け時に減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段が不要であるので、作業コストを低減することができる。

さらに、ダイシングフレーム４にダイシングテープ５を用いてマウントしたウエハ２に対して保護テープ３を貼り付けているため、特許文献１のように減圧手段を駆動してウエハ２を保持面に吸着保持しようとしても、ダイシングテープ５に加工（例えばダイシングテープ５にウエハ２吸着用の丸穴を設ける等の加工）を施さない限り、ダイシングテープ５のみを吸着保持し、ウエハ２は吸着保持されない。また、ウエハ２を、減圧手段による吸着保持ではなく、ダイシングテープ５の粘着力でウエハ２の反りを矯正しながら保持させると、ダイシングテープ５の粘着力が弱いため、保護テープ３をウエハ２に貼り付ける前にウエハ２に再び反りが発生する可能性がある。これに対して、本実施形態の貼付装置１及び貼付方法では、ダイシングテープ５の使用有無に関係なく、ウエハ２に保護テープ３を効率よく低コストでかつ綺麗に貼り付けることができる。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、種々の変更が可能である。

一変形例として、上記実施形態では、図５（Ｂ）において、支持テーブル４０を上昇させることに変えて、ホルダー４３を下降させることで、支持テーブル４０に載置されるウエハ２に上側のシートチャック３７及び押付ローラ４２を接触させるようにしてもよい。

他の変形例として、ウエハ２にダイシングテープ５を貼り付ける場合は、上記実施形態において、ダイシングテープ５がない状態にして、保護テープ３をダイシングテープ５に読み替えればよい。

他の変形例として、上記実施形態では、ウエハ２をダイシングフレーム４にマウントした状態で保護テープ３をウエハ２に貼り付けているが、ウエハ２をダイシングフレーム４にマウントすることなく支持テーブル４０に載置して保護テープ３を貼り付けてもよい。

他の変形例として、上記実施形態では、ウエハ２に対して保護テープ３の二次貼り付けを行っているが、二次貼り付けは必ずしも必要ではない。具体的には、二次貼付部Ｅ及び二次貼付工程は必ずしも必要ではない。

他の変形例として、上記実施形態では、ウエハ２は上に凸となるように反った状態で支持テーブル４０に載置されているが、ウエハ２の反り方は特に限定されず、下に凸となるように反った状態で支持テーブル４０に載置されていてもよい。また、支持テーブル４０に載置される際のウエハ２の向きも特に限定されない。さらに、上記実施形態では、ウエハ２の形状が四角形であるが、ウエハ２の形状は特に限定されず、円形や六角形などでもよい。

他の変形例として、上記実施形態では、基板及び接着テープがウエハ２及び保護テープ３であるが、接着テープは接着性のあるテープであれば特に限定されず、基板は接着テープを貼り付ける必要があるものであれば特に限定されない。

１ 貼付装置
２ ウエハ（基板）
３ 保護テープ（接着テープ）
６ 制御手段
４０ 支持テーブル
４１ 貼付ローラ
４２ 押付ローラ
５０ 切断装置
６０ 二次貼付ローラ

Claims (7)

1. 基板に接着テープを貼り付ける貼付装置であって、
   基板を載置する支持テーブルと、
   前記基板上に供給される接着テープを上から押圧して前記基板に貼り付ける貼付ローラと、
   前記基板を上から押圧して前記支持テーブルに押し付ける押付ローラと、
   前記貼付ローラ及び前記押付ローラが前記基板上を同時に相対的に移動するように前記貼付ローラ及び前記押付ローラと前記支持テーブルとの少なくも一方を移動させる移動機構と、
   前記移動機構を制御する制御手段と、
   を備え、
   前記押付ローラは、前記基板上を相対的に移動する際に前記貼付ローラの前方を移動するように配置され、
   前記制御手段は、前記貼付ローラが前記接着テープをその一端側の部分から順次、前記基板に貼り付けるとともに、前記貼付ローラが前記接着テープを前記基板に貼り付ける前に前記押付ローラが前記基板を前記支持テーブルに押し付けるように、前記移動機構を制御する、貼付装置。
2. 前記押付ローラが前記基板上を相対的に移動し始める際、前記押付ローラは、前記基板の遠位端の位置から、前記基板の近位端及び遠位端の間の長さの中央位置までの範囲で前記基板と接触している、請求項１に記載の貼付装置。
3. 前記貼付ローラにより前記接着テープを前記基板に貼り付けた後、前記接着テープの前記基板に貼り付けられていない部分を前記基板に貼り付けられた部分から切断する切断装置をさらに備える、請求項１又は２に記載の貼付装置。
4. 前記移動機構は、前記貼付ローラ及び前記押付ローラを同時に移動させ、
   該貼付装置は、
   前記基板に貼り付けられた前記接着テープを上から押圧して前記基板に押し付ける二次貼付ローラと、
   前記二次貼付ローラが前記基板上を相対的に移動するように前記二次貼付ローラ及び前記支持テーブルの少なくも一方を移動させる第二移動機構と、
   をさらに備え、
   前記制御手段は、前記二次貼付ローラが前記接着テープをその一端側の部分から順次、前記基板に押し付けるように、前記第二移動機構を制御する、請求項１～３のいずれかに記載の貼付装置。
5. 基板に接着テープを貼り付ける貼付方法であって、
   支持テーブルに載置された基板上に接着テープを供給するテープ供給工程と、
   貼付ローラが前記基板上を相対的に移動することにより、前記貼付ローラにより前記接着テープを上から押圧してその一端側の部分から順次、前記基板に貼り付ける貼付工程と、
   押付ローラが前記貼付ローラの前方を前記貼付ローラと同時に前記基板上を相対的に移動することにより、前記貼付ローラが前記接着テープを前記基板に貼り付ける動作に先行して前記押付ローラにより前記基板を上から押圧して前記支持テーブルに押し付ける押付工程と、
   を含む、貼付方法。
6. 前記貼付ローラにより前記接着テープを前記基板に貼り付けた後、前記接着テープの前記基板に貼り付けられていない部分を前記基板に貼り付けられた部分から切断する切断工程をさらに含む、請求項５に記載の貼付方法。
7. 前記貼付ローラにより前記接着テープを前記基板に貼り付けた後、二次貼付ローラが前記基板上を相対的に移動することにより、前記二次貼付ローラにより前記接着テープを上から押圧してその一端側の部分から順次、前記基板に押し付ける二次貼付工程をさらに含む、請求項５又は６に記載の貼付方法。

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