JP3171148B2 - ウエハ−マウント装置 - Google Patents
ウエハ−マウント装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
工程においてウエハ若しくはウエハとダイシングリング
に所定の粘着ラベル部を貼着させるウエハ−マウント方
法およびその装置に関するものである。
工程においてウエハ若しくはウエハとダイシングリング
に所定の粘着ラベル部を貼着させるウエハ−マウント方
法およびその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、単結晶ウエハ−から同種の複数
個のＩＣを高速回転のダイヤモンドカッタ−で切断し、
個々のチップを取り出すダイシング工程では、通常、チ
ップの欠けや飛散防止のために、強い粘着力のダイシン
グテープなどを使用して作業性を向上させている。
個のＩＣを高速回転のダイヤモンドカッタ−で切断し、
個々のチップを取り出すダイシング工程では、通常、チ
ップの欠けや飛散防止のために、強い粘着力のダイシン
グテープなどを使用して作業性を向上させている。
【０００３】このようなダイシング工程では、先ず、カ
ットすべきウエハ−を上記強い粘着力のダイシングテー
プ（粘着テープ）をウエハ−とダイシングリングに貼着
させるウエハマウント工程が実施される。このようなウ
エハ−マウント工程を実施するためのウエハ−マウント
装置は、以下詳細に説明する本発明に係るウエハ−マウ
ント装置と略同様の構成を有している。
ットすべきウエハ−を上記強い粘着力のダイシングテー
プ（粘着テープ）をウエハ−とダイシングリングに貼着
させるウエハマウント工程が実施される。このようなウ
エハ−マウント工程を実施するためのウエハ−マウント
装置は、以下詳細に説明する本発明に係るウエハ−マウ
ント装置と略同様の構成を有している。
【０００４】即ち、このようなウエハ−マウント装置１
は、粘着テープと称されるラベルシート層３３ａと粘着
材層３３ｂとからなる粘着ラベル部３４ａに設けられた
粘着材層３３ｂを保護する離型紙テープ３８ａを剥がし
ながら、ダイシングリング形状に予め切断した（プリカ
ット済み）ラベルシート層２１を、ウエハ−とダイシン
グリングに貼着する装置である。
は、粘着テープと称されるラベルシート層３３ａと粘着
材層３３ｂとからなる粘着ラベル部３４ａに設けられた
粘着材層３３ｂを保護する離型紙テープ３８ａを剥がし
ながら、ダイシングリング形状に予め切断した（プリカ
ット済み）ラベルシート層２１を、ウエハ−とダイシン
グリングに貼着する装置である。
【０００５】ラベルシート層３３ａは図１に示すように
ロール状に巻いたテープロール４から引き出され、分離
板１７によって離型紙テープ３８ａを剥がし、ロール８
に巻き取られる。上記分離板１７により離型紙テープ３
８ａを剥がすことにより分離されたラベルシート層３３
ａと粘着材層３３ｂとからなる粘着ラベル部３４ａは、
矢印方向に移動する移動台７に取り付けられたウエハ−
３若しくはウエハ３とダイシングリング２に、押付け貼
着ロ−ラ１０によって押付けられ接着され、それによっ
て、所定の形状にカットされている粘着ラベル部３４ａ
の所定の部分２１が、当該ウエハ３若しくはウエハ３と
ダイシングリング２に転写される事になる。
ロール状に巻いたテープロール４から引き出され、分離
板１７によって離型紙テープ３８ａを剥がし、ロール８
に巻き取られる。上記分離板１７により離型紙テープ３
８ａを剥がすことにより分離されたラベルシート層３３
ａと粘着材層３３ｂとからなる粘着ラベル部３４ａは、
矢印方向に移動する移動台７に取り付けられたウエハ−
３若しくはウエハ３とダイシングリング２に、押付け貼
着ロ−ラ１０によって押付けられ接着され、それによっ
て、所定の形状にカットされている粘着ラベル部３４ａ
の所定の部分２１が、当該ウエハ３若しくはウエハ３と
ダイシングリング２に転写される事になる。
【０００６】テープロール４の縁端を引き出し展開した
従来の粘着テープの概略図を図６に示す。図６に示した
ように従来のウエハ−マウント用テープは、例えば、ダ
イシングリング２の形状に合わせて切断線Ｂに沿って予
め切断し、当該ウエハ若しくはウエハとダイシングリン
グとに転写されるべき主要部Ａとその他の不要部Ｃとか
らなる粘着ラベル部３４ａと、前述の粘着ラベル部３４
ａの粘着層３３ｂを保護する離型紙テープ３８ａとから
なる。
従来の粘着テープの概略図を図６に示す。図６に示した
ように従来のウエハ−マウント用テープは、例えば、ダ
イシングリング２の形状に合わせて切断線Ｂに沿って予
め切断し、当該ウエハ若しくはウエハとダイシングリン
グとに転写されるべき主要部Ａとその他の不要部Ｃとか
らなる粘着ラベル部３４ａと、前述の粘着ラベル部３４
ａの粘着層３３ｂを保護する離型紙テープ３８ａとから
なる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のウエハ
−マウント方法では、図６に示したテープロール４の幅
方向（Ｘ方向）と長手方向（Ｙ方向）のテンションにば
らつきがあり、従って、ウエハ−をダイシングして得ら
れたチップのカットライン幅（カ−フ幅）もばらつき、
均一にならないと言う問題がある。
−マウント方法では、図６に示したテープロール４の幅
方向（Ｘ方向）と長手方向（Ｙ方向）のテンションにば
らつきがあり、従って、ウエハ−をダイシングして得ら
れたチップのカットライン幅（カ−フ幅）もばらつき、
均一にならないと言う問題がある。
【０００８】その結果、チップの切断面同士が接触して
チッピング（欠け）不良が発生する。また従来のウエハ
−マウント方法ではテープロール４から粘着ラベル部が
蛇行した状態でマウントされる場合がある。このような
テープの蛇行があると、テープの幅方向（Ｘ方向）に位
置ずれを生じ、チップ形状等が不良となり、製品不良が
発生する。
チッピング（欠け）不良が発生する。また従来のウエハ
−マウント方法ではテープロール４から粘着ラベル部が
蛇行した状態でマウントされる場合がある。このような
テープの蛇行があると、テープの幅方向（Ｘ方向）に位
置ずれを生じ、チップ形状等が不良となり、製品不良が
発生する。
【０００９】本発明の目的は、上記した従来技術の欠点
を改良し、粘着ラベル部の幅方向と長手方向のテンショ
ンのばらつきを少なくして、ダイシング後のチップ形状
（カ−フ幅）を均一に保持し、製品の品質を向上させ、
製品不良を低減する信頼性あるウエハ−マウント方法、
およびその装置を提供することである。
を改良し、粘着ラベル部の幅方向と長手方向のテンショ
ンのばらつきを少なくして、ダイシング後のチップ形状
（カ−フ幅）を均一に保持し、製品の品質を向上させ、
製品不良を低減する信頼性あるウエハ−マウント方法、
およびその装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成する為、以下に示す様な基本的な技術構成を採用す
るものである。即ち、本発明に係る第１の態様として
は、ラベルシート層と粘着材層とが積層されて構成され
た粘着ラベル部と当該粘着材層を被覆する離型紙テープ
部とから構成されたウエハ−マウント用テープの当該ラ
ベルシート層に予め定められた所定の形状に切断線部を
設けておき、当該離型紙テープ部を該粘着ラベル部から
剥がしながら、所定の形状を有する当該粘着ラベル部を
ウエハの所定の部位に貼着せしめるウエハ−マウント装
置に於いて、当該粘着ラベル部を少なくとも、ウエハに
押圧せしめる押圧ローラー手段を設けると共に、当該押
圧ローラー手段の一部に少なくとも当該粘着ラベル部を
把持する把持機構が設けられ、且つ当該把持機構は、当
該押圧ローラー手段の軸方向に於ける両端部に設けられ
ていると同時に、当該粘着ラベル部の幅方向に張力を付
与する機構を有しており、且つ当該押圧ローラー手段と
同軸的に回転する様に構成されているウエハ−マウント
装置である。
達成する為、以下に示す様な基本的な技術構成を採用す
るものである。即ち、本発明に係る第１の態様として
は、ラベルシート層と粘着材層とが積層されて構成され
た粘着ラベル部と当該粘着材層を被覆する離型紙テープ
部とから構成されたウエハ−マウント用テープの当該ラ
ベルシート層に予め定められた所定の形状に切断線部を
設けておき、当該離型紙テープ部を該粘着ラベル部から
剥がしながら、所定の形状を有する当該粘着ラベル部を
ウエハの所定の部位に貼着せしめるウエハ−マウント装
置に於いて、当該粘着ラベル部を少なくとも、ウエハに
押圧せしめる押圧ローラー手段を設けると共に、当該押
圧ローラー手段の一部に少なくとも当該粘着ラベル部を
把持する把持機構が設けられ、且つ当該把持機構は、当
該押圧ローラー手段の軸方向に於ける両端部に設けられ
ていると同時に、当該粘着ラベル部の幅方向に張力を付
与する機構を有しており、且つ当該押圧ローラー手段と
同軸的に回転する様に構成されているウエハ−マウント
装置である。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明ではウエハ−マウント用の
粘着ラベル部の幅方向にテンション（引張り力）が付与
されるため、ウエハ−マウント時にラベルシート層がそ
の長手方向と、幅方向において、緊張されテンションの
ばらつきが緩和される。特に張力付与手段として設けた
ピン歯車の様な突起状物を配置した把持機構を含む押圧
ローラー手段と粘着ラベル部の長手方向に沿った両端部
に等ピッチに設けた複数の孔と歯合させることによって
粘着ラベル部の幅方向にテンション（張力）を効果的に
付与することができ移動中の粘着ラベル部の位置を所定
の位置に安定させることができる。その結果として良好
なダイシングを行なうことができる。
粘着ラベル部の幅方向にテンション（引張り力）が付与
されるため、ウエハ−マウント時にラベルシート層がそ
の長手方向と、幅方向において、緊張されテンションの
ばらつきが緩和される。特に張力付与手段として設けた
ピン歯車の様な突起状物を配置した把持機構を含む押圧
ローラー手段と粘着ラベル部の長手方向に沿った両端部
に等ピッチに設けた複数の孔と歯合させることによって
粘着ラベル部の幅方向にテンション（張力）を効果的に
付与することができ移動中の粘着ラベル部の位置を所定
の位置に安定させることができる。その結果として良好
なダイシングを行なうことができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の具体的な実施例を図面を参照
して詳細に説明する。図１は本発明のウエハ−マウント
装置の第１実施例を示す概略側面図であり、図中、ラベ
ルシート層１６と粘着材層１７とが積層されて構成され
た粘着ラベル部１８と当該粘着材層１７を被覆する離型
紙テープ部１９とから構成されたウエハ−マウント用テ
ープ３０の当該ラベルシート層１６及び当該粘着材層１
７に予め定められた所定の形状に切断線部Ｂを設けてお
き、当該離型紙テープ部１９を該粘着ラベル部１８から
剥がしながら、所定の形状を有する当該ラベルシート層
Ａをウエハの所定の部位に貼着せしめるウエハ−マウン
ト装置１に於いて、当該ラベルシート層１６と粘着材層
１７とからなる粘着ラベル部１８を少なくとも、ウエハ
に押圧せしめる押圧ローラー手段１０に、当該粘着ラベ
ル部１８の幅方向に張力を付与するテンション付与手段
を設けたウエハ−マウント装置１が示されている。
して詳細に説明する。図１は本発明のウエハ−マウント
装置の第１実施例を示す概略側面図であり、図中、ラベ
ルシート層１６と粘着材層１７とが積層されて構成され
た粘着ラベル部１８と当該粘着材層１７を被覆する離型
紙テープ部１９とから構成されたウエハ−マウント用テ
ープ３０の当該ラベルシート層１６及び当該粘着材層１
７に予め定められた所定の形状に切断線部Ｂを設けてお
き、当該離型紙テープ部１９を該粘着ラベル部１８から
剥がしながら、所定の形状を有する当該ラベルシート層
Ａをウエハの所定の部位に貼着せしめるウエハ−マウン
ト装置１に於いて、当該ラベルシート層１６と粘着材層
１７とからなる粘着ラベル部１８を少なくとも、ウエハ
に押圧せしめる押圧ローラー手段１０に、当該粘着ラベ
ル部１８の幅方向に張力を付与するテンション付与手段
を設けたウエハ−マウント装置１が示されている。
【００１３】図１に示すように、本発明のウエハ−マウ
ント装置１は、ダイシングリング２の形状に合わせて予
め適宜の形状となる様に当該粘着ラベル部１８に切り込
み或いは切断線Ｂを設けたウエハ−マウント用テープ３
０を移動させる為に複数のガイドロ−ラ５が設けられて
おり、更に半導体ウエハ−３とダイシングリング２を載
置した移動可能な支持台７と、当該ウエハ−マウント用
テープ３０に於ける粘着ラベル部１８に設けた、特定の
形状を有する貼着部Ａを半導体ウエハ−３とダイシング
リング２の何れか或いは双方に貼着させるための押圧ロ
ーラー手段１０を備えたものであって、更には、当該押
圧ローラー手段１０に、粘着ラベル部１８の幅方向に所
定の張力を有するテンション付与手段１２（以下、図２
〜図４で詳細に説明）を設けた構成を採っている。
ント装置１は、ダイシングリング２の形状に合わせて予
め適宜の形状となる様に当該粘着ラベル部１８に切り込
み或いは切断線Ｂを設けたウエハ−マウント用テープ３
０を移動させる為に複数のガイドロ−ラ５が設けられて
おり、更に半導体ウエハ−３とダイシングリング２を載
置した移動可能な支持台７と、当該ウエハ−マウント用
テープ３０に於ける粘着ラベル部１８に設けた、特定の
形状を有する貼着部Ａを半導体ウエハ−３とダイシング
リング２の何れか或いは双方に貼着させるための押圧ロ
ーラー手段１０を備えたものであって、更には、当該押
圧ローラー手段１０に、粘着ラベル部１８の幅方向に所
定の張力を有するテンション付与手段１２（以下、図２
〜図４で詳細に説明）を設けた構成を採っている。
【００１４】尚、当該ウエハ−マウント装置１には従来
と同様に、押圧ローラー手段１０には、ウエハ−マウン
ト用テープ３０に於ける当該粘着ラベル部１８の一部を
ダイシングリング２とウエハ−３に押し付ける機構（図
示せず）が別途設けられており、剥離シ−ト（離型紙テ
ープ）１９と該離型紙テープ部１９を引き出すための複
数のガイドロ−ラ９、および当該粘着ラベル部１８から
粘着材層ウエハ離型紙テープ部１９を分離するための分
離板１５が設けられている。
と同様に、押圧ローラー手段１０には、ウエハ−マウン
ト用テープ３０に於ける当該粘着ラベル部１８の一部を
ダイシングリング２とウエハ−３に押し付ける機構（図
示せず）が別途設けられており、剥離シ−ト（離型紙テ
ープ）１９と該離型紙テープ部１９を引き出すための複
数のガイドロ−ラ９、および当該粘着ラベル部１８から
粘着材層ウエハ離型紙テープ部１９を分離するための分
離板１５が設けられている。
【００１５】一方、当該粘着ラベル部１８に於ける当該
特定の形状を有する貼着部Ａは半導体ウエハ−３とダイ
シングリング２に貼着されて、適宜の手段により図１の
左側の方向に引き取られ、又離型紙テープ部１９は当該
粘着ラベル部１８に於ける当該特定の形状を有する貼着
部Ａを除く不要部分と共に、ローラ９を経てロール８に
巻き取られる。
特定の形状を有する貼着部Ａは半導体ウエハ−３とダイ
シングリング２に貼着されて、適宜の手段により図１の
左側の方向に引き取られ、又離型紙テープ部１９は当該
粘着ラベル部１８に於ける当該特定の形状を有する貼着
部Ａを除く不要部分と共に、ローラ９を経てロール８に
巻き取られる。
【００１６】図１に示した第１実施例に用いる本発明に
係るウエハ−マウント用テープ３０の概略図を図２に示
し、また、第１実施例に用いる本発明に係るテンション
付与手段１２を図３および図４に示す。図２は本発明に
於て使用されるウエハ−マウント用テープ３０の一具体
例の構成を示すものであり、上記した様にラベルシート
層１６と粘着材層１７で構成された粘着ラベル部１８と
離型紙テープ部１９とから構成されているものである。
係るウエハ−マウント用テープ３０の概略図を図２に示
し、また、第１実施例に用いる本発明に係るテンション
付与手段１２を図３および図４に示す。図２は本発明に
於て使用されるウエハ−マウント用テープ３０の一具体
例の構成を示すものであり、上記した様にラベルシート
層１６と粘着材層１７で構成された粘着ラベル部１８と
離型紙テープ部１９とから構成されているものである。
【００１７】つまり、本発明に係るウエハ−マウント装
置１としては、ラベルシート層１６と粘着材層１７とが
積層されて構成された粘着ラベル部１８と当該粘着材層
１７を被覆する離型紙テープ部１９とから構成されたウ
エハ−マウント用テープ３０の当該ラベルシート層１６
及び該粘着材層１７に予め定められた所定の形状に切断
線部Ｂを設けておき、当該離型紙テープ部１９を該粘着
ラベル部１８から剥がしながら、所定の形状を有する当
該粘着ラベル部Ｂをウエハ２若しくはウエハとダイシン
グリング３の所定の部位に貼着せしめるウエハ−マウン
ト装置１に於いて、当該粘着ラベル部１８を少なくと
も、ウエハ３に押圧せしめる押圧ローラー手段１０とは
別に、当該押圧ローラー手段１０の上流側に、当該粘着
ラベル部１８の幅方向に張力を付与する機構を別に設け
た構成を有していても良い。
置１としては、ラベルシート層１６と粘着材層１７とが
積層されて構成された粘着ラベル部１８と当該粘着材層
１７を被覆する離型紙テープ部１９とから構成されたウ
エハ−マウント用テープ３０の当該ラベルシート層１６
及び該粘着材層１７に予め定められた所定の形状に切断
線部Ｂを設けておき、当該離型紙テープ部１９を該粘着
ラベル部１８から剥がしながら、所定の形状を有する当
該粘着ラベル部Ｂをウエハ２若しくはウエハとダイシン
グリング３の所定の部位に貼着せしめるウエハ−マウン
ト装置１に於いて、当該粘着ラベル部１８を少なくと
も、ウエハ３に押圧せしめる押圧ローラー手段１０とは
別に、当該押圧ローラー手段１０の上流側に、当該粘着
ラベル部１８の幅方向に張力を付与する機構を別に設け
た構成を有していても良い。
【００１８】上記本発明に係るウエハ−マウント装置１
に於いては、当該押圧ローラー手段１０の一部に少なく
とも当該粘着ラベル部１８を把持する把持機構２８が設
けられている事が好ましい。当該把持機構２８は、例え
ば、当該押圧ローラー手段１０の軸方向に於ける両端部
に設けられたもので有っても良く、更に当該押圧ローラ
ー手段１０と同軸的に回転する様に構成されている事が
望ましい。
に於いては、当該押圧ローラー手段１０の一部に少なく
とも当該粘着ラベル部１８を把持する把持機構２８が設
けられている事が好ましい。当該把持機構２８は、例え
ば、当該押圧ローラー手段１０の軸方向に於ける両端部
に設けられたもので有っても良く、更に当該押圧ローラ
ー手段１０と同軸的に回転する様に構成されている事が
望ましい。
【００１９】本発明に於ける当該把持機構２８は、当該
粘着ラベル部１８の少なくとも両側縁部を把持して、所
定の張力付与機構により互いに離反する方向にバイアス
力を付加されている事が望ましく、それによって、当該
把持機構２８は、当該粘着ラベル部１８を外側方向に伸
長する様なバイアス力を与える事が可能になり、当該粘
着ラベル部１８に於ける弛みや皺の発生は防止出来る。
粘着ラベル部１８の少なくとも両側縁部を把持して、所
定の張力付与機構により互いに離反する方向にバイアス
力を付加されている事が望ましく、それによって、当該
把持機構２８は、当該粘着ラベル部１８を外側方向に伸
長する様なバイアス力を与える事が可能になり、当該粘
着ラベル部１８に於ける弛みや皺の発生は防止出来る。
【００２０】具体的には、図２に示す様に、当該把持機
構は、少なくとも該粘着ラベル部１８を貫通しえる複数
個の突起状部から構成されている事が望ましく、例え
ば、針状体、歯状態、ピン状体を有する構造物によって
構成されている事が望ましい。従って、上記した本発明
に係るウエハ−マウント装置１に於て使用される当該ウ
エハ−マウント用テープ３０としては、例えば、ラベル
シート層１６と粘着材層１７とが積層されて構成された
粘着ラベル部１８と当該粘着材層１７を被覆する離型紙
テープ部１９とから構成されたウエハ−マウント用テー
プであって、当該テープ３０の少なくとも両端縁部に等
間隔で上記突起状物が嵌入しえる孔部２６が設けられて
いる事が好ましい。
構は、少なくとも該粘着ラベル部１８を貫通しえる複数
個の突起状部から構成されている事が望ましく、例え
ば、針状体、歯状態、ピン状体を有する構造物によって
構成されている事が望ましい。従って、上記した本発明
に係るウエハ−マウント装置１に於て使用される当該ウ
エハ−マウント用テープ３０としては、例えば、ラベル
シート層１６と粘着材層１７とが積層されて構成された
粘着ラベル部１８と当該粘着材層１７を被覆する離型紙
テープ部１９とから構成されたウエハ−マウント用テー
プであって、当該テープ３０の少なくとも両端縁部に等
間隔で上記突起状物が嵌入しえる孔部２６が設けられて
いる事が好ましい。
【００２１】即ち、図２及び図３に示す様に、本発明に
係る当該粘着ラベル部１８に於いては、前記した様に、
ダイシングリング２の形状に合わせた形状を有する主要
部Ａが、切断線Ｂに沿って予め打ち抜かれ切り離された
状態（プリカットシ−ト）になっており、また、このテ
ープの幅方向（Ｘ方向）の両端部に等ピッチｐの複数の
孔２６が設けられている。
係る当該粘着ラベル部１８に於いては、前記した様に、
ダイシングリング２の形状に合わせた形状を有する主要
部Ａが、切断線Ｂに沿って予め打ち抜かれ切り離された
状態（プリカットシ−ト）になっており、また、このテ
ープの幅方向（Ｘ方向）の両端部に等ピッチｐの複数の
孔２６が設けられている。
【００２２】図中Ｙはテープの長手方向を示す。図３の
斜視図およびその長軸に沿って切った断面図である図４
に示された本実施例のテンション付与手段１２は、ウエ
ハ−３とダイシングリング２に粘着ラベル部１８を押し
付け、特定の形状に分離された粘着ラベル部１８をウエ
ハ等に貼着する押圧ローラー手段１０に設けられたもの
であり、当該押圧ローラー手段１０の、テープ幅Ｘ方向
の両側に装着されている。
斜視図およびその長軸に沿って切った断面図である図４
に示された本実施例のテンション付与手段１２は、ウエ
ハ−３とダイシングリング２に粘着ラベル部１８を押し
付け、特定の形状に分離された粘着ラベル部１８をウエ
ハ等に貼着する押圧ローラー手段１０に設けられたもの
であり、当該押圧ローラー手段１０の、テープ幅Ｘ方向
の両側に装着されている。
【００２３】このテンショ付与手段１２は、例えば押圧
ローラー手段１０の軸２０と同一軸で回転する２個のピ
ン歯車２８からなっている。押圧ローラー手段１０に装
着されたテンション付与手段１２の内部構造が図４に示
されている。即ち、２個のピン歯車２８は当該軸２０に
それぞれ固定され、又当該軸２０は適宜のベアリング手
段を介して、回転自在に、若しくは積極回転状態に支持
されている。
ローラー手段１０の軸２０と同一軸で回転する２個のピ
ン歯車２８からなっている。押圧ローラー手段１０に装
着されたテンション付与手段１２の内部構造が図４に示
されている。即ち、２個のピン歯車２８は当該軸２０に
それぞれ固定され、又当該軸２０は適宜のベアリング手
段を介して、回転自在に、若しくは積極回転状態に支持
されている。
【００２４】また２個のピン歯車２８の間隔Ｗの中心位
置が常に一定に保たれるように保持機構（図示せず）が
設けられている。該回転軸２０の間には、例えばスプリ
ング２１が設けられており、上記ピン歯車２８の間隔Ｗ
を拡張する方向に予圧（付勢力）を作用させる。またこ
のスプリングの予圧を調節するために調節ねじ棒２３が
設けられている。
置が常に一定に保たれるように保持機構（図示せず）が
設けられている。該回転軸２０の間には、例えばスプリ
ング２１が設けられており、上記ピン歯車２８の間隔Ｗ
を拡張する方向に予圧（付勢力）を作用させる。またこ
のスプリングの予圧を調節するために調節ねじ棒２３が
設けられている。
【００２５】該２個のピン歯車２８の間隔Ｗを拡張する
スプリング２１は、押圧ローラー手段１０の外側に取り
付けることもできる。又、押圧ローラー手段１０は、軸
２０の周囲のベアリング２４により回転自在でしかも軸
方向に移動自在に支持されている。図２のように構成さ
れたウエハ−マウント用テープ３０と図３および図４に
示されたテンション付与手段１２（特にピン歯車２８お
よびスプリング２１）とを使用し、当該ウエハ−マウン
ト用テープ３０に設けた孔２６に該ピン歯車２８の突起
状物を嵌合歯合させるように組み合わせればスプリング
２１の拡張作用によって粘着ラベル部１８の幅方向にテ
ンションが付与されることになる。
スプリング２１は、押圧ローラー手段１０の外側に取り
付けることもできる。又、押圧ローラー手段１０は、軸
２０の周囲のベアリング２４により回転自在でしかも軸
方向に移動自在に支持されている。図２のように構成さ
れたウエハ−マウント用テープ３０と図３および図４に
示されたテンション付与手段１２（特にピン歯車２８お
よびスプリング２１）とを使用し、当該ウエハ−マウン
ト用テープ３０に設けた孔２６に該ピン歯車２８の突起
状物を嵌合歯合させるように組み合わせればスプリング
２１の拡張作用によって粘着ラベル部１８の幅方向にテ
ンションが付与されることになる。
【００２６】次に、上記第１実施例のウエハ−マウント
装置１の動作を図１により説明する。テープロール４か
らウエハ−マウント用テープ３０を引き出し、複数のロ
ール５を介して、分離板１５でウエハ−マウント用テー
プ３０の粘着ラベル部１８の粘着材層１７を保護する離
型紙テープ１９を剥離して離型紙テープロール８に巻き
取る。
装置１の動作を図１により説明する。テープロール４か
らウエハ−マウント用テープ３０を引き出し、複数のロ
ール５を介して、分離板１５でウエハ−マウント用テー
プ３０の粘着ラベル部１８の粘着材層１７を保護する離
型紙テープ１９を剥離して離型紙テープロール８に巻き
取る。
【００２７】一方、分離板１５で分離された予め切断さ
れている粘着ラベル部１８の主要部Ａを押付け押圧ロー
ラー手段１０によって、矢印方向に移動する移動台７に
取り付けられたウエハ−３とダイシングリング２に押し
付け、これに転写して貼り付ける。一方、当該移動台７
の移動はウエハ−マウント用テープ３０の搬送速度に同
期されており、粘着ラベル部１８の主要部Ａが所定のウ
エハ−とダイシングリングに貼り付けられるウエハ−マ
ウントプロセスが行なわれる。
れている粘着ラベル部１８の主要部Ａを押付け押圧ロー
ラー手段１０によって、矢印方向に移動する移動台７に
取り付けられたウエハ−３とダイシングリング２に押し
付け、これに転写して貼り付ける。一方、当該移動台７
の移動はウエハ−マウント用テープ３０の搬送速度に同
期されており、粘着ラベル部１８の主要部Ａが所定のウ
エハ−とダイシングリングに貼り付けられるウエハ−マ
ウントプロセスが行なわれる。
【００２８】前に説明したように、押圧ローラー手段１
０にはウエハ−マウント用テープの幅方向に対応する両
側にテンション付与手段１２が設けられているため、こ
のウエハ−マウントプロセス時に粘着テープの幅方向に
テンションがかけられ、ウエハ−３に対し均一なテンシ
ョンで粘着ラベル部１８が貼着される。次に、図５を参
照して本発明のウエハ−マウント装置の第２実施例を説
明する。
０にはウエハ−マウント用テープの幅方向に対応する両
側にテンション付与手段１２が設けられているため、こ
のウエハ−マウントプロセス時に粘着テープの幅方向に
テンションがかけられ、ウエハ−３に対し均一なテンシ
ョンで粘着ラベル部１８が貼着される。次に、図５を参
照して本発明のウエハ−マウント装置の第２実施例を説
明する。
【００２９】図５に示したウエハ−マウント装置３１
は、図１に示したウエハ−マウント装置１における押圧
ローラー手段１０とテンション付与手段１２を分離して
配置した実施例である。すなわち、図５の実施例ではウ
エハ−３とダイシングリング２に粘着テープを貼り付け
るための従来と同様の押圧ローラー手段１０と、その押
圧ローラー手段に隣接する直前のガイドロール５にテン
ション付与手段１２を取り付けたロール３２とが設けら
れている。
は、図１に示したウエハ−マウント装置１における押圧
ローラー手段１０とテンション付与手段１２を分離して
配置した実施例である。すなわち、図５の実施例ではウ
エハ−３とダイシングリング２に粘着テープを貼り付け
るための従来と同様の押圧ローラー手段１０と、その押
圧ローラー手段に隣接する直前のガイドロール５にテン
ション付与手段１２を取り付けたロール３２とが設けら
れている。
【００３０】このような構成のウエハ−マウント装置３
１によってロール３２でウエハ−マウント用テープ３０
に予め粘着ラベル部１８の幅方向にテンションを与えた
後、押圧ローラー手段１０でウエハ−３とダイシングリ
ング２に粘着テープ４ａを貼り付けることができる。こ
のため実施例１と同様の効果を得ることができる。上記
した各具体例の構成から理解される様に、本発明に係る
ウエハ−マウント方法は、ラベルシート層と粘着材層と
が積層されて構成された粘着ラベル部と当該粘着材層を
被覆する離型紙テープ部とから構成されたウエハ−マウ
ント用テープの当該ラベルシート層と該粘着材層に予め
定められた所定の形状に切断線部を設けておき、当該離
型紙テープ部を該粘着ラベル部から剥がしながら、所定
の形状を有する当該粘着ラベル部をウエハの所定の部位
に貼着せしめるウエハ−マウント方法に於いて、少なく
とも、当該粘着ラベル部の幅方向に張力を付与しながら
当該ウエハに当該粘着ラベル部を貼着する様に構成され
たウエハ−マウント方法であり、特には、上記構成に於
て、当該粘着ラベル部と該離型紙テープ部の双方の幅方
向に張力を付与しながら当該ウエハに当該粘着ラベル部
を貼着する様に構成される事が望ましい。
１によってロール３２でウエハ−マウント用テープ３０
に予め粘着ラベル部１８の幅方向にテンションを与えた
後、押圧ローラー手段１０でウエハ−３とダイシングリ
ング２に粘着テープ４ａを貼り付けることができる。こ
のため実施例１と同様の効果を得ることができる。上記
した各具体例の構成から理解される様に、本発明に係る
ウエハ−マウント方法は、ラベルシート層と粘着材層と
が積層されて構成された粘着ラベル部と当該粘着材層を
被覆する離型紙テープ部とから構成されたウエハ−マウ
ント用テープの当該ラベルシート層と該粘着材層に予め
定められた所定の形状に切断線部を設けておき、当該離
型紙テープ部を該粘着ラベル部から剥がしながら、所定
の形状を有する当該粘着ラベル部をウエハの所定の部位
に貼着せしめるウエハ−マウント方法に於いて、少なく
とも、当該粘着ラベル部の幅方向に張力を付与しながら
当該ウエハに当該粘着ラベル部を貼着する様に構成され
たウエハ−マウント方法であり、特には、上記構成に於
て、当該粘着ラベル部と該離型紙テープ部の双方の幅方
向に張力を付与しながら当該ウエハに当該粘着ラベル部
を貼着する様に構成される事が望ましい。
【００３１】更に、当該所定の形状を有する当該ラベル
シート層は、ウエハ及びダイシングリングに貼着せしめ
られるものである事が好ましく、又、当該粘着ラベル部
に幅方向の張力を付与する操作は、当該粘着ラベル部の
少なくとも一部が当該ウエハに押しつけられる時点に於
て実行される様に構成されている事も望ましい。
シート層は、ウエハ及びダイシングリングに貼着せしめ
られるものである事が好ましく、又、当該粘着ラベル部
に幅方向の張力を付与する操作は、当該粘着ラベル部の
少なくとも一部が当該ウエハに押しつけられる時点に於
て実行される様に構成されている事も望ましい。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によればウ
エハ−マウント工程において、粘着シ−ト（テープ）の
長手方向と幅方向のテンションのばらつきを少なくする
ことができる。その結果、ダイシング後のダイシングラ
イン幅（カ−フ幅）が均一に保持され、半導体製品の品
質が向上すると共に製品歩留を向上させることができ
る。
エハ−マウント工程において、粘着シ−ト（テープ）の
長手方向と幅方向のテンションのばらつきを少なくする
ことができる。その結果、ダイシング後のダイシングラ
イン幅（カ−フ幅）が均一に保持され、半導体製品の品
質が向上すると共に製品歩留を向上させることができ
る。
【００３３】さらに本発明によれば、粘着シ−トの長手
方向と幅方向の位置ずれを防止することができる。その
結果、ダイシングリングへの貼着（貼付け）精度が向上
し、調整作業の簡略化を図ることができる。
方向と幅方向の位置ずれを防止することができる。その
結果、ダイシングリングへの貼着（貼付け）精度が向上
し、調整作業の簡略化を図ることができる。
【図１】図１は、本発明のウエハ−マウント装置の第１
実施例を示す概略側面図。
実施例を示す概略側面図。
【図２】図２は、本発明に係るウエハ−マウント用テー
プをウエハ−マウントする前のウエハ−マウント用テー
プの形態図である。
プをウエハ−マウントする前のウエハ−マウント用テー
プの形態図である。
【図３】図３は、第１実施例に用いる本発明に係るテン
ション付与手段１２の構成の一例を説明するための斜視
図である。
ション付与手段１２の構成の一例を説明するための斜視
図である。
【図４】図４は、図３に占めるテンション付与手段１２
の断面図である。
の断面図である。
【図５】図５は、本発明のウエハ−マウント装置の第２
実施例を示す概略側面図。
実施例を示す概略側面図。
【図６】図６は、従来の粘着テープをウエハ−マウント
する前の粘着テープロールの形態図である。
する前の粘着テープロールの形態図である。
１，３１…ウエハ−マウント装置 ２…ダイシングリング ３…ウエハ− ４…粘着テープロール ５…ガイドロ−ラ ７…移動手段 ８…離型紙テープ巻取り手段 １０…押圧ローラー手段 １２…テンション付与手段 １５…分離板 １６…ラベルシート層 １７…粘着材層 １８…粘着ラベル部 １９…離型紙テープ部 ２６…孔部 ２８…把持機構 ３０…ウエハ−マウント用テープ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−51249（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−340746（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−211675（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−100052（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−302572（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−216242（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−142156（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−112494（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−33845（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/301 B65H 20/20 B65H 23/025
Claims (10)
- 【請求項１】 ラベルシート層と粘着材層とが積層され
て構成された粘着ラベル部と当該粘着材層を被覆する離
型紙テープ部とから構成されたウエハ−マウント用テー
プの当該ラベルシート層に予め定められた所定の形状に
切断線部を設けておき、当該離型紙テープ部を該粘着ラ
ベル部から剥がしながら、所定の形状を有する当該粘着
ラベル部をウエハの所定の部位に貼着せしめるウエハ−
マウント装置に於いて、当該粘着ラベル部を少なくと
も、ウエハに押圧せしめる押圧ローラー手段を設けると
共に、当該押圧ローラー手段の一部に少なくとも当該粘
着ラベル部を把持する把持機構が設けられ、且つ当該把
持機構は、当該押圧ローラー手段の軸方向に於ける両端
部に設けられていると同時に、当該粘着ラベル部の幅方
向に張力を付与する機構を有しており、且つ当該押圧ロ
ーラー手段と同軸的に回転する様に構成されている事を
特徴とするウエハ−マウント装置。 - 【請求項２】 当該把持機構は、所定の張力付与機構に
より互いに離反する方向にバイアス力を付加されている
事を特徴とする請求項１記載のウエハ−マウント装置。 - 【請求項３】 当該把持機構は、少なくとも該粘着ラベ
ル部を貫通しえる複数個の突起状部から構成されている
事を特徴とする請求項１又は２に記載のウエハ−マウン
ト装置。 - 【請求項４】 当該押圧ローラー手段と当該把持機構の
回転軸との間にベアリングが設けられている事を特徴と
する請求項１乃至３の何れかに記載のウエハ−マウント
装置。 - 【請求項５】 当該一対の把持機構の間にスプリングが
設けられている事を特徴とする請求項１乃至４の何れか
に記載のウエハ−マウント装置。 - 【請求項６】 ラベルシート層と粘着材層とが積層され
て構成された粘着ラベル部と当該粘着材層を被覆する離
型紙テープ部とから構成されたウエハ−マウント用テー
プの当該ラベルシート層及び該粘着材層に予め定められ
た所定の形状に切断線部を設けておき、当該離型紙テー
プ部を該粘着ラベル部から剥がしながら、所定の形状を
有する当該粘着ラベル部をウエハの所定の部位に貼着せ
しめるウエハ−マウント装置に於いて、当該粘着ラベル
部を少なくとも、ウエハに押圧 せしめる押圧ローラー手
段とは別で、当該押圧ローラー手段の上流側に設けられ
たガイドローラに、当該粘着ラベル部を把持する把持機
構が設けられ、且つ当該把持機構は、当該ガイドローラ
ー手段の軸方向に於ける両端部に設けられていると同時
に、当該粘着ラベル部の幅方向に張力を付与する機構を
有しており、且つ当該ガイドーラー手段と同軸的に回転
する様に構成されている事を特徴とするウエハ−マウン
ト装置。 - 【請求項７】 当該把持機構は、所定の張力付与機構に
より互いに離反する方向にバイアス力を付加されている
事を特徴とする請求項６記載のウエハ−マウント装置。 - 【請求項８】 当該把持機構は、少なくとも該粘着ラベ
ル部を貫通しえる複数個の突起状部から構成されている
事を特徴とする請求項６又は７に記載のウエハ−マウン
ト装置。 - 【請求項９】 当該押圧ローラー手段と当該把持機構の
回転軸との間にベアリングが設けられている事を特徴と
する請求項６乃至８の何れかに記載のウエハ−マウント
装置。 - 【請求項１０】 当該一対の把持機構の間にスプリング
が設けられている事を特徴とする請求項６乃至９の何れ
かに記載のウエハ−マウント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23552697A JP3171148B2 (ja) | 1997-09-01 | 1997-09-01 | ウエハ−マウント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23552697A JP3171148B2 (ja) | 1997-09-01 | 1997-09-01 | ウエハ−マウント装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1174231A JPH1174231A (ja) | 1999-03-16 |
| JP3171148B2 true JP3171148B2 (ja) | 2001-05-28 |
Family
ID=16987289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23552697A Expired - Fee Related JP3171148B2 (ja) | 1997-09-01 | 1997-09-01 | ウエハ−マウント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3171148B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001223186A (ja) * | 2000-02-09 | 2001-08-17 | Lintec Corp | 転写テープマウント装置および転写テープマウント方法 |
| JP4654334B2 (ja) * | 2001-04-13 | 2011-03-16 | Ｕｈｔ株式会社 | ワークホルダへのワークの保持方法及びその装置 |
| KR100819792B1 (ko) * | 2002-01-09 | 2008-04-07 | 삼성테크윈 주식회사 | 반도체 팩키지 제조용 테이프 커버 박리 장치 및, 테이프커버 박리 방법 |
| JP2003209082A (ja) * | 2002-01-15 | 2003-07-25 | Nitto Denko Corp | 保護テープの貼付方法およびその装置並びに保護テープの剥離方法 |
| JP4841262B2 (ja) | 2006-02-13 | 2011-12-21 | 株式会社東京精密 | ウェーハ処理装置 |
| JP4693696B2 (ja) | 2006-06-05 | 2011-06-01 | 株式会社東京精密 | ワーク処理装置 |
| JP6034682B2 (ja) * | 2012-12-07 | 2016-11-30 | リンテック株式会社 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
| JP6053132B2 (ja) * | 2012-12-07 | 2016-12-27 | リンテック株式会社 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
-
1997
- 1997-09-01 JP JP23552697A patent/JP3171148B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1174231A (ja) | 1999-03-16 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |