JP5519235B2 - 粘着テープ貼着装置 - Google Patents
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Description
3 テープ体セット部
4 剥離紙回収部
11 第一の従動ローラー(第三のローラー、張力発生部)
12 第二の従動ローラー(第四のローラー、張力発生部)
13 剥離プレート(テープ剥離部)
14 貼着ローラー(貼着部)
15 第一の送りローラー(第一のローラー、送りローラー部)
16 第二の送りローラー(第二のローラー、送りローラー部)
21 従動ローラー移動機構(第四のローラー移動機構)
23 挟持位置(第三の作用位置)
24 待機位置(第三の待機位置)
26 剥離プレート移動機構(テープ剥離部移動機構)
28 折り返し位置(第一の作用位置)
29 待機位置(第一の待機位置)
32 送りローラー移動機構(第二のローラー移動機構)
34 送り位置(第二の作用位置)
35 待機位置(第二の待機位置)
64 環状フレーム
65 テープ体
66 テープ体ロール
67 粘着テープ原反
68 粘着テープ
69 剥離紙
W 半導体ウェーハ(ワーク)
Claims (1)
- 剥離紙の被貼着面にワークを支持する開口部を有する環状フレームの外径より小さく内径より大きい径を有する複数の粘着テープの貼着面が貼着された形態のテープ体がロール状に巻きつけられたテープ体ロールをセットするテープ体セット部と、
前記テープ体の前記剥離紙を巻き取って回収する剥離紙回収部と、
前記テープ体セット部と前記剥離紙回収部との間に配設され、前記テープ体の剥離紙側を押圧して前記テープ体を前記剥離紙側に屈曲させることによって前記粘着テープを前記剥離紙から剥離させて送り出すテープ剥離部と、
前記テープ剥離部によって送り出された前記粘着テープの前記貼着面を前記環状フレーム及び前記環状フレームの開口部中に設置されたワークに対向させて前記粘着テープを前記環状フレーム及びワークに向けて押圧することによって前記粘着テープを前記環状フレーム及びワークに貼着する貼着部と、
前記テープ剥離部と前記剥離紙回収部の間に配設され、前記被貼着面に当接する第一のローラー及び前記剥離紙の前記被貼着面の反対側の面に当接する第二のローラーで前記粘着テープが剥離された前記剥離紙を挟み込んで回転することによって前記剥離紙を前記剥離紙回収部に向けて送る送りローラー部と、
前記テープ体セット部と前記テープ剥離部との間に配設され、前記粘着テープの前記貼着面の反対側の面に当接する第三のローラー及び前記剥離紙の前記被貼着面の反対側の面に当接する第四のローラーで前記テープ体を挟み込むことによって前記テープ剥離部において前記テープ体に張力を発生させる張力発生部と、を含む粘着テープ貼着装置であって、
前記テープ剥離部を前記テープ体に張力を発生させる第一の作用位置と前記テープ体に接触しない第一の待機位置とに選択的に位置付けるテープ剥離部移動機構と、
前記第二のローラーを前記第一のローラーと前記第二のローラーによって前記剥離紙を挟み込む第二の作用位置と前記テープ体に接触しない第二の待機位置とに選択的に位置付ける第二のローラー移動機構と、
前記第四のローラーを前記第三のローラーと前記第四のローラーによって前記テープ体を挟み込む第三の作用位置と前記テープ体に接触しない第三の待機位置とに選択的に位置付ける第四のローラー移動機構と、を含み、
前記第一の待機位置と前記第二の待機位置と前記第三の待機位置とは前記テープ体ロールを前記テープ体セット部にセットして前記テープ体の一端を前記剥離紙回収部に取り付ける妨げとならない位置であり、
前記テープ体ロールを保持したカートリッジを取り付けることによって前記テープ体ロールが前記テープ体セット部にセットされ、
前記カートリッジを取り付けた後、前記テープ剥離部が前記第一の待機位置から前記第一の作用位置に、前記第二のローラーが前記第二の待機位置から前記第二の作用位置に、前記第四のローラーが前記第三の待機位置から前記第三の作用位置にそれぞれ位置付けられることによって、前記テープ体が搬送経路に沿ってセッティングされることを特徴とする粘着テープ貼着装置。
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