JP2017163092A - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】装置の大型化を防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】接着シートASを供給する供給手段20と、供給手段20との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体WFに、当該供給手段20で供給される接着シートASを貼付する貼付手段40と、被着体WFに貼付された既貼付接着シートAS1および当該被着体WFの少なくとも一方の状態を検査する検査手段50とを備え、検査手段50の検査結果を基にして、既貼付接着シートAS1の次に供給手段20が供給する次の接着シートAS2を貼付手段40が当該既貼付接着シートAS1に貼付するとともに、既貼付接着シートAS1を介して次の接着シートAS2が貼付された被着体WFをシート貼付方向の逆方向へ相対移動させることで、既貼付接着シートAS1を当該被着体WFから剥離する。【選択図】図1

Description

本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。
従来、被着体に貼付した接着シートの貼付不良を検出すると、当該貼付不良と判断された接着シートを被着体から剥離する装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2012−81650号公報
しかしながら、特許文献1に記載された従来の装置では、基板(被着体)に両面粘着テープ(接着シート)を貼付するものと、当該被着体から接着シートを剥離するものとが別体で構成されているため、装置が大型化するという不都合がある。
本発明の目的は、装置の大型化を防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、接着シートを供給する供給手段と、前記供給手段との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体に、当該供給手段で供給される前記接着シートを貼付する貼付手段と、前記被着体に貼付された既貼付接着シートおよび当該被着体の少なくとも一方の状態を検査する検査手段とを備え、前記検査手段の検査結果を基にして、前記既貼付接着シートの次に前記供給手段が供給する次の接着シートを前記貼付手段が当該既貼付接着シートに貼付するとともに、前記既貼付接着シートを介して前記次の接着シートが貼付された被着体を前記シート貼付方向の逆方向へ相対移動させることで、前記既貼付接着シートを当該被着体から剥離することを特徴とする。
この際、本発明のシート貼付装置では、前記既貼付接着シートに貼付された次の接着シートおよび当該既貼付接着シートの少なくとも一方を把持する把持手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記既貼付接着シートに貼付された次の接着シートを前記供給手段の繰出方向の逆方向へ送る逆送手段を備えていることが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置では、前記被着体から剥離する既貼付接着シートの剥離角度を調整する剥離角度調整手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記被着体から前記既貼付接着シートを剥離する前段で、当該既貼付接着シートの接着力を低下させる接着力低下手段を備えていることが好ましい。
一方、本発明のシート貼付方法は、接着シートを供給手段で供給する供給工程と、前記供給手段との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体に、当該供給手段で供給される前記接着シートを貼付する貼付工程と、前記被着体に貼付された既貼付接着シートおよび当該被着体の少なくとも一方の状態を検査する検査工程とを含み、前記検査工程の検査結果を基にして、前記既貼付接着シートの次に前記供給手段が供給する次の接着シートを当該既貼付接着シートに貼付するとともに、前記既貼付接着シートを介して前記次の接着シートが貼付された被着体を前記シート貼付方向の逆方向へ相対移動させることで、前記既貼付接着シートを当該被着体から剥離する剥離工程を有することを特徴とする。
以上のような本発明によれば、被着体に接着シートを貼付するものを被着体から接着シートを剥離するものとしても機能させることができるので、装置の大型化を防止することができる。
この際、把持手段を備えれば、既貼付接着シートを確実に被着体から剥離することができる。
また、逆送手段を備えれば、既貼付接着シートを剥離するために被着体をシート貼付方向の逆方向へ相対移動させる距離と、当該既貼付接着シートを剥離する時間とを短縮することができる。
さらに、剥離角度調整手段を備えれば、既貼付接着シートの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じた好適な剥離角度での剥離が行える。なお、供給手段の一部が剥離角度調整手段としても機能する構成とすれば、1つの部材で2つの機能を発揮させることができ、装置の大型化をさらに防止することができる。
また、接着力低下手段を備えれば、既貼付接着シートを被着体から簡単に剥離することができる。
本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。 (A)〜(E)は、シート貼付装置の動作説明図。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
図1において、シート貼付装置10は、接着シートASを供給する供給手段20と、供給手段20と被着体としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という場合がある)WFとを相対移動可能な搬送手段30と、供給手段20との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動されるウエハWFに、当該供給手段20で供給される接着シートASを貼付する貼付手段としての押圧ローラ40と、ウエハWFに貼付された既貼付接着シートAS1および当該ウエハWFの少なくとも一方の状態を検査する検査手段であって撮像手段としてのカメラ50と、既貼付接着シートAS1に貼付された次の接着シートAS2および当該既貼付接着シートAS1の少なくとも一方を把持する把持手段60と、既貼付接着シートAS1に貼付された次の接着シートAS2を供給手段20の繰出方向FDの逆方向である反繰出方向WDへ送る逆送手段70と、ウエハWFから既貼付接着シートAS1を剥離する前段で、当該既貼付接着シートAS1の接着力を低下させる接着力低下手段80とを備えている。なお、本実施形態の場合、接着シートASは、紫外線によってその接着力が低下するものが採用されている。
供給手段20は、駆動機器としての回動モータ21Aによって駆動され、帯状の剥離シートRLの一方の面に接着シートASが仮着された原反RSを支持する支持ローラ21と、原反RSを案内するガイドローラ22と、ブラケット23Aに回転自在に支持され、剥離シートRLを折り返して当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段としての剥離ローラ23と、駆動機器としての回動モータ24Aによって駆動され、ピンチローラ25とで剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ24と、剥離シートRLを回収する回収ローラ26とを備えている。
搬送手段30は、駆動機器としてのリニアモータ31のスライダ31Aに支持されたベーステーブル32と、ベーステーブル32に支持された駆動機器としての直動モータ33と、直動モータ33の出力軸33Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面34Aを有する支持テーブル34とを備えている。
把持手段60は、その出力軸61Aでブラケット23Aの右端側を支持する駆動機器としての回動モータ61を備えている。
逆送手段70は、その出力軸71Aで押圧ローラ40を支持する駆動機器としての回動モータ71を備えている。
接着力低下手段80は、駆動機器としてのリニアモータ81のスライダ81Aに支持された紫外線照射装置82を備えている。紫外線照射装置82の前後方向の長さは、ウエハWFまたは接着シートASの前後方向の最大長さよりも長く設定されている。
以上のシート貼付装置10において、ウエハWFに接着シートASを貼付する手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図1中実線で示す状態のシート貼付装置10に対し、作業者が原反RSを同図のようにセットし、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、供給手段20が回動モータ21A、24Aを駆動し、原反RSを繰り出す。そして、図1中実線で示すように、先頭の接着シートASの先端が剥離ローラ23で剥離シートRLから所定長さ剥離されたことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、供給手段20が回動モータ21A、24Aの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。次に、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段によって、ウエハWFが支持面34A上に載置されると、搬送手段30が図示しない減圧手段を駆動し、支持面34AでウエハWFの吸着保持を開始する。その後、搬送手段30がリニアモータ31を駆動し、支持テーブル34を左方へ移動させることで、供給手段20とウエハWFとをシート貼付方向へ相対移動させる。次いで、ウエハWFが所定の位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、供給手段20が回動モータ21A、24Aを駆動し、原反RSを繰出方向FDへ繰り出してウエハWFの移動速度に合わせて接着シートASを供給する。これにより、剥離ローラ23で剥離シートRLから接着シートASが剥離され、図1中二点鎖線で示すように、当該接着シートASが押圧ローラ40によってウエハWFの上面に押圧されて貼付され、一体物WKが形成される。このとき、押圧ローラ40は、回動モータ71によって駆動され、移動するウエハWFに合わせて回転駆動するようにしてもよいし、回動モータ71によって駆動されることなく、移動するウエハWFに合わせて従動回転するようにしてもよい。一体物WKが形成された後、次の接着シートAS2の先端が剥離ローラ23で所定長さ剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、供給手段20が回動モータ21A、24Aの駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。
押圧ローラ40によってウエハWFの上面に接着シートASが貼付されると、当該押圧ローラ40の左方でカメラ50による検査が行われ、当該検査が完了すると、搬送手段30がリニアモータ31の駆動を停止し、支持テーブル34を図1中二点鎖線で示す位置で停止させる。カメラ50は、例えば、ウエハWFと既貼付接着シートAS1との間に気泡や異物が混入している場合や、既貼付接着シートAS1に皺や折れ曲がりが形成されてウエハWFに貼付されている場合や、ウエハWFと既貼付接着シートAS1とがずれて貼付されている場合や、既貼付接着シートAS1に破れや損傷等がある場合や、ウエハWFに割れや損傷等がある場合等を貼付不良とし、当該貼付不良が検出された場合、電気や電波等の所定の信号を出力する。そして、カメラ50が貼付不良を検出して所定の信号を出力すると、当該カメラ50の検査結果を基にして、既貼付接着シートAS1の次に供給手段20が供給する次の接着シートAS2を押圧ローラ40が当該既貼付接着シートAS1に貼付するとともに、既貼付接着シートAS1を介して次の接着シートAS2が貼付されたウエハWFをシート貼付方向の逆方向へ相対移動させることで、既貼付接着シートAS1を当該ウエハWFから剥離する動作を開始する。すなわち、カメラ50が所定の信号を出力すると、搬送手段30が直動モータ33を駆動し、図1中二点鎖線で示す位置で支持テーブル34を下降させた後、リニアモータ31を駆動し、図2(A)に示すように、既貼付接着シートAS1の右端部(繰出方向後端部)が押圧ローラ40の最下部よりも右方に位置するまで供給手段20とウエハWFとを相対移動させる。このとき、接着力低下手段80がリニアモータ81および紫外線照射装置82を駆動し、当該紫外線照射装置82を左方に移動させて既貼付接着シートAS1全体に紫外線を照射した後、当該紫外線照射装置82を初期位置に復帰させることで、既貼付接着シートAS1全体の接着力を低下させる。その後、搬送手段30が直動モータ33およびリニアモータ31を駆動し、支持テーブル34を上昇させた後、支持テーブル34を左方へ移動させることで、供給手段20とウエハWFとをシート貼付方向へ相対移動させるとともに、供給手段20が回動モータ21A、24Aを駆動し、原反RSを繰出方向FDへ繰り出してウエハWFの移動速度に合わせて接着シートASを供給する。これにより、剥離ローラ23で剥離シートRLから次の接着シートAS2が剥離され、図2(B)に示すように、当該次の接着シートAS2が押圧ローラ40によって既貼付接着シートAS1の上面に押圧されて貼付される。そして、次の接着シートAS2が既貼付接着シートAS1の右端にまで貼付されたことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、供給手段20および搬送手段30が回動モータ21A、24Aおよびリニアモータ31の駆動を停止する。次いで、搬送手段30および把持手段60が直動モータ33および回動モータ61を駆動し、図2(C)に示すように、支持テーブル34を下降させるとともに、ブラケット23Aを時計回転方向に移動させ、次の接着シートAS2および剥離シートRLを剥離ローラ23と押圧ローラ40とで把持する。そして、搬送手段30がリニアモータ31を駆動し、支持テーブル34を右方へ移動させることで、供給手段20とウエハWFとをシート貼付方向の逆方向へ相対移動させるとともに、供給手段20および逆送手段70が回動モータ21A、24Aおよび71を駆動し、次の接着シートAS2および既貼付接着シートAS1を反繰出方向WDへ送る。これにより、図2(D)に示すように、既貼付接着シートAS1は、ウエハWFから順次剥離され、剥離された既貼付接着シートAS1は、図2(E)に示すように、次の接着シートAS2と共に人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない除去手段によって、剥離シートRL上から除去される。その後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させた後、上記と同様にして、除去された次の接着シートAS2の繰出方向FD上流側に位置するさらに次の接着シートASの先端が図1中実線で示すように、剥離ローラ23で剥離シートRLから所定長さ剥離されて再びスタンバイ状態となる。次いで、上記と同様にして、さらに次の接着シートASがウエハWFに貼付され、最終的に、カメラ50が貼付不良を検出しなくなるまで上記と同様の動作が繰り返される。そして、搬送手段30が支持テーブル34を図1中二点鎖線で示す位置で停止させた時点で、カメラ50が貼付不良を検出していなければ、搬送手段30が図示しない減圧手段の駆動を停止する。その後、人手または図示しない移送手段が支持面34A上の一体物WKを保持して次工程に搬送した後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降同様の動作が繰り返される。
以上のような実施形態によれば、ウエハWFに接着シートASを貼付するものをウエハWFから接着シートASを剥離するものとしても機能させることができるので、装置の大型化を防止することができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、接着シートを供給可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程も同様でありその説明は省略する)。
供給手段20は、剥離シートRLに仮着された帯状の接着シート基材に複数の閉ループ状の切込が形成されることで、その内側が接着シートASとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートRLに仮着された原反が採用された場合、カッター刃、カッターローラ、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材により、接着シート基材を所定形状に切断してその内側を接着シートASとしてもよいし、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしてもよいし、接着シートASを剥離シートRLから剥離する際、原反RSに所定の張力が付与されるように各回動モータ21A、24Aのトルク制御を行ってもよいし、剥離シートRLに仮着されていない接着シートASを供給してもよいし、次の接着シートAS2を逆送手段70が反繰出方向WDへ送る際、回動モータ21Aを駆動させなくてもよく、この場合、回動モータ21Aはなくてもよい。
剥離手段は、剥離ローラ23に代えてまたは併用して、板状部材やシャフト部材等を採用してもよい。
搬送手段30は、支持テーブル34を移動させることなく、供給手段20を右方へ移動させたり、支持テーブル34を左方へ移動させつつ、供給手段20を右方へ移動させたりして供給手段20とウエハWFとをシート貼付方向へ相対移動させてもよいし、支持テーブル34を移動させることなく、供給手段20を左方へ移動させたり、支持テーブル34を右方へ移動させつつ、供給手段20を左方へ移動させたりして供給手段20とウエハWFとをシート貼付方向の逆方向へ相対移動させてもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等でウエハWFを支持する構成でもよいし、ウエハWFへの接着シートASの貼付やウエハWFからの接着シートASの剥離が行えれば、それらのような強制的にウエハWFを支持するものを設けなくてもよいし、支持テーブル34を昇降させる直動モータ33を設けなくてもよいし、他の装置で供給手段20とウエハWFとを相対移動可能であれば、当該搬送手段30はなくてもよい。
貼付手段は、押圧ローラ40に代えてまたは併用して、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ、大気やガス等のエアの吹き付け等を採用して接着シートASをウエハWFに貼付する構成でもよいし、押圧ローラ40の表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、接着シートASを保持して押圧する構成でもよい。
検査手段は、カメラ50に代えてまたは併用して、光学センサ、超音波センサ、エコーセンサ、レーザセンサ、圧力センサ、磁石等の金属検知手段等の非接触型のセンサを採用してもよいし、ローラやシャフト等の接触部材を接触させて貼付状態を検査するリミットスイッチ等の接触型のセンサを採用してもよいし、作業者による目視でもよい。検査手段が作業者の目視の場合、作業者が貼付不良を検出すると、当該作業者がスイッチや押し釦等の信号出力手段を介して所定の信号を出力するようにすればよい。なお、検査手段は、貼付状態を検査しやすくするための検査補助手段を備えていてもよく、このような検査補助手段は、気泡を大きくするための気圧調整手段やコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、撮像条件を向上させる照明手段等を採用してもよい。
把持手段60は、次の接着シートAS2および剥離シートRLを剥離ローラ23と押圧ローラ40とで把持した後、逆送手段70が回動モータ71の駆動をロックした状態としておき、搬送手段30がリニアモータ31を駆動し、支持テーブル34を右方へ移動させることで、供給手段20とウエハWFとをシート貼付方向の逆方向へ相対移動させてウエハWFから既貼付接着シートAS1を剥離してもよいし、逆送手段70で次の接着シートAS2を反繰出方向WDへ送った後、既貼付接着シートAS1を剥離シートRLと共に、または、既貼付接着シートAS1を剥離シートRLおよび次の接着シートAS2と共に、剥離ローラ23と押圧ローラ40とで挟み込んだ時点で、逆送手段70が回動モータ71の駆動をロックした状態とし、上記と同様にしてウエハWFから既貼付接着シートAS1を剥離してもよい。なお、把持手段60は、既貼付接着シートAS1がウエハWFと同じ方向に移動して剥離ができなくなることを防止できればどのような構成でもよく、例えば、剥離ローラ23を移動させずに押圧ローラ40を移動させたり、剥離ローラ23と押圧ローラ40との両方を移動させたりして、次の接着シートAS2および既貼付接着シートAS1の少なくとも一方を把持する構成としてもよいし、押圧ローラ40以外の貼付手段や接着シートASをウエハWFに押圧することのない他の部材と、剥離ローラ23以外の剥離手段や接着シートASを剥離シートRLから剥離することのない他の部材とで、次の接着シートAS2および既貼付接着シートAS1の少なくとも一方を把持してもよいし、剥離ローラ23を直線的に移動させて押圧ローラ40とで、次の接着シートAS2および既貼付接着シートAS1の少なくとも一方を挟み込む構成としてもよいし、次の接着シートAS2および既貼付接着シートAS1の少なくとも一方が把持されなくても、当該既貼付接着シートAS1がシート貼付方向の逆方向へ相対移動されるウエハWFと共に移動しなければなくてもよい。
逆送手段70は、次の接着シートAS2を反繰出方向WDへ送ることができればどのような構成でもよく、例えば、押圧ローラ40および剥離ローラ23の少なくとも一方を駆動機器で駆動するようにしてもよいし、駆動機器で駆動される駆動ローラ(押圧ローラ40でもよい)と回転自在な従動ローラと駆動ローラおよび従動ローラに掛け回された平ベルトや丸ベルト等のベルト部材とで構成してもよいし、押圧ローラ40を駆動させる構成でなくてもよいし、なくてもよい。
接着力低下手段80は、図1中二点鎖線で示す位置で停止している一体物WKに対し、紫外線照射装置82を左方に移動させて既貼付接着シートAS1全体に紫外線を照射してもよいし、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段、紫外線、赤外線、X線、マイクロ波等の電磁波照射手段、超音波振動装置、偏芯モータ、バイブレータ等の振動手段、レーザ照射手段、乾燥機、送風機、プラズマ照射機等、既貼付接着シートAS1の特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じて当該既貼付接着シートAS1の接着力を低下できるものであれば何でもよいし、既貼付接着シートAS1の接着力を一括で低下するように構成してもよいし、前後方向の長さがウエハWFまたは既貼付接着シートAS1の前後方向の最大長さよりも短く設定され、既貼付接着シートAS1の接着力を部分的に低下するように構成し、一体物WKとの相対移動で当該既貼付接着シートAS1全体の接着力が低下するように構成してもよいし、なくてもよい。
シート貼付装置10は、回動モータ61、ブラケット23Aおよび剥離ローラ23を、既貼付接着シートAS1の剥離角度θ(図2(D)参照)を調整する剥離角度調整手段90として機能させてもよい。この場合、ウエハWFから既貼付接着シートAS1を剥離するときに、当該剥離角度調整手段90が回動モータ61を駆動し、ブラケット23Aを介して剥離ローラ23を昇降させて剥離角度θを調整すればよい。なお、剥離ローラ23をウエハWFから遠ざけると剥離角度θが小さくなり、剥離ローラ23をウエハWFに近付けると剥離角度θが大きくなる。また、剥離ローラ23をウエハWFから遠ざけたり近付けたりする際、押圧ローラ40と強く干渉したり、押圧ローラ40との把持力が低下する場合、剥離ローラ23との把持力を維持させたまま当該押圧ローラ40をウエハWFから遠ざけたり近付けたりする適宜な駆動機器を採用すればよい。このような剥離角度調整手段90は、回動モータ61、ブラケット23Aおよび剥離ローラ23以外の駆動機器やローラ、板等で構成してもよく、例えば、直動モータ33を剥離角度調整手段90とし、当該剥離角度調整手段90が直動モータ33を駆動し、支持テーブル34を昇降させて剥離角度θを調整してもよい。
シート貼付装置10は、ウエハWFから剥離した接着シートAS(既貼付接着シートAS1)のみを次の接着シートAS2から剥離して剥離シートRL上から除去してもよいし、ウエハWFから剥離した接着シートAS(既貼付接着シートAS1)を剥離シートRL上から除去することなく、次の接着シートAS2から切り離した後再使用してもよく、このような場合、1枚の接着シートAS(既貼付接着シートAS1)を所定回数(例えば、2回、3回、それ以上)ウエハWFに貼付してもカメラ50が貼付不良を検出する場合、剥離シートRL上から除去するようにしてもよいし、1つのウエハWFに対して所定回数(例えば、2回、3回、それ以上)接着シートAS(再使用の接着シートAS(既貼付接着シートAS1)でもよいし、再使用でない接着シートASでもよい)の貼付し直しを行ってもカメラ50が貼付不良を検出する場合は、音を出力するスピーカやブザー等の音発生手段や光を点灯する電灯等の光発生手段等の警告手段で作業者に知らせるようにしてもよいし、検査手段がウエハWFの割れや損傷等を検出した場合、既貼付接着シートAS1を剥離した後、当該ウエハWFの割れた部分や損傷部分等を取り除いてから再度そのウエハWFに接着シートASを貼付したり、割れや損傷等が検出されたウエハWFを支持面34A上から取り除き、別のウエハWFを支持面34A上に載置し、当該別のウエハWFに再度接着シートASを貼付したりしてもよい。
シート貼付装置10は、天地反転して配置したり横置きに配置したりして、ウエハWFの下面や側面に接着シートASを貼付するように構成してもよい。
本発明における接着シートASおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートASが採用された場合は、当該接着シートASを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とで構成されたもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、接着剤層の間に中間層を有するもの等、1層または2層以上のものであってよい。また、被着体としては、上記のもの以外に例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
10…シート貼付装置
20…供給手段
40…押圧ローラ(貼付手段)
50…カメラ(検査手段)
60…把持手段
70…逆送手段
80…接着力低下手段
90…剥離角度調整手段
AS…接着シート
AS1…既貼付接着シート
AS2…次の接着シート
WF…ウエハ(被着体)

Claims (6)

  1. 接着シートを供給する供給手段と、
    前記供給手段との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体に、当該供給手段で供給される前記接着シートを貼付する貼付手段と、
    前記被着体に貼付された既貼付接着シートおよび当該被着体の少なくとも一方の状態を検査する検査手段とを備え、
    前記検査手段の検査結果を基にして、前記既貼付接着シートの次に前記供給手段が供給する次の接着シートを前記貼付手段が当該既貼付接着シートに貼付するとともに、前記既貼付接着シートを介して前記次の接着シートが貼付された被着体を前記シート貼付方向の逆方向へ相対移動させることで、前記既貼付接着シートを当該被着体から剥離することを特徴とするシート貼付装置。
  2. 前記既貼付接着シートに貼付された次の接着シートおよび当該既貼付接着シートの少なくとも一方を把持する把持手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
  3. 前記既貼付接着シートに貼付された次の接着シートを前記供給手段の繰出方向の逆方向へ送る逆送手段を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート貼付装置。
  4. 前記被着体から剥離する既貼付接着シートの剥離角度を調整する剥離角度調整手段を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載のシート貼付装置。
  5. 前記被着体から前記既貼付接着シートを剥離する前段で、当該既貼付接着シートの接着力を低下させる接着力低下手段を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れかに記載のシート貼付装置。
  6. 接着シートを供給手段で供給する供給工程と、
    前記供給手段との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体に、当該供給手段で供給される前記接着シートを貼付する貼付工程と、
    前記被着体に貼付された既貼付接着シートおよび当該被着体の少なくとも一方の状態を検査する検査工程とを含み、
    前記検査工程の検査結果を基にして、前記既貼付接着シートの次に前記供給手段が供給する次の接着シートを当該既貼付接着シートに貼付するとともに、前記既貼付接着シートを介して前記次の接着シートが貼付された被着体を前記シート貼付方向の逆方向へ相対移動させることで、前記既貼付接着シートを当該被着体から剥離する剥離工程を有することを特徴とするシート貼付方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2021010318A1 (ja) * 2019-07-12 2021-01-21 東レエンジニアリング株式会社 テープ貼付装置、テープ貼付方法、及び複合成形品の製造方法

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