WO2022264883A1 - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents

シート貼付装置およびシート貼付方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2022264883A1
WO2022264883A1 PCT/JP2022/022962 JP2022022962W WO2022264883A1 WO 2022264883 A1 WO2022264883 A1 WO 2022264883A1 JP 2022022962 W JP2022022962 W JP 2022022962W WO 2022264883 A1 WO2022264883 A1 WO 2022264883A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
sheet
adherend
peeling
adhesive sheet
release sheet
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/022962
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
芳昭 杉下
Original Assignee
リンテック株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by リンテック株式会社 filed Critical リンテック株式会社
Priority to KR1020237037311A priority Critical patent/KR20230163524A/ko
Priority to CN202280032194.6A priority patent/CN117242563A/zh
Publication of WO2022264883A1 publication Critical patent/WO2022264883A1/ja

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping

Definitions

  • the present invention relates to a sheet sticking device and a sheet sticking method.
  • Patent Document 1 A sheet sticking device that sticks an adhesive sheet to an adherend is known (see Patent Document 1, for example).
  • the protective sheet 5 may It was found that slack in the release sheet (see the number "SC" in attached FIG. 1(C) in this specification) is formed at the tip (folded portion) of the release unit 18 that folds the release sheet. When such slack is formed in the release sheet and the slack portion comes into contact with the adherend, a problem occurs that fine scratches are formed on the adherend. Such a problem is conspicuous in a sheet sticking apparatus under the condition that slack is formed in the release sheet at the folded portion during automatic operation for automatically sticking the adhesive sheet to the adherend.
  • the present invention employs the configuration described in the claims.
  • the shortest distance between the folded portion and the attaching plane is the sum of the thickness of the release sheet and the allowable slack interval, and the allowable slack interval is set to 0.1 mm or more and 30 mm or less. Therefore, even if the release sheet is slackened at the folded portion, it is possible to prevent the slackened portion from coming into contact with the adherend.
  • FIG. 1 is an explanatory diagram of a sheet sticking device according to an embodiment of the present invention and an explanatory diagram of operation of the same device;
  • the sheet sticking apparatus EA of the present invention comprises feeding means 10 for feeding out the original sheet RS with the adhesive sheet AS temporarily adhered to the release sheet RL, and the release sheet RL of the original sheet RS fed out by the feeding means 10.
  • the peeling means 20 for performing the peeling step of peeling the adhesive sheet AS from the peeling sheet RL by folding back at the folded portion 21A, and the adherend surface WK1 of the adherend WK are positioned within the predetermined sticking plane SS, and the folded portion 21A is placed.
  • pressing means 30 for performing a pressing step of pressing and attaching the adhesive sheet AS peeled by the peeling means 20 to the adherend surface WK1 of the adherend WK that moves relative to the adherend WK.
  • the shortest distance MD between the folded portion 21A and the sticking plane SS is the thickness RLt of the release sheet RL plus the allowable slack interval SP, and the allowable slack interval SP is 0.1 mm or more. , 30 mm or less.
  • the delivery means 10 is supported by a support roller 11 that supports the original sheet RS, a guide roller 12 that guides the original sheet RS, and an output shaft (not shown) of a rotating motor 13A as a driving device, and is separated by a pinch roller 13B. While the sheet sticking apparatus EA is automatically operated, the peeling sheet RL present between the pinch roller 13B and the driving roller 13 for sandwiching the sheet RL is supported by the output shaft of a driving device (not shown).
  • a recovery roller 14 is provided as recovery means for applying tension and recovering the release sheet RL.
  • the peeling means 20 includes a peeling plate 21 having a folded portion 21A for folding back the peeling sheet RL.
  • the pressing means 30 includes a pressing roller 31 having an elastically deformable pressing surface 31A.
  • a plane parallel to the XY plane where the lowest part of the pressing surface 31A is located in the no-load state is the sticking plane SS.
  • the moving means 40 is supported by a slider 41A of a linear motor 41 as a driving device, and includes a support table 42 having a support surface 42A that can be held by suction by a decompression means (holding means) (not shown) such as a decompression pump or a vacuum ejector. ing.
  • a decompression means holding means
  • the support table 42 of the present embodiment is designed so that the adherend surface WK1 of the adherend WK is positioned within the bonding plane SS in consideration of the thickness of the adherend WK (dimension in the Z-axis direction).
  • Surface position adjusting means such as a screw adjusting mechanism for adjusting the position of the support surface 42A and a driving device are provided.
  • the thickness of the adherend WK is adjusted to be constant, and when the adherend WK is placed on the support surface 42A, the adherend surface WK1 is positioned within the sticking plane SS. , are adjusted in advance by surface position adjustment means (not shown).
  • a user of the sheet sticking device EA moves the sheet sticking device EA in which the respective members are arranged at the initial positions indicated by the solid lines in FIG.
  • a signal for starting automatic operation is inputted via an operation means (not shown) such as an operation panel or a personal computer.
  • the feeding means 10 drives the rotary motor 13A to feed the original sheet RS, and the leading edge of the leading adhesive sheet AS in the feeding direction is separated from the release sheet RL folded back at the folding portion 21A by a predetermined length. , stops driving the rotation motor 13A.
  • the moving means 40 drives the decompressing means (not shown), and the support surface 42A.
  • the adsorption and holding of the adherend WK is started.
  • the moving means 40 drives the linear motor 41 to move the support table 42 leftward, and when the adherend WK reaches a predetermined position with respect to the feeding means 10, the feeding means 10 drives the rotation motor 13A.
  • the original fabric RS is delivered in accordance with the moving speed of the adherend WK.
  • the adhesive sheet AS is separated from the release sheet RL, and the adhesive sheet AS separated from the release sheet RL is applied to the adherend WK by the pressure roller 31 as indicated by the two-dot chain line in FIG. Affixed by pressing.
  • the entire leading adhesive sheet AS is adhered to the adherend WK to form an integral object UP, and the feeding direction leading end of the next adhesive sheet AS following the leading adhesive sheet AS is folded back at the folding portion 21A.
  • the feeding means 10 stops driving the rotary motor 13A.
  • the moving means 40 stops driving the linear motor 41, and then stops driving the decompression means (not shown), thereby sucking and holding the integrated object UP on the support surface 42A. release.
  • the moving means 40 drives the linear motor 41 to return the support table 42 to the initial position, and the same operation as described above is repeated thereafter.
  • Example 1 a first raw sheet RS composed of a release sheet RL having a thickness RLt of 0.025 mm and an adhesive sheet AS having a thickness of 0.09 mm was set in the sheet sticking apparatus EA, and A similar automatic operation is performed. During the operation of attaching the 100 adhesive sheets AS to the adherend WK in this automatic operation, the length SD was measured (this measurement is hereinafter referred to as "slackness measurement"), and the length SDMAX of the largest slackness SC was 0.065 mm.
  • the allowable slack interval SP is set to 0.1 mm using the first raw sheet RS, and 100 adhesive sheets AS are attached to the adherend WK by automatic operation similar to the above embodiment (hereinafter referred to as this The verification is referred to as "contact verification"), and it was found that the slack SC did not come into contact with the adherend WK.
  • Comparative Example 1 when the slack allowable interval SP was set to 0.06 mm using the first raw fabric RS and contact verification was performed, the slack SC contacted the adherend WK.
  • Example 2 when the second raw sheet RS composed of a release sheet RL having a thickness RLt of 0.038 mm and an adhesive sheet AS having a thickness of 0.09 mm was used, slack measurement was performed, and the largest slack SC was 0.059 mm. Therefore, when the allowable slack interval SP was set to 0.1 mm using the second raw fabric RS and the contact was verified, the slack SC did not come into contact with the adherend WK. On the other hand, as Comparative Example 2, the allowable slack interval SP was set to 0.05 mm using the second raw fabric RS, and contact verification was performed. As a result, the slack SC contacted the adherend WK.
  • Example 3 a third raw sheet RS comprising a release sheet RL having a thickness RLt of 0.05 mm and an adhesive sheet AS having a thickness of 0.125 mm was used, and when slack measurement was performed, the largest slack SC was 0.086 mm. Therefore, when the allowable slack interval SP was set to 0.1 mm using the third material RS and the contact was verified, the slack SC did not come into contact with the adherend WK. On the other hand, as Comparative Example 3, when the allowable slack interval SP was set to 0.08 mm using the third raw fabric RS and contact verification was performed, the slack SC contacted the adherend WK.
  • Example 4 a fourth raw sheet RS comprising a release sheet RL having a thickness RLt of 0.075 mm and an adhesive sheet AS having a thickness of 0.125 mm was used, and when slack measurement was performed, the largest slack SC was 0.083 mm. Therefore, when the allowable slack interval SP was set to 0.1 mm using the fourth raw sheet RS and contact verification was performed, the slack SC did not come into contact with the adherend WK. On the other hand, as Comparative Example 4, contact verification was performed using the fourth raw fabric RS with the allowable slack interval SP set to 0.08 mm, and the slack SC contacted the adherend WK.
  • Table 1 shows the looseness measurement and contact verification of Examples 1-4
  • Table 2 shows the contact verification of Comparative Examples 1-4.
  • the allowable slack interval SP was set to 0.3 mm, 5 mm, 10 mm, and 30 mm, and contact verification was performed using the first to fourth original fabrics RS. never did. From the above, it has been found that the shortest distance MD is set to a distance obtained by adding 0.1 mm or more as the allowable slack interval SP to the thickness RLt of the release sheet RL, thereby preventing the slack SC from coming into contact with the adherend WK.
  • the adhesive sheet AS is attached to the adherend WK in a state in which the bent BP is formed, or the adhesive sheet AS is applied to the pressure roller 31 as shown by two-dot chain lines in FIGS. It has been found that the sticking failure occurs such that the adhesive sticks to the adherend WK and is not stuck to the adherend WK. Therefore, using the above-described first to fourth raw fabrics RS, contact verification was performed while increasing the allowable slack interval SP from 30 mm by 1 mm, and the minimum allowable slack interval SP at which adhesion failure occurred was investigated. The results are shown below. shown in Table 3. From the above, it has been found that by setting the allowable slack interval SP to 30 mm or less, it is possible to prevent the adhesion failure of the adhesive sheet AS from occurring.
  • the shortest distance MD between the folded portion 21A and the sticking plane SS is the sum of the thickness RLt of the release sheet RL and the allowable slack interval SP, and the allowable slack interval SP is 0. Since the thickness is set to 1 mm or more and 30 mm or less, even if slack SC is formed in the release sheet RL at the folded portion 21A, the slack SC portion can be prevented from coming into contact with the adherend WK.
  • the feeding means may be of any type as long as it can feed the original sheet with the adhesive sheet temporarily attached to the release sheet, and is within the technical scope in light of the common general knowledge at the time of filing. It is not limited (other means and steps are the same).
  • the feed-out means 10 is formed by forming a closed loop shape or a notch in the entire short width direction in the band-shaped adhesive sheet base material temporarily attached to the release sheet RL, so that a predetermined area partitioned by the notch is adhered. It is also possible to feed the original fabric RS as the sheet AS, or adopt a strip-shaped adhesive sheet fabric in which a strip-shaped adhesive sheet base material is temporarily attached to the release sheet RL, and in the course of feeding the strip-shaped adhesive sheet fabric, A cut in the adhesive sheet base material in a closed loop shape or in the entire short width direction is formed by a cutting blade as a cutting means, and a predetermined area partitioned by the cut is formed into an adhesive sheet AS, and the raw fabric RS is fed out.
  • the original fabric RS with the band-shaped adhesive sheet AS temporarily attached to the release sheet RL may be fed out, or the original fabric RS may be fan-folded without being wound.
  • a recovery means may be employed to recover the release sheet RL by, for example, fan-folding it, chopping it with a shredder or the like, or accumulating it carelessly without winding it. No means should be used.
  • the pressing means 30 may be a pressing roller 31 having a pressing surface 31A that cannot be elastically deformed. It may be composed of a roller 31, a plate material, or the like.
  • the pressing means 30 is supported by the output shaft of a direct-acting motor as a drive device, and holds the adhesive sheet AS with a holding member capable of being sucked and held by a decompression means (not shown) such as a decompression pump or a vacuum ejector.
  • the holding adhesive sheet AS may be pressed and attached to the adherend WK.
  • the moving means 40 may position the adherend WK using a driving device that moves the support table 42 in the front-rear direction or a driving device that rotates the support table 42 within the support surface 42A.
  • the adherend WK is moved with respect to the pressing means 30 which does not move. may be provided in the sheet sticking apparatus EA of the present invention, or may not be provided. good too.
  • a sheet sticking apparatus EA of the present invention uses a semiconductor wafer as an adherend WK, integrates the semiconductor wafer and a ring frame with an adhesive sheet AS, and sticks a protective sheet as an adhesive sheet AS to the semiconductor wafer. It's okay.
  • the original sheet RS may be obtained by temporarily attaching an adhesive sheet AS conforming to the shape of a ring claim or the shape of a semiconductor wafer to a release sheet RL.
  • the thickness RLt of the release sheet RL in the present invention may be other than 0.025 mm, 0.038 mm, 0.05 mm and 0.075 mm. It may be in the range of 0.001 mm to 3 mm, 0.001 mm or less, 3 mm or more, or any thickness.
  • the allowable slack interval SP in the present invention may be other than 0.1 mm, 0.3 mm, 5 mm, 10 mm, and 30 mm. Any interval of 0.1 mm or more and 30 mm or less may be used.
  • the position of the sticking plane SS in the present invention may be a plane other than a plane parallel to the XY plane where the lowest part of the pressing surface 31A is located in the unloaded state.
  • It may be a plane parallel to the XY plane separated below the position within the thickness RTt of the release sheet RL, or may be, for example, 0.001 mm, 0.5 mm, A plane parallel to the XY plane separated by 3 mm, 10 mm, or 30 mm may be used, and any position where the pressing means 30 can adhere the adhesive sheet AS to the adherend surface WK1 may be used.
  • the surface position adjusting means (not shown) may move the adherend WK to position the adherend surface WK1 within the sticking plane SS, or move the pressing means 30 to align the sticking plane SS with the adherend surface WK1.
  • an imaging means such as a camera or a projector, an optical sensor, or an ultrasonic sensor may be used.
  • At least one of the adherend WK and the pressing means 30 is moved so that the adherend surface WK1 is positioned within the sticking plane SS according to the thickness detected by a thickness detection means composed of various sensors such as a sound wave sensor.
  • a thickness detection means composed of various sensors such as a sound wave sensor.
  • the support table 42 or the adherend WK reaches a predetermined position below the pressing roller 31, the adherend surface WK1 of the adherend WK is positioned within the sticking plane SS.
  • the sheet sticking apparatus EA of the present invention may or may not have it.
  • the sticking plane SS does not have to be the lowest position of the pressing surface 31A in the no-load state. Any position based on any member, such as any position such as below or 50 mm below, or a position separated from a prescribed position of another device by a prescribed distance, may be used.
  • the material, type, shape, etc. of the adhesive sheet AS, release sheet RL and adherend WK in the present invention are not particularly limited.
  • the adhesive sheet AS, the release sheet RL and the adherend WK may be circular, elliptical, polygonal such as triangular or square, or other shapes.
  • Adhesive form such as adhesiveness may be used, and when a heat-sensitive adhesive sheet AS is adopted, heating means such as an appropriate coil heater or heat pipe heating side for heating the adhesive sheet AS is used. It may be adhered by an appropriate method such as providing.
  • such an adhesive sheet AS includes, for example, a single-layer adhesive layer only, a two-layer adhesive sheet laminated with a base material and an adhesive layer, and one or more layers between the base material and the adhesive layer.
  • the adherend WK includes, for example, foods, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, information recording substrates such as circuit boards and optical discs, glass plates, steel plates, pottery, wood plates, resins, and the like.
  • the adhesive sheet AS is replaced with a functional and application-reading label, for example, an information label, a decorative label, a protective sheet, a dicing tape, a die attach film, a die bonding tape, a recording layer forming resin Any sheet such as a sheet, a film, a tape, or the like may be used.
  • the drive device in the above embodiment includes a rotating motor, a linear motor, a linear motor, a single-axis robot, an electric device such as a multi-joint robot having two or more joints, an air cylinder, a hydraulic cylinder, and a rodless robot.
  • Actuators such as cylinders and rotary cylinders can be used, and combinations thereof directly or indirectly can also be used.
  • a rotating member such as a roller
  • a drive device for rotating the rotating member may be provided, or the surface of the rotating member or the rotating member itself may be made of deformable material such as rubber or resin.
  • the surface of the rotating member or the rotating member itself may be composed of a member that does not deform, or other members such as a shaft or a blade that rotates or does not rotate instead of the roller.
  • a pressing means such as a pressing roller or a pressing head or a pressing member that presses an object to be pressed
  • a roller, a round bar, a blade can be used instead of or in combination with the above examples
  • It may be composed of a member that does not deform such as , resin, etc., or if a peeling means such as a peeling plate or a peeling roller or a peeling member such as a peeling member is used, instead of the above examples Alternatively, a member such as a plate-shaped member, a round bar, or a roller may be adopted, and the peelable member may be made of a deformable member such as rubber or resin, or may be made of a non-deformable member. Alternatively, if a supporting (holding) means or a supporting (holding) member or the like that supports (holds) a member to be supported (member to be held) is employed, gripping means such as a mechanical chuck or a chuck cylinder may be used.
  • Sheet sticking device 10 Feeding means 20... Peeling means 20A... Folding part 30... Pressing means AS... Adhesive sheet MD... Shortest distance RL... Release sheet RLt... Thickness RS... Original fabric SP... Slack allowable interval SS... Sticking plane WK ... adherend WK1 ... adherend surface

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
  • Labeling Devices (AREA)

Abstract

剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１０と、繰出手段１０で繰り出される原反ＲＳの剥離シートＲＬを折返し部２１Ａで折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段２０と、被着体ＷＫの被着面ＷＫ１を所定の貼付平面ＳＳ内に位置させ、折返し部２１Ａと相対移動する当該被着体ＷＫの被着面ＷＫ１に、剥離手段２０で剥離した接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段３０とを備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、折返し部２１Ａにおける貼付平面ＳＳとの最短距離ＭＤは、剥離シートＲＬの厚みＲＬｔに弛み許容間隔ＳＰが加えられた距離とされ、弛み許容間隔ＳＰが０．１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下に設定されている。

Description

シート貼付装置およびシート貼付方法
　本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
　被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特開２０１８－１３３４４６号公報
　しかしながら、特許文献１に記載されたテープ貼着装置２（シート貼付装置）では、テープ体１（原反）の繰り出し直後や繰り出し中、さらには、繰り出し停止直後や繰り出し停止中等において、保護シート５（剥離シート）を折り返す剥離ユニット１８の先端（折返し部）で剥離シートの弛み（本明細書における添付図１（Ｃ）の付番「ＳＣ」参照）が形成されることが判明した。このような剥離シートの弛みが形成され、当該弛み部分が被着体に接触すると、当該被着体に微細な傷が形成されるという不都合を発生する。このような不都合は、被着体に接着シートを自動で貼付する自動運転中に、折返し部で剥離シートに弛みが形成されるという条件下にあるシート貼付装置において顕著である。
　本発明の目的は、折返し部で剥離シートの弛みが形成されたとしても、当該弛み部分が被着体に接触することを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
　本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
　本発明によれば、折返し部における貼付平面との最短距離が、剥離シートの厚みと、弛み許容間隔との合算値とされ、この弛み許容間隔が０．１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下に設定されているので、折返し部で剥離シートの弛みが形成されたとしても、当該弛み部分が被着体に接触することを防止することができる。
本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。
　以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
　なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、方向を示す矢印を記載していない図は、全て図１（Ａ）と同じ方向から観た図とする。
　本発明のシート貼付装置ＥＡは、剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出工程を実施する繰出手段１０と、繰出手段１０で繰り出される原反ＲＳの剥離シートＲＬを折返し部２１Ａで折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離工程を実施する剥離手段２０と、被着体ＷＫの被着面ＷＫ１を所定の貼付平面ＳＳ内に位置させ、折返し部２１Ａと相対移動する当該被着体ＷＫの被着面ＷＫ１に、剥離手段２０で剥離した接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧工程を実施する押圧手段３０とを備え、押圧手段３０と被着体ＷＫとを相対移動させる移動手段４０の近傍に配置されている。
　なお、シート貼付装置ＥＡは、折返し部２１Ａにおける貼付平面ＳＳとの最短距離ＭＤは、剥離シートＲＬの厚みＲＬｔに弛み許容間隔ＳＰが加えられた距離とされ、弛み許容間隔ＳＰが０．１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下に設定されている。
　繰出手段１０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ１１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１２と、駆動機器としての回動モータ１３Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１３Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１３と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１３Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１４とを備えている。
　剥離手段２０は、剥離シートＲＬを折り返す折返し部２１Ａを有する剥離板２１を備えている。
　押圧手段３０は、弾性変形が可能な押圧面３１Ａを備えた押圧ローラ３１を備えている。
　なお、本実施形態では、無負荷状態で押圧面３１Ａの最下部が位置するＸＹ平面と平行な平面が貼付平面ＳＳとなっている。
　移動手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面４２Ａを有する支持テーブル４２を備えている。
　なお、本実施形態の支持テーブル４２には、被着体ＷＫの厚み（Ｚ軸方向の寸法）を考慮し、当該被着体ＷＫの被着面ＷＫ１が貼付平面ＳＳ内に位置するように、支持面４２Ａの位置を調整するネジ調整機構や駆動機器等の図示しない面位置調整手段が設けられている。
　本実施形態では、被着体ＷＫの厚みが一定に調整されており、当該被着体ＷＫが支持面４２Ａ上に載置された際、被着面ＷＫ１が貼付平面ＳＳ内に位置するように、図示しない面位置調整手段によって予め調整されている。
　以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
　先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段１０が回動モータ１３Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が、折返し部２１Ａで折り返された剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、回動モータ１３Ａの駆動を停止する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、支持テーブル４２上に被着体ＷＫを載置すると、移動手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面４２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。その後、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４２を左方へ移動させ、被着体ＷＫが繰出手段１０に対する所定の位置に到達すると、当該繰出手段１０が回動モータ１３Ａを駆動し、被着体ＷＫの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ３１によって被着体ＷＫに押圧されて貼付される。次に、先頭の接着シートＡＳ全体が被着体ＷＫに貼付されて一体物ＵＰが形成され、当該先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が、折返し部２１Ａで折り返された剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、繰出手段１０が回動モータ１３Ａの駆動を停止する。そして、支持テーブル４２が押圧ローラ３１の下方を抜け出ると、移動手段４０がリニアモータ４１の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４２Ａでの一体物ＵＰの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送すると、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
　ここで、実施例１として、厚みＲＬｔが０．０２５ｍｍの剥離シートＲＬと、厚みが０．０９ｍｍの接着シートＡＳとからなる第１原反ＲＳをシート貼付装置ＥＡにセットし、上記実施形態と同様の自動運転を行う。そして、この自動運転で１００枚の接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する動作の間に、折返し部２１Ａで形成される剥離シートＲＬの弛みＳＣ（図１（Ｃ）参照）の長さＳＤを計測（以下、この計測を「弛み計測」という）したところ、最も大きな弛みＳＣの長さＳＤＭＡＸが０．０６５ｍｍであった。そこで、第１原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．１ｍｍに設定し、上記実施形態と同様の自動運転で１００枚の接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する検証（以下、この検証を「接触検証」という）を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触することはなかった。一方、比較例１として、第１原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．０６ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触した。
　また、実施例２として、厚みＲＬｔが０．０３８ｍｍの剥離シートＲＬと、厚みが０．０９ｍｍの接着シートＡＳとからなる第２原反ＲＳを用い、弛み計測を行ったところ、最も大きな弛みＳＣの長さＳＤＭＡＸが０．０５９ｍｍであった。そこで、第２原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．１ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触することはなかった。一方、比較例２として、第２原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．０５ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触した。
　さらに、実施例３として、厚みＲＬｔが０．０５ｍｍの剥離シートＲＬと、厚みが０．１２５ｍｍの接着シートＡＳとからなる第３原反ＲＳを用い、弛み計測を行ったところ、最も大きな弛みＳＣの長さＳＤＭＡＸが０．０８６ｍｍであった。そこで、第３原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．１ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触することはなかった。一方、比較例３として、第３原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．０８ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触した。
　また、実施例４として、厚みＲＬｔが０．０７５ｍｍの剥離シートＲＬと、厚みが０．１２５ｍｍの接着シートＡＳとからなる第４原反ＲＳを用い、弛み計測を行ったところ、最も大きな弛みＳＣの長さＳＤＭＡＸが０．０８３ｍｍであった。そこで、第４原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．１ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触することはなかった。一方、比較例４として、第４原反ＲＳを用いて弛み許容間隔ＳＰを０．０８ｍｍに設定し、接触検証を行ったところ、弛みＳＣが被着体ＷＫに接触した。
　以上の実施例１～４の弛み計測と接触検証を表１に示し、比較例１～４の接触検証を表２に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
 　なお、弛み許容間隔ＳＰを０．３ｍｍ、５ｍｍ、１０ｍｍ、３０ｍｍに設定し、上記の第１～第４原反ＲＳを用いて接触検証を行ったところ、当然弛みＳＣは被着体ＷＫに接触することはなかった。
　以上により、最短距離ＭＤは、剥離シートＲＬの厚みＲＬｔに弛み許容間隔ＳＰとして０．１ｍｍ以上加えた距離としておくことで、弛みＳＣが着体ＷＫに接触することがないことが解った。
　ここで、弛み許容間隔ＳＰを大きくしていくと、弛みＳＣと被着体ＷＫとの接触は回避できるものの、弛み許容間隔ＳＰが大きすぎると、図１（Ｄ）、（Ｅ）中実線で示すように、接着シートＡＳに折れ曲がりＢＰが形成された状態で被着体ＷＫに貼付されたり、図１（Ｄ）、（Ｅ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳが押圧ローラ３１に接着して被着体ＷＫに貼付されなくなる等の貼付不良が発生することが解った。
　そこで、上記の第１～第４原反ＲＳを用い、弛み許容間隔ＳＰを３０ｍｍから１ｍｍずつ大きくしつつ接触検証を行い、貼付不良が発生した最小の弛み許容間隔ＳＰを調べ、その結果を下記の表３に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
 　以上により、弛み許容間隔ＳＰは、３０ｍｍ以下に設定されることで、接着シートＡＳの貼付不良が発生することを防止できることが解った。
　以上のような実施形態によれば、折返し部２１Ａにおける貼付平面ＳＳとの最短距離ＭＤが、剥離シートＲＬの厚みＲＬｔと、弛み許容間隔ＳＰとの合算値とされ、この弛み許容間隔ＳＰが０．１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下に設定されているので、折返し部２１Ａで剥離シートＲＬの弛みＳＣが形成されたとしても、当該弛みＳＣ部分が被着体ＷＫに接触することを防止することができる。
　本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出し可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
　繰出手段１０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳを繰り出してもよいし、剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳを繰り出してもよいし、剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから当該原反ＲＳを繰り出してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよい。
　押圧手段３０は、弾性変形が不能な押圧面３１Ａを備えた押圧ローラ３１でもよいし、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する際、当該接着シートＡＳに乗り上げる際の反力によって上昇する押圧ローラ３１や板材等で構成されていてもよい。
　押圧手段３０は、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で接着シートＡＳを保持し、当該保持部材で保持した接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する構成でもよい。
　移動手段４０は、支持テーブル４２を前後方向に移動させる駆動機器や、支持テーブル４２を支持面４２Ａ内で回転させる駆動機器を採用して被着体ＷＫの位置決めを行ってもよいし、上記の実施形態では、移動することのない押圧手段３０に対して被着体ＷＫを移動させたが、被着体ＷＫを移動させることなくまたは、被着体ＷＫを移動させつつ押圧手段３０を移動させてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、備わっていない場合、他の装置で押圧手段３０と被着体ＷＫとを相対移動させてもよい。
　本発明のシート貼付装置ＥＡは、被着体ＷＫを半導体ウエハとし、接着シートＡＳによって当該半導体ウエハとリングフレームとを一体化したり、半導体ウエハに接着シートＡＳとしての保護シートを貼付したりするものでもよい。このような場合、原反ＲＳは、リングクレームの形状や、半導体ウエハの形状に沿った接着シートＡＳが剥離シートＲＬ上に仮着されたものを使用すればよい。
　本発明における剥離シートＲＬの厚みＲＬｔは、０．０２５ｍｍ、０．０３８ｍｍ、０．０５ｍｍ、０．０７５ｍｍ以外であってもよく、例えば、厚みＲＬｔが、０．０１ｍｍ、０．１ｍｍまたは１ｍｍ等、０．００１ｍｍ～３ｍｍの範囲でもよいし、０．００１ｍｍ以下でもよいし、３ｍｍ以上でもよく、どのような厚みでもよい。
　本発明における弛み許容間隔ＳＰは、０．１ｍｍ、０．３ｍｍ、５ｍｍ、１０ｍｍ、３０ｍｍ以外であってもよく、例えば、弛み許容間隔ＳＰが、０．１５ｍｍ、１ｍｍ、７ｍｍ、２５ｍｍまたは２９ｍｍ等、０．１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下であればどのような間隔でもよい。
　本発明における貼付平面ＳＳの位置は、無負荷状態で押圧面３１Ａの最下部が位置するＸＹ平面と平行な平面以外であってもよく、例えば、無負荷状態での押圧面３１Ａの最下部の位置よりも、剥離シートＲＬの厚みＲＴｔ以内で下方に離れたＸＹ平面と平行な平面でもよいし、無負荷状態での押圧面３１Ａの最下部よりも、例えば、０．００１ｍｍ、０．５ｍｍ、３ｍｍ、１０ｍｍまたは３０ｍｍ上方に離れたＸＹ平面と平行な平面でもよく、押圧手段３０で接着シートＡＳを被着面ＷＫ１に貼付できる位置であればどこでもよい。
　図示しない面位置調整手段は、被着体ＷＫを移動させて被着面ＷＫ１を貼付平面ＳＳ内に位置させてもよいし、押圧手段３０を移動させて貼付平面ＳＳを被着面ＷＫ１と同一平面内に位置させてもよいし、支持面４２Ａ上に載置される被着体ＷＫの厚みが一定である場合や不定である場合、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された厚み検知手段で検知し、その厚みに応じて被着面ＷＫ１が貼付平面ＳＳ内に位置するように、被着体ＷＫおよび押圧手段３０の少なくとも一方を移動させてもよいし、押圧ローラ３１の下方所定位置に支持テーブル４２または被着体ＷＫが到達した時点で、当該被着体ＷＫの被着面ＷＫ１が貼付平面ＳＳ内に位置するようにしてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
　貼付平面ＳＳは、無負荷状態での押圧面３１Ａの最下部の位置でなくてもよく、例えば、支持面４２Ａの１ｍｍ上方、１０ｍｍ上方といった任意の位置や、剥離板２１の所定の位置から５ｍｍ下方、５０ｍｍ下方といった任意の位置や、他の装置の所定の位置から所定の間隔離れた位置等、任意の部材を基準とした任意の位置であってもよい。
　本発明における接着シートＡＳ、剥離シートＲＬおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、剥離シートＲＬおよび被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方がされるものに換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等といったものでもよい。
　前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
　前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
　ＥＡ…シート貼付装置
　１０…繰出手段
　２０…剥離手段
　２０Ａ…折返し部
　３０…押圧手段
　ＡＳ…接着シート
　ＭＤ…最短距離
　ＲＬ…剥離シート
　ＲＬｔ…厚み
　ＲＳ…原反
　ＳＰ…弛み許容間隔
　ＳＳ…貼付平面
　ＷＫ…被着体
　ＷＫ１…被着面

 

Claims (2)

  1. 　剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
    　前記繰出手段で繰り出される前記原反の前記剥離シートを折返し部で折り返し、当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
    　被着体の被着面を所定の貼付平面内に位置させ、前記折返し部と相対移動する当該被着体の被着面に、前記剥離手段で剥離した前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段とを備えたシート貼付装置において、
    　前記折返し部における前記貼付平面との最短距離は、前記剥離シートの厚みに弛み許容間隔が加えられた距離とされ、
    　前記弛み許容間隔が０．１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下に設定されていることを特徴とするシート貼付装置。
  2. 　剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
    　前記繰出工程で繰り出される前記原反の前記剥離シートを折返し部で折り返し、当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離工程と、
    　被着体の被着面を所定の貼付平面内に位置させ、前記折返し部と相対移動する当該被着体の被着面に、前記剥離工程で剥離した前記接着シートを押圧して貼付する押圧工程とを実施するシート貼付方法において、
    　前記折返し部における前記貼付平面との最短距離は、前記剥離シートの厚みに弛み許容間隔が加えられた距離とされ、
    　前記弛み許容間隔が０．１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下に設定されていることを特徴とするシート貼付方法。

     
PCT/JP2022/022962 2021-06-17 2022-06-07 シート貼付装置およびシート貼付方法 WO2022264883A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020237037311A KR20230163524A (ko) 2021-06-17 2022-06-07 시트 첩부 장치 및 시트 첩부 방법
CN202280032194.6A CN117242563A (zh) 2021-06-17 2022-06-07 片粘贴装置及片粘贴方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021101073A JP7382986B2 (ja) 2021-06-17 2021-06-17 シート貼付装置およびシート貼付方法
JP2021-101073 2021-06-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2022264883A1 true WO2022264883A1 (ja) 2022-12-22

Family

ID=84527363

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2022/022962 WO2022264883A1 (ja) 2021-06-17 2022-06-07 シート貼付装置およびシート貼付方法

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP7382986B2 (ja)
KR (1) KR20230163524A (ja)
CN (1) CN117242563A (ja)
TW (1) TW202314941A (ja)
WO (1) WO2022264883A1 (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008174247A (ja) * 2007-01-16 2008-07-31 Lintec Corp シート貼付装置及び貼付方法
JP2015035452A (ja) * 2013-08-07 2015-02-19 リンテック株式会社 シート貼付装置及びシート貼付方法
JP2018047943A (ja) * 2016-09-23 2018-03-29 株式会社フェニックス ラベル貼付装置および制御方法
JP2021019127A (ja) * 2019-07-22 2021-02-15 リンテック株式会社 シート貼付装置およびシート貼付方法
JP2021048378A (ja) * 2019-09-20 2021-03-25 リンテック株式会社 シート貼付装置およびシート貼付方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009220856A (ja) * 2008-03-17 2009-10-01 Sato Knowledge & Intellectual Property Institute ハンドラベラ
JP2018133446A (ja) 2017-02-15 2018-08-23 株式会社ディスコ テープ貼着装置
JP7067951B2 (ja) * 2018-02-16 2022-05-16 リンテック株式会社 シート貼付装置およびシート貼付方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008174247A (ja) * 2007-01-16 2008-07-31 Lintec Corp シート貼付装置及び貼付方法
JP2015035452A (ja) * 2013-08-07 2015-02-19 リンテック株式会社 シート貼付装置及びシート貼付方法
JP2018047943A (ja) * 2016-09-23 2018-03-29 株式会社フェニックス ラベル貼付装置および制御方法
JP2021019127A (ja) * 2019-07-22 2021-02-15 リンテック株式会社 シート貼付装置およびシート貼付方法
JP2021048378A (ja) * 2019-09-20 2021-03-25 リンテック株式会社 シート貼付装置およびシート貼付方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW202314941A (zh) 2023-04-01
JP2023000324A (ja) 2023-01-04
CN117242563A (zh) 2023-12-15
JP7382986B2 (ja) 2023-11-17
KR20230163524A (ko) 2023-11-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7154737B2 (ja) シート貼付装置および貼付方法
JP7446071B2 (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
JP2017137115A (ja) シート供給装置および供給方法
JP7390124B2 (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
JP6584983B2 (ja) シート貼付装置および貼付方法
WO2022264883A1 (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
TWI713138B (zh) 薄片黏貼裝置及黏貼方法與黏著薄片料捲
JP2019145569A (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
JP7329958B2 (ja) 支持装置および支持方法
JP7236237B2 (ja) 不要シート除去装置および不要シート除去方法
JP7296222B2 (ja) シート剥離装置およびシート剥離方法
JP7129447B2 (ja) シート供給装置およびシート供給方法
JP3225039U (ja) 巻取装置
WO2023085074A1 (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
JP7458245B2 (ja) 転写装置および転写方法
JP7233891B2 (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
JP7360812B2 (ja) シート支持装置およびシート支持方法
JP7346092B2 (ja) シート回収装置およびシート回収方法
JP2023018790A (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
JP6990592B2 (ja) シート剥離装置およびシート剥離方法
TW202321119A (zh) 薄片供給裝置及薄片供給方法
JP2024036089A (ja) シート供給装置およびシート供給方法
JP2023050393A (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
JP2017163092A (ja) シート貼付装置および貼付方法
JP2024036079A (ja) シート供給装置およびシート供給方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 22824875

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20237037311

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 202280032194.6

Country of ref document: CN

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 22824875

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1