JP2019009182A - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Abstract
Description
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
外側テーブル22は、内側テーブル21で支持されたウエハWFと共に接着シートASが貼付され、切断手段60の切断によって形成された不要シートUSを支持する不要シート支持面22Aと、その内部で直動モータ23を支持する凹部22Bと、凹部22Bの後側面に設けられ、ウエハWFを出し入れ可能な開口22Cと、凹部22Bの左側面に設けられ、内部を貼付支援手段50が進退する開口22Dとを備えている。
清掃手段51は、空気やガス等の気体を供給する加圧ポンプや加圧タービン等の図示しない気体供給手段に接続されたノズル51Aを備えている。
押付手段52は、弾性変形可能な環状部材52Aを備えている。
移動手段53は、移動フレーム53Aに支持された駆動機器としての回動モータ53Bによって駆動される駆動プーリ53Cと、移動フレーム53Aに支持され、自由回転する従動プーリ53Dと、駆動プーリ53Cおよび従動プーリ53Dに掛け回されたベルト53Eと、図示しないフレームに固定された固定ブラケット53Fとベルト53Eとを連結する第1連結部材53Gと、ベルト53Eと支持部材54とを連結する第2連結部材53Hとを備えている。
先ず、各部材が図1中実線で示す初期位置に待機しているシート貼付装置10に対し、当該シート貼付装置10の使用者(以下、単に「使用者」という)が原反RSを同図中実線で示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転の信号を入力する。すると、繰出手段30および回収手段70が回動モータ35A、72を駆動し、剥離シートRLおよび接着シートASを巻き取り、支持手段20上に位置する接着シートASの張力が所定値となったことがロードセル34Aによって検知されると、回動モータ35A、72の駆動を停止する。次いで、繰出手段30が直動モータ33を駆動し、押付部材33Bとガイドローラ32Aとで接着シートASを挟み込み、当該接着シートASの繰り出しを抑制し、スタンバイ状態となる。
外側テーブル22は、複数の開口22Cを備えていてもよいし、開口22Cを備えていなくてもよく、開口22Cを備えていない場合、内側テーブル21と外側テーブル22との間にウエハWFを搬入、搬出ができる隙間があればよい。
繰出手段30は、支持ローラ31や回収ローラ36をフレーム37に支持させてもよいし、上下方向と左右方向との2つの出力軸を有する単一の駆動機器でフレーム37を移動させてもよいし、リニアモータ38、39を上下方向および左右方向の各々に対して傾斜して延設してもよいし、それらを互いに直交しない方向に延設してもよいし、リニアモータ39のスライダでリニアモータ38を支持し、リニアモータ38のスライダ38Aでフレーム37を支持してもよいし、リニアモータ38、39を採用することなく、押圧ローラ44の右方への移動に伴い、支持ローラ31から原反RSを繰り出す構成としてもよいし、張力検出手段として圧力センサやレギュレータ等、接着シートASの張力を測定可能なものであれば何を採用してもよいし、支持ローラ31をロック可能な駆動機器で支持する構成として直動モータ33を省いてもよい。
貼付支援手段50は、一体化された清掃手段51および押付手段52を使用者が人手で移動させる構成であってもよく、この場合、移動手段53はなくてもよい。
清掃手段51は、粘着ローラ、ブラシ、ブレード材等の除塵部材や、減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段等を採用してもよいし、図1中二点鎖線で示すように、押付手段52の外周よりも内側に設けてもよいし、移動しながら清掃するものに限らず、他端側に移動した位置で清掃対象の面を清掃するものであってもよい。
清掃手段51は、支持面21Aに支持されたウエハWFの被着面WF1を清掃してもよいし、ウエハWFの姿勢を矯正する前、後、またはその両方で被着面WF1を清掃してもよいし、支持面21A、ウエハWFの被着面WF1、およびウエハWFに貼付した接着シートASの表面のうちの何れか1つの面または2つの面、もしくは3つ全ての面を清掃するものであってもよく、これにより、ウエハWFに吸着ツール81や押付手段52が接着シート部分AS1に当接した際に、接着シート部分AS1の表面の塵埃がウエハWFに向かって押し込まれることを防止でき、塵埃の押し込みによるウエハWFの破損を防止することができる。
押付手段52は、弾性変形しないものであってもよいし、板状部材やローラであってもよいし、支持部材54に点在させた複数の部材であってもよく、ウエハWFや接着シート部分AS1の一部または全部に当接してウエハWFや接着シート部分AS1の外周部を支持面21Aに押し付けるものであればよい。
移動手段53は、駆動機器のみで構成されていてもよい。
支持部材54は、複数の部材で構成してもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。
20 支持手段
21A 支持面
30 繰出手段
40 押圧手段
50 貼付支援手段
51 清掃手段
52 押付手段
60 切断手段
AS 接着シート
AS1 接着シート部分
WF ウエハ(被着体)
Claims (3)
- 被着体を支持面で支持する支持手段と、
接着シートを繰り出す繰出手段と、
前記接着シートを前記支持面に支持された被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記支持面、前記被着体の被着面、および前記被着体に貼付した接着シートの表面のうち少なくとも1つを清掃する清掃手段と、前記被着体の外周部を前記支持面に押し付ける押付手段とが一体化された貼付支援手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記被着体に接着シート部分が残るように当該被着体に貼付された接着シートを所定形状に切断する切断手段を備え、
前記押付手段は、切断した接着シート部分の外周部を前記被着体に押付可能に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。 - 被着体を支持面で支持する支持工程と、
接着シートを繰り出す繰出工程と、
前記接着シートを前記支持面に支持された被着体に押圧して貼付する押圧工程と、
前記支持面、前記被着体の被着面、および前記被着体に貼付した接着シートの表面のうち少なくとも1つを清掃する清掃工程と、
前記接着シートを貼付する前の被着体の外周部を前記支持面に押し付ける押付工程とを備え、
清掃手段と押付手段とが一体化された貼付支援手段で前記清掃工程と前記押付工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。
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