JP6397780B2 - 転写装置および転写方法 - Google Patents
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Description
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
押付手段41は、駆動機器としての直動モータ41Aの出力軸41Bに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持可能な支持面41Cを有す押圧部材41Dと、図示しない駆動機器によって前後および上下方向に移動し、第2接着シートAS2に押圧されるデータキャリアDCの押圧力を受け止める受け部材41Eとを備えている。
切断手段42は、駆動機器としての直動モータ42Aの出力軸42Bに支持された切断部材としてのカッター刃42Cを備えている。
先ず、図1中実線で示す各部材が初期位置で待機する転写装置10に対し、作業者が原反RSおよび剥離用テープPTを同図のようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、貼付手段30が回動モータ35Aを駆動し原反RSを繰り出す。その後、先頭の第2接着シートAS2の先端が、図1中実線で示すように、剥離板33の先端から所定長さ剥離されたことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、貼付手段30が回動モータ35Aの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
支持手段20は、支持面24Aの面内でリフトテーブル24を回転させる回転手段である駆動機器と、支持面24Aの面内でリフトテーブル24を直交2軸方向に移動させる2軸移動手段である駆動機器と、被着体WKのノッチVNの位置を検出する光学センサや撮像手段等の検出手段とを備えてもよい。このような場合、搬送手段で搬送されてきた被着体WKに対し、検出手段でノッチVNの位置を検出して、当該ノッチVNが移行手段40上に配置されるように、回転手段と2軸移動手段とがリフトテーブル24を移動させることができる。また、被着体WKおよびリングフレームRFの他方の面に第2接着シートAS2が貼付された後、支持手段20が直動モータ23を駆動し、リフトテーブル24を下降させて支持面24Aを一体物WK1と離間させた後、検出手段でノッチVNの位置を検出して、当該ノッチVNが移行手段40上に配置されるように回転手段と2軸移動手段とがリフトテーブル24を移動させてもよい。
支持手段20は、被着体WKおよび一体物WK1を停止させておき、または、被着体WKおよび一体物WK1を移動させつつ、貼付手段30、反転手段50および剥離手段60等の他の手段を適宜上下左右方向に移動させて、上記同様の第2接着シートAS2の貼付動作、一体物WK1の上下反転動作および第1接着シートAS1の剥離動作を行ってもよい。
他の装置で被着体WKを支持する場合、本発明において支持手段20はあってもよいしなくてもよく、その他反転手段50等、本願発明の独立請求項に構成要件として記載されていない構成要素については、それぞれ必要に応じて採用すればよく、あってもよいしなくてもよい。
貼付手段30は、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、供給された第2接着シートAS2を減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持し、被着体WKに押圧して貼付する構成でもよい。
剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
押圧手段は、ローラ、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができ、エアの噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。
被着体WKおよびリングフレームRFの他方の面に第2接着シートAS2を貼付した段階で、データキャリアDCが当該第2接着シートAS2に貼付するような場合、押付手段41はあってもよいしなくてもよい。
被着体WKの一方の面から第1接着シートAS1を剥離した段階で、データキャリアDCが第2接着シートAS2側に貼付しているような場合、押付手段41はあってもよいしなくてもよいし、切断手段42もあってもよいしなくてもよい。
押付手段41は、エアの噴き付けや、コイルバネのバネ部材等でデータキャリアDCを第2接着シートAS2に押し付けてもよい。
押圧部材41Dおよび受け部材41Eは、支持面41Cや第2接着シートAS2に当接する面にゴムやスポンジ等の弾性部材を備えるようにしてもよい。
押圧部材41Dは、データキャリアDCだけが第2接着シートAS2に押し付けられるように構成してもよいし、データキャリアDCの周辺の第1接着シートAS1だけが第2接着シートAS2に押し付けられるように構成してもよいし、それら両方が第2接着シートAS2に押し付けられるように構成してもよい。
押圧部材41Dは、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力等で第1接着シートAS1を保持する構成でもよいし、第1接着シートAS1を吸着保持しなくてもよい。
受け部材41Eは、一体物WK1の面のうちの一部または全体を押える板状部材であってもよい。
切断手段42は、レーザー光、イオンビーム、火力、熱、水圧または空気圧で第1接着シートAS1を切断する切断部材を採用してもよい。
切断手段42は、押付手段41でデータキャリアDCを第2接着シートAS2に押圧してから第1接着シートAS1を切断してもよい。
切断手段42は、カッター刃42Cを支持面24Aの面内方向に移動する駆動機器を備え、切断手段42が当該駆動機器を駆動し、データキャリアDCの外部で第1接着シートAS1を切断する構成でもよい。
切断手段42は、回転して切断するロータリカッタを採用してもよい。
カッター刃42Cは、第1接着シートAS1を所定形状に切断する抜型であってもよい。
データキャリアDCの外部で第1接着シートAS1に切り込みを入れておくような場合、切断手段42はあってもよいしなくてもよい。
反転手段50は、駆動機器としての多関節ロボット等であってもよい。
反転手段50は、一体物WK1の下面または側面を保持して一体物WK1を反転するように構成してもよい。
反転手段50は、一体物WK1を反転する方向に何ら限定はない。
剥離手段60は、押圧ローラ64等の剥離用テープPTを第1接着シートAS1に押圧する部材にコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設け、剥離用テープPTを加熱して第1接着シートAS1に押圧して貼付する構成でもよい。この場合、剥離用テープPTは、感圧接着性の接着シートでもよいし、感熱接着性の接着シートでもよい。
剥離手段60は、一体物WK1の下面または側面から第1接着シートAS1を剥離するように構成してもよい。
転写装置10は、リングフレームRFをなくし、被着体WKを第1接着シートAS1から第2接着シートAS2に転写する構成でもよい。
被着体WKが貫通孔を備え、当該貫通孔内に位置するようにデータキャリアDCが第1接着シートAS1に貼付されていてもよい。
第1接着シートAS1が被着体WKの外縁からはみ出す領域を備え、当該領域にデータキャリアDCが貼付されていてもよい。
ノッチVNの形状は、V字状に限らず、多角形、円形もしくは楕円の一部の形状、U字状または不定形状であってもよい。
データキャリアDCとしては、マイクロチップ、RFID等を例示できる。データキャリアDCに記憶される情報は、被着体WKの製品名、ロッド番号等の各種情報、今までに被着体WKに施した処理の履歴情報、今後被着体WKに施す処理の内容の情報、次に被着体WKを送る工程や客先等の搬送先情報、被着体WKがウエハのように分割して使用される物の場合、不良品の位置情報等どんな情報でもよい。
30・・・貼付手段
40・・・移行手段
41・・・押付手段
42・・・切断手段
60・・・剥離手段
AS1・・・第1接着シート
AS2・・・第2接着シート
DC・・・データキャリア
WK・・・被着体
Claims (4)
- 一方の面に第1接着シートが貼付された被着体の他方の面に第2接着シートを貼付して前記第1接着シートを剥離する転写装置であって、
前記第2接着シートを前記被着体の他方の面に押圧して貼付する貼付手段と、
前記被着体の一方の面から前記第1接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記第1接着シートにはデータキャリアが貼付されており、当該データキャリアを前記第1接着シートから前記第2接着シートに移行する移行手段を有することを特徴とする転写装置。 - 前記移行手段は、前記データキャリアおよび、当該データキャリアの周辺の前記第1接着シートの少なくとも一方を前記第2接着シートに押し付ける押付手段を有することを特徴とする請求項1に記載の転写装置。
- 前記移行手段は、前記データキャリアの外部で前記第1接着シートを切断する切断手段を有することを特徴とする請求項1または2に記載の転写装置。
- 一方の面に第1接着シートが貼付された被着体の他方の面に第2接着シートを貼付して前記第1接着シートを剥離する転写方法であって、
前記第2接着シートを前記被着体の他方の面に押圧して貼付する工程と、
前記被着体の一方の面から前記第1接着シートを剥離する工程とを備え、
前記第1接着シートにはデータキャリアが貼付されており、当該データキャリアを前記第1接着シートから前記第2接着シートに移行する工程を有することを特徴とする転写方法。
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