JP6397780B2 - 転写装置および転写方法 - Google Patents

Description

本発明は、転写装置および転写方法に関する。

従来から、半導体ウエハ（以下「ウエハ」という場合がある）等の電子部品の製造工程において、一方の表面に第１接着シートが貼付された被着体の他方の面に第２接着シートを貼付し、第１接着シートを剥離する転写装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００３−１５２０５８号公報

しかしながら、特許文献１に記載の転写装置では、第１接着シートにデータキャリアが貼付されている場合、第１接着シートに貼付されたデータキャリアを第２接着シートに移行することができないという不都合がある。

本発明の目的は、第１接着シートに貼付されたデータキャリアを第２接着シートに移行することができる転写装置および転写方法を提供することにある。

上述の課題を解決するために、本発明は、一方の面に第１接着シートが貼付された被着体の他方の面に第２接着シートを貼付して第１接着シートを剥離する転写装置であって、第２接着シートを被着体の他方の面に押圧して貼付する貼付手段と、被着体の一方の面から第１接着シートを剥離する剥離手段とを備え、第１接着シートにはデータキャリアが貼付されており、当該データキャリアを第１接着シートから第２接着シートに移行する移行手段を有することを特徴とする転写装置である。

上記転写装置において、移行手段は、データキャリアおよび、当該データキャリアの周辺の第１接着シートの少なくとも一方を第２接着シートに押し付ける押付手段を有することを特徴としてもよい。

上記転写装置において、移行手段は、データキャリアの外部で第１接着シートを切断する切断手段を有することを特徴としてもよい。

本発明の別の態様は、一方の面に第１接着シートが貼付された被着体の他方の面に第２接着シートを貼付して第１接着シートを剥離する転写方法であって、第２接着シートを被着体の他方の面に押圧して貼付する工程と、被着体の一方の面から第１接着シートを剥離する工程とを備え、第１接着シートにはデータキャリアが貼付されており、当該データキャリアを第１接着シートから第２接着シートに移行する工程を有することを特徴とする転写方法である。

本発明によれば、移行手段を設けたことで、第１接着シートに貼付されたデータキャリアを第２接着シートに移行することができる。

本発明の一実施形態に係る転写装置を示す側面図。 図１の要部説明図。

以下、本発明の一実施形態に係る転写装置を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

図１、２において、転写装置１０は、一方の面に第１接着シートＡＳ１が貼付されたウエハ等の被着体ＷＫの他方の面に第２接着シートＡＳ２を貼付して第１接着シートＡＳ１を剥離する転写装置であって、被着体ＷＫを支持する支持手段２０と、第２接着シートＡＳ２を被着体ＷＫおよびリングフレームＲＦの他方の面に押圧して貼付する貼付手段３０と、第１接着シートＡＳ１に貼付されたデータキャリアＤＣを第２接着シートＡＳ２に移行する移行手段４０と、被着体ＷＫおよびリングフレームＲＦを反転する反転手段５０と、被着体ＷＫの一方の面から第１接着シートＡＳ１を剥離する剥離手段６０とを備えている。ここで、被着体ＷＫの外縁には凹み部としてのノッチＶＮが形成され、当該ノッチＶＮの位置に表出する第１接着シートＡＳ１の接着面にデータキャリアＤＣが貼付されている。

支持手段２０は、リニアモータ２１のスライダ２１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持可能な支持面２２Ａを有するとともに、凹部２２Ｂが形成された外側テーブル２２と、凹部２２Ｂ内に配置された駆動機器としての直動モータ２３と、直動モータ２３の出力軸２３Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持可能な支持面２４Ａを有するリフトテーブル２４とを備えている。

貼付手段３０は、第２接着シートＡＳ２が帯状の剥離シートＲＬ上に仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ３１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ３２と、剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから第２接着シートＡＳ２を剥離する剥離手段としての剥離板３３と、剥離板３３で剥離された第２接着シートＡＳ２を被着体ＷＫに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ３４と、駆動機器としての回動モータ３５Ａによって回転駆動される駆動ローラ３５と、剥離シートＲＬを駆動ローラ３５との間に挟み込むピンチローラ３６と、図示しない駆動機器によって駆動され、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ３７とを備えている。

移行手段４０は、図２に示すように、リフトテーブル２４の凹部２４Ｂ内に配置され、データキャリアＤＣを第２接着シートＡＳ２に押し付ける押付手段４１と、データキャリアＤＣの外部で第１接着シートＡＳ１を切断する切断手段４２とを備えている。
押付手段４１は、駆動機器としての直動モータ４１Ａの出力軸４１Ｂに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持可能な支持面４１Ｃを有す押圧部材４１Ｄと、図示しない駆動機器によって前後および上下方向に移動し、第２接着シートＡＳ２に押圧されるデータキャリアＤＣの押圧力を受け止める受け部材４１Ｅとを備えている。
切断手段４２は、駆動機器としての直動モータ４２Ａの出力軸４２Ｂに支持された切断部材としてのカッター刃４２Ｃを備えている。

反転手段５０は、駆動機器としてのリニアモータ５１と、リニアモータ５１のスライダ５１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ５２と、回動モータ５２の出力軸５２Ａに支持され、図示しない駆動機器によって前後方向に移動可能な上面視Ｕ字状の反転アーム５３と、反転アーム５３に支持され、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段に連通された吸着パッド５４とを備えている。

剥離手段６０は、剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ６１と、駆動機器としての直動モータ６２と、直動モータ６２の出力軸６２Ａに支持されたブラケット６３に回転可能に支持された押圧ローラ６４と、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ６５と、駆動機器としての回動モータ６６Ａによって回転駆動され、剥離用テープＰＴを回収する回収ローラ６６とを備えている。

次に、本実施形態における転写装置１０の動作について説明する。
先ず、図１中実線で示す各部材が初期位置で待機する転写装置１０に対し、作業者が原反ＲＳおよび剥離用テープＰＴを同図のようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、貼付手段３０が回動モータ３５Ａを駆動し原反ＲＳを繰り出す。その後、先頭の第２接着シートＡＳ２の先端が、図１中実線で示すように、剥離板３３の先端から所定長さ剥離されたことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、貼付手段３０が回動モータ３５Ａの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。

次いで、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段がリングフレームＲＦの他方の面を上方にして支持面２２Ａ上に載置した後、一方の面に第１接着シートＡＳ１が貼付された被着体ＷＫをノッチＶＮが移行手段４０の上方となり、他方の面が上方となるようにして支持面２４Ａ上に載置する。次いで、支持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面２２Ａ、２４ＡでリングフレームＲＦおよび被着体ＷＫを吸着保持する。そして、支持手段２０が直動モータ２３を駆動し、出力軸２３Ａを昇降させて被着体ＷＫの他方の面と、リングフレームＲＦの他方の面とを同一平面内に位置させる。

次に、支持手段２０がリニアモータ２１を駆動し、スライダ２１Ａを左方に移動させて被着体ＷＫが所定の位置で図示しない検知手段に検知されると、貼付手段３０が回動モータ３５Ａを駆動し、被着体ＷＫの搬送速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。原反ＲＳが繰り出されると、先頭の第２接着シートＡＳ２が剥離板３３によって剥離シートＲＬから剥離され、押圧ローラ３４によって被着体ＷＫおよびリングフレームＲＦの他方の面に貼付されて一体物ＷＫ１が形成される。その後、次の第２接着シートＡＳ２の先端が剥離板３３の先端から所定長さ剥離されたことが図示しない検知手段によって検知されると、貼付手段３０が回動モータ３５Ａの駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。

そして、図１中二点鎖線で示すように、一体物ＷＫ１が反転手段５０の直下の所定の位置に到達すると、支持手段２０がリニアモータ２１の駆動を停止する。次いで、移行手段４０が図示しない駆動機器を駆動し、移行手段４０の上方に位置する第２接着シートＡＳ２の上面部分に受け部材４１Ｅを当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、押圧部材４１Ｄで第１接着シートＡＳ１を吸着保持する。その後、移行手段４０が直動モータ４２Ａを駆動し、図２（Ａ）中二点鎖線で示すように、カッター刃４２Ｃを昇降させてデータキャリアＤＣの外部で第１接着シートＡＳ１を切断する。次に、移行手段４０が直動モータ４１Ａを駆動し、押圧部材４１Ｄを昇降させて切断された第１接着シートＡＳ１に貼付されているデータキャリアＤＣを第２接着シートＡＳ２に押圧して貼付する。

次に、反転手段５０がリニアモータ５１を駆動し、スライダ５１Ａを下降させ、吸着パッド５４を一体物ＷＫ１に当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、一体物ＷＫ１を吸着保持する。そして、支持手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面２２Ａ、２４Ａでの一体物ＷＫ１の吸着保持を解除する。次いで、反転手段５０がリニアモータ５１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、スライダ５１Ａを上昇させた後、回動モータ５２を駆動し、一体物ＷＫ１をＸ−Ｚ平面内で回転させて天地反転させる。次に、支持手段２０が直動モータ２３を駆動し、リフトテーブル２４を上昇させる。そして、反転手段５０がリニアモータ５１を駆動し、スライダ５１Ａを下降させて支持面２４Ａ上に一体物ＷＫ１を載置する。その後、支持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面２４Ａで一体物ＷＫ１を吸着保持した後、反転手段５０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、一体物ＷＫ１の吸着保持を解除する。次いで、反転手段５０が図示しない駆動機器を駆動し、反転アーム５３を後方に移動させて一体物ＷＫ１と支持面２２Ａとの間から引き抜いた後、反転アーム５３を初期位置に復帰させる。そして、支持手段２０が直動モータ２３を駆動し、リフトテーブル２４を下降させて一体物ＷＫ１を支持面２２Ａに当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、支持面２４Ａでの一体物ＷＫ１の吸着保持を開始する。

次いで、支持手段２０がリニアモータ２１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、第１接着シートＡＳ１の右端部を押圧ローラ６４の最下部直下に位置させる。そして、剥離手段６０が直動モータ６２を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、出力軸６２Ａを下降させ、押圧ローラ６４の最下部で剥離用テープＰＴを第１接着シートＡＳ１の右端部に押圧して貼付する。その後、支持手段２０がリニアモータ２１を駆動し、スライダ２１Ａを右方向に移動させ、その速度に合わせて剥離手段６０が回動モータ６６Ａを駆動し、回収ローラ６６で剥離用テープＰＴを巻き取り、被着体ＷＫの一方の面から第１接着シートＡＳ１を剥離する。第１接着シートＡＳ１全体が被着体ＷＫから剥離された後もリニアモータ２１の駆動は続行され、スライダ２１Ａが初期位置に復帰すると、支持手段２０がリニアモータ２１の駆動を停止し、図示しない減圧手段を駆動し、支持面２２Ａ、２４Ａでの吸着保持を解除する。そして、第１接着シートＡＳ１が剥離された一体物ＷＫ１は、人手または図示しない搬送手段によって次工程に搬送され、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような本実施形態によれば、移行手段４０を設けたことで、第１接着シートＡＳ１に貼付されたデータキャリアＤＣを第２接着シートＡＳ２に移行することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付手段は、第２接着シートＡＳ２を被着体ＷＫの他方の面に押圧して貼付することが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。

支持手段２０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力等で被着体ＷＫやリングフレームＲＦを保持する構成でもよい。
支持手段２０は、支持面２４Ａの面内でリフトテーブル２４を回転させる回転手段である駆動機器と、支持面２４Ａの面内でリフトテーブル２４を直交２軸方向に移動させる２軸移動手段である駆動機器と、被着体ＷＫのノッチＶＮの位置を検出する光学センサや撮像手段等の検出手段とを備えてもよい。このような場合、搬送手段で搬送されてきた被着体ＷＫに対し、検出手段でノッチＶＮの位置を検出して、当該ノッチＶＮが移行手段４０上に配置されるように、回転手段と２軸移動手段とがリフトテーブル２４を移動させることができる。また、被着体ＷＫおよびリングフレームＲＦの他方の面に第２接着シートＡＳ２が貼付された後、支持手段２０が直動モータ２３を駆動し、リフトテーブル２４を下降させて支持面２４Ａを一体物ＷＫ１と離間させた後、検出手段でノッチＶＮの位置を検出して、当該ノッチＶＮが移行手段４０上に配置されるように回転手段と２軸移動手段とがリフトテーブル２４を移動させてもよい。
支持手段２０は、被着体ＷＫおよび一体物ＷＫ１を停止させておき、または、被着体ＷＫおよび一体物ＷＫ１を移動させつつ、貼付手段３０、反転手段５０および剥離手段６０等の他の手段を適宜上下左右方向に移動させて、上記同様の第２接着シートＡＳ２の貼付動作、一体物ＷＫ１の上下反転動作および第１接着シートＡＳ１の剥離動作を行ってもよい。
他の装置で被着体ＷＫを支持する場合、本発明において支持手段２０はあってもよいしなくてもよく、その他反転手段５０等、本願発明の独立請求項に構成要件として記載されていない構成要素については、それぞれ必要に応じて採用すればよく、あってもよいしなくてもよい。

貼付手段３０は、剥離シートＲＬ上に仮着されていない第２接着シートＡＳ２を繰り出して供給する構成のものでもよい。
貼付手段３０は、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、供給された第２接着シートＡＳ２を減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持し、被着体ＷＫに押圧して貼付する構成でもよい。
剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
押圧手段は、ローラ、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができ、エアの噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。

移行手段４０は、リフトテーブル２４の凹部２４Ｂ外に配置してもよい。
被着体ＷＫおよびリングフレームＲＦの他方の面に第２接着シートＡＳ２を貼付した段階で、データキャリアＤＣが当該第２接着シートＡＳ２に貼付するような場合、押付手段４１はあってもよいしなくてもよい。
被着体ＷＫの一方の面から第１接着シートＡＳ１を剥離した段階で、データキャリアＤＣが第２接着シートＡＳ２側に貼付しているような場合、押付手段４１はあってもよいしなくてもよいし、切断手段４２もあってもよいしなくてもよい。
押付手段４１は、エアの噴き付けや、コイルバネのバネ部材等でデータキャリアＤＣを第２接着シートＡＳ２に押し付けてもよい。
押圧部材４１Ｄおよび受け部材４１Ｅは、支持面４１Ｃや第２接着シートＡＳ２に当接する面にゴムやスポンジ等の弾性部材を備えるようにしてもよい。
押圧部材４１Ｄは、データキャリアＤＣだけが第２接着シートＡＳ２に押し付けられるように構成してもよいし、データキャリアＤＣの周辺の第１接着シートＡＳ１だけが第２接着シートＡＳ２に押し付けられるように構成してもよいし、それら両方が第２接着シートＡＳ２に押し付けられるように構成してもよい。
押圧部材４１Ｄは、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力等で第１接着シートＡＳ１を保持する構成でもよいし、第１接着シートＡＳ１を吸着保持しなくてもよい。
受け部材４１Ｅは、一体物ＷＫ１の面のうちの一部または全体を押える板状部材であってもよい。
切断手段４２は、レーザー光、イオンビーム、火力、熱、水圧または空気圧で第１接着シートＡＳ１を切断する切断部材を採用してもよい。
切断手段４２は、押付手段４１でデータキャリアＤＣを第２接着シートＡＳ２に押圧してから第１接着シートＡＳ１を切断してもよい。
切断手段４２は、カッター刃４２Ｃを支持面２４Ａの面内方向に移動する駆動機器を備え、切断手段４２が当該駆動機器を駆動し、データキャリアＤＣの外部で第１接着シートＡＳ１を切断する構成でもよい。
切断手段４２は、回転して切断するロータリカッタを採用してもよい。
カッター刃４２Ｃは、第１接着シートＡＳ１を所定形状に切断する抜型であってもよい。
データキャリアＤＣの外部で第１接着シートＡＳ１に切り込みを入れておくような場合、切断手段４２はあってもよいしなくてもよい。

反転手段５０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力等で一体物ＷＫ１を保持する構成でもよい。
反転手段５０は、駆動機器としての多関節ロボット等であってもよい。
反転手段５０は、一体物ＷＫ１の下面または側面を保持して一体物ＷＫ１を反転するように構成してもよい。
反転手段５０は、一体物ＷＫ１を反転する方向に何ら限定はない。

剥離手段６０は、第１接着シートＡＳ１に貼付された剥離用テープＰＴの一端をメカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段で把持したり、チャック手段で第１接着シートＡＳ１を直接把持したりして、被着体ＷＫから第１接着シートＡＳ１を剥離する構成でもよい。
剥離手段６０は、押圧ローラ６４等の剥離用テープＰＴを第１接着シートＡＳ１に押圧する部材にコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設け、剥離用テープＰＴを加熱して第１接着シートＡＳ１に押圧して貼付する構成でもよい。この場合、剥離用テープＰＴは、感圧接着性の接着シートでもよいし、感熱接着性の接着シートでもよい。
剥離手段６０は、一体物ＷＫ１の下面または側面から第１接着シートＡＳ１を剥離するように構成してもよい。

転写装置１０は、天地反転して配置したり横置きにしたりして、被着体ＷＫを第１接着シートＡＳ１から第２接着シートＡＳ２に転写するように構成してもよい。
転写装置１０は、リングフレームＲＦをなくし、被着体ＷＫを第１接着シートＡＳ１から第２接着シートＡＳ２に転写する構成でもよい。
被着体ＷＫが貫通孔を備え、当該貫通孔内に位置するようにデータキャリアＤＣが第１接着シートＡＳ１に貼付されていてもよい。
第１接着シートＡＳ１が被着体ＷＫの外縁からはみ出す領域を備え、当該領域にデータキャリアＤＣが貼付されていてもよい。
ノッチＶＮの形状は、Ｖ字状に限らず、多角形、円形もしくは楕円の一部の形状、Ｕ字状または不定形状であってもよい。
データキャリアＤＣとしては、マイクロチップ、ＲＦＩＤ等を例示できる。データキャリアＤＣに記憶される情報は、被着体ＷＫの製品名、ロッド番号等の各種情報、今までに被着体ＷＫに施した処理の履歴情報、今後被着体ＷＫに施す処理の内容の情報、次に被着体ＷＫを送る工程や客先等の搬送先情報、被着体ＷＫがウエハのように分割して使用される物の場合、不良品の位置情報等どんな情報でもよい。

本発明における第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２、被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはない。また、このような第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、電極基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１０・・・転写装置
３０・・・貼付手段
４０・・・移行手段
４１・・・押付手段
４２・・・切断手段
６０・・・剥離手段
ＡＳ１・・・第１接着シート
ＡＳ２・・・第２接着シート
ＤＣ・・・データキャリア
ＷＫ・・・被着体

Claims (4)

1. 一方の面に第１接着シートが貼付された被着体の他方の面に第２接着シートを貼付して前記第１接着シートを剥離する転写装置であって、
   前記第２接着シートを前記被着体の他方の面に押圧して貼付する貼付手段と、
   前記被着体の一方の面から前記第１接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
   前記第１接着シートにはデータキャリアが貼付されており、当該データキャリアを前記第１接着シートから前記第２接着シートに移行する移行手段を有することを特徴とする転写装置。
2. 前記移行手段は、前記データキャリアおよび、当該データキャリアの周辺の前記第１接着シートの少なくとも一方を前記第２接着シートに押し付ける押付手段を有することを特徴とする請求項１に記載の転写装置。
3. 前記移行手段は、前記データキャリアの外部で前記第１接着シートを切断する切断手段を有することを特徴とする請求項１または２に記載の転写装置。
4. 一方の面に第１接着シートが貼付された被着体の他方の面に第２接着シートを貼付して前記第１接着シートを剥離する転写方法であって、
   前記第２接着シートを前記被着体の他方の面に押圧して貼付する工程と、
   前記被着体の一方の面から前記第１接着シートを剥離する工程とを備え、
   前記第１接着シートにはデータキャリアが貼付されており、当該データキャリアを前記第１接着シートから前記第２接着シートに移行する工程を有することを特徴とする転写方法。

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