JP6297869B2 - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 103
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 103
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 24
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 10
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- -1 optical disks Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
特許文献1に記載のシート貼付装置は、ラベル(接着シート)が所定間隔で仮着された帯状台紙を供給する供給リールと、帯状台紙を折り返して当該帯状台紙からラベルを剥離する剥離板と、被着体にラベルを貼付する押圧ローラとを備え、剥離板で帯状台紙からラベルを剥離しつつ、当該ラベルを押圧ローラで被着体に押圧して貼付するように構成されている。
本発明のシート貼付装置において、前記接着シートは、前記接着面における前記仮着部の仮着領域以外の領域に第2剥離シートが仮着され、前記接着面から前記第2剥離シートを剥離する剥離手段を備えていることが好ましい。
また、本実施形態において、X軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、作業者が複数のシート積層体LSをテーブル63上に重ねて収容した後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、供給手段60が直動モータ62を駆動し、テーブル63を昇降させ、最上部に位置するシート積層体LSの基材BS上面が検知手段64に検知されると、直動モータ62の駆動を停止する。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段により、テーブル71上にウエハWFを載置すると、被着体支持手段70が図示しない減圧手段を駆動し、当該ウエハWFを吸着保持した後、XYθテーブル72を駆動し、ウエハWFを所定の位置に位置決めする。
また、支持手段20は、支持部材22を支持面22A内で回転させる駆動機器としての回動モータと、はみ出し部PRを検知可能な検知手段64と同等の検知手段とを設け、当該回動モータを駆動し、検知手段ではみ出し部PRを検知して当該検知結果を基にして、はみ出し部PRが下方の把持爪42A上に位置するように構成してもよい。
さらに、押圧手段30は、エア噴き付けにより接着シートASをウエハWFに押圧する構成を採用してもよいし、ベースプレート21を介さずに支持部材22を支持してもよい。
さらに、引抜手段40、剥離手段50は、折返し部FP、第2剥離シートRL2に剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを引っ張って、第1剥離シートRL1、第2剥離シートRL2を接着シートASから剥離したり、メカチャックで折返し部FP、第2剥離シートRL2を保持し、当該メカチャックを引っ張って、第1剥離シートRL1、第2剥離シートRL2を接着シートASから剥離したりする構成としてもよいし、剥離手段50を設けなくてもよい。
さらに、供給手段60を設けずに、人手で接着シートASを供給するようにしてもよい。
また、回収手段80は、第2剥離シートRL2を収容可能なものであれば、何ら限定されるものではない。
さらに、第2剥離シートRL2は、第1剥離シートRL1の仮着部APと折返し部FPとを合わせた厚みと略同じ厚みとしたり、仮着部APや折返し部FPの厚みよりも大きくしたり、小さくしたり、仮着部APと折返し部FPとを合わせた厚みよりも大きくしたり、小さくしたりしてもよく、任意にその厚みを決定することができる。
さらに、第1剥離シートRL1は、帯状に形成され、複数の接着シートASが仮着されたものでもよい。
さらに、押圧手段30によってシート積層体LSを搬送する際や、押圧手段30によってシート積層体LSをウエハWFに押圧する直前に、折返し部FPが仮着部APから離れてしまうことを防止する図示しない折返し維持手段を設けてもよい。このような折返し維持手段は、空気を吹き付けたり、シャフト部材で押圧したりして、折返し部FPを仮着部AP方向に付勢する構成のものや、吸引やクーロン力によってはみ出し部PRを仮着部AP方向に付勢する構成のものが例示できる。なお、折返し部FPが接着シートASや仮着部APよりも大きい場合、支持部材22の支持面22Aを接着シートASや仮着部APよりも大きくし、当該支持面22Aで折返し部FPを引き付けることで折返し維持手段を構成することもできる。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20 支持手段
30 押圧手段
40 引抜手段
50 剥離手段
AP 仮着部
AP1 仮着面
AS 接着シート
FP 折返し部
RL1 第1剥離シート
RL2 第2剥離シート
SA 接着面
WF ウエハ(被着体)
Claims (4)
- 一方の面が接着面とされた接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、
仮着部および当該仮着部に連接した折返し部を有する第1剥離シートが前記接着面に仮着された接着シートを他方の面側から支持する支持手段と、
前記支持手段で支持した接着シートを前記第1剥離シートを間に挟んで被着体に押圧する押圧手段とを備え、
前記第1剥離シートは、前記仮着部の仮着面が前記接着面に仮着されるとともに、前記折返し部が前記仮着面の反対側の面方向に折り返された状態で、前記押圧手段によって前記被着体に押圧され、
前記接着シートと被着体との間から前記折返し部を介して前記第1剥離シートを引き抜く引抜手段を備えることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記引抜手段は、前記接着面から前記第1剥離シートを部分的に剥離する部分剥離が可能に設けられ、当該部分剥離で表出した前記接着面の一部を前記押圧手段で前記被着体に押圧して貼付してから、前記第1剥離シートを引き抜く制御が可能に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 前記接着シートは、前記接着面における前記仮着部の仮着領域以外の領域に第2剥離シートが仮着され、
前記接着面から前記第2剥離シートを剥離する剥離手段を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート貼付装置。 - 一方の面が接着面とされた接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法であって、
仮着部および当該仮着部に連接した折返し部を有する第1剥離シートが前記接着面に仮着された接着シートを他方の面側から支持する工程と、
支持した接着シートを前記第1剥離シートを間に挟んで被着体に押圧する工程とを備え、
前記第1剥離シートは、前記仮着部の仮着面が前記接着面に仮着されるとともに、前記折返し部が前記仮着面の反対側の面方向に折り返された状態で、前記被着体に押圧され、
前記接着シートと前記被着体との間から前記折返し部を介して前記第1剥離シートを引き抜く工程を備えることを特徴とするシート貼付方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014052163A JP6297869B2 (ja) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | シート貼付装置および貼付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014052163A JP6297869B2 (ja) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | シート貼付装置および貼付方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015174675A JP2015174675A (ja) | 2015-10-05 |
JP6297869B2 true JP6297869B2 (ja) | 2018-03-20 |
Family
ID=54254208
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014052163A Active JP6297869B2 (ja) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | シート貼付装置および貼付方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6297869B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH068011Y2 (ja) * | 1989-04-10 | 1994-03-02 | 株式会社ハリマ技研 | 静電気力を用いたラベル吸着装置 |
JP2005338188A (ja) * | 2004-05-24 | 2005-12-08 | Hisago Label Kk | ラベル作製シート |
JP3143103U (ja) * | 2008-04-23 | 2008-07-10 | 株式会社金沢シール | ラベル |
JP5038263B2 (ja) * | 2008-08-28 | 2012-10-03 | リンテック株式会社 | シート剥離装置及び剥離方法 |
JP5514383B2 (ja) * | 2010-09-13 | 2014-06-04 | 共同紙工株式会社 | 折り畳みラベル、折り畳みラベル付き物品及びその製造方法 |
-
2014
- 2014-03-14 JP JP2014052163A patent/JP6297869B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015174675A (ja) | 2015-10-05 |
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