KR101011120B1 - 재부착 장치 및 분류 재부착 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 분류 나눔된 디바이스가 부착된 시트를 구비한 트레이를 다단으로 수납하는 매거진으로부터, 후공정에서 이용 가능한 사이즈의 시트에 디바이스의 재부착을 순차적으로 실행함으로써, 오토메이션에 의한 디바이스의 시트 사이에서의 재부착을 실현하고, 처리의 고속화와 편리성의 향상을 도모할 수 있는 재부착 장치 및 분류 재부착 방법을 제공하는 것이다.

재부착 장치(1)는, 점착성을 갖는 제1 시트(S1)를 구비한 2인치(한 변이 5㎝인 정사각형)의 공급 트레이(K)를 다단으로 구비한 매거진(2)으로부터 공급 트레이(K)를 송출하고, 트레이 반전 기구(5)에 의해 보유 지지한다. 트레이 반전 기구(5)는, 수취한 공급 트레이(K)를 반전시켜, 공급 트레이 상의 디바이스를 제2 시트(S2)에 부착한다. 시트 커터에 의해 제2 시트(S2)를 한 변이 20㎝인 정사각형으로 잘라내고, 시트 분류 엘리베이터에 탑재하여, 이 시트 분류 엘리베이터에 의해 제2 시트(S2)를 다단으로 배치되는 원하는 수납 선반에 수납한다.

재부착 장치, 시트, 매거진, 공급 트레이, 트레이 반전 기구

Description

재부착 장치 및 분류 재부착 방법 {REATTACHING DEVICE, AND SORTING AND REATTACHING METHOD}

본 발명은, 전공정에 있어서 웨이퍼 처리를 종료하고, 특성에 따라서 분류하여 분류마다 점착 시트에 부착된 LED, 반도체 장치 등의 디바이스를, 후공정에 있어서의 처리를 위해 다른 점착 시트에 재부착을 행하는 재부착 장치 및 분류 재부착 방법에 관한 것이다.

LED 칩이나 반도체 장치 등의 디바이스는, 전공정에 있어서의 웨이퍼 처리를 거쳐, 후공정에 있어서 웨이퍼 마운팅, 다이본딩, 와이어본딩, 패키징의 각 공정 처리가 실시되어 출하된다.

전공정으로부터 후공정으로 디바이스를 공급하는 방법에는, 웨이퍼 링 상의 점착성을 갖는 웨이퍼 시트(UV 시트 등)에 부착되고 다이싱으로 개편화(個片化)된 디바이스를 공급하는 방법이나, 개편의 디바이스를 리드 프레임에 탑재하여 리드 프레임 공급 유닛에 의해 공급하는 방법 또는 진동식 부품 피더에 의해 일정한 방향 및 자세로 정렬하여 공급하는 방법 등이 있다.

이 중, 디바이스를 웨이퍼 시트에 의해 공급하는 방법에 있어서는, 전공정의 마지막 공정 처리로서, 웨이퍼 시트 상의 디바이스의 품질 검사를 행한다. 예를 들어, LED 칩의 경우에는, 광학 프로브에 의해 광도, 광속, 파장, 컬러 좌표 등의 광학 테스트 행하거나, 카메라에 의한 외관 검사를 행한다. 또한, 반도체 장치이면, 외관 검사, 전기 특성 검사 등을 행한다. 이러한 다양한 검사에 의해, 각 디바이스의 디바이스 특성이 판명되고, 이러한 디바이스 특성에 따라서 후공정에 이르기 전에 있어서, 디바이스를 복수의 분류로 나누는 경우가 있다.

이러한 웨이퍼 시트 상에 있어서의 디바이스의 분류 나눔의 방법으로서, 예를 들어 이하에 교시한 것이 있다. 즉, 다이싱으로 개편화된 디바이스가 웨이퍼 시트에 부착된 1매의 웨이퍼 링과, 분류된 디바이스를 각 분류마다 재부착하기 위한 분류수에 따른 복수매의 웨이퍼 링을 준비한다. 그리고 이 1매의 웨이퍼 링으로부터, 특성 검사의 결과에 따라서, 복수의 웨이퍼 링에 대해 분류하여 재부착을 행하는 기술이다. 이 경우, 분류마다 웨이퍼 링을 준비할 수 있으므로, 후공정으로의 전달이 용이해진다. 또한, 이 재부착용의 웨이퍼 시트에서는, 분류마다, 예를 들어 직사각 형상으로 디바이스를 배치한다.

그러나 상술한 1매의 웨이퍼 링으로부터 특성 검사의 결과에 따라서 복수의 웨이퍼 링에 대해 분류하여 재부착을 행하는 방법에서는, 통상 웨이퍼 링 1매에 대해 1분류로 하기 때문에, 분류수는 장치 전체적으로 설치할 수 있는 웨이퍼 링수에 제한되어 버린다. 즉, 웨이퍼 링의 탑재수는 장치의 사이즈에 제한되어, 많은 분류수를 확보할 수 없다. 또한, 복수매의 웨이퍼 링을 배치하는 경우, 1매의 웨이퍼 링으로부터 재부착을 행하는 기구의 가동 범위가 넓어져 1동작당의 처리 시간이 걸리기 때문에 생산성이 악화된다. 또한, 장치 점유 면적도 상대적으로 커진다.

다른 방법으로서, 복수매 준비한 웨이퍼 링을, 예를 들어 수직 방향으로 포개도록 배치해 두고, 분류에 따라서 대상이 되는 웨이퍼 링을 인출하여 재부착을 행하는 등, 웨이퍼 링의 절환을 행함으로써 많은 분류수를 확보하는 것이 가능하다. 그러나 이 경우, 웨이퍼 링의 절환에 시간이 걸려, 생산성이 저하된다. 또한, 웨이퍼 링의 절환 기구나 수납 기구가 필요해져, 장치 구성이 복잡해져, 장치의 점유 면적도 증대된다.

따라서 출원인은, 이것을 해결하는 방법으로서, 도 5에 도시하는 바와 같이 점착 시트를 부착한 2인치형의 트레이[예로서, 겔팩(상표)을 이용함]를 복수매 준비하고, 이들 트레이를, 원주 형상으로 복수매 배치하여 드럼형으로 하고, 이 드럼 상에 배치된 복수매의 트레이에 대해, 분류마다 디바이스를 부착하는 분류 장치를 제안하였다(PCT/JP2009/002342).

이 분류 장치에서는, 드럼 상에 배치된 복수개(실시 형태로서는 60개)의 2인치형의 트레이에 디바이스를 분류 부착한 후, 분류마다 디바이스가 부착된 트레이를, 매거진에 수납하도록 되어 있다.

이러한 분류 장치에 의해, 매우 많은 분류를 확보하면서, 구동 기구를 포함한 장치 점유 면적을 억제하여, 디바이스의 분류수가 많아도 드럼의 회전 이동과, 축방향으로의 이동으로 트레이의 고속 절환이 가능하여, 생산성을 높이는 것으로 하였다. 또한, 각 트레이 상에 디바이스가 가득 찼을 때에 있어서도, 당해 트레이만의 교환을 행하면 돼, 그 교환에 필요한 시간도 매우 짧게 할 수 있다.

그런데, 상기와 같은 분류 장치에 있어서는, 다분류로의 고속 처리를 행하기 위해, 일반적으로 이용하는 것보다 작은 트레이, 예를 들어 2인치형의 트레이를 이용하지만, 이 2인치형의 트레이가, 후공정의 공정을 행하는 본더의 공급 기구와 대응하고 있지 않은 경우에는, 그 상태로는 후공정으로 이어 받을 수 없다. 이 경우, 2인치형의 트레이로부터, 통상 이용하는 한 변이 20㎝인 정사각형 정도의 점착 시트에 재부착할 필요가 발생한다.

종래, 이러한 재부착 장치가 다양하게 제안되어 있고, 예를 들어 제1 지지체에 의해 칩 형상의 웨이퍼를 지지한 상태에서 익스팬드 상태로 하고, 이 웨이퍼에 제2 지지체를 접합하고, 그 후, 제1 지지체에 가열 수단에 의해 가열을 행하고, 그 열에 의해 제1 지지체(1)가 수축을 수반하면서 익스팬드 상태로부터 개방되도록 하여, 한쪽의 시트로부터 다른 쪽의 시트로 재부착하는 기술이 있다(특허 문헌 1).

또한, 다이싱용 시트에 부착한 반도체 웨이퍼를, 개편의 칩으로 분할한 후에, 일단 보유 지지 시트에 임시 보유 지지한 후, 또한 표면의 평활면이 계면력을 갖는 픽업용 시트에 이들 칩을 재부착하는 것이며, 이 재부착에 있어서, 시트에 UV 조사를 하여, 시트의 점착력을 저하시켜 재부착하는 기술이 제안되어 있다(특허 문헌 2).

특허 문헌 1 : 일본 특허 출원 공개 제2007-311570호 공보

특허 문헌 2 : 일본 특허 출원 공개 제2004-288690호 공보

그런데, 상기한 분류 장치에 있어서는, 복수의 트레이가, 수직 방향 다단으로 포개져, 매거진에 수납된 상태로 제공되는 것이지만, 종래의 시트의 재부착 장치에서는, 이러한 매거진으로부터 트레이를 순차 취출하여, 후공정에서도 이용 가능한 사이즈의 시트에 재부착하는 장치는 제안되어 있지 않아, 작업자에 의한 수작업으로의 재부착을 행하는 것이 일반적이었다.

또한, 상기 특허 문헌에 개시되는 재부착 장치도, 사이즈가 상이한 시트에의 재부착이나, 매거진으로부터 순차 제공되는 복수의 트레이를 차례로 재부착하는 기술을 상정한 것은 아니었다.

본 발명은, 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것이며, 그 목적은, 분류 나눔된 디바이스가 부착된 시트를 구비한 트레이를 다단으로 수납하는 매거진으로부터, 후공정에서 이용 가능한 사이즈의 시트에 디바이스의 재부착을 순차 실행함으로써, 오토메이션에 의한 디바이스의 시트 사이에서의 재부착을 실현하여, 처리의 고속화와 편리성의 향상을 도모할 수 있는 재부착 장치 및 분류 재부착 방법을 제공하는 데 있다.

상기한 목적을 달성하기 위해, 청구항 1의 발명은, 디바이스를 부착한 점착성을 갖는 제1 시트를 갖는 공급 트레이를 수납한 매거진으로부터 상기 공급 트레이를 배출하고, 상기 트레이 상의 디바이스를, 점착성을 갖고 사이즈가 상이한 제2 시트에 재부착하고, 제2 시트를 소정의 사이즈로 컷트하여 수납 선반에 수납하는 재부착 장치에 있어서, 상기 공급 트레이를 복수 다단으로 구비한 매거진과, 상기 매거진을 수직 방향으로 이동시킴으로써, 공급 트레이의 배출 위치로 이동시키는 엘리베이터와, 상기 매거진으로부터 상기 공급 트레이를 배출하는 푸셔 기구와, 배출된 상기 공급 트레이를 수취하여 흡착 보유 지지 하는 기구와, 이 트레이를 반전시켜, 상기 트레이 상의 상기 제1 시트에 부착된 디바이스를 상기 제2 시트에 대해 압박하고, 당해 디바이스를 상기 제2 시트에 대해 부착하는 반전 기구를 갖는 트레이 반전 기구와, 상기 제2 시트를 공급하는 시트 롤과, 상기 시트 롤에 권회된 제2 시트를 소정의 피치로 송출하는 이송 롤러와, 디바이스가 재부착된 제2 시트를, 소정의 간격으로 컷트하는 시트 커터와, 상기 시트 커터에 의해 잘라내어진 제2 시트를 보유 지지하고, 상하 방향으로 이동하면서, 당해 제2 시트를 수납하는 위치로 이동시키는 시트 분류 엘리베이터와, 상기 시트 분류 엘리베이터의 하류측에 설치되고, 잘라내어진 제2 시트를 수납하는 트레이를 다단으로 구비한 수납 선반을 구비한 것을 특징으로 한다.

이상의 형태에서는, 분류 장치에 있어서 분류되고, 수직 방향 다단으로 포개진 복수의 트레이의 점착 시트(제1 시트)에 부착된 디바이스를, 매거진으로부터 트레이를 순차 취출하면서, 점착성을 갖고 사이즈가 상이한 제2 시트에 재부착할 수 있으므로, 오토메이션에 의한 디바이스의 시트 사이에서의 재부착을 실현하여, 처리의 고속화와 편리성의 향상을 도모할 수 있다. 또한, 사람의 손에 의한 디바이스의 재부착 등과 비교하여, 로드 혼입 등의 실수를 방지할 수 있다.

청구항 2의 발명은, 청구항 1의 발명에 있어서, 상기 트레이 반전 기구는 상기 제1 시트 상의 디바이스를, 상기 제2 시트에 대해 압박하는 압박량 및 압입 압력을 조정 가능하게 구성된 것을 특징으로 한다.

이상의 형태에서는, 트레이 반전 기구에 의해, 공급 트레이 상의 디바이스를, 제2 시트에 대해 압박하는 압박량 및 압입 압력을 조정할 수 있으므로, 디바이스의 특성에 따라서 압력 조정을 행함으로써 디바이스의 파손 등을 방지할 수 있는 동시에, 제1 시트로부터 제2 시트에 대한 재부착을 확실하게 행할 수 있다.

청구항 3의 발명은, 청구항 1의 발명에 있어서, 상기 트레이 반전 기구는 상기 제2 시트에 대해 압박하는 압박량 및 압입 압력을 조정하는 기구로서, 상기 제2 시트에 있어서의 디바이스의 부착 위치에 있어서, 상기 제2 시트에 있어서의 상기 제1 시트에 부착된 디바이스를 압박하는 측과 반대측으로부터, 부착되는 면적과 동등한 면적으로 이루어지는 면을 압박하는 접촉면을 구비하고, 이 접촉면은, 제2 시트에 대한 접촉 압력의 조정 수단으로서, 가압력 조정 스프링 또는 보이스 코일 모터를 구비하는 것을 특징으로 한다.

이상의 형태에서는, 제2 시트에 있어서의 디바이스의 부착 위치에 있어서, 제2 시트에 있어서의 상기 제1 시트에 부착된 디바이스를 압박하는 측과 반대측으로부터 부착되는 면적과 동등한 면적으로 이루어지는 접촉면을 압박함으로써, 트레이 반전 기구의 흡착 보유 지지 기구와 이 접촉면에 의해, 제1 시트와 제2 시트를 끼워 넣는 것에 있어서, 가압력 조정 스프링 또는 보이스 코일 모터에 의해, 그 압박하는 압박량 및 압입 압력의 조정을 용이하게 할 수 있다.

청구항 4의 발명은, 청구항 1의 발명에 있어서, 트레이 반전 기구에 의해, 상기 제2 시트에 재부착된 디바이스의 표면에 대해, 부착할 보호 시트를 권회한 보호 시트 롤을 구비한 것을 특징으로 한다.

이상의 형태에서는, 디바이스를 재부착한 제2 시트 상에, 재부착 후에 보호 시트를 부착함으로써, 그 후, 수납 선반에 수납되고, 출하되는 디바이스의 파손이나 오염 등을 방지할 수 있으므로, 출하하는 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

청구항 5의 발명은, 청구항 1의 발명에 있어서, 상기 트레이 반전 기구의 공급 트레이의 수취 위치에는, 상기 공급 트레이의 제1 시트에 부착된 디바이스의 표면의 외관 검사를 행하는 표면 검사 카메라가 설치되고, 상기 트레이 반전 기구의 상기 제2 시트에의 재부착 위치에는, 상기 트레이 반전 기구에 의해 반전되어 상기 제2 시트에 부착된 디바이스의 이면의 외관 검사를 행하는 이면 검사 카메라가 각각 설치된 것을 특징으로 한다.

이상의 형태에서는, 트레이 반전 기구에 의한 디바이스의 반전 및 재부착시에, 디바이스 표면과 이면의 외관 검사를 행할 수 있어, 디바이스를 출하하기 전에 있어서, 디바이스의 불량을 검출하여 불량품의 출하를 방지하는 것이 가능해진다.

청구항 6의 발명은, 청구항 1의 발명에 있어서, 상기 공급 트레이에는 제1 시트에 부착한 디바이스의 특성에 따른 분류 정보를 기억한 IC 태그가 부여되고, 상기 트레이 반전 기구의 상기 공급 트레이의 수취 위치 근방에는, 당해 공급 트레이에 관한 분류 정보를 판독하는 RFID 리더가 설치되고, 상기 판독된 분류 정보에 기초하여, 당해 공급 트레이의 제1 시트에 부착된 디바이스가 재부착된 상기 제2 시트에 대해, 상기 식별 정보를 부여하는 식별 정보 부여 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

이상의 형태에서는, 분류 장치에 있어서 부여된 트레이의 분류 정보를, 일련의 오토메이션에 의한 재부착 작업 중에서, 공급 트레이 또는 제1 시트로부터 제2 시트로 이어 받을 수 있으므로, 디바이스의 특성에 따른 분류에 따라서 제품을 출하하거나, 후공정에 있어서 당해 분류 정보를 이용하는 것이 가능해진다.

청구항 7의 발명은, 청구항 1의 발명에 있어서, 상기 제1 시트의 점착력은 상기 제2 시트의 점착력보다 약하게 설정된 것을 특징으로 한다.

이상의 형태에서는, 부착 주체인 제1 시트에 점착력이 약한 점착 시트를 이용하고, 피부착체인 제2 시트에 점착력이 강한 점착 시트를 이용함으로써, 상술한 바와 같은 구성의 흡착 핸드가 반전되어, 제1 시트를 제2 시트에 적절한 압력을 가하면서 압박한다고 하는 간단한 구성으로, 디바이스의 재부착을 행할 수 있다.

청구항 8의 발명은, 청구항 1의 발명에 있어서, 상기 트레이 반전 기구는 상기 공급 트레이를 반전시켜, 상기 제1 시트에 부착된 디바이스를 상기 제2 시트에 대해 부착한 후, 다시 반전시켜, 상기 공급 트레이의 수취 위치로 복귀되도록 구성되고, 상기 수취 위치 근방에, 상기 트레이 상의 디바이스를 보유 지지하지 않는 제1 시트의 점착면에 대해, 이 제1 시트보다 강한 점착력을 갖는 클리닝 테이프를 압박하여, 제1 시트의 오염을 상기 클리닝 테이프에 전사하여 클리닝하는 클리닝 기구가 설치된 것을 특징으로 한다.

이상의 형태에서는, 클리닝 기구를 설치하고, 제2 시트에 재부착을 종료한 제1 시트의 점착면에 클리닝 테이프를 압박하여, 제1 시트의 오염을 클리닝 테이프에 전사하여 클리닝을 행함으로써, 시트의 점착면의 오염이나 진애를 정확하게 제거할 수 있어, 항상 점착력을 유지한 시트에 의해 디바이스의 분류 및 재부착을 행하는 것이 가능해진다. 또한, 종래 시트의 표면의 오염을 수세에 의해 제거하고 있었던 것을, 장치 내에 있어서 물 비산을 방지하기 위한 구조 등을 필요로 하지 않고 클리닝 처리를 행할 수 있어, 실용성의 향상을 도모하는 것이 가능해진다.

청구항 9의 발명은, 청구항 8에 기재된 발명에 있어서, 상기 클리닝 기구는 상기 제1 시트의 점착면에 상기 클리닝 테이프를 회전하면서 압박하는 클리닝 롤러와, 이 클리닝 롤러를 상기 제1 시트 상에서 이동시키는 실린더를 구비한 것을 특징으로 한다.

이상의 형태에서는, 클리닝 롤러를 실린더에 의해 이동시키면서 제1 시트의 점착면의 클리닝을 행할 수 있으므로, 제1 시트 상의 오염이나 진애를 효율적으로 제거하는 것이 가능해진다.

청구항 10의 발명은, 청구항 9에 기재된 발명에 있어서, 상기 클리닝 기구는 상기 클리닝 테이프가 권회되고, 상기 클리닝 롤러에 대해 공급하는 테이프 롤러와, 제1 시트의 오염을 전사한 사용 완료된 클리닝 롤러를 권회하여 회수하는 클리닝 완료 테이프 롤러를 구비하고, 상기 클리닝 완료 테이프 롤러에는, 사용 완료된 클리닝 테이프가, 상기 클리닝 롤러의 이동에 의해 역류하지 않도록 상기 클리닝 완료 테이프 롤러의 역회전을 방지하는 래칫이 설치된 것을 특징으로 한다.

이상의 형태에서는, 클리닝 완료 테이프 롤러에 권회된 클리닝 완료 테이프가 역류하여, 제1 시트에 오염을 부착시켜 버리는 일이 없으므로, 효율이 좋고, 신뢰성이 높은 좋은 클리닝 기구를 제공하는 것이 가능해진다.

청구항 11의 발명은, 점착성을 갖는 제1 시트에 의해 디바이스를 복수 보유 지지하는 트레이를 착탈 가능하게 원환상으로 복수 구비한 드럼형의 분류 기구와, 상기 드럼형의 분류 기구로부터 디바이스가 가득 참으로 분류된 트레이를 수취하여 매거진에 수납하는 동시에 빈 트레이를 매거진으로부터 수취하여 상기 드럼형의 분류 장치로 공급하는 트레이 교환 기구와, 상기 매거진으로부터 디바이스가 가득 찬 트레이를 수취하여 이 트레이 상의 제1 시트에 부착된 디바이스를, 점착성을 갖는 제2 시트에 재부착하는 재부착 기구와, 상기 재부착 기구에 의해 트레이로부터 디바이스를 수취하는 제2 시트를 공급 반송하는 시트 공급 반송 기구와, 디바이스가 부착된 제2 시트를 소정 사이즈로 잘라내는 시트 절단 기구와, 절단된 제2 시트를 수납하는 수납 선반을 이용하여 행하는 디바이스의 분류 재부착 방법에 있어서, 상기 분류 장치에 의해, 특성 검사에 의해 분류가 판명된 디바이스를, 적어도 대응하는 분류 식별 정보가 부여된 트레이에 부착하는 공정과, 상기 트레이 교환 기구에 의해, 상기 드럼형의 분류 기구로부터 디바이스가 가득 참으로 분류된 트레이를 수취하여 매거진에 수납하는 동시에 빈 트레이를 매거진으로부터 수취하여 상기 드럼형의 분류 장치로 공급하는 공정과, 재부착 기구에 의해, 디바이스가 가득 찬 트레이를 상기 매거진으로부터 수취하여 보유 지지하고, 이 트레이 상의 제1 시트에 부착된 디바이스를 제2 시트에 재부착하는 공정과, 상기 재부착 기구에 있어서 보유 지지된 트레이의 상기 분류 식별 정보를 판독하는 공정과, 시트 공급 기구에 의해, 상기 재부착 기구에 의해 트레이로부터 디바이스를 수취하는 제2 시트를 공급 반송하는 공정과, 상기 시트 절단 기구에 의해, 디바이스가 부착된 제2 시트를 소정 사이즈로 잘라내는 공정과, 상기 잘라내어진 제2 시트에 대해, 부착된 디바이스에 대응하는 상기 분류 식별 정보를 기입하는 공정과, 상기 수납 선반에, 절단된 제2 시트를 수납하는 공정을 순차 실행하는 것을 특징으로 한다.

이상의 형태에서는, 디바이스를 그 특성에 따라서 복수의 분류로 나누고, 분류마다 트레이 상의 제1 시트에 탑재한다. 이 제1 시트에는, 보다 많은 분류로 나눌 수 있도록 출하용 사이즈보다 작은 사이즈의 점착 시트가 이용된다. 또한, 트레이에는, 예를 들어 IC 태그 등이 부여되어 있고, 이 IC 태그에 분류를 나타내는 식별 정보가 기록되어 있다. 이 트레이를 매거진에 수납한 후, 재부착 장치에 있어서, 출하용의 사이즈의 제2 시트에 재부착을 행한다. 이때, 분류 식별 정보는, 재부착 장치에 있어서 판독되는 동시에, 제2 시트에 예를 들어 바코드 정보로서 기입된다. 제2 시트는, 출하 사이즈로 컷트된 후, 수납 선반에 수납된다.

이러한 디바이스의 분류 재부착 방법에 의해, 분류 장치에 있어서 디바이스를 복수의 분류로 동시에 분류할 수 있는 동시에, 재부착 장치에 있어서 출하 사이즈의 제2 시트에 재부착할 수 있다. 또한, 재부착시에는, 양 장치 사이에 있어서 종래는 수작업으로 입력하고 있었던 분류의 식별 정보를, 오토메이션으로 이어 받을 수 있어, 사용자가 바코드 정보로서 디바이스의 분류 식별 정보를 참조할 수 있으므로, 디바이스의 트레이서빌리티(Traceability)의 확보가 용이해진다.

청구항 12의 발명은, 청구항 11에 기재된 디바이스의 분류 재부착 방법에 있어서, 디바이스가 LED 칩인 경우에 있어서, 상기 분류 식별 정보에는, LED의 휘도, 색도, 파장을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이상의 형태에서는, 디바이스가 LED 칩인 경우에 있어서, 분류 식별 정보로서, LED의 휘도, 색도, 파장을, 제1 및 제2 시트에 부착된 디바이스의 분류 식별 정보를 참조함으로써 용이하게 판별할 수 있게 된다.

청구항 13의 발명은, 청구항 11 또는 12에 기재된 디바이스의 분류 재부착 방법에 있어서, 상기 분류 식별 정보에는, 적어도 제1 및 제2 시트 상에 탑재되는 디바이스의 수량, 로트 번호 및 제조 일시를 포함하는 로트 정보가 포함되는 것을 특징으로 한다.

이상의 형태에서는, 분류 식별 정보로서 제1 및 제2 시트 상에 탑재되는 디바이스의 수량, 로트 번호 및 제조 일시를 포함하는 로트 정보가 포함됨으로써, 사용자가 제1 및 제2 시트에 부착된 바코드 정보를 참조함으로써 디바이스의 상기 로트 정보를 참조할 수 있으므로, 디바이스의 트레이서빌리티의 확보가 용이해진다.

이상과 같은 본 발명의 재부착 장치 및 분류 재부착 방법에 따르면, 분류 나눔된 디바이스가 부착된 시트를 구비한 트레이를 다단으로 수납하는 매거진으로부터, 후공정에서 이용 가능한 사이즈의 시트로 디바이스의 재부착을 순차 실행함으로써, 오토메이션에 의한 디바이스의 시트 사이에서의 재부착을 실현하는 동시에, 디바이스 정보를 분류 나눔으로부터 재부착까지 이어 받음으로써 디바이스의 트레이서빌리티를 확보할 수 있어, 처리의 고속화와 편리성의 향상을 도모하는 것이 가능해진다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 있어서의 재부착 장치의 구성을 도시하는 평면도(a), 측면 모식도(b).

도 2는 본 발명의 실시 형태에 있어서의 재부착 장치에 있어서의 클리닝 기구의 구성을 도시하는 모식도.

도 3은 본 발명의 실시 형태에 있어서의 재부착 장치의 구성을 도시하는 부분 확대도.

도 4는 본 발명의 실시 형태에 있어서의 재부착 장치의 작용을 도시하는 모식도.

도 5는 본 발명의 실시 형태에 있어서의 분류 장치를 포함하는 전체 구성을 도시하는 측면도(a), 평면도(b) 및 사시도(c).

도 6은 본 발명의 실시 형태에 있어서의 분류 장치에 있어서의 트레이의 구성을 도시하는 모식도.

도 7은 본 발명의 실시 형태에 있어서의 분류 장치에 있어서의 트레이 교환 장치의 구성을 도시하는 모식도.

도 8은 본 발명의 다른 실시 형태에 있어서의 측면도(a) 및 평면도(b).

삭제

[부호의 설명]

1 : 재부착 장치

2 : 매거진

3 : 엘리베이터

31 : 적재대

32 : 볼 나사

33 : 모터

4 : 푸셔 기구

41 : 배출용 푸셔

42 : 복귀용 푸셔

43 : 푸셔 구동 기구

5 : 트레이 반전 기구

51 : 흡착 핸드

511 : 탑재면

512 : 축부

52 : 반전 모터

53 : 시프트 기구

531 : 지지부

532 : 볼 나사

533 : 모터

54 : 부착 조정 기구

541 : 실리콘겔 시트

542 : 탑재판

543 : 가압력 조정 스프링

544 : 지지체

545 : 받침대

546 : 승강용 캠

547 : 승강용 모터

548 : 복귀용 스프링

549 : 고정부

6 : 클리닝 기구

61 : 클리닝 롤러

62 : 롤러 지지체

63 : 실린더

64 : 점착 테이프 롤러

65 : 클리닝 테이프 롤러

71 : 시트 롤

711, 712 : 롤러

72 : 이송 롤러

8 : 보호 시트 롤러

9 : 바코드 라벨 프린터

10 : 보호 시트 롤

11 : 시트 커터

12 : 시트 분류 엘리베이터

121 : 보유 지지 롤러

122 : 보유 지지 롤러

13 : 수납 선반

14 : 외관 검사 카메라

141 : 표면 검사 카메라

142 : 이면 검사 카메라

15 : RFID 리더

100 : 분류 장치

101 : 드럼

102 : 트레이

103 : 보유 지지부

104 : 드럼 이동 기구

110 : 전달 장치

111 : 픽업 노즐

112 : 지지판

113 : 회전 아암

114 : Z축 이동 기구

115 : 조작 로드

120 : 트레이 교환 장치

121 : 트레이 교환용 아암

122 : 트레이 이송 기구

123 : 흡착 핸드

124 : 가이드 실린더

125 : 로터리 액추에이터

126a : 공급 매거진

126b : 수납 매거진

127 : 트레이 임시 적재 스테이지

128 : 푸셔 기구

128a : 푸셔

128b : 볼 나사

129a, 129b : 엘리베이터

130 : RFID 리더 라이터

K : 공급 트레이

M1 내지 M3 : 모터

0 : 회전(중심)축

P : 적재대

S1 : 제1 시트

S2 : 제2 시트

T : 턴테이블

다음에, 본 발명을 실시하기 위한 형태(이하, 본 실시 형태라 함)를, 도 1 내지 도 8을 참조하여 설명한다.

[본 실시 형태]

[1. 재부착 장치]

[1―1. 구성]

본 실시 형태의 재부착 장치(1)의 처리의 개요를 설명한다. 또한, 도 1은 본 실시 형태의 재부착 장치(1)의 전체 구성을 도시하는 평면 모식도(a)와, 측면 모식도(b)이고, 도 3은 재부착 장치(1)에 있어서의 트레이 반전 기구(5)의 구성 요소의 부분 확대도이다.

(1) 재부착 장치(1)에서는, 우선 점착성을 갖는 제1 시트(S1)를 탑재한 2인치(한 변이 5㎝인 정사각형)의 공급 트레이(K)(공급 트레이)를 다단으로 구비한 매거진(2)으로부터 공급 트레이(K)를 송출하고, 트레이 반전 기구(5)에 의해 보유 지지한다. (2) 트레이 반전 기구(5)는, 이 수취한 공급 트레이(K)를 반전시켜, 공급 트레이(K) 상의 디바이스를, 점착성을 갖는 제2 시트(S2)에 부착한다. 이때, 공급 트레이(K)에 부착된 디바이스를, 폭 20㎝의 제2 시트(S2)에 재부착하고, 디바이스가 소정수 부착된 제2 시트(S2)에 보호 시트를 부착하면서 반송한다. (3) 마지막으로, 시트 커터(11)에 의해 제2 시트(S2)를 한 변이 20㎝인 정사각형으로 잘라내고, 시트 분류 엘리베이터(12)에 탑재하여, 이 시트 분류 엘리베이터(12)에 의해 컷트된 제2 시트(S2)를 다단으로 배치되는 원하는 수납 선반(13)에 수납한다.

이상과 같은 처리의 개요를 근거로 하여, 이하, (1) 공급 트레이를 공급하기 위한 구성, (2) 공급 트레이를 반전시켜 재부착하기 위한 구성, (3) 시트를 분리하여 수납하기 위한 구성의 3가지로 나누어 설명한다.

[1-1-1. 공급 트레이를 공급하기 위한 구성]

재부착 장치(1)는, 공급 트레이를 공급하기 위한 구성으로서, 공급 트레 이(K)를 다단으로 수납하는 매거진(2)과, 매거진(2)을 상하 이동시키는 엘리베이터(3)와, 매거진(2)으로부터 디바이스가 탑재된 공급 트레이(K)를 배출하고, 빈 공급 트레이(K)를 복귀시키는 푸셔 기구(4)와, 매거진(2)으로부터 배출된 공급 트레이(K)를 수취하는 트레이 반전 기구(5)를 구비한다. 또한, 트레이 반전 기구(5)에 의해 반전되고 후술하는 제2 시트에 디바이스를 부착한 후의 제1 시트(S1)의 표면을 클리닝하는 클리닝 기구(6)를 구비한다.

매거진(2)은, 본 실시 형태에 있어서는 점착성을 갖는 제1 시트(S1)를 탑재한 2인치(한 변이 5㎝인 정사각형)의 공급 트레이(K)를 수직 방향 다단으로 수납하고 있고, 엘리베이터(3)에 의해 상하 방향으로 구동된다.

엘리베이터(3)는, 이 매거진(2)을 수직 방향으로 이동시키고, 배출하는 공급 트레이(K)를 순차, 후술하는 트레이 반전 기구(5)의 위치로 운반하는 것이며, 구체적으로는 매거진(2)을 고정하여 적재하는 적재대(31)와, 적재대(31)에 이 적재대를 구동시키는 요소로서 접속된 볼 나사(32)와, 볼 나사(32)를 회전 구동하는 모터(33)를 구비한다. 이 볼 나사(32)의 회전 구동에 의해 매거진(2)을 상하 이동시키고, 배출하는 공급 트레이(K)가, 후술하는 트레이 반전 기구(5)의 흡착 핸드(51)에 있어서의 탑재면(511)과 동일한 평면 상에 위치하도록 구성되는 것이다.

푸셔 기구(4)는, 도 1의 (a)의 평면도에 도시하는 바와 같이, 매거진(2)과, 후술하는 트레이 반전 기구(5)의 흡착 핸드(51)가 병렬된 방향(도면 중 Y축방향)과 동일한 방향을 향해, 이 매거진(2) 및 흡착 핸드(51)를 끼우도록 2편(片)의 푸셔가 설치되어 있다. 이 푸셔 기구(4)에 있어서 공급 트레이(K)를 직접 압박하는 푸셔 는, 매거진(2)측에 인접하여 설치되고 매거진(2)으로부터 디바이스가 탑재된 공급 트레이(K)를 배출하여 흡착 핸드(51)에 공급 트레이(K)를 탑재하는 배출용 푸셔(41)와, 흡착 핸드(51)측에 인접하여 설치되고 흡착 핸드(51)로부터 빈 공급 트레이(K)를 매거진(2)측으로 복귀시키는 복귀용 푸셔(42)로 이루어진다. 이 배출용 푸셔(41)와 복귀용 푸셔(42)는, 각각 매거진(2)에 대해 수평 방향으로 삽입됨으로써, 공급 트레이(K)를 매거진(2)으로부터 배출하고, 흡착 핸드(51)의 탑재면에 공급 트레이(K)를 탑재하고, 이 탑재면으로부터 빈 트레이를 압출하여 매거진(2)으로 복귀시키는 것이다.

또한, 배출용 푸셔(41)와, 복귀용 푸셔(42)는 L자 형상으로 대칭 배치되고, 공급 트레이(K)의 압박부가 되는 부분의 반대의 단부에 있어서, 푸셔 구동 기구(43)에 접속된다. 이 푸셔 구동 기구(43)는, 예를 들어 액추에이터에 의해 배출용 푸셔(41)와, 복귀용 푸셔(42)를 Y축방향으로 슬라이드 이동시키도록 구성된다.

트레이 반전 기구(5)는, 푸셔 기구(4)에 의해 매거진(2)으로부터 배출된 공급 트레이(K)를 수취하여 흡착 보유 지지하는 흡착 핸드(51)와, 이 흡착 핸드(51)를, 회전축(O)을 중심으로 하여 반전시키는 반전 모터(52)를 구비한다. 트레이 반전 기구(5)는 흡착 핸드(51)에 의해 수취하여 흡착 보유 지지하면서, 180도 반전하여 제2 시트(S2)에 전달하는 것이지만, 다른 구성에 대해서는 공급 트레이(K)를 반전시켜 재부착하기 위한 구성에 있어서 설명한다.

클리닝 기구(6)는, 상술한 바와 같이 트레이 반전 기구(5)에 의해 반전하여 후술하는 제2 시트에 디바이스를 부착한 후, 다시 반전하여 원래의 상태로 복귀되 었을 때에, 제1 시트(S1)의 표면을 클리닝하는 것이며, 개략적으로는 클리닝 롤러(61)에 권회된 클리닝용의 점착 테이프를 제1 시트(S1) 상에 압박함으로써, 제1 시트(S1) 상의 진애 등을 제거하는 것이다.

즉, 공급 트레이(K) 상의 제1 시트(S1)는, 분류 장치에 있어서 디바이스를 부착하고, 재부착 장치에 있어서 제2 시트(S2)에 재부착이라고 하는 것과 같이, 교환 사용된다. 이와 같이, 복수회에 걸쳐 사용되면, 시트의 점착면에 오염이나 진애가 부착함으로써 점착력이 저하되어, 시트 상에 부착한 디바이스가 낙하해 버리는 등 문제가 발생한다. 이 점, 종래는 시트의 표면의 오염은 수세에 의해 제거하고 있었다. 그러나 공급 트레이(K) 상의 시트를 수세하기 위해서는, 장치 내에서 물이 비산하지 않도록 하는 구조가 필요하거나, 건조에 시간이 걸리는 등 실용적이지 않다. 따라서, 본 실시 형태에서는, 제1 시트(S1)의 점착력보다 강한 점착 테이프를 클리닝용의 점착 테이프로 하여, 제1 시트(S1)의 점착면에 압박 롤러로 굴려 제1 시트(S1)의 오염을 점착 테이프에 전사하여 클리닝을 행하는 것이다.

구체적으로는, 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 점착 테이프 롤러(64)에 권회된 점착 테이프를, 모터 등의 구동력에 의해 취출하고, 이것을 롤러 지지체(62)에 의해 지지된 클리닝 롤러(151)에 공급하고, 클리닝 롤러(61)에 있어서, 제1 시트(S1) 상에 롤러(61)가 회전하면서 점착 테이프를 압박하고, 압박한 테이프를 클리닝 테이프 롤러(65)에 의해 권취하도록 구성되어 있다.

또한, 도 2 (a) 및 도 2의 (b)에 도시하는 바와 같이, 클리닝 롤러(61) 및 롤러 지지체(62)는, 실린더(63)의 작용에 의해 A, B 및 C의 3형태의 이동을 이룬 다[도 2의 (b)에 있어서 A를 실선, B를 1점 쇄선, C를 2점 쇄선으로 하고, 또한 굵은선으로 나타냈다]. 즉, 도 2의 (a)에 도시하는 바와 같이, 실린더(63)는 롤러 지지체(62)의 선단 부분을 상하 방향으로 이동시키는 승강용 실린더(631)와, 롤러 지지체(62)를 도면 중 좌우 방향인 제1 시트(S1)측과 클리닝 기구(7) 본체측의 사이를 이동시키는 미끄럼 이동용 실린더(632)로 구성된다.

클리닝 테이프 롤러(65)에는, 클리닝시에 미끄럼 이동 실린더(632)의 작용에 의해, 클리닝 롤러(61) 및 롤러 지지체(62)가 이동하였을 때에, 점착 테이프가 인장됨으로써 클리닝 테이프 롤러(65)로부터 사용 완료된 점착 테이프가 역회전에 의해 말려 나오지 않도록 래칫(651)을 구비하고 있다.

[1-1-2. 트레이를 반전시켜 재부착하기 위한 구성]

재부착 장치(1)는, 공급 트레이(K)를 반전시켜 재부착하기 위한 구성으로서, 매거진(2)으로부터 공급 트레이(K)를 수취하여 180도 반전시키는 트레이 반전 기구(5)와, 공급 트레이(K)의 제1 시트(S1)에 부착된 디바이스를 재부착하기 위한 제2 시트(S2)를 공급하는 시트 롤(71)과, 이 시트 롤에 권회된 제2 시트(S2)를 송출하는 이송 롤러(72)와, 제2 시트(S2)를 시트 롤(71)로부터 송출할 때에 이 제2 시트의 점착면에 부착된 보호 시트를 권취하는 보호 시트 롤러(8)를 구비한다.

또한, 이송 롤러(72) 바로 아래에는, 이송 롤러(72)의 상류측에 있어서, 재부착된 제2 시트(S2)에 대해, 분류 식별 정보로서 바코드를 부착하기 위한 바코드 라벨 프린터(9)와, 트레이 반전 기구(5)에 의해 제2 시트(S2)에 소정수 부착된 디바이스에 대해, 보호 시트를 부착하기 위해 보호 시트를 권회한 보호 시트 롤(10) 을 구비하고, 이 바코드 라벨 프린터(9)와 보호 시트 롤(10)은, 이송 롤러(72)의 끼워 넣음에 의해, 바코드 라벨이 제2 시트(S2)의 이면에, 보호 시트가 제2 시트(S2)의 표면에, 각각 부착되도록 되어 있다.

트레이 반전 기구(5)는, 도 3의 부분 확대도에 도시하는 바와 같이, 푸셔 기구(4)에 의해 매거진(2)으로부터 배출된 공급 트레이(K)를 수취하여 흡착 보유 지지하는 흡착 핸드(51)와, 흡착 핸드(51)를, 회전축(O)을 중심으로 하여 반전시키는 반전 모터(52)와, 흡착 핸드(51)의 제2 시트(S2)의 진행 방향에 대해 폭 방향인 도면 중 Y축방향으로 슬라이드 이동시키는 시프트 기구(53)와, 흡착 핸드(51)의 제2 시트(S2)에 대한 압입량과 압입 압력을 조정하는 부착 조정 기구(54)를 구비한다.

흡착 핸드(51)는 그 선단 부분에, 매거진(2)으로부터 배출되는 공급 트레이(K)를 탑재하는 탑재면(511)을 갖고, 이 탑재면(511)과 반대의 단부에 반전 모터(52)에 축지지되는 축부(512)를 구비한다. 이 탑재면에는, 탑재면(511) 상의 공급 트레이(K)를 흡착 보유 지지하기 위한 진공 기구에 접속되는 흡착 구멍을 구비한다. 이 진공 기구는, 탑재면(511)에 탑재되는 공급 트레이(K)에 대해, 매거진(2)과의 사이에서 수취하여 전달을 행할 때에만 진공 파괴하고, 그 밖의 반전시나, 제2 시트(S2)에의 디바이스의 부착시는 진공 흡착하도록 제어된다.

반전 모터(52)는, 흡착 핸드(51)의 탑재면(511)을, 그 축부(512)를 회전축으로 하여, 180도 왕복 회전하여 왕복 이동시키도록 제어되는 것이며, 매거진(2)측 및 제2 시트(S2)측 중 어느 쪽에 있어서도, 탑재면(511) 및 탑재면(511)에 탑재되는 공급 트레이(K)를, 수평 위치를 유지하는 기구에 의해 구성되어 있다.

시프트 기구(53)는 흡착 핸드(51)의 제2 시트(S2)의 진행 방향에 대해 폭 방향인 도면 중 Y축방향으로 슬라이드 이동시키는 것이며, 흡착 핸드(51)의 지지부(531)와, 지지부(531)와 접속되어 이것을 이동시키는 볼 나사(532)와, 볼 나사를 회전 구동하는 모터(533)로 이루어진다.

여기서, 본 실시 형태에 있어서는, 공급 트레이(K)는 2인치(한 변이 5㎝인 정사각형)의 제1 시트(S1)를 구비하는 것으로, 제2 시트(S2)[또는 후술하는 수납 선반(13)]는, A4 사이즈인 한 변이 20㎝인 정사각형의 시트를 구비하고, 이 제1 시트(S1)로부터 제2 시트(S2)로의 재부착을 행하는 것이므로, 흡착 핸드(51)는 제2 시트(S2)에 대해 제1 시트(S1)를 최대 4×4의 16부위에 재부착을 행할 수 있는 것이다. 따라서, 흡착 핸드(51)는 1부위의 디바이스의 재부착을 종료하면, 제2 시트(S2)의 폭 방향인 Y축방향으로 이동하면서, 제2 시트(S2) 상에서 1 내지 4부위까지 공급 트레이(K)의 수취 위치와, 재부착 위치를 180도 왕복 이동하면서 디바이스를 재부착하고, 그 후, 후술하는 이송 롤러(72)로 제2 시트(S2)를 5㎝ 정도 이송하고, 다시 흡착 핸드(51)가 슬라이드 이동하여 제2 시트(S2)의 5 내지 8부위에 디바이스의 재부착을 하고, 다시 제2 시트(S2)를 5㎝ 이송하여 제2 시트(S2)의 9 내지 12부위에 디바이스의 재부착을 하고, 또한 제2 시트(S2)를 5㎝ 이송하여 제2 시트(S2)의 13 내지 16부위의 재부착을 한다고 하는 일련의 처리를, 시프트 기구(53)와 이송 롤러(72)의 제어에 의해 반복하는 것이다.

부착 조정 기구(54)는, 도 3에 그 기구의 일례를 도시하는 바와 같이, 제2 시트(S2)에 있어서의 디바이스의 부착 위치에 있어서, 제2 시트(S2)의 하면측으로 부터, 부착되는 면적과 동등한 면적, 즉 제1 시트(S1)와 동등한 면적으로 이루어지는 면으로 제2 시트(S2)를 밀어 올림으로써, 흡착 핸드(51)의 탑재면(511)과 부착 조정 기구(54)에 의해 제1 시트(S1)와 제2 시트(S2)를 끼워 넣도록 하는 것이다.

구체적으로는, 제2 시트(S2)에 접촉하는 실리콘겔 시트(541)와, 이 실리콘겔 시트(541)를 탑재하는 탑재판(542)과, 이 탑재판(542)의 하부에 설치되고, 실리콘겔 시트(541) 및 탑재판(542)을 제2 시트(S2) 방향으로 가압함으로써, 실리콘겔 시트(541)의 제2 시트(S2)에 대한 접촉 압력을 조정하는 가압력 조정 스프링(543)을 구비한다. 또한, 단면 역ㄷ자 형상으로 하여, 이 역ㄷ자의 선단부를 내측으로 자물쇠 형상으로 구부리고, 탑재판(542)의 측단부에 접촉하여 가압력 조정 스프링(543)의 가압력에 의한 탑재판(542)의 튀어 나옴을 억제하면서, 실리콘겔 시트(541), 탑재판(542) 및 가압력 조정 스프링(543)의 하우징을 구성하는 지지체(544)를 구비한다.

또한, 탑재판(542) 상에 얹어진 실리콘겔 시트(541)는, 탑재판(542)과 제2 시트(S2)의 사이에서, 제1 시트(S1)의 압입 하중을 적절하게 조정하는 역할을 하는 것이며, 실리콘겔 시트에 한정되지 않고, 우레탄 고무 시트를 이용하여 구성하는 것도 가능하다.

또한, 지지체(544)를 지지하고, 승강용 캠(546) 및 이 편심 캠을 회전시키는 승강용 모터(547)에 의해, 흡착 핸드(51)가 제2 시트(S2)에 디바이스를 부착할 때에, 상기한 지지체(544)를 상하 이동시키는 받침대(545)와, 승강용 캠(546)이 하방으로 내려갔을 때에, 받침대(545)를 하방으로 복귀시키는 복귀용 스프링(548)과, 이 복귀용 스프링(548)의 받침대(545)와 반대의 단부에 접촉하여 복귀용 스프링(548)의 단부를 고정하는 고정부(549)를 구비한다.

상기와 같은 각 구성 요소로 이루어지는 트레이 반전 기구(5)는, 매거진(2)으로부터 공급 트레이(K)를 수취하여, 반전 모터(52)의 작용에 의해 180도 회전하여, 공급 트레이(K)의 제1 시트(S1)에 부착된 디바이스를 제2 시트(S2)에 재부착하면, 다시 반전 모터(52)에 의해 180도 반회전하여, 매거진(2)으로부터 공급 트레이(K)를 수취한 본래의 수취 위치에 복귀되도록 구성되고, 이 복귀된 위치에서, 상술한 복귀용 푸셔(42)에 의해 매거진(2)에 빈 공급 트레이(K)를 복귀시키도록 되어 있다.

여기서, 제1 시트(S1)와 제2 시트(S2)의 점착력의 관계에 대해 설명한다. 제1 시트(S1)에는, 예를 들어 겔 시트를 이용하여, 특히 점착력이 통상의 점착 시트에 비해 약한 점착력의 것을 이용한다. 한편, 제2 시트(S2)에는 점착력이 강력한, 예를 들어 UV 시트를 이용한다. 구체예로서는, 제1 시트(S1)에는 겔 시트로서 점착력이 2 내지 3N/20㎜인 것을 이용하고, 제2 시트(S2)에는 자외선 조사 전의 UV 시트로서 점착력이 5 내지 10N/20㎜인 것을 이용한다. 이와 같이, 부착 주체인 제1 시트(S1)에 점착력이 약한 점착 시트를 이용하고, 피부착체인 제2 시트(S2)에 점착력이 강한 점착 시트를 이용함으로써, 상술한 바와 같은 구성의 흡착 핸드(51)가 반전하여, 제1 시트(S1)를 제2 시트(S2)에 적절한 압력을 가하면서 압박함으로써, 디바이스의 재부착을 행할 수 있는 것이다.

또한, 트레이 반전 기구(5)의 트레이 수취 위치의 바로 위와, 트레이 반전 기구(5)의 재부착 위치의 바로 위에는, 디바이스의 외관 검사를 행하는 외관 검사 카메라(14)로서, 표면 검사 카메라(141)와, 이면 검사 카메라(142)가 설치되어 있다. 이에 의해, 공급 트레이(K)를 반전시키는 과정에 있어서, 디바이스 표리의 외관 검사가 가능해진다.

또한, 트레이 반전 기구(5)의 트레이 수취 위치 근방에는, 공급 트레이(K)에 부여된 IC 태그로부터, 공급 트레이(K)가 어느 분류에 속하는 디바이스를 탑재하고 있는지의 식별 정보를 판독하는 RFID 리더(15)를 구비한다. 즉, 이 RFID 리더(15)에 의해 공급 트레이(K)의 분류를 판독하고, 이것을 후술하는 바코드 라벨 프린터(9) 및 시트 분류 엘리베이터(12)의 제어부에 입력함으로써, 바코드 라벨 프린터(9)에 있어서 제2 시트(S2)에 분류 정보를 나타내는 바코드를 준비하는 동시에, 시트 분류 엘리베이터(12)에 있어서 수납 선반(13)에 제2 시트(S2)를 수납할 때에, 다단의 수납 선반(13) 중 어느 부위에 제2 시트(S2)를 수납할지를 결정한다.

여기서, 분류의 식별 정보로서는, 디바이스의 분류 정보(예를 들어, 디바이스가 LED이면 휘도, 색도, 파장 등), 트레이 상의 디바이스 수량, 로트 번호·제조 일시 등의 로트 정보가 포함되고, 공급 트레이(K)의 IC 태그에 기억된 분류 식별 정보는 후술하는 분류 장치에 있어서 RFID 리더 라이터(130)에 의해 기입된 것이다.

시트 롤(71)은, 트레이 반전 기구(5)의 하부에, 제2 시트(S2)를 롤에 권회하도록 하여 설치되어 있고, 그곳으로부터 대략 수직 방향으로 제2 시트(S2)가 말려 나오고, 롤러(711)와 롤러(712)에 의해 위치 결정되고, 수평 방향으로 제2 시트(S2) 방향이 전환되도록 되어 있다. 또한, 롤러(711)로부터는, 제2 시트(S2)의 점착면에 부착된 보호 시트가 박리되고, 이 보호 시트는 하부에 설치된 보호 시트 권취 롤(10)에 의해 권취되도록 되어 있다.

롤러(712)에 의해 수평 방향으로 방향이 전환된 제2 시트(S2)는, 트레이 반전 기구(5)의 부착 위치보다 하류에 설치된 이송 롤러(72)의 회전 구동에 의해 점착면을 위를 향하게 하여 반송되고, 이 이송 롤러(72)의 회전 제어에 의해 소정 위치에서 정지하도록 구성된다.

또한, 롤러(712)와, 이송 롤러(72)의 간격은, 후술하는 시트 분류 엘리베이터(12)에 있어서의 보유 지지 롤러(12a)와 보유 지지 롤러(12b)의 간격과 대략 동등하며, 이것은 수납 선반(13)의 사이즈에 의한 것이다. 그리고 트레이 반전 기구(5)에 있어서의 부착 위치는, 제2 시트(S2)의 이송 방향이며, 이 롤러(712)와 이송 롤러(72)의 중심 위치가 되도록 구성된다. 즉, 수납 선반(13)에 수납되는 한 변이 20㎝인 정사각형의 제2 시트(S2)의 중심 위치에, 디바이스가 부착된 상태가 되기 위한 구성이다.

[1-1-3. 시트를 분리하여 수납하기 위한 구성]

재부착 장치(1)는, 시트를 분리하여 수납하기 위한 구성으로서, 디바이스가 재부착된 제2 시트(S2)를, 소정의 간격, 즉 여기서는 수납 선반(13)의 깊이 방향의 길이인 20㎝로 컷트하는 시트 커터(11)와, 이 시트 커터(11)에 의해 잘라내어진 시트를 보유 지지하고, 상하 방향으로 이동시키는 시트 분류 엘리베이터(12)와, 시트 분류 엘리베이터(12)의 하류측에 설치되고, 잘라내어진 제2 시트(S2)를 수납하는 트레이를 다단으로 구비한 수납 선반(13)을 구비한다.

시트 분류 엘리베이터(12)는, 이송 롤러(72)에 의해 반송되어 오는 제2 시트(S2)를, 보유 지지 롤러(12a)와 보유 지지 롤러(12b)에 의해 보유 지지하는 것이며, 하류측의 수납 선반에 근접하는 보유 지지 롤러(12b)에 있어서, 제2 시트(S2)의 도달이, 센서나 카메라 등의 검지 수단에 의해 확인되면, 이송 롤러(72)는 반송을 정지하도록 되어 있다. 이 보유 지지 롤러(12a)와 보유 지지 롤러(12b)는, 수납 선반(13)의 깊이 방향의 길이와 대략 동등한 길이 간격으로 설치되어 있다.

시트 커터(11)는 보유 지지 롤러(12a)보다 상류측에 설치되어 있고, 상술한 바와 같이 시트 분류 엘리베이터(12)의 보유 지지 롤러(12b)에 의해 제2 시트(S2)가 보유 지지된 것이 확인되고, 이송 롤러(72)에 의한 제2 시트(S2)의 반송이 정지되면, 그 위치에서 제2 시트(S2)를 폭 방향(도면 중 Y축방향)으로 컷트하는 것이다.

시트 분류 엘리베이터(12)는, 컷트된 한 변이 20㎝인 정사각형의 제2 시트(S2)를 선단부와 후단부에 설치된 보유 지지 롤러(12a)와 보유 지지 롤러(12b)에 의해 보유 지지하고, 보유 지지한 제2 시트(S2)를 소정의 수납 선반(13)에 삽입하기 위해, 상하로 이동하는 엘리베이터 기구를 구비한다. 수납 선반(13)은 수직 방향으로 다단으로 설치된 한 변이 20㎝인 정사각형으로 이루어지는 제2 시트(S2)를 수납하도록 되어 있다.

[1-2. 작용]

다음에, 상기와 같은 구성으로 이루어지는 본 실시 형태의 재부착 장치(1)의 작용에 대해, 도 1 내지 도 5를 참조하여, (1) 트레이를 공급하기 위한 처리, (2) 트레이를 반전시켜 재부착하기 위한 처리, (3) 시트를 분리하여 수납하기 위한 처리의 3개의 국면으로 나누어 설명한다.

[1-2-1. 트레이를 공급하기 위한 처리]

재부착 장치(1)는, 트레이를 공급하기 위해 우선, 매거진(2)이, 엘리베이터(3)에 의해 수직 방향으로 이동하고, 원하는 공급 트레이(K)가, 매거진(2)으로부터의 배출 위치인, 푸셔 기구(4) 또는 트레이 반전 기구(5)의 흡착 핸드(51)의 탑재면(511)과 동일 평면 상에 위치하여 정지한다.

푸셔 기구(4)의 배출용 푸셔(41)는, 이 상태에서 매거진(2)에 대해 수평 방향으로 압박부를 삽입하고, 공급 트레이(K)를 매거진(2)으로부터 흡착 핸드(51)측으로 배출한다. 매거진(2)으로부터 배출된 공급 트레이(K)는, 트레이 반전 기구(5)의 탑재면으로 이송되어, 흡착 핸드(51)에 흡착 보유 지지된다. 이러한 처리에 의해, 공급 트레이(K)가 매거진(2)으로부터 트레이 반전 기구(5)에 공급된다.

[1-2-2. 트레이를 반전시켜 재부착하기 위한 처리]

재부착 장치(1)는, 트레이를 반전시켜 재부착하기 위한 처리로서, 우선 공급 트레이(K)를 흡착 핸드(51)에 의해 흡착한 트레이 반전 기구(5)에 있어서, 반전 처리를 행하기 전에, 트레이 반전 기구(5)의 공급 트레이(K)의 수취 위치의 바로 위에 설치된 표면 검사 카메라(141)에 의해, 공급 트레이(K)에 탑재된 제1 시트(S1) 상에 부착한 디바이스 표면의 외관 검사를 행한다.

이 외관 검사와 동시에, 트레이 반전 기구(5)의 공급 트레이(K)의 수취 위치 근방에 설치한 RFID 리더(15)에 의해, 공급 트레이(K)에 부여된 IC 태그에 기억된 분류에 관한 식별 정보를 판독하고, 이것을 후술하는 바코드 라벨 프린터(9) 및 시트 분류 엘리베이터(12)의 제어부에 입력하여, 바코드 라벨 프린터(9)에 있어서 점착 시트에 분류 정보를 나타내는 바코드를 준비하는 동시에, 시트 분류 엘리베이터(12)에 있어서 수납 선반(13)에 제2 시트(S2)를 수납할 때에, 다단의 수납 선반(13) 중 어느 부위에 제2 시트(S2)를 수납할지를 결정한다.

다음에, 트레이 반전 기구(5)는, 반전 모터(52)의 작용에 의해 회전축(O)을 중심으로 하여, 흡착 핸드(51)를 반전시킨다. 이때, 이송 롤러(72)가 회전함으로써, 트레이 반전 기구(5)의 하부에 설치된 시트 롤(71)로부터 제2 시트(S2)가 공급된다. 이 제2 시트(S2)는, 시트 롤(71)로부터 대략 수직 방향으로 말려 나오고, 롤러(711)와 롤러(712)에 의해 위치 결정되고, 수평 방향으로 시트 방향이 전환된다. 또한, 롤러(711)로부터는 점착 시트의 점착면에 부착된 보호 시트가 박리되고, 이 보호 시트는 하부에 설치된 보호 시트 권취 롤러(8)에 의해 권취된다. 이 롤러(712)에 의해, 수평 방향을 향해 전환된 점착 시트는, 이송 롤러(72)의 회전 구동에 의해 점착면을 위를 향하게 하여 반송되고, 이 이송 롤러(72)의 회전 제어에 의해 소정 위치에서 정지한다.

이러한 상태에 있어서, 반전 모터(52)는 공급 트레이(K)를 반전시키고, 반전 모터(52)는 흡착 핸드(51)의 탑재면(511)을, 그 축부(512)를 회전축으로 하여 180도 회전시키고, 공급 트레이(K)에 보유 지지된 제1 시트(S1)를, 제2 시트(S2) 상에서 접촉한 수평 위치를 유지한다.

계속해서, 부착 조정 기구(54)는 도 5의 (a)의 상태로부터, 도 5의 (b)에 도시하는 상태와 같이, 제2 시트(S2)의 하면측으로부터, 부착되는 면적과 동등한 면적으로 이루어지는 면으로 시트를 밀어 올림으로써, 흡착 핸드(51)에 보유 지지된 공급 트레이(K)의 제1 시트(S1)와 제2 시트(S2)를 끼워 넣는다.

구체적으로는, 부착 조정 기구(54)의 승강용 모터(547)가 회전하고, 이것에 수반하여 승강용 캠(546)이 회전하고, 이에 의해 받침대(545)가 상승한다. 그렇게 하면, 이것과 접속되는 지지체(544)가 상승하고, 그것에 맞추어 실리콘겔 시트(541), 탑재판(542)도 상승하여, 이 실리콘겔 시트(541)에 의해 제2 시트(S2)가 하면으로부터 압박되게 된다. 이때, 첫 번째로, 승강용 캠(546)의 편심 정도에 의해, 받침대(545), 지지체(544) 및 실리콘겔 시트(541) 및 탑재판(542)의 상승 정도를 조정하여, 제2 시트(S2)에 대한 하방으로부터의 압입량을 조정하고, 두 번째로, 탑재판(542)의 하부에 설치된 가압력 조정 스프링(543)에 의해, 실리콘겔 시트(541) 및 탑재판(542)을 제2 시트(S2) 방향으로 가압함으로써, 실리콘겔 시트(541)의 제2 시트(S2)에 대한 접촉 압력을 조정한다.

이때, 제1 시트(S1)에는, 예를 들어 겔 시트로서 점착력이 2 내지 3N/20㎜인 것을 이용하고, 제2 시트(S2)에는 자외선 조사 전의 UV 시트로서 점착력이 5 내지 10N/20㎜인 것을 이용하고 있는 바와 같이, 부착 주체인 제1 시트(S1)에 점착력이 약한 점착 시트를 이용하고, 피부착체인 제2 시트(S2)에 점착력이 강한 점착 시트를 이용함으로써, 상술한 바와 같은 구성의 흡착 핸드(51)가 반전하여, 제1 시트(S1)를 제2 시트(S2)에 적절한 압력을 가하면서 압박함으로써, 디바이스의 재부 착을 행하는 것이다.

이상과 같이 하여, 제1 시트(S1)로부터 제2 시트(S2)로의 디바이스의 재부착 작업이 종료되면, 흡착 핸드(51)는 다시 반전 모터(52)에 의해 180도 반회전하고, 매거진(2)으로부터 공급 트레이(K)를 수취한 본래의 수취 위치로 복귀된다.

이러한 흡착 핸드(51)의 위치에 있어서, 클리닝 기구(6)가 작용한다. 즉, 롤러 지지체(62) 및 그 선단부에 지지된 클리닝 롤러(61)는, 초기 위치(A)로부터 승강 실린더(631)에 의해 상부 위치(B)로 이동하고, 계속해서 미끄럼 이동용 실린더(632)에 의해 제1 시트(S1)측으로 이동한다. 이때, 이 미끄럼 이동용 실린더(632)의 인장에 의해, 점착 테이프는 점착 테이프 롤러(64)로부터 인출된다. 그리고 승강 실린더(631)에 의해 상부 위치(B)로부터 초기 위치(A)와 동등 높이의 하방 위치로 이동하고, 제1 시트(S1)의 단부에 설치한 후, 미끄럼 이동 실린더(632)의 작용에 의해 제1 시트(S1) 상을 이동하면서 제1 시트(S1)를 클리닝한다. 이때의 클리닝 롤러(61)의 제1 시트(S1)로의 압박력은, 승강용 실린더(632)에 의해 조정한다.

이상과 같이 하여, 클리닝 롤러(61)가 제1 시트(S1) 상을 이동 종료하면, 승강용 실린더(631) 및 미끄럼 이동용 실린더(632)의 작용에 의해 지지체(62)는 초기 위치(A)로 복귀되게 되지만, 이때, 통상 점착 테이프는 느슨해진다. 따라서, 본 실시 형태에서는 클리닝 테이프 롤러(65)를 모터에 의해 회전시킴으로써, 이와 같은 느슨함을 방지하고 있다. 이 권취용의 모터의 토크는, 느슨함을 잡을 정도로 낮게 억제되어 있다. 또한, 클리닝 테이프 롤러(65)에는 래칫(651)이 설치되고, 이 래칫(651)에 의해 클리닝시에 미끄럼 이동 실린더(632)의 작용에 의해, 클리닝 롤러(61) 및 롤러 지지체(62)가 이동하였을 때에, 점착 테이프가 인장됨으로써 클리닝 테이프 롤러(65)로부터 사용 완료된 점착 테이프가 역회전에 의해 말려 나오는 일이 없다. 또한, 권취용의 모터의 토크가 지나치게 강하면, 실린더(63)의 동작에 관계없이, 점착 테이프를 모두 권취해 버리므로 적당한 토크의 조정이 필요하다.

클리닝 처리가 종료되면, 흡착 핸드(51)는 이 복귀된 위치에서 상술한 복귀용 푸셔(42)에 의해, 매거진(2)으로 빈 공급 트레이(K)를 복귀시킨다. 이러한 흡착 핸드(51)를 반전시켜, 재부착시킴으로써 하나의 처리가 종료되고, 흡착 핸드(51)는 다시 상술한 매거진(2)으로부터의 공급 트레이(K)를 수취하여, 반전 모터(52)에 의해 반전하여 재부착한다.

이때, 시프트 기구(53)는 흡착 핸드(51)의 제2 시트(S2)의 진행 방향에 대해 폭 방향인 도면 중 Y축방향으로 슬라이드 이동시킨다. 즉, 흡착 핸드(51)는 1부위의 디바이스의 재부착을 종료하면, 제2 시트(S2)의 폭 방향인 Y축방향으로 이동하면서, 제2 시트(S2) 상에서 1 내지 4부위까지 공급 트레이(K)의 수취 위치와, 재부착 위치를 180도 왕복 이동하면서, 디바이스를 재부착하고, 그 후, 후술하는 이송 롤러(72)로 제2 시트(S2)를 5㎝ 정도 이송하고, 다시 흡착 핸드(51)가 슬라이드 이동하여 제2 시트(S2)의 5 내지 8부위에 디바이스의 재부착을 하고, 다시 제2 시트(S2)를 5㎝ 이송하여 제2 시트(S2)의 9 내지 12부위에 디바이스의 재부착을 하고, 또한 제2 시트(S2)를 5㎝ 이송하여 제2 시트(S2)의 13 내지 16부위의 재부착을 한다고 하는 일련의 처리를, 시프트 기구(53)와 이송 롤러(72)의 제어에 의해 반복한다.

여기서, 트레이 반전 기구(5)가, 180도 회전하여 원래의 위치로 복귀되면, 공급 트레이(K) 상의 제1 시트(S1)로부터 재부착된 디바이스가, 제2 시트(S2) 상에서, 그 이면측을 위로 하여 부착된 상태가 되므로, 트레이 반전 기구(5)의 재부착 위치의 바로 위에 설치한 이면 검사 카메라(142)에 의해 디바이스 이면의 외관 검사를 행한다.

상기와 같은 일련의 재부착 처리가 종료되면, 이송 롤러(72)가 회전 구동하여, 제2 시트(S2)를 하류측으로 이동시킨다. 이때, 이송 롤러(72) 바로 아래에 설치된 바코드 라벨 프린터(9)에 있어서, 재부착된 제2 시트(S2)에 대해 RFID 리더(15)로부터 입력된 분류 식별 정보에 기초하여 작성한 바코드를 부착한다. 동시에, 이 이송 롤러(72)의 회전 구동에 수반하여 보호 시트 롤러(8)로부터 보호 시트가 말려 나와, 제2 시트(S2)에 소정 수 부착된 디바이스에 대해 보호 시트가 부착된다. 즉, 이 바코드 라벨과, 보호 시트는, 이송 롤러(72)의 끼워 넣음에 의해 바코드 라벨이 제2 시트(S2)의 이면측에, 보호 시트가 제2 시트(S2)의 표면에, 각각 동시에 부착되도록 되어 있다.

[1-2-3. 시트를 분리하여 수납하기 위한 처리]

상기와 같은 이송 롤러(72)의 회전 구동에 의해, 제2 시트(S2)에 부착된 디바이스가 하류측으로 반송되고, 시트 분류 엘리베이터(12)의 보유 지지 롤러(12a)와 보유 지지 롤러(12b)의 사이까지 반송되어 온다. 이때, 하류측의 수납 선반(13)에 근접하는 보유 지지 롤러(12b)에 있어서, 제2 시트(S2)의 도달이, 센서나 카메라 등의 검지 수단에 의해 확인되면, 이송 롤러(72)는 반송을 정지한다.

시트 분류 엘리베이터(12)의 보유 지지 롤러(12b)에 의해 제2 시트(S2)가 보유 지지된 것이 확인되고, 이송 롤러(72)에 의한 제2 시트(S2)의 반송이 정지되면, 보유 지지 롤러(12a)보다 상류측에 설치된 시트 커터(11)가, 그 위치에서 제2 시트(S2)를 폭 방향(도면 중 Y 방향)으로 컷트한다.

시트 분류 엘리베이터(12)는 컷트된 한 변이 20㎝인 정사각형의 제2 시트(S2)를 선단부와 후단부에 설치된 보유 지지 롤러(12a)와 보유 지지 롤러(12b)에 의해 보유 지지하고, 보유 지지한 제2 시트(S2)를 소정의 수납 선반(13)에 삽입하기 위해, 엘리베이터 기구의 작용에 의해 상하로 이동한다. 소정의 수납 선반(13)의 위치로, 시트 분류 엘리베이터(12)가 이동하면, 시트 분류 엘리베이터(12)의 보유 지지 롤러(12a)와 보유 지지 롤러(12b)가 회전 구동하고, 보유 지지한 제2 시트(S2)를 수납 선반(13)측으로 이송하여, 제2 시트(S2)를 수납 선반(13) 내에 수납한다. 수납 후, 시트 분류 엘리베이터(12)는 원래의 위치인, 이송 롤러(72)와 수직 방향 상하 동일한 위치까지 복귀되어, 다음에 이송되어 오는 제2 시트(S2)의 도착을 대기하게 된다.

[1-3. 효과]

이상과 같은 본 실시 형태의 재부착 장치(1)에 따르면, 분류된 디바이스가 부착된 제1 시트를 구비한 트레이를 다단으로 수납하는 매거진으로부터, 후공정에서 이용 가능한 사이즈의 제2 시트로 디바이스의 재부착을 순차 실행함으로써, 오 토메이션에 의한 디바이스의 시트 사이에서의 재부착을 실현하여, 처리의 고속화와 편리성의 향상을 도모할 수 있다. 또한, 사람의 손에 의한 디바이스의 재부착 등과 비교하여, 로드 혼입 등의 실수를 방지할 수 있다.

트레이 반전 기구에 의해, 공급 트레이 상의 제1 시트에 부착된 디바이스를, 제2 시트에 대해 압박하는 압박량 및 압입 압력을 조정할 수 있으므로, 디바이스의 특성에 따라서 압력 조정을 행함으로써 디바이스의 파손 등을 방지할 수 있는 동시에, 제1 시트로부터 제2 시트에 대한 재부착을 확실하게 행할 수 있다.

또한, 디바이스를 재부착한 제2 시트 상에, 재부착 후에 보호 시트를 부착함으로써, 그 후, 수납 선반에 수납되고, 출하되는 디바이스의 파손이나 오염 등을 방지할 수 있으므로, 출하하는 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

트레이 반전 기구에 의한 디바이스의 반전 및 재부착시에, 디바이스 표면과 이면의 외관 검사를 행할 수 있어, 디바이스를 출하하기 전에 있어서, 디바이스의 불량을 검출하여 불량품의 출하를 방지하는 것이 가능해진다.

또한, 부착 주체인 제1 시트에 점착력이 약한 점착 시트를 이용하고, 피부착체인 제2 시트에 점착력이 강한 점착 시트를 이용함으로써, 상술한 바와 같은 구성의 흡착 핸드가 반전하여, 제1 시트를 제2 시트에 적절한 압력을 가하면서 압박한다고 하는 간단한 구성으로, 디바이스의 재부착을 행할 수 있다.

부착 조정 기구에 의해, 제2 시트에 있어서의 흡착 핸드의 부착 위치에 있어서, 제2 시트의 하면측으로부터, 부착되는 면적과 동등한 면적으로 이루어지는 면으로 시트를 밀어 올림으로써, 흡착 핸드에 보유 지지된 트레이의 제1 시트와, 제2 시트를 끼워 넣음으로써 제1 시트로부터 제2 시트로의 디바이스의 재부착을 용이하게 행할 수 있다. 또한, 첫 번째로, 승강용 캠의 편심 정도에 의해, 부착 조정 기구 본체의 상승 정도를 조정하여, 제2 시트에 대한 하방으로부터의 압입량을 조정하고, 두 번째로 가압력 조정 스프링에 의해 부착 조정 기구의 제2 시트에 대한 접촉 압력을 조정하는 것이 가능해진다.

또한, 분류 장치에 있어서 부여된 트레이의 분류 정보를, 일련의 오토메이션에 의한 재부착 작업 중에서, 제1 시트로부터 제2 시트로 이어 받을 수 있으므로, 디바이스의 특성에 따른 분류에 따라서 제품을 출하하거나, 후공정에 있어서, 당해 분류 정보를 이용하는 것이 가능해진다.

클리닝 기구를 설치하고, 제2 시트로 재부착을 종료한 제1 시트의 점착면에 압박 롤러로 굴려, 제1 시트의 오염을 점착 테이프에 전사하여 클리닝을 행함으로써, 시트의 점착면의 오염이나 진애를 정확하게 제거할 수 있어, 항상 점착력을 유지한 시트에 의해, 디바이스의 분류 및 재부착을 행하는 것이 가능해진다. 특히, 클리닝 롤러를 실린더에 의해 이동시키면서 제1 시트의 점착면의 클리닝을 행할 수 있으므로, 제1 시트 상의 오염이나 진애를 효율적으로 제거하는 것이 가능해진다. 또한, 클리닝 완료 테이프 롤러에, 이 롤러의 역회전을 방지하는 래칫이 설치됨으로써, 클리닝 완료 테이프 롤러에 권회된 클리닝 완료 테이프가 역류하여, 제1 시트에 오염을 부착시켜 버리는 일이 없으므로, 효율이 좋고, 신뢰성이 높은 좋은 클리닝 기구를 제공하는 것이 가능해진다.

이러한 클리닝 기구에 의해, 종래 시트의 표면의 오염을 수세에 의해 제거하 고 있었던 것을, 장치 내에 있어서 물 비산을 방지하기 위한 구조 등을 필요로 하지 않고 클리닝 처리를 행할 수 있어, 실용성의 향상을 도모하는 것이 가능해진다.

이상과 같은 일련의 디바이스의 분류 재부착 처리에 의해, 분류 장치에 있어서 디바이스를 복수의 분류로 동시에 분류할 수 있는 동시에, 재부착 장치에 있어서 출하 사이즈의 제2 시트에 재부착할 수 있다. 또한, 재부착시에는, 양 장치 사이에 있어서, 종래는 수작업으로 입력하고 있었던 분류의 식별 정보를, 오토메이션으로 이어 받을 수 있어, 사용자가 바코드 정보로서 디바이스의 분류 식별 정보를 참조할 수 있으므로, 디바이스의 트레이서빌리티의 확보가 용이해진다.

디바이스가 LED 칩인 경우에 있어서, 분류 식별 정보로서 LED의 휘도, 색도, 파장을, 제1 및 제2 시트에 부착된 디바이스의 분류 식별 정보를 참조함으로써 용이하게 판별할 수 있게 된다.

또한, 분류 식별 정보로서 제1 및 제2 시트 상에 탑재되는 디바이스의 수량, 로트 번호 및 제조 일시를 포함하는 로트 정보가 포함됨으로써, 사용자가 제1 및 제2 시트에 부착된 바코드 정보를 참조함으로써, 디바이스의 상기 로트 정보를 참조할 수 있으므로, 디바이스의 트레이서빌리티의 확보가 용이해진다.

[2. 분류 장치]

본 발명의 분류 재부착 방법을 실행함에 있어서는, 상기 재부착 장치에 있어서의 재부착 처리의 전제로서, 분류 장치(100)에 의한 디바이스의 분류 처리가 행해지고, 이 분류 처리에 의해 상술한 매거진(2)에 대해 분류마다 디바이스가 나누어 트레이에 탑재될 필요가 있다. 따라서, 이하에서는 본 발명의 분류 재부착 방 법을 실시하기 위한 일 처리를 담당하는 장치로서, 분류 장치(100)에 대해 설명한다.

[2-1. 처리의 개요]

본 실시 형태의 분류 장치(100)는, 전공정에 있어서 행해지는 디바이스의 특성 검사와 그것에 기초하는 분류 처리의 일부를 담당하는 것이며, 본 장치의 구성을 설명하는 전제로서, 우선 특성 검사 및 분류 처리의 개요를 설명한다.

전공정에 있어서, 디바이스의 조립을 종료하고, 웨이퍼 링에 의해 보유 지지되는 웨이퍼 시트에 부착된 디바이스는 다이싱에 의해 개편화되어, 턴테이블(T)에 설치한 흡착 노즐(도시하지 않음)에 의해 픽업된다.

픽업된 디바이스는, 턴테이블(T) 상의 원주 등배 위치에 설치된 적재대(P)에 탑재된다. 디바이스는, 이 적재대(P)에 있어서 흡착 보유 지지된 채, 턴테이블(T)이 소정의 타이밍으로 간헐적으로 회전하는 데 수반하여, 이 적재대(P)와 등간격으로 하여 턴테이블(T)의 상측에 설치된 각종 검사 장치(도시하지 않음)로 순차 이송된다. 예를 들어, 디바이스가 LED 칩인 경우에는 광학 프로브에 의해 광도, 광속, 파장, 컬러 좌표 등의 광학 테스트 행하거나, 카메라에 의한 외관 검사를 행한다.

이 검사 결과에 기초하여, 후술하는 분류 장치(100)에 있어서의 복수의 트레이(102)에 대해, 디바이스의 전달 장치(110)에 의해 디바이스를 각 특성마다 분류하여 부착을 행한다. 그리고 분류 장치(100)에 있어서, 트레이(102)에 디바이스가 복수 분류로 나뉘어 부착됨으로써, 가득 찬 트레이(102)에 대해, 트레이 교환 장치에 의해 순차 빈 트레이(102)와 교환한다. 이 경우의 분류 식별은, 주로 트레이 교환 장치에 있어서의 트레이의 수취 전달 위치에 설치된 RFID 리더 라이터(130)에 의해, 미리 트레이에 부착된 IC 태그에 대한 분류 식별 정보의 판독 기입에 의해 행해진다.

따라서, 이하에서는 분류 장치(100)의 본체 구성을 설명한 후, 이 분류 장치(100)로의 각 검사를 종료하여 분류 나눔이 필요해지는 디바이스의 부착 구조를 설명하고, 또한 디바이스를 분류마다 나누어 부착된 디바이스를 구비하는 분류 장치(100)의 트레이(102)의 교환 구조에 대해 설명한다.

[2-2. 구성]

[2-2-1. 분류 장치의 전체 구성]

분류 장치(100)는, 도 6에 도시하는 바와 같이 회전축(O)을 중심으로 하여 θ회전하는 드럼(101)을 구비한다. 이 드럼(101)은, 모터(M1)[도 6의 (c) 참조]에 의해 회전력이 부여되어 회전축(O)을 중심으로 하여 회전하는 동시에, 회전축(O) 상을 도면 중 드럼(101)의 하부에 설치된 이송 기구에 의해, 드럼의 축방향(도면 중 Y축방향)과, 이 드럼의 축방향과 수직 방향(도면 중 X축방향)을 향해 슬라이드 이동하기 위한 드럼 이동 기구(104)를 구비한다.

드럼(101)은 대략 원통 형상이고, 그 주위면에 소형 직사각형이고 평판 형상인 트레이(102)를 복수 보유 지지하는 보유 지지부(103)를 구비한다. 본 실시 형태에 있어서, 이 보유 지지부(103)는 드럼(101)의 원주 방향으로 12분할하고, 또한 축방향으로 5분할하여, 합계 60개의 트레이(102)를 보유 지지하도록 구성되어 있다. 보유 지지부(103)는 중앙에 흡착 구멍을 구비하여, 이 흡착 구멍으로부터 진 공 흡착함으로써, 직사각 형상의 트레이(102)를 보유 지지하도록 구성되어 있다.

여기서, 보유 지지부(103)에 보유 지지되는 트레이(102)에 대해, 원주 방향으로 12열을 하나의 그룹으로 하고, 이 12개의 트레이(102)로 이루어지는 그룹을 축방향의 5분할에 의해 5그룹 설치하고, 이것을 디바이스의 분류로서 구분하여 구성하는 것도 가능하고, 축방향으로 5분할한 것을 하나의 그룹으로 하고, 이 5개의 트레이(102)로 이루어지는 그룹을 원주 방향으로 12그룹 설치하고, 이것을 디바이스의 분류로서 구분하여 구성하는 것도 가능하다. 또한, 12분할과 5열로 설치된 트레이(102) 모두를 별도의 분류로 하여, 합계 60분류로서 구성하는 것도 가능하다.

본 실시 형태에 있어서 이용하는 트레이(102)의 대표적인 예로서는, 도 6에 그 이미지를 도시하는 바와 같이, 점착 시트를 부착한 2인치형의 트레이(102)[예를 들어, 겔팩(상표)을 이용함]로, 외형 치수가 약 51㎜×51㎜, 두께가 4㎜ 정도이고, 부착 가능 범위는 한 변이 40㎜인 것이다. 이와 같은 트레이(102)에 대해, 예를 들어 디바이스가 0.24×0.5㎜인 경우, 각 워크의 부착 간격은 0.1㎜이고, 100×50개의 배치에 의해, 합계 5000개 정도의 배치가 된다. 또한, 이 트레이(102)에는, 탑재하는 디바이스의 분류의 식별 정보를 재기입 가능하게 기록하기 위한 IC 태그가 장착되어 있고, 이 IC 태그에 대해, 트레이 교환 장치에 있어서의 트레이의 수취 전달 위치에 설치된 RFID 리더 라이터(130)에 있어서, 디바이스의 분류 정보(예를 들어, 디바이스가 LED이면 휘도, 색도, 파장 등), 트레이 상의 디바이스 수량, 로트 번호·제조 일시 등의 로트 정보가 판독 기입된다. 단, 이러한 트레이의 구 성은, 설명의 편의상, 본 실시 형태에 있어서의 일례를 나타내는 것에 불과하며, 디바이스의 사양이나, 장치의 사양에 맞추어 적절하게 설계 변경하여 실시 가능하다.

[2-2-2. 트레이로의 디바이스의 부착 구조]

디바이스의 전달 장치(110)는, 도 6의 (b)에 도시하는 바와 같이, 디바이스를 흡착 보유 지지하는 동시에, 상하 이동하여(도면 중, Z축방향), 간헐적으로 진공 흡착·진공 파괴를 반복함으로써, 디바이스의 수취와 전달을 행하는 픽업 노즐(111)과, 이 픽업 노즐(111)을 지지판(112)에 의해 고정된 모터(M2)에 의해 180도 회전시켜, 턴테이블측의 수취 위치와, 드럼(101)측의 전달 부착 위치를 이동시키는 회전 아암(113)을 구비한다.

도 6의 (b)에 도시하는 바와 같이, 픽업 노즐(111)은 회전 아암(113)의 양단부에 2개 설치되어, 이 회전 아암(113)이 모터(M2)의 구동에 의해, 소정의 타이밍으로 회전함으로써, 각 픽업 노즐(111)은 디바이스의 수취 위치와 전달 부착 위치를 교대로 왕복 이동하도록 되어 있다.

또한, 모터(M2)를 지지하는 고정의 지지판(112)에는, 픽업 노즐(111)을 상하로 이동시키는 Z축 이동 기구(114)가, 픽업 노즐(111)이 턴테이블측의 수취 위치와 드럼(101)측의 전달 부착 위치로 이동하였을 때에, 그 바로 위가 되는 위치에 각각 설치되어 있고, 이 Z축 이동 기구(114)가, 그 선단에 설치된 조작 로드(115)를 상하 이동시킴으로써, 픽업 노즐(111)을 상하 이동시키도록 되어 있다.

또한, 이 Z축 이동 기구(114)의 상세에 대해서는, 이미 출원인이 제안한 일 본 특허 출원 공개 제2004-182388호 공보에 개시된 사항과 마찬가지이므로, 여기서는 설명을 생략한다. 또한, 턴테이블(T)의 구성 및 턴테이블(T)에 설치된 디바이스를 보유 지지하는 흡착 보유 지지 기구의 구성도 종래와 마찬가지이므로 구체적인 구성에 대한 설명은 생략한다.

픽업 노즐(111)은, 턴테이블(T)측의 수취 위치에 있어서, 턴테이블(T)에 설치된 적재대(P)로부터 디바이스를 수취하고 180도 회전하여, 드럼(101) 중 소정의 트레이(102)의 점착 시트로 디바이스를 전달하여, 부착하는 것이다. 또한, 이때, 턴테이블(T)의 원주 등배 위치에 설치된 검사 공정으로부터의 검사 결과에 기초하여 산출된 디바이스의 분류에 관한 신호가, 드럼(101)의 드럼 이동 기구(104)에 입력되어, 당해 분류에 상당하는 트레이(102)가 픽업 노즐(111)의 전달 위치에 위치하도록 드럼(101)을 이동시키게 된다.

[2-2-3. 트레이의 교환 구조]

본 실시 형태의 분류 장치(100)에 있어서, 트레이(102)의 교환은, 도 6에 도시하는 바와 같이 상술한 디바이스의 부착 위치로부터 드럼(101)이 90도 회전한 위치에 설치한 트레이 교환 장치(120)에 의해 행한다. 또한, 도 8에 있어서는, 편의상, 트레이 교환 장치(120)의 구성 요소 중, 트레이 교환용 아암(121)만을 도시하고 있지만, 실제로는 이 트레이 교환용 아암(121)의 Y축방향에서 끼우도록, 도 8에 도시하는 바와 같은 수납 매거진(126b) 및 공급 매거진(126a), 트레이 임시 적재 스테이지(127), 푸셔 기구(128) 및 엘리베이터(129a, 129b)가 설치되어 있다.

트레이 교환 장치(120)는 드럼(101)의 보유 지지부(103)에 의해 흡착 보유 지지된 트레이(102)를, 드럼(101)으로부터 수취하는 트레이 교환용 아암(121)과, 이 트레이 교환용 아암(121)을 지지하여, 이것을 트레이(102)의 수취 위치로부터 트레이(102)를 수납 매거진(126b)으로 수납하고, 빈 트레이(102)를 공급 매거진(126a)으로부터 수취하는 트레이 임시 적재 스테이지(127)로 전달하는 위치로 이동시키는 트레이 이송 기구(122)와, 이 공급 매거진(126a)으로부터 빈 트레이(102)를 임시 적재 스테이지(127)에 대해 반출하는 동시에, 임시 적재 스테이지(127)에 탑재된 가득 찬 트레이(102)를 수납 매거진(126b)에 대해 밀어넣는 푸셔 기구(128)를 구비한다.

또한, 임시 적재 스테이지(127)의 바로 아래에는, 트레이(102)에 부착된 IC 태그에 기록되는 디바이스의 분류 식별 정보를 판독하거나, 또는 재기입을 행하는 RFID 리더 라이터(130)가 설치되어 있다. 상술한 바와 같이, 이 RFID 리더 라이터(130)에 의해, 각 트레이(102)에 부착된 IC 태그에 대해 디바이스의 분류 정보(예를 들어, 디바이스가 LED이면 휘도, 색도, 파장 등), 트레이 상의 디바이스 수량, 로트 번호·제조 일시 등의 로트 정보가 판독 기입되도록 되어 있다.

도 6 및 도 8에 도시하는 바와 같이, 트레이 교환용 아암(121)은 진공 흡착·진공 파괴를 소정의 타이밍으로 제어하는 흡착 핸드(123)를 구비하고, 트레이 이송 기구(122)는 가득 찬 트레이(102)를 보유 지지한 흡착 핸드(123)를 드럼(101)으로부터 이격하거나, 또는 빈 트레이(102)를 보유 지지한 흡착 핸드(123)를 드럼(101) 방향으로 근접시키기 위한 가이드 실린더(124)와, 흡착 핸드(123)와 가이드 실린더(124)를 90도 회전시키는 로터리 액추에이터(125)를 구비한다.

트레이 교환 장치(120)에 있어서, 수납 매거진(126b)과 공급 매거진(126a)은, 도 8에 도시하는 바와 같이 트레이 삽입구가 마주 보도록 배치되어 있다. 이 수납 매거진(126b)과 공급 매거진(126a)은 모두 복수의 트레이(102)를 다단으로 하여 수납 가능하게 구성되어 있다. 또한, 양 매거진에는 이 매거진을 상하 방향으로 이동시키는 엘리베이터(129a와 129b)가 각각 설치되어 있다.

푸셔 기구(128)는, 마주 보는 매거진의 방향(도면 중 Y축방향)을 향해 매거진에 삽입하여, 매거진 내의 트레이(102)를 이동시키는 막대 형상의 푸셔(128a)와, 이 푸셔(128a)를 Y축방향 이동시키는 볼 나사(128b)와, 이 볼 나사(128b)의 회전을 구동하는 모터(M3)를 구비한다. 즉, 푸셔 기구(128)는 마주 보도록 설치된 수납 매거진(126b) 및 공급 매거진(126a) 중, 공급 매거진(126a)측에 설치되는 동시에, 막대 형상의 푸셔(128a)는 트레이 임시 적재 스테이지(127)와 수직 방향에 있어서 평행한 위치에 설치되어, 막대 형상의 푸셔(128a)가, 공급 매거진(126a)의 배면으로부터, Y축방향으로 이동함으로써, 공급 매거진(126a) 내의 빈 트레이를, 트레이 임시 적재 스테이지(127) 상으로 이송한다.

[2-3. 작용]

[2-3-1. 턴테이블 상의 이송 처리]

전공정에 있어서, 디바이스의 조립을 종료하고, 웨이퍼 링에 덮인 웨이퍼 시트에 부착된 디바이스는 다이싱에 의해 개편화되어, 이것을 턴테이블(T)에 설치한 흡착 노즐에 의해 픽업된다.

픽업된 디바이스는, 턴테이블(T) 상의 원주 등배 위치에 설치된 적재대(P)에 탑재되어, 흡착 보유 지지된 채, 소정의 타이밍으로 간헐적으로 회전하여, 이 적재대(P)와 등간격으로 하여 턴테이블(T)의 상측에 설치된 각종 검사 장치로 순차 이송된다. 예를 들어, 디바이스가 LED 칩인 경우에는 광학 프로브에 의해 광도, 광속, 파장, 컬러 좌표 등의 광학 테스트를 행하거나, 카메라에 의한 외관 검사를 행한다.

턴테이블(T)의 회전에 의해, 검사가 종료된 디바이스가, 픽업 노즐(111)의 수취 위치까지 이동하기까지, 도시하지 않은 제어 장치에 의해, 당해 디바이스의 특성 검사의 결과에 기초하여, 복수의 검사 결과를 조합하여 특성에 따라서 분류를 할당하고, 그 결과를, 드럼(101)에 있어서의 당해 분류에 대응하는 트레이(102)의 위치 정보로부터 드럼(101)의 이동량을 계산하여, 그 위치 정보가 드럼 이동 기구(104)에 입력된다.

[2-3-2. 픽업 노즐에 의한 수취 처리]

디바이스가, 픽업 노즐(111)의 수취 위치까지 이동하면, 픽업 노즐(111)은 Z축 이동 기구(114)의 작용에 의해 턴테이블(T) 상의 적재대(P)인 수취 위치까지 하강하여, 진공 흡착에 의해 적재대(P)로부터 디바이스를 픽업한다.

[2-3-3. 트레이로의 전달 부착 처리]

계속해서 픽업 노즐(111)은, 지지판(112)에 의해 고정된 모터(M2)의 구동에 의해 회전 아암(113)이 180도 회전하는 데 수반하여, 턴테이블(T) 상의 적재대(P) 상의 수취 위치로부터 드럼(101)측을 향해, 트레이(102)로의 전달 부착 위치로 이동한다.

이때, 드럼(101)은 도시하지 않은 제어 장치로부터 입력되는 드럼(101)의 이동 위치 정보에 기초하여 드럼 이동 기구(104)의 구동에 의해, 픽업 노즐(111)에 픽업된 디바이스의 분류에 대응하는 트레이(102)가, 픽업 노즐(111)에 의한 전달 부착 위치의 바로 아래에 위치하도록 중심축(O)에 의한 θ회전과 Y축방향으로의 이동을 행한다.

여기서, 트레이(102)의 구성에 있어서 서술한 바와 같이 트레이(102) 상에는 디바이스가 5000개 정도 배치되게 되지만, 이때의 디바이스의 부착 위치는, 예를 들어 픽업 노즐(111) 근방에 카메라를 설치하여, 빈 위치를 화상 인식함으로써, 트레이(102) 상에 행과 열을 이루어, 순서대로 부착할 수 있도록 한다[또한, 후술하는 트레이(102) 상에 디바이스가 가득 찼는지 여부의 판단도, 이 화상 인식에 의해 행함]. 이때, 드럼 이동 기구(104)의 구동에 의해, 트레이(102)를, X축 및 Y축방향, 즉 도 6에서 말하는 곳의 종횡 방향으로 이동시켜 미세 조정을 행한다.

즉, 도면을 사용하여 바꿔 말하면, 부착을 행하는 트레이(102)가, 드럼(101)의 수직 방향 최상부에 위치하기 위한 이동은 드럼(101)을 중심축(0)에 의한 θ회전시킴으로써 행하고, 드럼(101)의 수직 방향 최상부에 위치하는 5매의 트레이(102) 중, 부착을 행하는 트레이가, 픽업 노즐(111)의 바로 아래에 위치하도록 하기 위해, 드럼 이동 기구(104)에 의한 Y축방향의 슬라이드 이동에 의해 행하고, 또한 픽업 노즐 바로 아래에 위치하는 트레이(102) 내에 있어서, 디바이스를 행과 열로 순차적으로 부착하기 위해, 드럼 이동 기구(104)에 의한 X축방향 및 Y축방향으로의 작은 이동에 의해 행한다.

드럼(101)이 드럼 이동 기구(104)의 작용에 의해 X축 및 Y축방향으로 이동하여, 픽업 노즐(111)에 보유 지지된 디바이스의 분류에 상당하는 트레이(102)가 픽업 노즐(111)의 바로 아래에 위치하고, 트레이(102) 상에 있어서의 디바이스의 전달 부착 위치가 결정되면, 픽업 노즐(111)은 Z축 이동 기구(114)의 작용에 의해 하강 동작을 행하여 디바이스를 트레이(102)의 점착 시트 상으로 전달하여 부착한다.

이상과 같은 디바이스의 턴테이블(T)에 의한 이송 처리, 픽업 노즐(111)에 의한 수취 처리 및 드럼(101)의 트레이(102) 상으로의 전달 부착 처리를 순차적으로 반복한다.

[2-3-4. 트레이의 교환 처리]

상기와 같은 처리를 반복하여, 하나의 분류의 트레이(102) 상에 디바이스가 가득 차게 되면, 그것이 화상에 의해 인식되어 당해 트레이(102)의 위치 정보 내지는 ID 정보가, 드럼 이동 기구(104) 및 트레이 교환 장치(120)에 입력된다.

이 입력에 기초하여, 우선 드럼 이동 기구(104)가, 당해 트레이(102)가 트레이 교환 장치(120)의 트레이 교환용 아암(121)의 위치로 이동하도록 O축 회전 및 Y축 이동을 행한다.

계속해서, 트레이 교환 장치(120)는, 우선 흡착 핸드(123)로 디바이스를 가득 차게 적재한 트레이(102)를 드럼(101)의 보유 지지부(103)로부터 수취하여 보유 지지하고, 가이드 실린더(124)에 의해 흡착 핸드(123)를 10㎜ 정도 퇴피시켜, 로터리 액추에이터(125)에 의해 도면 중 하측으로 90도 회전한다[도 6의 (b) 및 (c) 참조]. 다음에, 다시 가이드 실린더(124)로 흡착 핸드(123)를 트레이 임시 적재 스 테이지(127)측으로 10㎜ 이동시켜, 트레이 임시 적재 스테이지(127)에 대해 트레이(102)를 이동 탑재한다(도 8 참조).

트레이 임시 적재 스테이지(127) 상에 적재된 디바이스가 가득 찬 트레이(102)에 대해, 이 스테이지(127) 바로 아래의 RFID 리더 라이터(130)에 있어서, 디바이스의 분류 정보(예를 들어, 디바이스가 LED이면 휘도, 색도, 파장 등)가 판독되는 동시에, 트레이 상의 디바이스 수량, 로트 번호·제조 일시 등의 로트 정보가 기입된다. 또한, IC 태그의 정보는, 전술한 재부착 장치에 있어서 이용되게 된다.

다음에, 푸셔 기구(128)의 막대 형상의 푸셔(128a)가, 공급 매거진(126a)의 배면으로부터 도면 중 Y축방향으로 이동함으로써, 공급 매거진(126a) 내의 빈 트레이(102)를, 트레이 임시 적재 스테이지(127) 상으로 이송하는 동시에, 가득 찬 트레이를 수납 매거진(126b)측으로 이동시킨다[도 8의 (a) 참조].

빈 트레이(102)가 트레이 임시 적재 스테이지(127) 상부 전달 위치에 위치하면, 이 스테이지(127) 바로 아래의 RFID 리더 라이터(130)에 있어서, 가득 차게 적재된 트레이(102)에 대해 판독된 디바이스의 분류 정보(예를 들어, 디바이스가 LED이면 휘도, 색도, 파장 등)가, 이 빈 트레이(102)에 기입된다.

흡착 핸드(123)가 이 빈 트레이(102)를 픽업한다[도 8의 (b) 참조]. 푸셔 기구(128)는 흡착 핸드(123)에 의해 빈 트레이(102)가 픽업되면, 수납 선반측으로 더 이동하여, 가득 찬 트레이를 수납 선반 중에 완전히 밀어 넣는다[도 8의 (c) 참조]. 이와 같이 하여, 빈 트레이와 가득 찬 트레이가, 하나의 트레이 임시 적재 스테이지(127) 상에서 교환되어, 트레이 교환 작업이 행해진다.

또한, 수납 매거진(126b) 및 공급 매거진(126a)에는, 수직 방향으로 다단에 걸쳐 복수매의 트레이(102)가 수납 가능하지만, 예를 들어 10단마다 등, 분류마다 수납 위치를 미리 정해 두고, 흡착 핸드(123)에 의해 픽업되는 분류에 따라서 엘리베이터(129a와 129b)가 작용하여, 수납 매거진(126b)과 공급 매거진(126a)을 상하 이동시킴으로써, 소정의 분류에 대응한 트레이(102)를 공급 또는 수납할 수 있도록 구성되어 있다.

또한, 트레이 교환 장치(120)에 의한 트레이(102)의 교환은, 주로 하나의 트레이(102)에 임의로 설정된 수를 부착하였을 때, 바꿔 말하면 트레이(102)의 점착 테이프 상에 디바이스가 가득 차게 되었을 때에 행한다. 또한, 이 트레이(102)의 교환시에는, 분류 장치(100)의 분류 작업은 일단 정지하게 된다. 또한, 본 실시 형태에 있어서, 이 트레이(102)의 교환 작업은 5초 이하의 시간으로 실시한다.

또한, RFID 리더 라이터(130)에 있어서는, 디바이스가 빈 트레이에 대해 디바이스의 분류 정보를 기입하는 것으로 하고, 디바이스가 가득 적재된 트레이에 대해, 디바이스의 분류 정보를 판독하는 동시에, 트레이 상의 디바이스의 로트 정보가 기입되는 것으로 하였지만, 이러한 구성에 한정되지 않는다. 즉, RFID 리더 라이터(130)에 의해, 빈 트레이에 대해 미리 디바이스의 분류 정보, 트레이 상의 디바이스 수량, 로트 번호·제조 일시 등의 로트 정보 모두 기입해 두고, 가득 적재된 트레이를 수취하면 당해 가득 적재된 트레이에 관한 분류 정보 및 로트 정보를 판독하여, 이 가득 적재된 트레이 대신에 드럼(101)의 소정 위치에 부착되는 빈 트 레이에 정보의 전달을 행하는 구성도 포함한다.

[2-4. 효과]

이상과 같은 본 실시 형태의 분류 장치(100)에 따르면, 드럼(101)에 보유 지지된 분류마다 각 트레이(102)는 각각 독립되어 있으므로, 분류마다 개별로 부착 및 교환을 할 수 있어, 예를 들어 하나의 분류가 가득 차게 됨으로써 다른 분류에도 영향을 미치는 것과 같은 낭비가 없어져, 생산성의 향상을 도모할 수 있다.

또한, 원통 형상의 드럼(101)에 보유 지지부(103)를 설치하여, 여기에 트레이(102)를 배치시킨 것에 의해, 매우 많은 분류(본 실시 형태에서 최대 60분류 정도)를 확보하면서, 구동 기구를 포함시킨 장치 점유 면적을 억제할 수 있다. 또한, 디바이스의 분류수가 많아도, 회전축(O) 방향과 Y축방향의 이동으로 트레이(102)의 고속 절환이 가능해, 생산성이 매우 높다.

따라서, 1매의 웨이퍼 링으로부터, 특성 검사의 결과에 따라서 복수 분류하여 재부착을 행할 때에 있어서, 웨이퍼 링수에 제한을 받지 않고, 또한 1매의 웨이퍼 링으로부터 재부착을 행하는 기구는 드럼 이동 기구(104)에 의해 드럼(101)을 회전축과 X축 및 Y축방향으로 이동시키는 것만으로 좋고, 이동 기구의 가동 범위를 억제할 수 있으므로, 결과적으로 1동작당의 처리 시간을 단축할 수 있다.

또한, 트레이 교환 장치(120)에 의해, 드럼(101)에 있어서 분류마다 나뉜 트레이(102)를 트레이(102)마다 착탈하고, 이 트레이(102)를 분류마다 수납 매거진(126b)에 수납하는 동시에, 새로운 트레이를 공급 매거진(126a)으로부터 공급하여, 다시 드럼(101)에 부착할 수 있게 된다.

또한, 트레이(102) 상에 디바이스가 가득 차게 되었을 때에는, 당해 트레이만의 교환을 행하면 되며, 그 교환에 필요한 사항도 매우 단시간에 끝난다(본 실시 형태에서는 5초 정도). 따라서, 1매의 웨이퍼 시트 상에 복수 분류를 직사각 형상으로 배치하는 경우와 같이, 어느 1개의 분류가 탱크에 가득 차게 되면, 링 자체를 절환할 필요가 없어 낭비가 없다.

또한, 트레이의 교환시에, RFID 리더 라이터(130)에 있어서, 트레이에 부착된 IC 태그에 대해 디바이스의 분류 정보나 로트 정보가 판독 기입됨으로써, 트레이 상의 디바이스의 분류 정보를 IC 태그에 의해 관리할 수 있고, 이 분류 정보를 그 후의 재부착 장치에 있어서도 그대로 이용함으로써, 디바이스의 트레이서빌리티의 확보가 용이해진다.

이상과 같이, 본 실시 형태의 분류 장치에 따르면, 전공정에서의 디바이스의 분류를 간이하며 고속이고 또한 공간 절약으로, 다분류로 동시 행할 수 있다.

[다른 실시 형태]

[1. 재부착 장치]

본 발명은, 상기 실시 형태에 나타낸 구성에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 다음과 같은 실시 형태도 포함하는 것이다. 즉, 상기 실시 형태에 있어서의 매거진(2)과, 엘리베이터(3) 및 푸셔 기구(4)의 배치는, 장치 구성상의 일례를 나타내는 것에 불과하며, 매거진(2)으로부터의 공급 트레이(K)의 배출 및 흡착 핸드(51)로의 전달과, 공급 트레이(K)의 흡착 핸드(51)로부터 매거진(2)으로의 반환을, 푸셔 기구(4)가 행할 수 있는 구성이면 좋다. 구체적으로는, 상기 실시 형태 에서는, 흡착 핸드(51), 매거진(2) 및 푸셔 기구(4)의 2편의 푸셔를, 제2 시트(S2)의 폭 방향(도면 중 Y축방향)으로 배열하였지만, 본 발명에서는 이것에 한정되지 않고, 제2 시트(S2)의 이송 방향(도면 중 X축방향)으로 배열하여 구성하는 것도 가능하다.

또한, 본 실시 형태에서는, 제1 시트(S1)로서 2인치의 점착 시트를 예로 이용하고, 제2 시트(S2)로서 한 변이 20㎝인 정사각형의 점착 시트를 예로 이용하였지만, 이것은 일례를 나타내는 것에 불과하며, 제1 및 제2 시트(S2)의 사이즈는 장치 사양 등에 따라서 다양한 것에 대응 가능하다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 흡착 핸드(51)를 반전 모터(52)에 의한 반전뿐만 아니라, 시프트 기구(53)에 의한 Y축방향으로의 슬라이드 이동도 가능하게 하고, 제1 시트(S1)로부터 1매의 제2 시트(S2)에 대해 최대 4×4의 16부위의 재부착을 가능하게 하였다. 단, 이것은 일례를 나타내는 것이며, 장치 구성으로서 시프트 기구(53)를 생략하고, 흡착 핸드(51)의 이동을, 반전 모터(52)에 의한 반전 동작만으로 하고, 제2 시트(S2)에 대해 1부위만의 부착으로 하거나, 이송 롤러(72)에 의한 이송 동작에 의해, 제2 시트(S2)의 이송 방향으로 수 부위 부착하는 실시 형태도, 본 발명은 포함한다.

또한, 상기 실시 형태에 있어서의 부착 조정 기구(54)의 구성은, 상기 실시 형태에서 나타낸 것에 한정되지 않고, 예를 들어 가압력 조정 스프링(543) 대신에, 보이스 코일 모터를 이용함으로써, 제2 시트에 대해 전기적인 하중의 조정이 가능해진다.

[2. 분류 장치]

상기 실시 형태에서는, 드럼(101)의 회전축(O)을 수평 방향의 배치로 하였지만, 본 발명에서는 이러한 형태로 한정되지 않고, 회전축(O)을 수직 방향으로 하여 설치하는 것도 가능하다. 이 경우에는, 상기 실시 형태에 있어서의 픽업 노즐(111)은, 턴테이블(T)로부터 디바이스를 픽업한 후, 90도 회전하여 드럼(101)으로의 전달 부착 처리를 행하게 된다. 또한, 그 밖의 각 장치의 상세한 구성 및 작용은 상기 실시 형태와 마찬가지로 구성함으로써, 상기 실시 형태와 동일한 효과를 얻는 것이 가능하다.

또한, 상기 실시 형태에 있어서의 트레이로의 전달 부착 처리에 있어서는, 드럼 이동 기구(104)의 구동에 의해, 트레이(102)가 픽업 노즐(111)에 의한 전달 부착 위치의 바로 아래에 위치하도록 중심축(0)에 의한 θ회전과 Y축방향으로의 이동을 행하고, 또한 트레이(102) 상에 디바이스를 행과 열로 순서대로 부착할 때에, 트레이(102)를 X축 및 Y축방향으로 이동시키고 있지만, 본 발명은 이러한 형태로 한정되지 않고, 예를 들어 픽업 노즐(111)의 구성을 변경함으로써, 드럼 이동 기구(104)에 의한 X축 또는 Y축방향으로의 이동을, 픽업 노즐(111)에 담당하게 하는 것도 가능하다. 즉, 드럼(101) 자체는, θ회전을 행하는 것만으로 하여, 픽업 노즐(111)이 디바이스의 부착에 있어서, 드럼(101)의 소정의 트레이(102) 상에서 X축 및 Y축방향으로 이동하면서 트레이(102)로의 부착을 행하는 구성으로 하는 것도 가능하다.

단, 본 실시 형태의 설명으로부터 알 수 있는 바와 같이, Y축방향의 이동은 이동 범위가 넓기 때문에, 상기 실시 형태와 같이 X축 및 Y축의 이동 모두 드럼 이동 기구(104)에 의한 드럼(101)의 이동으로서 행하는 구성이 최적이고, 픽업 노즐(111)에 XY 방향으로의 이동 처리를 분담하는 경우라도, 적어도 Y축방향 이동은 드럼(101)의 이동으로 하고, 픽업 노즐(111)에는 X축방향의 미세 조정으로서의 이동만을 담당하게 하는 형태가, 장치의 고속 처리라고 하는 관점에서는 바람직하다.

또한, 상기한 트레이 교환 구조에서는, 가득 찬 트레이를, 수납 매거진(126b)으로 수납하는 동시에, 가득 찬 트레이를 대신하여 빈 트레이를 공급 매거진(126a)으로부터 공급하는 구성으로 하고 있지만, 본 발명은 이러한 형태에 한정되지 않고, 예를 들어 수납 매거진(126b)의 위치에 공지의 컨베이어를 설치하여, 푸셔 기구(128)의 푸셔에 의해 공급 매거진(126a)의 측으로부터, 빈 트레이를 트레이 임시 적재 스테이지(127) 상으로 밀어내고, 이에 의해 트레이 임시 적재 스테이지(127) 상에 적재된 가득 찬 트레이가, 공급 매거진(126a)과 스테이지(37)를 사이에 두고 반대측에 설치된 컨베이어로 이동하고, 컨베이어에 의해 탑재되어 컨베이어에 의해 소정의 부위로 이송되는 구성으로 해도 좋다.

Claims (13)

1. 디바이스를 부착한 점착성 제1 시트를 갖는 공급 트레이를 수납한 매거진으로부터 상기 공급 트레이를 배출하고, 상기 트레이 상의 디바이스를, 사이즈가 상이한 점착성 제2 시트에 재부착하고, 상기 제2 시트를 소정의 사이즈로 컷트하여 수납 선반에 수납하는 재부착 장치에 있어서,

   상기 공급 트레이를 복수 다단으로 구비한 매거진과,

   상기 매거진을 수직 방향으로 이동시킴으로써, 공급 트레이의 배출 위치로 이동시키는 엘리베이터와,

   상기 매거진으로부터 상기 공급 트레이를 배출하는 푸셔 기구와,

   배출된 상기 공급 트레이를 수취하여 흡착 보유 지지하는 기구와,

   상기 트레이를 반전시켜, 상기 트레이 상의 제1 시트에 부착된 디바이스를 상기 제2 시트에 대해 압박하여, 당해 디바이스를 상기 제2 시트에 대해 부착하는 반전 기구를 갖는 트레이 반전 기구와,

   상기 제2 시트를 공급하는 시트 롤과,

   상기 시트 롤에 권회된 제2 시트를 소정의 피치로 송출하는 이송 롤러와,

   디바이스가 재부착된 제2 시트를, 소정의 간격으로 컷트하는 시트 커터와,

   상기 시트 커터에 의해 잘라내어진 제2 시트를 보유 지지하고, 상하 방향으로 이동하면서, 당해 제2 시트를 수납하는 위치로 이동시키는 시트 분류 엘리베이터와,

   상기 시트 분류 엘리베이터의 하류측에 설치되고, 잘라내어진 제2 시트를 수납하는 트레이를 다단으로 구비한 수납 선반을 구비한 것을 특징으로 하는, 재부착 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 트레이 반전 기구는, 상기 제1 시트 상의 디바이스를, 상기 제2 시트에 대해 압박하는 압박량 및 압입 압력을 조정 가능하게 구성된 것을 특징으로 하는, 재부착 장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 트레이 반전 기구는, 상기 제2 시트에 대해 압박하는 압박량 및 압입 압력을 조정하는 기구로서, 상기 제2 시트에 있어서의 디바이스의 부착 위치에 있어서, 상기 제2 시트에 있어서의 상기 제1 시트에 부착된 디바이스를 압박하는 측과 반대측으로부터, 부착되는 면적과 동등한 면적으로 이루어지는 면을 압박하는 접촉면을 구비하고,

   상기 접촉면은, 제2 시트에 대한 접촉 압력의 조정 수단으로서, 가압력 조정 스프링 또는 보이스 코일 모터를 구비하는 것을 특징으로 하는, 재부착 장치.
4. 제1항에 있어서, 트레이 반전 기구에 의해, 상기 제2 시트에 재부착된 디바이스의 표면에 대해, 부착할 보호 시트를 권회한 보호 시트 롤을 구비한 것을 특징으로 하는, 재부착 장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 트레이 반전 기구의 공급 트레이의 수취 위치에는, 상기 공급 트레이의 제1 시트에 부착된 디바이스의 표면의 외관 검사를 행하는 표면 검사 카메라가 설치되고,

   상기 트레이 반전 기구의 상기 제2 시트에의 재부착 위치에는, 상기 트레이 반전 기구에 의해 반전되어 상기 제2 시트에 부착된 디바이스의 이면의 외관 검사를 행하는 이면 검사 카메라가 각각 설치된 것을 특징으로 하는, 재부착 장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 공급 트레이에는 제1 시트에 부착한 디바이스의 특성에 따른 분류 정보를 기억한 IC 태그가 부여되고,

   상기 트레이 반전 기구의 상기 공급 트레이의 수취 위치 근방에는, 당해 공급 트레이에 관한 분류 정보를 판독하는 RFID 리더가 설치되고,

   상기 판독된 분류 정보에 기초하여, 당해 공급 트레이의 제1 시트에 부착된 디바이스가 재부착된 상기 제2 시트에 대해, 식별 정보를 부여하는 식별 정보 부여 수단을 구비한 것을 특징으로 하는, 재부착 장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 제1 시트의 점착력은, 상기 제2 시트의 점착력보다 약하게 설정된 것을 특징으로 하는, 재부착 장치.
8. 제1항에 있어서, 상기 트레이 반전 기구는, 상기 공급 트레이를 반전시켜, 상기 제1 시트에 부착된 디바이스를 상기 제2 시트에 대해 부착한 후, 다시 반전시 켜, 상기 공급 트레이의 수취 위치로 복귀되도록 구성되고,

   상기 수취 위치 근방에, 상기 트레이 상의 디바이스를 보유 지지하지 않는 제1 시트의 점착면에 대해, 이 제1 시트보다 강한 점착력을 갖는 클리닝 테이프를 압박하여, 제1 시트의 오염을 상기 클리닝 테이프에 전사하여 클리닝하는 클리닝 기구가 설치된 것을 특징으로 하는, 재부착 장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 클리닝 기구는,

   상기 제1 시트의 점착면에 상기 클리닝 테이프를 회전하면서 압박하는 클리닝 롤러와,

   이 클리닝 롤러를 상기 제1 시트 상에서 이동시키는 실린더를 구비한 것을 특징으로 하는, 재부착 장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 클리닝 기구는,

    상기 클리닝 테이프가 권회되어, 상기 클리닝 롤러에 대해 공급하는 테이프 롤러와,

    제1 시트의 오염을 전사한 사용 완료된 클리닝 롤러를 권회하여 회수하는 클리닝 완료 테이프 롤러를 구비하고,

    상기 클리닝 완료 테이프 롤러에는, 사용 완료된 클리닝 테이프가, 상기 클리닝 롤러의 이동에 의해 역류하지 않도록, 상기 클리닝 완료 테이프 롤러의 역회전을 방지하는 래칫이 설치된 것을 특징으로 하는, 재부착 장치.
11. 점착성 제1 시트에 의해 디바이스를 복수 보유 지지하는 트레이를 착탈 가능하게 원환상으로 복수 구비한 드럼형의 분류 기구와, 상기 드럼형의 분류 기구로부터 디바이스가 가득 참으로 분류된 트레이를 수취하여 매거진에 수납하는 동시에 빈 트레이를 매거진으로부터 수취하여 상기 드럼형의 분류 장치로 공급하는 트레이 교환 기구와, 상기 매거진으로부터 디바이스가 가득 찬 트레이를 수취하여 이 트레이 상의 제1 시트에 부착된 디바이스를, 점착성 제2 시트에 재부착하는 재부착 기구와, 상기 재부착 기구에 의해 트레이로부터 디바이스를 수취하는 제2 시트를 공급 반송하는 시트 공급 반송 기구와, 디바이스가 부착된 제2 시트를 소정 사이즈로 잘라내는 시트 절단 기구와, 절단된 제2 시트를 수납하는 수납 선반을 이용하여 행하는 디바이스의 분류 재부착 방법에 있어서,

    상기 분류 장치에 의해, 특성 검사에 의해 분류가 판명된 디바이스를, 적어도 대응하는 분류 식별 정보가 부여된 트레이에 부착하는 공정과,

    상기 트레이 교환 기구에 의해, 상기 드럼형의 분류 기구로부터 디바이스가 가득 참으로 분류된 트레이를 수취하여 매거진에 수납하는 동시에 빈 트레이를 매거진으로부터 수취하여 상기 드럼형의 분류 장치로 공급하는 공정과,

    재부착 기구에 의해, 디바이스가 가득 찬 트레이를 상기 매거진으로부터 수취하여 보유 지지하고, 이 트레이 상의 제1 시트에 부착된 디바이스를 제2 시트에 재부착하는 공정과,

    상기 재부착 기구에 있어서 보유 지지된 트레이의 상기 분류 식별 정보를 판독하는 공정과,

    시트 공급 기구에 의해, 상기 재부착 기구에 의해 트레이로부터 디바이스를 수취하는 제2 시트를 공급 반송하는 공정과,

    상기 시트 절단 기구에 의해, 디바이스가 부착된 제2 시트를 소정 사이즈로 잘라내는 공정과,

    상기 잘라내어진 제2 시트에 대해, 부착된 디바이스에 대응하는 상기 분류 식별 정보를 기입하는 공정과,

    상기 수납 선반에, 절단된 제2 시트를 수납하는 공정을 순차 실행하는 것을 특징으로 하는, 디바이스의 분류 재부착 방법.
12. 제11항에 있어서, 디바이스가 LED 칩인 경우에 있어서, 상기 분류 식별 정보에는, LED의 휘도, 색도, 파장을 포함하는 것을 특징으로 하는, 디바이스의 분류 재부착 방법.
13. 제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 분류 식별 정보에는, 적어도 제1 및 제2 시트 상에 탑재되는 디바이스의 수량, 로트 번호 및 제조 일시를 포함하는 로트 정보가 포함되는 것을 특징으로 하는, 디바이스의 분류 재부착 방법.

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