JP5510944B2 - 分類装置及び検査分類装置 - Google Patents
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Description
[1−1.処理の概略]
まず、本実施形態の検査分類装置1の処理の概略を説明する。本実施形態の検査分類装置1は、検査工程と分類工程とを実施する2つの装置から構成される。なお、本実施形態の検査工程においては、積分球や光ディテクタを含む光学測定装置を用いたテストを行なうため、検査対象となるチップはLEDチップであることが前提となる(なお、以下では、光学測定装置として積分球を例にして説明を行なう。)。一方、分類工程においては、本実施形態では、検査工程からの連続的処理を前提としているため、分類工程同様にLEDチップをその分類対象としているが、分類装置自体では、LEDチップに限らず、半導体装置や電子部品一般に用いることができるものである。
次に、本実施形態の検査分類装置1の具体的な構成について説明する。なお、本実施形態で用いるウエハシートSは6インチ程度のものを例とし、チップWは0.2mm〜1.0mm程度のものを例とする。また、以下でいう第1のウエハシートS1には1万〜2万個程度のチップが貼付され、第2のウエハシートS2には3000〜5000個程度のチップWが貼付されているものを例とする。なお、第1のウエハシートS1はダイシングが終わった一般的なウエハと同様であるため、6インチで1万〜2万個のチップの配置となるが、ウエハシートS2は後述のように、本実施形態の装置を用いてチップ間隔を広げて再貼り付けをしたものであり、積分球の開口サイズでピッチが決まるため、およそ数千個としているものである。
図1に示すように、検査装置10は、複数のチップWが貼付された第1のウエハシートS1を有する第1のウエハリングR1を多段に収納した供給カセット11と、供給カセット11から第1のウエハリングR1を引き出し、供給部12へ供給するウエハリング移送部13と、第1のウエハリングR1を受け取り貼替え部に受け渡す供給部12と、供給部12から第2のウエハリングR2の第2のウエハシートS2に対してチップWを受け渡す貼替え部14と、第2のウエハリングR2を保持し貼替え部14からチップWを受け取る受取り部15と、を備える。
[全体構成]
図2に示すように、分類装置20は、第2のウエハシートS2上のチップWの特性に関する配置情報であるマップデータを保持した分類前の第2のウエハリングR2を供給する供給マガジンM2と、ターンテーブルTを備えた搬送装置22と、チップWを分類した後の第3のウエハシートS3を有する第3のウエハリングR3を収納する分類マガジンM3とを備える。そして、供給マガジンM2と搬送装置22との間のチップWの受け渡しを第1及び第2の受渡し装置21において行い、搬送装置22と分類マガジンM3との間のチップWの受け渡しを第1及び第2の受取り装置23によって行なうように構成される。
供給マガジンM2は、第2のウエハシートS2上のチップWの特性に関する配置情報であるマップデータを保持した第2のウエハリングR2を複数枚多段に収納するものであり、このマップデータは、上述した検査装置10において得たものである。この供給マガジンM2は、分類装置20において台座STの上に、第2のウエハリングR2の第2のウエハシートS2面をその台座STの平面方向すなわち水平方向にして設置される。
第1及び第2の受渡し装置21は、供給マガジンM2から第2のウエハリングR2を1枚ずつ受け取り、第2のウエハリングR2をチップWの供給位置へと移動させる手段である。
搬送装置22は、ターンテーブルTを備え、このターンテーブルTの円周等配位置に、吸着ノズルNを備えたチップWの吸着保持部22aを備える。本実施形態において、この吸着保持部22aは、ターンテーブルTを20分割して20個設けられており、その先端、すなわち吸着ノズルNの先端は、ターンテーブルTの半径方向外周に向けて設けられている。ターンテーブルTは、テーブル下部に設けられたモータEの駆動により、所定のタイミングで、所定数分割して(ここでは、20分割)回転停止を繰り返す間欠回転を行なうように構成される。
第1及び第2の受取り装置23は、保持した第3のウエハリングR3の第3のウエハシートS3上に特定の分類のチップWが一杯になると、第3のウエハリングR3を交換するため、垂直位置から水平位置へ回転し、ベルトBが回転することで、満杯になった第3のウエハリングR3を分類マガジンM3へ収納するようになっている。第3のウエハリングR3の収納後、第1及び第2の受取り装置23は、分類マガジンM3からチップWの貼付されていない空の第3のウエハリングR3を受け取り、再度垂直位置へ移動して、搬送装置22から他のチップWを受け取るように構成される。
以上のような構成からなる本実施形態の検査分類装置1の作用を説明する。
[1−3−1.検査装置の作用]
本実施形態の検査装置10では、まず供給カセット11からウエハリング移送部13に対して、チップWを第1のウエハシートS1上に貼付した第1のウエハリングR1が1枚供給される。具体的には、ウエハリング移送部13は、供給カセット11背面に設けられたプッシャー機構13pにより、供給カセット11から第1のウエハリングR1を押し出し、排出された第1のウエハリングR1のリング部分RPをモータEによりベルトBを回転させることでスライド移動させ、第1のウエハリングR1を保持部13a上へ移動させる。
本実施形態の分類装置20では、まず、検査装置10の最終工程において、収納マガジンM1に収納された第2のウエハリングR2が、供給マガジンM2としてそのまま用いられる。すなわち、供給マガジンM2からは、第2のウエハシートS2上のチップWの特性に関する配置情報であるマップデータを保持した分類前の第2のウエハリングR2が供給される。
分類装置20においては、受渡し装置21と、受取り装置23とを、第1及び第2の各々2つ設けている。この2つの受渡し装置21と受取り装置23から、搬送装置22の吸着保持部22aがチップWを受け取り、又は貼り付ける手順は、種々のパターンが考えられる。このパターンは、装置の使用者の分類するチップWの種類や分類数、目的等に応じて、処理プログラムを変更することにより対応が可能である。そこで、以下、この受取り・貼り付けのパターンについて、代表的なものを例示する。
最も原則的な受渡しパターン(A)として、第1及び第2の受渡し装置21のうち、一方の受渡し装置21(例えば、第1の受渡し装置21a)が搬送装置22へのチップWの受渡しを行なっている間、他方の受渡し装置21(例えば、第2の受渡し装置21b)は、受渡しを行なわず、第2のウエハリングR2の交換を行なうように設定する手法である。
以上のような本実施形態の検査分類装置1によれば、検査装置において、貼替え部を備え、この貼替え部により、供給カセットから供給される第1のウエハリングにおけるチップの貼付ピッチを変換して、受取り部の第2のウエハリングに対してチップを貼付することで、特性検査装置においてウエハシートにチップが貼付されたままの状態で、積分球をはじめとする光学測定装置を利用した検査を行うことが可能となる。これにより、ウエハシートに貼付したままの状態でのLEDチップの光学特性の検査が容易となる。
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下の態様も包含するものである。本実施形態の検査装置10における特性検査装置18では、積分球、突上げ部、支持部を1セット設け、これにより、光学特性の検査を行うこととしているが、本発明は、このような例に限られず、例えば、図5(a)に示すように、積分球と突上げ部、支持部のセットを2つ並列して設け、この2つの積分球により、シート上の異なる位置に貼付されたチップを同時に検査することも可能である。この場合、図5(b)に示すような円形のウエハよりも(a)に示すような矩形のウエハを用いたほうが、チップの貼付位置の関係で、2つの積分球において同時にチップを検査できる量が多く取れるため、態様としては矩形のウエハが好ましい。
10…検査装置
11…供給カセット
12…供給部
12h…リングホルダ
13…ウエハリング移送部
13a…保持部
13b…回転移動機構
13c…縦レール
13d…横レール
13o…支点
13p…プッシャー機構
13q…支点
14…貼替え部
14p…ピックアップ機構
15…受取り部
16…搬送部
16a…搬送レール
17…プリアライメント装置
18…特性検査装置
18a…載置部
18b…積分球
18c…移動機構
18d…突上げ部
18e…開口部
18f…支持部
18g…載置台
18h…駆動機構
19…外観検査装置
20…分類装置
21…受渡し装置
21a…第1の受渡し装置
21b…第2の受渡し装置
21c…受渡保持部
22…搬送装置
22a…吸着保持部
23…受取り装置
23a…第1の受取り装置
23b…第2の受取り装置
B…ベルト
C…カメラ
E…モータ
M1…収納マガジン
M2…供給マガジン
M3…分類マガジン
MV…マガジン
N…吸着ノズル
PB…プローブ
PM…プリズム
R,R1,R2,R3…ウエハリング
RP…リング部分
S,S1,S2,S3…ウエハシート
ST…台座
T…ターンテーブル
W…チップ
Claims (7)
- 前工程において素子形成され、特性検査によりウエハシート上で特性によりマップデータとして記録されたLEDチップや半導体装置からなるチップを、その特性に応じて分類する分類装置であって、
ウエハシート上のチップの特性に関する配置情報であるマップデータを保持したウエハリングを供給する供給マガジンと、
前記供給マガジンからウエハリングを受け取り、当該ウエハリングをチップの供給位置へと移動させる第1及び第2の受渡し手段と、
複数の保持手段を有し、この保持手段により、前記チップの供給位置において、ウエハリングに保持されたウエハシートからチップを受け取り、チップの分類貼付位置へと搬送する搬送手段と、
ウエハシートを有するウエハリングを保持し、前記搬送手段からチップを、前記マップデータに基づいて分類ごとに受け取る第1及び第2の受取り手段と、
分類ごとにチップが貼付されたウエハリングを、前記第1及び第2の受取り手段から受け取り、収納する収納マガジンとを備えたことを特徴とする分類装置。 - 前記搬送手段は、前記保持手段を円周等配位置に複数備えたターンテーブルを備え、
前記第1及び第2の受渡し手段と、前記第1及び第2の受取り手段とは、前記搬送手段の周囲に90度ごとに配置され、
前記保持手段は、前記搬送手段の回転上流側に隣り合って設けられた第1及び第2の受渡し手段からチップを受け取り、前記搬送手段の回転下流側に隣り合って設けられた第1及び第2の受取り手段に貼り付けるものであることを特徴とする請求項1記載の分類装置。 - 前記第1及び第2の受渡し手段は、当該各受渡し手段のチップ受渡し位置に位置する前記保持手段に、それぞれチップを同時に受渡し、
前記第1及び第2の受取り手段は、当該各受取り手段のチップ受取り位置に位置する前記保持手段から、それぞれチップを同時に受取るものであり、
前記保持手段は、前記第1の受渡し手段から受け取ったチップは、前記第1の受取り手段に受渡し、前記第2の受渡し手段から受け取ったチップは、前記第2の受取り手段に受け渡すことを特徴とする請求項1又は2記載の分類装置。 - 前記第1の受渡し手段と、前記第2の受渡し手段とは、一方において前記搬送手段の前記保持手段に対してチップの受渡しを行なっている間、他方においては前記搬送手段の前記保持手段に対してチップの受渡しは行なわず、前記供給マガジンとの間でウエハリングの交換を行なっていることを特徴とする請求項1又は2記載の分類装置。
- 前記第1及び第2の受渡し手段は、前記供給マガジンからウエハリングを受け取り、受け取ったウエハリングを垂直方向に保持し、縦横移動可能に構成され、
前記搬送手段は、前記ターンテーブルを水平方向に配置するとともに、前記保持手段のチップ保持位置を、前記ターンテーブルと同様に水平方向であって、ターンテーブルの半径方向に向けて配置され、
前記第1及び第2の受取り手段は、ウエハリングを垂直方向に保持し、前記搬送手段の保持手段によってチップを前記ウエハリングに保持されたウエハシートに貼付され、ウエハシートにチップの貼付されたウエハリングを水平方向に回転させ、前記収納マガジンへ収納するものであり、
前記保持手段は、前記第1及び第2の受渡し手段において垂直方向に保持されたウエハリングのウエハシートからチップを受け取り、当該保持手段によりチップを保持した状態で、前記ターンテーブルの回転にしたがって搬送し、前記第1及び第2の受取り手段において垂直方向に保持された垂直方向に保持されたウエハリングのウエハシートにチップを貼り付けることを特徴とする請求項2に記載の分類装置。 - 前記第1の受取り手段と、前記第2の受取り手段とは、一方において前記搬送手段の前記保持手段からチップの受け取りを行なっている間、他方においては前記搬送手段の前記保持手段からチップの受け取りは行なわず、前記収納マガジンとの間でウエハリングの交換を行なっていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の分類装置。
- 請求項2〜6のいずれか1項における分類装置において利用する、ウエハシート上のチップの特性に関する配置情報であるマップデータは、LEDチップに対して特性検査を実行する検査装置において取得されるものであって、
この検査装置は、
第1のウエハシートを保持する第1のウエハリングを供給する供給手段と、
供給部から供給される第1のウエハシート上のチップをピックアップし、第2のウエハシートに貼り替えるノズルを備えた貼替え手段と、
前記第2のウエハシートを保持する第2のウエハリングを、前記貼替え手段の動きに合わせて移動させ、前記第2のウエハシートに貼付されるチップのシート上におけるピッチを調整する保持移動手段と、
前記第2のウエハリングを保持しながら搬送する搬送手段と、
前記搬送手段により搬送される前記第2のウエハシート上のチップのシート上における位置を確認するアライメント手段と、
前記第2のウエハシート上のLEDチップの特性検査を実行する光学測定装置を備えた特性検査手段と、
前記第2のウエハシート上のチップの外観を検査する外観検査手段と、
前記アライメント手段、前記特性検査手段及び前記外観検査手段において得た前記第2のウエハシート上のチップの位置情報、光学特性情報及び外観検査情報を、マップデータとして記録する記録手段と、
前記第2のウエハリングを複数収納する収納マガジンと、
を備え、
前記保持移動手段は、前記第2のウエハシート上におけるLEDチップ間のピッチを、前記特性検査手段における前記光学測定装置によってLEDチップの特性検査を行った場合に、前記第2のシート上の他のLEDチップが前記光学測定装置と干渉しないように設定するものであり、
前記搬送手段は、前記第2のウエハリングを、前記アライメント手段を実行するアライメント位置、前記特性検査を実行する光学測定装置の位置、前記外観検査を実行する外観検査位置、及び前記第2のウエハリングを収納する収納マガジンの位置に、適宜停止させながら搬送するものであり、
この検査装置における前記収納マガジンを、前記分類装置における前記供給マガジンとして利用し、前記記録手段によって得た前記マップデータを用いて、前記分類装置において当該マップデータにおける特性情報によりマップデータとして記録された前記第2のウエハシート上のLEDチップを、その特性に応じて分類することを特徴とする検査分類装置。
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