KR102598549B1

KR102598549B1 - 부품 관리 장치 및 부품 관리 방법

Info

Publication number: KR102598549B1
Application number: KR1020227013774A
Authority: KR
Inventors: 코지 시미즈
Original assignee: 가부시키가이샤 후지
Priority date: 2019-11-27
Filing date: 2019-11-27
Publication date: 2023-11-03
Also published as: JP7359863B2; CN114731778A; JPWO2021106119A1; CN114731778B; KR20220066394A; WO2021106119A1

Abstract

부품 관리 장치는, 취득부와 기억부를 구비한다. 취득부는, 기판에 장착하는 부품을 수용하고 있는 캐비티를 복수 구비하는 캐리어 테이프로부터 부품이 차례로 공급될 때에, 당해 부품이 수용되어 있는 캐비티의 위치 정보를 취득한다. 기억부는, 취득부에 의해 취득된 캐비티의 위치 정보, 및 캐리어 테이프가 감겨져 있는 릴을 식별하는 식별 정보를 관련지어 기억 장치에 기억시킨다.

Description

부품 관리 장치 및 부품 관리 방법

본 명세서는, 부품 관리 장치 및 부품 관리 방법에 관한 기술을 개시한다.

특허 문헌 1에 기재의 정보 관리 장치는, 채취원 정보 취득 수단과, 실장처 정보 취득 수단과, 기억 수단을 구비하고 있다. 채취원 정보 취득 수단은, 웨이퍼를 식별하기 위한 식별 정보와 웨이퍼에 있어서의 부품의 채취 위치에 관한 채취 위치 정보를 포함하는 채취원 정보를 취득한다. 실장처 정보 취득 수단은, 기재(基材)를 식별하기 위한 식별 정보와 기재에 있어서의 부품의 실장 위치에 관한 실장 위치 정보를 포함하는 실장처 정보를 취득한다. 기억 수단은, 부품이 기재에 실장될 때에, 실장된 실장 부품의 채취원 정보와 실장 부품의 실장처 정보를 관련지은 실장 실적 정보를 기억한다.

특허 문헌 2에 기재의 전자 부품 반송 장치는, 반송 경로를 형성하는 반송 테이블과, 전자 부품의 수용체를 보유하는 수용체 보유 수단과, 반송 경로 내의 전자 부품을 관찰하는 관찰 수단과, 반송 테이블의 주위에 배치되는 복수의 캐리어 테이프 주행 장치를 구비하고 있다. 또한, 수용체 보유 수단은, 전자 부품을 어레이 형상으로 늘어놓은 웨이퍼 링(wafer ring)을 보유하는 웨이퍼 링 보유부, 또는, 평면을 격자 형상으로 나누어 전자 부품을 어레이 형상으로 늘어놓은 트레이(tray)를 보유하는 트레이 보유부이다.

또, 특허 문헌 2에 기재의 전자 부품 반송 장치는, 웨이퍼 링의 각 전자 부품을 우량품 또는 우량품 이외로 분류한다. 우량품용의 캐리어 테이프 주행 장치는, 캐리어 테이프를 릴(reel)의 반송 방향으로 주행시키면서, 캐리어 테이프의 포켓(pocket)에 전자 부품을 수납하고, 씰(seal) 테이프(tape)로 봉지한다. 릴(reel)은, 씰 테이프로 봉지된 캐리어 테이프를 감아서 꺼낸다. 우량품의 전자 부품의 캐리어 테이프에의 곤포(梱包)가 완료되면, 우량품 의외로 분류된 전자 부품은 재검사된다. 재검사에서는, 관측 장치로 얻어진 데이터를 작업원이 체크하여, 우량품 의외로 분류된 전자 부품을 우량품과 우량품 이외에 다시 판정한다.

일본국 특허공개 2018-056306호 공보 일본국 특허공개 2016-100394호 공보

부품의 공급 방법에는 특허 문헌 1에 기재의 발명과 같이 웨이퍼로부터 부품을 공급하는 웨이퍼 공급과, 릴로부터 부품을 공급하는 릴 공급이 포함된다. 또, 특허 문헌 2에 기재의 발명과 같이, 웨이퍼에 배열되어 있던 부품을 릴로 옮겨, 릴 공급을 행하는 것도 알려져 있다. 종래, 릴 공급에서는, 릴 단위로 공급하는 부품의 관리가 행해지고 있어 트레이서빌리티(traceability) 정보로서 충분하지 않았다. 구체적으로는, 트레이스(trace) 대상의 부품을 수용하는 릴(reel)로부터 공급된 모든 부품에 대해 트레이스 할 필요가 있어 트레이스 작업이 번잡하였다.

이러한 사정을 감안하여, 본 명세서는, 캐리어 테이프로부터 부품이 차례로 공급되는 릴 공급 부품에 대해, 트레이서빌리티(traceability)를 향상 가능한 부품 관리 장치 및 부품 관리 방법을 개시한다.

본 명세서는, 취득부와 기억부를 구비하는 부품 관리 장치를 개시한다. 상기 취득부는, 기판에 장착하는 부품을 수용하고 있는 캐비티(cavity)를 복수 구비하는 캐리어 테이프(carrier tape)로부터 상기 부품이 차례로 공급될 때에, 당해 부품이 수용되어 있는 상기 캐비티의 위치 정보를 취득한다. 상기 기억부는, 상기 취득부에 의해 취득된 상기 캐비티의 위치 정보, 및 상기 캐리어 테이프가 감겨져 있는 릴을 식별하는 식별 정보를 관련지어 기억 장치에 기억시키고, 상기 캐리어 테이프는, 웨이퍼에 배열되어 있던 부품인 웨이퍼 부품을 수용하고, 상기 기억부는, 상기 웨이퍼에 있어서의 상기 웨이퍼 부품의 배열 정보와, 상기 캐리어 테이프에 대해 상기 웨이퍼 부품이 수용되어 있는 상기 캐비티의 위치 정보를 상기 부품을 공급하기 전에 미리 관련지어 기억 장치에 기억시킨다.

또, 본 명세서는, 취득 공정과 기억 공정을 구비하는 부품 관리 방법을 개시한다. 상기 취득 공정은, 기판에 장착하는 부품을 수용하고 있는 캐비티를 복수 구비하는 캐리어 테이프로부터 상기 부품이 차례로 공급될 때에, 당해 부품이 수용되어 있는 상기 캐비티의 위치 정보를 취득한다. 상기 기억 공정은, 상기 취득 공정에 의해 취득된 상기 캐비티의 위치 정보, 및 상기 캐리어 테이프가 감겨져 있는 릴을 식별하는 식별 정보를 관련지어 기억 장치에 기억시키고, 상기 캐리어 테이프는, 웨이퍼에 배열되어 있던 부품인 웨이퍼 부품을 수용하고, 상기 기억 공정은, 상기 웨이퍼에 있어서의 상기 웨이퍼 부품의 배열 정보와 상기 캐리어 테이프에 대해 상기 웨이퍼 부품이 수용되어 있는 상기 캐비티의 위치 정보를 상기 부품을 공급하기 전에 미리 관련지어 상기 기억 장치에 기억시킨다.

상기의 부품 관리 장치에 의하면, 취득부와 기억부를 구비하고 있다. 이에 의해, 부품 관리 장치는, 공급된 부품이 수용되어 있던 캐비티의 위치 정보와 릴을 식별하는 식별 정보를 관련지어 기억 장치에 기억시킬 수가 있다. 따라서, 부품 관리 장치의 이용자는, 릴의 캐리어 테이프로부터 공급한 부품중에서, 캐비티의 위치 정보에 기초하여 트레이스(trace) 대상의 부품을 좁히는 것이 용이하여, 트레이서빌리티가 향상된다. 부품 관리 장치에 대해 상술되어 있는 것은 부품 관리 방법에 대해서도 마찬가지로 말할 수 있다.

도 1은 부품 장착기의 구성예를 나타내는 평면도이다.
도 2는 부품 관리 장치의 제어 블록의 일례를 나타내는 블록도이다.
도 3은 부품 관리 장치의 제어 순서의 일례를 나타내는 플로차트(flow chart)이다.
도 4는 캐리어 테이프의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 5는 기억 장치가 기억하는 정보의 일례를 나타내는 모식도이다.
도 6은 웨이퍼의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 7은 웨이퍼 관련 정보의 일례를 나타내는 모식도이다.
도 8은 기억 장치가 기억하는 정보의 다른 일례를 나타내는 모식도이다.
도 9는 캐비티, 특정 캐비티 및 빈(empty) 캐비티의 일례를 나타내는 캐리어 테이프의 평면도이다.

1. 실시 형태

1-1. 부품 장착기(10)의 구성예

도 1에 나타내듯이, 부품 장착기(10)는, 기판 반송 장치(11), 부품 공급 장치(12), 부품 이재(移載) 장치(13), 부품 카메라(14), 기판 카메라(15) 및 제어 장치(16)를 구비하고 있다. 기판 반송 장치(11)는, 벨트 컨베이어(belt conveyer) 등에 의해 구성되고, 기판(90)을 반송 방향(X축 방향)으로 반송한다. 기판(90)은, 회로 기판이며, 전자 회로 및 전기 회로 가운데 적어도 한편을 형성한다. 기판 반송 장치(11)는, 부품 장착기(10)의 기내(機內)에 기판(90)을 반입함과 아울러, 기내의 소정 위치에 기판(90)을 위치 결정한다. 기판 반송 장치(11)는, 부품 장착기(10)에 의한 부품(91)의 장착 처리가 종료한 후에, 기판(90)을 부품 장착기(10)의 기외(機外)로 반출한다.

부품 공급 장치(12)는, 기판(90)에 장착하는 부품(91)을 차례로 공급한다. 구체적으로는, 부품 공급 장치(12)는, 기판(90)의 반송 방향(X축 방향)을 따라 설치되는 복수의 피더(feeder)(121)를 구비하고 있다. 복수의 피더(121)의 각각은, 릴 RL0을 구비하고 있고, 릴 RL0에는 캐리어 테이프(80)가 감겨져 있다. 피더(121)는, 복수의 부품(91)이 수용되어 있는 캐리어 테이프(80)를 피치 보내기 시켜, 피더(121)의 선단측에 설치되는 채취 위치 PP1에 있어서, 부품(91)을 채취 가능하게 공급한다.

부품 이재 장치(13)는, 헤드 구동 장치(131) 및 이동대(移動臺)(132)를 구비하고 있다. 헤드 구동 장치(131)는, 직동 기구에 의해 이동대(132)를 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 이동대(132)에는 클램프(clamp) 부재에 의해 장착 헤드(20)가 착탈 가능하게(교환 가능하게) 설치되어 있다. 장착 헤드(20)는, 적어도 하나의 보유 부재(30)를 이용하여, 부품 공급 장치(12)에 의해 공급된 부품(91)을 채취하여 보유하고, 기판 반송 장치(11)에 의해 위치 결정된 기판(90)에 부품(91)을 장착한다. 보유 부재(30)는, 예를 들면, 흡착 노즐, 지퍼(zipper) 등을 이용할 수가 있다.

부품 카메라(14) 및 기판 카메라(15)는, 공지의 촬상 장치를 이용할 수가 있다. 부품 카메라(14)는, 광축이 Z축 방향의 상향(연직 상방 방향)으로 되도록, 부품 장착기(10)의 기대에 고정되어 있다. 부품 카메라(14)는, 보유 부재(30)에 보유되어 있는 부품(91)을 하방으로부터 촬상할 수가 있다. 기판 카메라(15)는, 광축이 Z축 방향의 하향(연직 하방 방향)으로 되도록, 부품 이재 장치(13)의 이동대(132)에 설치되어 있다. 기판 카메라(15)는, 기판(90)을 상방으로부터 촬상할 수가 있다.

또, 기판 카메라(15)는, 부품(91)의 채취 위치 PP1에 있어서, 부품(91)을 상방으로부터 촬상할 수도 있다. 부품 카메라(14) 및 기판 카메라(15)는, 제어 장치(16)로부터 송출되는 제어 신호에 기초하여 촬상을 행한다. 부품 카메라(14) 및 기판 카메라(15)에 의해 촬상된 화상 데이터는, 제어 장치(16)에 송신된다.

제어 장치(16)는, 공지의 연산 장치 및 기억 장치 DS0을 구비하고 있고, 제어 회로가 구성되어 있다. 제어 장치(16)에는 부품 장착기(10)에 설치되는 각종 센서로부터 출력되는 정보, 화상 데이터 등이 입력된다. 제어 장치(16)는, 제어 프로그램 및 미리 설정되어 있는 소정의 장착 조건 등에 기초하여, 각 장치에 대해 제어 신호를 송출한다.

예를 들면, 제어 장치(16)는, 기판 반송 장치(11)에 의해 위치 결정된 기판(90)을 기판 카메라(15)에 촬상시킨다. 제어 장치(16)는, 기판 카메라(15)에 의해 촬상된 화상을 화상 처리하여, 기판(90)의 위치 결정 상태를 인식한다. 또, 제어 장치(16)는, 부품 공급 장치(12)에 의해 공급된 부품(91)을 보유 부재(30)에 채취시키고 보유시켜, 보유 부재(30)에 보유되어 있는 부품(91)을 부품 카메라(14)에 촬상시킨다. 제어 장치(16)는, 부품 카메라(14)에 의해 촬상된 화상을 화상 처리하여, 부품(91)의 적부, 부품(91)의 보유 자세를 인식한다.

제어 장치(16)는, 제어 프로그램 등에 의해 미리 설정되는 장착 예정 위치의 상방을 향해, 보유 부재(30)를 이동시킨다. 또, 제어 장치(16)는, 기판(90)의 위치 결정 상태, 부품(91)의 보유 자세 등에 기초하여, 장착 예정 위치를 보정하여, 실제로 부품(91)을 장착하는 장착 위치를 설정한다. 장착 예정 위치 및 장착 위치는, 위치(X좌표 및 Y좌표) 외에 회전각도를 포함한다.

제어 장치(16)는, 장착 위치에 맞추어, 보유 부재(30)의 목표 위치(X좌표 및 Y좌표) 및 회전각도를 보정한다. 제어 장치(16)는, 보정된 목표 위치에 있어 보정된 회전각도로 보유 부재(30)를 하강시켜, 기판(90)에 부품(91)을 장착한다. 제어 장치(16)는, 상기의 픽(pick) 앤드 플레이스(place) 사이클을 반복함으로써, 기판(90)에 복수의 부품(91)을 장착하는 장착 처리를 실행한다.

1-2. 부품 관리 장치(40)의 구성예

도 2에 나타내듯이, 본 실시 형태의 부품 관리 장치(40)는, 부품 장착기(10)의 제어 장치(16)에 설치되어 있다. 부품 관리 장치(40)는, 예를 들면, 복수의 부품 장착기(10)를 구비하는 기판 생산 라인을 관리하는 라인 관리 장치, 복수의 기판 생산 라인을 관리하는 호스트(host) 컴퓨터, 클라우드(cloud) 상 등에 형성할 수도 있다.

또, 부품 관리 장치(40)는, 제어 블록으로서 받아들이면, 취득부(41)와 기억부(42)를 구비하고 있다. 부품 관리 장치(40)는, 판별부(43)를 더 구비할 수도 있다. 도 2에 나타내듯이, 본 실시 형태의 부품 관리 장치(40)는, 취득부(41)와, 기억부(42)와, 판별부(43)를 구비하고 있다. 또한, 부품 관리 장치(40)는, 도 3에 나타내는 플로차트(flow chart)에 따라, 제어 프로그램을 실행한다. 취득부(41)는, 스텝 S11에 나타내는 처리를 행한다. 기억부(42)는, 스텝 S12 및 스텝 S13에 나타내는 처리를 행한다. 판별부(43)는, 스텝 S14~스텝 S16에 나타내는 판단 및 처리를 행한다.

1-2-1. 취득부(41)

취득부(41)는, 기판(90)에 장착하는 부품(91)을 수용하고 있는 캐비티(cavity)(81)을 복수 구비하는 캐리어 테이프(80)로부터 부품(91)이 차례로 공급될 때에, 당해 부품(91)이 수용되어 있는 캐비티(81)의 위치 정보를 취득한다(도 3에 나타내는 스텝 S11).

도 4에 나타내듯이, 캐리어 테이프(80)는, 복수의 캐비티(81)와, 복수의 이송 구멍(82)와, 커버 테이프(83)를 구비하고 있다. 복수의 캐비티(81)의 각각은, 부품(91)을 수용하고 있다. 복수의 이송 구멍(82)은, 캐리어 테이프(80)의 반송 방향(캐리어 테이프(80)의 길이 방향)에 있어서, 소정의 간격으로 형성되어 있다. 캐리어 테이프(80)는, 상면에 커버 테이프(83)가 접착되어 있고, 복수의 캐비티(81)의 각각의 개구부가 폐색되어 있다.

도 1 및 도 4에 나타내는 채취 위치 PP1까지 반송된 캐리어 테이프(80)는, 보유 부재(30)가 부품(91)을 채취 가능하게 커버 테이프(83)가 박리된다. 구체적으로는, 피더(121)는, 캐리어 테이프(80)를 반송하면서, 커버 테이프(83)를 박리하여, 채취 위치 PP1에 대해 복수의 캐비티(81)를 차례로 위치 결정한다. 이에 의해, 채취 위치 PP1에 위치 결정된 캐비티(81)에 수용되어 있는 부품(91)이 보유 부재(30)에 의해 채취 가능하게 되어, 당해 부품(91)이 공급 가능하게 된다.

복수의 캐비티(81)는, 캐리어 테이프(80)의 반송 방향에 있어서, 소정의 간격으로 형성되어 있다. 캐비티(81)의 간격 T1은, 수용하는 부품(91)의 치수 등에 따라 적당하게 설정된다. 도 4에 나타내듯이, 본 실시 형태에서는, 캐비티(81)의 간격 T1은, 이송 구멍(82)의 간격 T2의 정수배(이 도에서는, 2배)로 설정되어 있다. 피더(feeder)(121)가 캐리어 테이프(80)를 소정량(이 도의 경우, 이송 구멍(82)의 간격 T2의 2배), 피치 보내기 할 때마다, 채취 위치 PP1에 캐비티(81)가 위치 결정되고 부품(91)이 1개 공급되어, 캐리어 테이프(80)에 잔존하고 있는 부품(91)의 잔존 수가 1개 감소한다.

따라서, 취득부(41)는, 캐리어 테이프(80)로부터 부품(91)을 공급한 부품(91)의 공급 수에 기초하여, 캐리어 테이프(80)에 있어서의 캐비티(81)의 위치 정보를 취득할 수가 있다. 부품(91)의 공급 수는, 피더(121)가 캐리어 테이프(80)를 피치(pitch) 보내기 한 이송량으로부터 취득할 수가 있다. 예를 들면, 캐리어 테이프(80)의 선두(1번째)의 캐비티(81)가 채취 위치 PP1에 위치 결정되고 부품(91)이 1개 공급되면, 취득부(41)는, 캐리어 테이프(80)의 선두(1번째)의 캐비티(81)의 위치를 나타내는 위치 정보를 취득한다.

피더(121)가 캐리어 테이프(80)를 상기 소정량, 피치 보내기 하면, 캐리어 테이프(80)의 선두로부터 2번째의 캐비티(81)가 채취 위치 PP1에 위치 결정 되고 부품(91)이 1개 공급된다. 이에 의해, 취득부(41)는, 캐리어 테이프(80)의 선두로부터 2번째의 캐비티(81)의 위치를 나타내는 위치 정보를 취득한다. 상술한 것은, 캐리어 테이프(80)의 선두로부터 3번째 이후의 캐비티(81)의 위치를 나타내는 위치 정보에 대해서도 마찬가지로 말할 수 있다.

또, 작업자는, 캐리어 테이프(80)가 감겨져 있는 릴 RL0을 피더(121)에 부착할 때에, 릴 RL0에 장착되어 있는 식별 코드를 독취 장치를 이용하여 독취한다. 또한, 작업자는, 피더(121)를 부품 공급 장치(12)의 슬롯에 장비할 때에, 피더(121)에 장착되어 있는 식별 코드를 독취 장치를 이용하여 독취한다.

피더(121)는, 슬롯에 장비(裝備)되면, 커넥터를 통해 부품 장착기(10)로부터 전력이 공급되고, 부품 장착기(10)와의 사이에서 통신이 가능한 상태로 된다. 이에 의해, 부품 공급 장치(12)의 슬롯과 당해 슬롯에 장비되어 있는 피더(121)의 식별 정보와 피더(121)에 장착되어 있는 릴 RL0의 식별 정보가 관련지어져, 제어 장치(16)의 기억 장치 DS0에 기억된다. 또, 기억 장치 DS0에는 캐리어 테이프(80)에 있어서의 부품(91)의 초기 수용 수와 캐리어 테이프(80)에 잔존하고 있는 부품(91)의 잔존 수가 기록된다.

그래서, 취득부(41)는, 캐리어 테이프(80)에 있어서의 부품(91)의 초기 수용 수와 캐리어 테이프(80)에 잔존하고 있는 부품(91)의 잔존 수에 기초하여, 캐리어 테이프(80)에 있어서의 캐비티(81)의 위치 정보를 취득할 수도 있다. 예를 들면, 부품(91)의 초기 수용 수가 5000점이며, 부품(91)의 잔존 수가 5000점인 경우, 1(=5000-5000+1)점째의 부품(91)의 공급이다. 이 경우, 취득부(41)는, 캐리어 테이프(80)의 선두(1번째)의 캐비티(81)의 위치를 나타내는 위치 정보를 취득한다.

부품(91)의 초기 수용 수가 5000점이며, 부품(91)의 잔존 수가 4999점인 경우, 2(=5000-4999+1)점째의 부품(91)의 공급이다. 이 경우, 취득부(41)는, 캐리어 테이프(80)의 선두로부터 2번째의 캐비티(81)의 위치를 나타내는 위치 정보를 취득한다. 이와 같이, 부품(91)의 초기 수용 수가 NI0점이며, 부품(91)의 잔존 수가 NR0점인 경우, (NI0-NR0+1)점째의 부품(91)의 공급이다. 이 경우, 취득부(41)는, 캐리어 테이프(80)의 선두로부터 (NI0-NR0+1)번째의 캐비티(81)의 위치를 나타내는 위치 정보를 취득한다.

1-2-2. 기억부(42)

기억부(42)는, 취득부(41)에 의해 취득된 캐비티(81)의 위치 정보, 및 캐리어 테이프(80)가 감겨져 있는 릴 RL0을 식별하는 식별 정보를 관련지어 기억 장치 DS0에 기억시킨다(도 3에 나타내는 스텝 S12).

기술한 것처럼, 부품 공급 장치(12)의 슬롯과, 당해 슬롯에 장비되어 있는 피더(121)의 식별 정보와, 피더(121)에 장착되어 있는 릴 RL0의 식별 정보가 관련지어져, 제어 장치(16)의 기억 장치 DS0에 기억되어 있다. 따라서, 기억부(42)는, 취득부(41)에 의해 취득된 캐비티(81)의 위치 정보와 캐리어 테이프(80)가 감겨져 있는 릴 RL0을 식별하는 식별 정보를 관련지어 기억 장치 DS0에 기억시킬 수가 있다.

또, 기억부(42)는, 기판 정보, 기기 정보, 보유 정보 및 장착 정보 중에서 적어도 1개를 캐비티(81)의 위치 정보 및 릴 RL0의 식별 정보와 관련지어 기억 장치 DS0에 기억시킬 수가 있다(도 3에 나타내는 스텝 S13). 기판 정보는, 부품(91)이 장착된 기판(90)에 관한 정보를 말한다. 예를 들면, 기판 정보에는 기판(90)을 식별하는 식별 정보, 기판(90)의 종류, 부품(91)이 장착된 장착 위치를 특정하는 정보(예를 들면, 회로 기호) 등이 포함된다. 기판(90)의 종류에는 예를 들면, 복수의 기판(90)이 분할 가능하게 형성되어 있는 다면 따기 기판, 기판(90)의 표면 및 이면 중의 일방의 면에만 부품(91)이 장착되는 편면(片面) 장착 기판, 기판(90)의 양면(표면 및 이면)에 부품(91)이 장착되는 양면 장착 기판 등이 포함된다.

기기 정보는, 부품(91)의 장착에 사용된 기기 DD0에 관한 정보를 말한다. 예를 들면, 기기 DD0에는 장착 헤드(20), 보유 부재(30), 피더(121) 등의 부품 장착기(10)에 착탈 가능하게 설치되는 기기가 포함된다. 또, 복수의 부품 장착기(10)를 구비하는 기판 생산 라인에서는, 부품 장착기(10)를 식별할 필요가 있다. 이 경우, 기기 DD0에는 예를 들면, 부품 장착기(10)가 포함된다. 또한, 기기 정보에는 기기 DD0을 식별하는 식별 정보, 기기 DD0의 사용 조건 등이 포함된다.

보유 정보는, 부품(91)이 보유 부재(30)에 의해 채취되고 보유되어 있을 때의 부품(91)의 보유 상태에 관한 정보를 말한다. 예를 들면, 보유 정보에는 보유 부재(30)에 의해 채취되고 보유되어 있는 부품(91)의 정규의 보유 위치에 대한 편차량, 정규의 보유 자세에 대한 회전각도, 보유 상태의 판정 결과, 화상 데이터의 소재 등이 포함된다. 보유 상태의 판정 결과는, 보유 부재(30)에 의해 채취되고 보유되어 있는 부품(91)의 상기 편차량 및 상기 회전각도가 허용 범위에 포함되는지 아닌지에 의해 판정된다. 보유 정보는, 예를 들면, 부품 카메라(14)에 의해 촬상된 화상을 화상 처리하여 취득할 수가 있다.

장착 정보는, 부품(91)이 보유 부재(30)에 의해 기판(90)에 장착되었을 때의 부품(91)의 장착 상태에 관한 정보를 말한다. 예를 들면, 장착 정보에는 기판(90)에 장착된 부품(91)의 정규의 장착 위치에 대한 편차량, 정규의 장착 상태에 대한 회전각도, 장착 상태의 판정 결과, 화상 데이터의 소재 등이 포함된다. 장착 상태의 판정 결과는, 기판(90)에 장착된 부품(91)의 상기 편차량 및 상기 회전각도가 허용 범위에 포함되는지 아닌지에 의해 판정된다. 장착 정보는, 예를 들면, 기판(90)에 장착된 부품(91)을 검사하는 외관 검사기에 의해 취득할 수가 있다.

도 5는 기억 장치 DS0이 기억하는 정보의 일례를 모식적으로 나타내고 있다. 예를 들면, 식별 정보 DID1의 릴(reel) RL0에 감겨져 있는 캐리어 테이프(80)의 캐비티(81)의 위치 정보는, 캐리어 테이프(80)의 선두로부터 「1」, 「2」, 「3」으로 나타나 있다. 당해 캐리어 테이프(80)의 선두(1번째)의 캐비티(81)에 수용되어 있던 부품(91)은, 식별 정보 BID1의 기판(90)의 회로 기호 R1로 나타나는 장착 위치에 장착되어 있다. 또, 당해 부품(91)은, 노즐 번호 NZ1로 식별되는 보유 부재(30)(흡착 노즐)에 의해 채취(흡착)되고 보유되어 기판(90)에 장착되어 있다. 또한, 당해 부품(91)의 보유 상태 및 장착 상태의 판정 결과는, 모두 양호(OK)이다.

상술한 것은, 당해 캐리어 테이프(80)의 선두로부터 2번째 이후의 캐비티(81)에 수용되어 있던 부품(91)에 대해서도 마찬가지로 말할 수 있다. 또, 상술한 것은, 식별 정보 DID2의 릴 RL0에 감겨져 있는 캐리어 테이프(80)에 수용되어 있던 부품(91)에 대해서도 마찬가지로 말할 수 있다. 예를 들면, 식별 정보 BID1의 기판(90)의 회로 기호 R10로 나타나는 장착 위치에 장착되어 있는 부품(91)은, 보유 상태 및 장착 상태의 판정 결과가, 모두 불량(NG)이다.

릴 RL0 단위로 공급하는 부품(91)의 관리가 행해지고 부품(91) 자체에 불량의 원인이 있다고 생각되는 경우, 작업자는, 식별 정보 DID1의 릴 RL0에 수용되어 있는 모든 부품(91)에 대해 트레이스(trace) 할 필요가 있어, 트레이스 작업이 번잡하다. 이에 반해, 부품 관리 장치(40)의 이용자는, 도 5에 나타내는 정보에 기초하여, 판정 결과가 불량으로 된 부품(91)이, 식별 정보 DID1의 릴 RL0에 감겨져 있는 캐리어 테이프(80)의 선두로부터 2번째의 캐비티(81)에 수용되어 있던 것을 지득할 수가 있다.

따라서, 부품 관리 장치(40)의 이용자는, 식별 정보 DID1의 릴 RL0로부터 공급한 부품(91) 중에서, 캐비티(81)의 위치 정보에 기초하여 트레이스 대상의 부품(91)을 좁히는 것이 용이하고, 트레이서빌리티가 향상된다. 또, 예를 들면, 판정 결과가 불량인 부품(91)이, 캐리어 테이프(80)의 후미측의 캐비티(81)에 수용되어 있는 것이 많은 것이 판명되었다고 한다. 캐리어 테이프(80)의 후미측의 캐비티(81)에 수용되어 있는 부품(91)(정도)만큼, 캐리어 테이프(80)의 사용을 개시하고부터의 경과 시간이 길어진다.

그 때문에, 부품(91)의 불량의 원인은, 예를 들면, 캐리어 테이프(80)의 보관 상태의 불량에 의하는 것이라고 추정할 수가 있다. 또, 캐리어 테이프(80)의 후미측의 캐비티(81)에 수용되어 있는 부품(91)일수록, 캐리어 테이프(80)가 감겨져 있을 때의 캐리어 테이프(80)에 의한 압력의 영향을 받기 쉽다. 그 때문에, 부품(91)의 불량의 원인은, 예를 들면, 캐리어 테이프(80)의 감은 상태의 불량에 의하는 것이라고 추정할 수도 있다.

부품(91)의 공급 방법에는 웨이퍼 WF0로부터 부품(91)을 공급하는 웨이퍼 공급과, 릴 RL0로부터 부품(91)을 공급하는 릴(reel) 공급이 포함된다. 웨이퍼 WF0은, 제조 공정상, 부분적으로 불량으로 되는 개소가 있고, 소정의 품질을 만족하지 않는 개소는, 불량 다이(Bad Die)로서 맵(map)으로 관리된다. 불량 다이는, 사전에 광학적 검사 등에 의해 검지되지만, 불량 다이로 판정되지 않았던 다이가 후에 불량 다이로 판명되는 경우가 있다. 이러한 검지 누락이 생긴 복수의 다이에 대해, 예를 들면, 제조자가 트레이서빌리티 정보로부터 웨이퍼 WF0에 있어서의 좌표 위치의 분포를 취득하면, 당해 다이가 웨이퍼 WF0의 특정 영역에 집중하고 있는 경우가 있다. 이 경우, 제조자는, 당해 다이를 검지할 수 있도록 다이의 양부를 판정하는 판정 조건을 수정하여, 불량 다이의 검지 누락의 저감을 도모한다.

그렇지만, 웨이퍼 공급에 대응하는 부품 공급 장치는, 릴 공급에 대응하는 부품 공급 장치(12)와 비교하여, 일반적으로 고가이고, 공급 가능한 부품(91)의 종류 및 공급 수가 적고, 부품(91)의 보급 작업도 번잡하게 되기 쉽다. 그 때문에, 웨이퍼 WF0에 배열되어 있던 부품(91)을 릴 RL0로 옮겨, 릴 공급을 행하는 것이 알려져 있다.

본 실시 형태의 캐리어 테이프(80)는, 웨이퍼 WF0에 배열되어 있던 부품(91)인 웨이퍼 부품(91W)을 수용한다. 도 6에 나타내는 XW축 및 YW축은, 웨이퍼 WF0에 있어서의 직교좌표축의 일례를 나타내고 있다. 웨이퍼 부품(91W)은, 예를 들면, 직교좌표축의 원점측의 소정 영역(배열 순서가 1)으로부터, XW축 방향으로 소정 수 분, 배열된다. 다음에, 웨이퍼 부품(91W)은, 당해 소정 영역보다 YW축의 좌표가 1개 증가한 영역으로부터, XW축 방향으로 소정 수 분, 배열된다. 웨이퍼 WF0에서는, 상술한 배열이 반복되고 있고, 상술한 배열 순서에 의해, 웨이퍼 WF0에 배열되어 있던 부품(91)(웨이퍼 부품(91W))을 특정할 수가 있다.

도 7에 나타내는 웨이퍼 관련 정보는, 웨이퍼 WF0의 식별 정보와, 웨이퍼 부품(91W)의 배열 정보(배열 순서)와, 웨이퍼 부품(91W)의 배열 정보(좌표 정보)와, 웨이퍼 부품 정보를 포함하고 있다. 예를 들면, 상기 소정 영역(배열 순서가 1)에 배열되어 있던 웨이퍼 부품(91W)은, XW축 방향의 좌표가 좌표 XW1로 나타나 있고 YW축 방향의 좌표가 좌표 YW1로 나타나 있다. 당해 웨이퍼 부품(91W)은, 예를 들면, 품질이 규정되어 있지 않은 웨이퍼 부품(91W)이다.

배열 순서가 1인 영역과 XW축 방향으로 인접하는 영역(배열 순서가 2)에 배열되어 있던 웨이퍼 부품(91W)은, XW축 방향의 좌표가 좌표 XW2로 나타나 있고 YW축 방향의 좌표가 좌표 YW1로 나타나 있다. 당해 웨이퍼 부품(91W)은, 예를 들면, 웨이퍼 WF0의 기준 위치를 나타내는 기준 부재 RM0이다. 기준 부재 RM0은, 웨이퍼 WF0의 소정 위치에 설치되고, 웨이퍼 WF0로부터 웨이퍼 부품(91W)을 채취할 때의 기준 위치를 나타낸다. 기준 부재 RM0은, 오장착을 방지하기 위해, 통상, 캐리어 테이프(80)에는 수용되지 않는다.

배열 순서가 2인 영역과 XW축 방향으로 인접하는 영역(배열 순서가 3)에 배열되어 있던 웨이퍼 부품(91W)은, XW축 방향의 좌표가 좌표 XW3으로 나타나 있고 YW축 방향의 좌표가 좌표 YW1로 나타나 있다. 당해 웨이퍼 부품(91W)은, 예를 들면, 불량의 웨이퍼 부품(91W)(불량 부품 BM0)이다. 불량 부품 BM0은, 웨이퍼 부품(91W)의 제조 공정에 대해 발견된 것을 말하며, 오장착을 방지하기 위해, 통상, 캐리어 테이프(80)에는 수용되지 않는다.

마찬가지로 배열 순서가 순서 AJ1인 영역에 배열되어 있던 웨이퍼 부품(91W)은, XW축 방향의 좌표가 좌표 XWA1로 나타나 있고 YW축 방향의 좌표가 좌표 YWA1로 나타나 있다. 당해 웨이퍼 부품(91W)은, 예를 들면, 품질이 A랭크인 웨이퍼 부품(91WA)이다. 또, 배열 순서가 순서 AJ2인 영역에 배열되어 있던 웨이퍼 부품(91W)은, XW축 방향의 좌표가 좌표 XWA2로 나타나 있고 YW축 방향의 좌표가 좌표 YWA2로 나타나 있다. 당해 웨이퍼 부품(91W)은, 예를 들면, 품질이 B랭크(rank)인 웨이퍼 부품(91WB)이다.

또한, 배열 순서가 순서 AJ3의 영역에 배열되어 있던 웨이퍼 부품(91W)은, XW축 방향의 좌표가 좌표 XWA3로 나타나 있고 YW축 방향의 좌표가 좌표 YWA3로 나타나 있다. 당해 웨이퍼 부품(91W)은, 예를 들면, 품질이 C랭크인 웨이퍼 부품(91WC)이다. 또한, 본 명세서에서는, 예를 들면, A랭크인 웨이퍼 부품(91WA), B랭크인 웨이퍼 부품(91WB), C랭크인 웨이퍼 부품(91WC)의 순으로, 웨이퍼 부품(91W)의 품질이 열화하는 것으로 한다. 또, 웨이퍼 부품(91W)의 품질의 설정 방법은 한정되지 않는다.

이와 같이, 웨이퍼 WF0에는 여러 가지의 웨이퍼 부품(91W)이 포함된다. 그 때문에, 웨이퍼 부품(91W)을 수용하는 캐리어 테이프(80)를 이용한 부품(91)의 공급에서는, 웨이퍼 WF0에 있어서의 웨이퍼 부품(91W)의 배열 정보를 지득하고 싶다고 하는 요청이 있다. 이 경우, 기억부(42)는, 웨이퍼 WF0에 있어서의 웨이퍼 부품(91W)의 배열 정보와 캐리어 테이프(80)에 있어서 웨이퍼 부품(91W)이 수용되어 있는 캐비티(81)의 위치 정보를 부품(91)을 공급하기 전에 미리 관련지어 기억 장치 DS0에 기억하게 하면 좋다.

예를 들면, 기억부(42)는, 배열 순서가 순서 AJ1인 영역에 배열되어 있던 웨이퍼 부품(91W)의 배열 정보와 당해 웨이퍼 부품(91W)이 수용되어 있는 캐비티(81)의 위치 정보와 당해 웨이퍼 부품(91W)이 수용되어 있는 캐리어 테이프(80)의 릴 RL0의 식별 정보를 관련지어 기억 장치 DS0에 기억하게 한다. 이에 의해, 부품 관리 장치(40)의 이용자는, 공급된 부품(91)이 웨이퍼 부품(91W)이며, 당해 웨이퍼 부품(91W)은, 웨이퍼 WF0에 있어서, XW축 방향의 좌표 XWA1 및 YW축 방향의 좌표 YWA1인 영역에 배열되어 있던 것을 지득할 수가 있다. 또, 부품 관리 장치(40)의 이용자는, 당해 웨이퍼 부품(91W)의 배열 순서가 순서 AJ1이며, 품질이 A랭크인 웨이퍼 부품(91WA)인 것을 지득할 수가 있다.

상술한 것은, 다른 웨이퍼 부품(91W)에 대해서도 마찬가지로 말할 수 있다. 이와 같이, 기억부(42)는, 도 7에 나타내는 웨이퍼 관련 정보에 있어서, 웨이퍼 부품(91W)이 수용되어 있는 캐비티(81)의 위치 정보와 당해 웨이퍼 부품(91W)이 수용되어 있는 캐리어 테이프(80)의 릴 RL0의 식별 정보를 더 관련지어 기억 장치 DS0에 기억시킬 수가 있다.

또한, 웨이퍼 부품(91W)은, 웨이퍼 WF0에 있어서 소정의 순서로 배열되고, 캐리어 테이프(80)에 있어서 웨이퍼 WF0에 있어서의 배열 순서로 수용된다. 따라서, 기억부(42)는, 캐리어 테이프(80)에 수용되어 있는 소정의 웨이퍼 부품(91W)에 대해, 기억 장치 DS0에 기억하게 하면 충분하다. 또, 웨이퍼 부품(91W)은, 복수의 캐리어 테이프(80)에 있어서 웨이퍼 WF0에 있어서의 배열 순서로 수용되는 경우도 있다.

그래서, 기억부(42)는, 웨이퍼 WF0을 식별하는 식별 정보와, 캐리어 테이프(80)가 감겨져 있는 복수의 릴 RL0을 식별하는 식별 정보와, 소정의 배열 정보를 부품(91)을 공급하기 전에 미리 관련지어 기억 장치 DS0에 기억하게 할 수가 있다. 소정의 배열 정보는, 각 캐리어 테이프(80)에 수용되어 있는 소정의 웨이퍼 부품(91W)의 웨이퍼 WF0에 있어서의 배열 순서를 포함하는 배열 정보를 말한다.

도 8에 나타내듯이, 식별 정보 WID1의 웨이퍼 WF0에 배열되어 있던 웨이퍼 부품(91W)은, 예를 들면, 복수(5개)의 릴 RL0의 캐리어 테이프(80)에 수용되어 있다. 따라서, 웨이퍼 WF0의 식별 정보 WID1와 복수(5개)의 릴 RL0의 식별 정보 DID1~식별 정보 DID5가 관련지어져 기억 장치 DS0에 기억되어 있다. 또, 예를 들면, 식별 정보 DID1의 릴 RL0은, 캐리어 테이프(80)의 선두(1번째)의 캐비티(81)에 수용되어 있는 웨이퍼 부품(91W)의 배열 순서가 1이며, 당해 웨이퍼 부품(91W)은, XW축 방향의 좌표가 좌표 XW1로 나타나 있고 YW축 방향의 좌표가 좌표 YW1로 나타나 있다.

식별 정보 DID2의 릴 RL0은, 캐리어 테이프(80)의 선두(1번째)의 캐비티(81)에 수용되어 있는 웨이퍼 부품(91W)의 배열 순서가 순서 BJ1이며, 당해 웨이퍼 부품(91W)은, XW축 방향의 좌표가 좌표 XWB1로 나타나 있고 YW축 방향의 좌표가 좌표 YWB1로 나타나 있다. 상기의 웨이퍼 부품(91W)의 배열 순서로부터, 식별 정보 DID1의 릴 RL0의 캐리어 테이프(80)에는 (BJ1-1)개의 웨이퍼 부품(91W)이 수용되어 있는 것을 알 수 있다.

식별 정보 DID3의 릴 RL0은, 캐리어 테이프(80)의 선두(1번째)의 캐비티(81)에 수용되어 있는 웨이퍼 부품(91W)의 배열 순서가 순서 CJ1이며, 당해 웨이퍼 부품(91W)은, XW축 방향의 좌표가 좌표 XWC1로 나타나 있고 YW축 방향의 좌표가 좌표 YWC1로 나타나 있다. 마찬가지로 웨이퍼 부품(91W)의 배열 순서로부터, 식별 정보 DID2의 릴 RL0의 캐리어 테이프(80)에는 (CJ1-BJ1)개의 웨이퍼 부품(91W)이 수용되어 있는 것을 알 수 있다. 상술한 것은, 식별 정보 DID3~식별 정보 DID5의 릴 RL0에 대해서도 마찬가지로 말할 수 있다.

또한, 이 도에 나타내는 기억 방법에서는, 식별 정보 DID5의 릴 RL0에 대해, 웨이퍼 부품(91W)의 수용 수가 불명확하다. 그 때문에, 기억부(42)는, 당해 릴 RL0에 있어서 웨이퍼 부품(91W)의 수용 수를 별도, 기억 장치 DS0에 기억하게 하면 좋다. 또, 기억부(42)는, 각 캐리어 테이프(80)의 임의의 캐비티(81)에 수용되어 있는 웨이퍼 부품(91W)의 배열 정보를 기억시킬 수가 있다. 또한, 기억부(42)는, 직전의 캐리어 테이프(80)까지의 누적의 웨이퍼 부품(91W)의 배열 순서를 포함하는 배열 정보를 기억시킬 수도 있다. 이 경우, 최초의 릴 RL0인 식별 정보 DID1의 릴 RL0은, 누적의 웨이퍼 부품(91W)의 배열 순서가 제로(zero)이며, 배열 정보를 포함하지 않는다.

여기서, 웨이퍼 WF0에 포함되는 불량의 웨이퍼 부품(91W)(불량 부품 BM0), 품질이 소정 랭크(rank) 이하의 웨이퍼 부품(91W), 및 웨이퍼 WF0의 기준 위치를 나타내는 기준 부재 RM0 중의 적어도 1개를 특정 부재 SM0로 한다. 기술한 것처럼, 불량의 웨이퍼 부품(91W)(불량 부품 BM0) 및 웨이퍼 WF0의 기준 위치를 나타내는 기준 부재 RM0은, 오장착을 방지하기 위해, 통상, 캐리어 테이프(80)에는 수용되지 않는다. 또, 예를 들면, B랭크 이상의 웨이퍼 부품(91W) 등 소정 품질의 웨이퍼 부품(91W)의 공급이 요구되는 경우, 품질이 소정 랭크 이하의 웨이퍼 부품(91W)(이 경우, C랭크인 웨이퍼 부품(91WC))는, 오장착을 방지하기 위해, 캐리어 테이프(80)에 수용되지 않는 경우가 있다.

그 때문에, 캐리어 테이프(80)에는 특정 부재 SM0을 수용 예정의 캐비티(81)인 특정 캐비티(81S)에, 웨이퍼 WF0에 있어서의 배열 순서가 특정 부재 SM0보다 후속의 웨이퍼 부품(91W)이 앞당겨 수용되어 있는 캐리어 테이프(80)가 포함된다. 예를 들면, 도 9에 나타내는 3번의 캐비티(81)가 특정 캐비티(81S)이었다고 한다. 이 경우, 3번의 특정 캐비티(81S)에는 4번의 캐비티(81)에 수용 예정의 웨이퍼 부품(91W)이 수용된다. 또, 4번의 캐비티(81)에는 5번의 캐비티(81)에 수용 예정의 웨이퍼 부품(91W)이 수용된다. 이하, 마찬가지이며, 웨이퍼 WF0에 있어서의 배열 순서가 특정 부재 SM0보다 후속의 웨이퍼 부품(91W)이 앞당겨 캐비티(81)에 수용된다.

이 경우, 기억부(42)는, 특정 캐비티(81S)의 위치 및 개수를 포함하는 특정 캐비티 정보를 부품(91)을 공급하기 전에 미리 기억 장치 DS0에 기억하게 하면 좋다. 이에 의해, 부품 관리 장치(40)는, 웨이퍼 WF0에 있어서의 웨이퍼 부품(91W)의 배열 정보와 캐리어 테이프(80)에 있어서 웨이퍼 부품(91W)이 수용되어 있는 캐비티(81)의 위치 정보를 정합시킬 수가 있다. 상기의 예에서는, 특정 캐비티(81S)의 위치는, 3번의 캐비티(81)이며, 특정 캐비티(81S)의 개수는, 1개이다.

또, 캐리어 테이프(80)에는 특정 부재 SM0을 수용 예정의 특정 캐비티(81S)가 빈(empty) 캐비티(81E)로 설정되어 있는 캐리어 테이프(80)가 포함된다. 예를 들면, 도 9에 나타내는 3번의 캐비티(81)가 특정 캐비티(81S)이었다고 한다. 이 경우, 3번의 특정 캐비티(81S)는, 빈 캐비티(81E)로 설정된다. 빈 캐비티(81E)는, 웨이퍼 부품(91W) 및 특정 부재 SM0을 수용하고 있지 않는 미수용의 캐비티(81)이다. 이 경우, 예를 들면, 4번의 캐비티(81)에는 4번의 캐비티(81)에 수용 예정의 웨이퍼 부품(91W)이 수용된다. 이하, 마찬가지이며, 상술한 웨이퍼 부품(91W)의 앞당기기 수용은 행해지지 않는다.

이 경우, 기억부(42)는, 빈 캐비티(81E)의 위치 및 개수를 포함하는 빈 캐비티 정보를 부품(91)을 공급하기 전에 미리 기억 장치 DS0에 기억하게 하면 좋다. 이에 의해, 부품 공급 장치(12)는, 웨이퍼 부품(91W)이 수용되어 있는 캐비티(81)까지, 캐리어 테이프(80)를 피치 보내기 할 수가 있고, 웨이퍼 부품(91W)을 공급할 수가 있다. 상기의 예에서는, 빈 캐비티(81E)의 위치는, 3번의 캐비티(81)이며, 빈 캐비티(81E)의 개수는, 1개이다.

또한, 릴 RL0의 설치 불량 등에 의해, 캐리어 테이프(80)를 피치 보내기 하여도, 캐리어 테이프(80)가 반송되지 않는 경우가 있다. 또, 부품(91)의 채취 오류 등이 생겼을 때에, 작업자가 캐리어 테이프(80)를 되감을 가능성이 있다. 이러한 경우, 웨이퍼 WF0에 있어서의 웨이퍼 부품(91W)의 배열 정보와 캐리어 테이프(80)에 있어서 웨이퍼 부품(91W)이 수용되어 있는 캐비티(81)의 위치 정보가 정합하지 않게 된다.

따라서, 캐리어 테이프(80)에는 웨이퍼 부품(91W)을 수용 예정의 소정의 캐비티(81)가 빈 캐비티(81E)로 설정되어 있는 캐리어 테이프(80)가 포함된다. 이 경우, 빈 캐비티(81E)는, 소정의 주기로(예를 들면, 소정 수의 부품(91)의 공급마다) 설정되어 있으면 좋다. 기억부(42)는, 빈 캐비티(81E)의 위치 및 개수를 포함하는 빈 캐비티 정보를 부품(91)을 공급하기 전에 미리 기억 장치 DS0에 기억하게 하면 좋다.

이에 의해, 부품 관리 장치(40)는, 웨이퍼 부품(91W)의 배열 정보와 캐리어 테이프(80)에 있어서 웨이퍼 부품(91W)이 수용되어 있는 캐비티(81)의 위치 정보가 정합하고 있는지 아닌지를 정기적으로 확인할 수가 있다. 또한, 이 경우도, 부품 공급 장치(12)는, 웨이퍼 부품(91W)이 수용되어 있는 캐비티(81)까지, 캐리어 테이프(80)를 피치 보내기 할 수가 있고, 웨이퍼 부품(91W)을 공급할 수가 있다.

1-2-3. 판별부(43)

판별부(43)는, 캐리어 테이프(80)를 피치 보내기 하여 부품(91)을 차례로 공급하는 부품 공급 장치(12)가 부품(91)을 공급하고 있을 때에 검출된 빈 캐비티 정보와 기억 장치 DS0에 기억되어 있는 빈 캐비티 정보가 일치하는지 아닌지를 판별한다. 예를 들면, 판별부(43)는, 부품 공급 장치(12)가 부품(91)을 공급하고 있을 때에, 기판 카메라(15)에 캐비티(81)를 촬상시키고, 기판 카메라(15)에 의해 촬상된 화상에 기초하여, 캐비티(81)가 빈 캐비티(81E)인지 아닌지를 판단할 수가 있다. 구체적으로는, 판별부(43)는, 상기 화상에 있어서 부품(91)이 촬상되어 있지 않을 때에, 당해 부품(91)을 수용 예정의 캐비티(81)가 빈 캐비티(81E)다고 판단한다.

판별부(43)는, 빈 캐비티 정보가 일치할 때에, 부품 공급 장치(12)에 의한 부품(91)의 공급을 계속시키고, 빈 캐비티 정보가 일치하지 않을 때에, 부품 공급 장치(12)에 의한 부품(91)의 공급을 정지시킨다. 구체적으로는, 판별부(43)는, 빈 캐비티 정보가 일치하는지 아닌지를 판단한다(도 3에 나타내는 스텝 S14). 빈 캐비티 정보가 일치한 경우(스텝 S14에서 예(Yes)의 경우), 판별부(43)는, 부품 공급 장치(12)에 의한 부품(91)의 공급을 계속시킨다(스텝 S15).

빈 캐비티 정보가 일치하지 않는 경우(스텝 S14에서 아니오(No)의 경우), 판별부(43)는, 부품 공급 장치(12)에 의한 부품(91)의 공급을 정지시킨다(스텝 S16). 이 경우, 부품 관리 장치(40)는, 웨이퍼 부품(91W)의 배열 정보와 캐리어 테이프(80)에 있어서 웨이퍼 부품(91W)이 수용되어 있는 캐비티(81)의 위치 정보가 정합하고 있지 않는 취지를 작업자에게 경고한다. 이에 의해, 작업자는, 캐리어 테이프(80)의 위치 어긋남을 확인할 수가 있어 캐리어 테이프(80)의 위치 어긋남을 수정할 수가 있다.

또, 부품 공급 장치(12)는, 판별부(43)에 의해 빈 캐비티 정보가 일치하지 않는다고 판단되었을 때에, 바로 옆의 빈 캐비티(81E)가 채취 위치 PP1에 도달하도록 캐리어 테이프(80)를 반송할 수도 있다. 이에 의해, 웨이퍼 부품(91W)의 배열 정보와 캐리어 테이프(80)에 있어서 웨이퍼 부품(91W)이 수용되어 있는 캐비티(81)의 위치 정보가 정합되어 캐리어 테이프(80)의 위치 어긋남이 수정된다.

또한, 판별부(43)는, 부품 공급 장치(12)가 부품(91)을 공급하고 있을 때에, 부품 카메라(14)에 보유 부재(30)를 촬상시키고, 부품 카메라(14)에 의해 촬상된 화상에 기초하여, 캐비티(81)가 빈 캐비티(81E)인지 아닌지를 판단할 수도 있다. 구체적으로는, 판별부(43)는, 상기 화상에 대해 부품(91)이 촬상되어 있지 않은(보유 부재(30)가 부품(91)을 보유하고 있지 않을) 때에, 당해 부품(91)을 수용 예정의 캐비티(81)가 빈 캐비티(81E)다고 판단할 수가 있다.

2. 그 외

오장착을 방지하기 위해, 실시 형태의 캐리어 테이프(80)에는 특정 부재 SM0이 수용되어 있지 않다. 부품 공급 장치(12)는, 특정 부재 SM0이 수용되어 있는 캐리어 테이프(80)로부터 웨이퍼 부품(91W)을 공급할 수도 있다. 이 경우, 부품 공급 장치(12)는, 특정 부재 SM0이 수용되어 있는 캐비티(81)가 검출되었을 때에, 웨이퍼 부품(91W)이 수용되어 있는 캐비티(81)까지, 캐리어 테이프(80)를 피치 보내기 하여, 웨이퍼 부품(91W)을 공급할 수가 있다.

또, 웨이퍼 부품(91W)에 대해 상술되어 있는 것은 동일한 제조 로트에서 생산된 부품(91)에 대해서도 적용할 수가 있다. 구체적으로는, 동일한 제조 로트에서 생산된 부품(91)이, 복수의 캐리어 테이프(80)에 있어서 생산 순서로 수용되어 있는 경우가 상정된다. 이 경우, 기억부(42)는, 제조 로트에서 식별하는 식별 정보와, 캐리어 테이프(80)가 감겨져 있는 복수의 릴 RL0을 식별하는 식별 정보와, 소정의 생산 정보를 부품(91)을 공급하기 전에 미리 관련지어 기억 장치 DS0에 기억하게 하면 좋다. 소정의 생산 정보에는 각 캐리어 테이프(80)에 수용되어 있는 소정의 부품(91)의 생산 순서가 포함된다. 소정의 부품(91)은, 예를 들면, 각 캐리어 테이프(80)의 선두(1번째)의 캐비티(81)에 수용되어 있는 부품(91)으로 할 수가 있다.

또한, 캐리어 테이프(80)는, 부품(91)을 수용 예정의 소정의 캐비티(81)가 빈 캐비티(81E)로 설정되어 있어도 좋다. 이 경우, 기억부(42)는, 빈 캐비티(81E)의 위치 및 개수를 포함하는 빈 캐비티 정보를 부품(91)을 공급하기 전에 미리 기억 장치 DS0에 기억하게 할 수가 있다. 그리고, 판별부(43)는, 부품 공급 장치(12)가 부품(91)을 공급하고 있을 때에 검출된 빈 캐비티 정보와 기억 장치 DS0에 기억되어 있는 빈 캐비티 정보가 일치하는지 아닌지를 판별할 수도 있다. 또, 판별부(43)는, 빈 캐비티 정보가 일치할 때에, 부품 공급 장치(12)에 의한 부품(91)의 공급을 계속시키고, 빈 캐비티 정보가 일치하지 않을 때에, 부품 공급 장치(12)에 의한 부품(91)의 공급을 정지시킬 수도 있다.

3. 부품 관리 방법

부품 관리 장치(40)에 대해 기술되어 있는 것은, 부품 관리 방법에 대해서도 마찬가지로 말할 수 있다. 구체적으로는, 부품 관리 방법은, 취득 공정과 기억 공정을 구비한다. 취득 공정은, 취득부(41)가 행하는 제어에 상당한다. 기억 공정은, 기억부(42)가 행하는 제어에 상당한다. 또, 부품 관리 방법은, 판별 공정을 더 구비할 수가 있다. 판별 공정은, 판별부(43)가 행하는 제어에 상당한다.

4. 실시 형태의 효과의 일례

부품 관리 장치(40)에 의하면, 취득부(41)와 기억부(42)를 구비하고 있다. 이에 의해, 부품 관리 장치(40)는, 공급된 부품(91)이 수용되어 있던 캐비티(81)의 위치 정보와 릴 RL0을 식별하는 식별 정보를 관련지어 기억 장치 DS0에 기억시킬 수가 있다. 따라서, 부품 관리 장치(40)의 이용자는, 릴 RL0의 캐리어 테이프(80)로부터 공급한 부품(91) 중에서, 캐비티(81)의 위치 정보에 기초하여 트레이스(trace) 대상의 부품(91)을 좁히는 것이 용이하고, 트레이서빌리티(traceability)가 향상된다. 부품 관리 장치(40)에 대해 상술되어 있는 것은, 부품 관리 방법에 대해서도 마찬가지로 말할 수 있다.

12：부품 공급 장치
30：보유 부재 40：부품 관리 장치
41：취득부 42：기억부
43：판별부
80：캐리어 테이프(carrier tape)
81：캐비티(cavity) 81S：특정 캐비티
81E：빈 캐비티(empty cavity)
90：기판
91：부품 91W：웨이퍼 부품
DD0：기기 DS0：기억 장치
RL0：릴(reel) WF0：웨이퍼(wafer)
RM0：기준 부재 SM0：특정 부재

Claims

기판에 장착하는 부품을 수용하고 있는 캐비티를 복수 구비하는 캐리어 테이프로부터 상기 부품이 차례로 공급될 때에, 당해 부품이 수용되어 있는 상기 캐비티의 위치 정보를 취득하는 취득부와,
상기 취득부에 의해 취득된 상기 캐비티의 위치 정보, 및 상기 캐리어 테이프가 감겨져 있는 릴을 식별하는 식별 정보를 관련지어 기억 장치에 기억시키는 기억부를 구비하고;
상기 캐리어 테이프는, 웨이퍼에 배열되어 있던 부품인 웨이퍼 부품을 수용하고,
상기 기억부는, 상기 웨이퍼에 있어서의 상기 웨이퍼 부품의 배열 정보와, 상기 캐리어 테이프에 대해 상기 웨이퍼 부품이 수용되어 있는 상기 캐비티의 위치 정보를 상기 부품을 공급하기 전에 미리 관련지어 기억 장치에 기억시키는 것을 특징으로 하는, 부품 관리 장치.
제1항에 있어서,
상기 취득부는, 상기 캐리어 테이프에 있어서의 상기 부품의 초기 수용 수와, 상기 캐리어 테이프에 잔존하고 있는 상기 부품의 잔존 수에 기초하여, 상기 캐리어 테이프에 있어서의 상기 캐비티의 위치 정보를 취득하는 부품 관리 장치.
제1항에 있어서,
상기 취득부는, 상기 캐리어 테이프로부터 상기 부품을 공급한 상기 부품의 공급 수에 기초하여, 상기 캐리어 테이프에 있어서의 상기 캐비티의 위치 정보를 취득하는 부품 관리 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기억부는, 상기 부품이 장착된 상기 기판에 관한 기판 정보, 상기 부품의 장착에 사용된 기기에 관한 기기 정보, 상기 부품이 보유 부재에 의해 채취되고 보유되어 있을 때의 상기 부품의 보유 상태에 관한 보유 정보, 및 상기 부품이 상기 보유 부재에 의해 상기 기판에 장착되었을 때의 상기 부품의 장착 상태에 관한 장착 정보 중에서 적어도 1개를 상기 캐비티의 위치 정보 및 상기 릴의 식별 정보와 관련지어 상기 기억 장치에 기억시키는 부품 관리 장치.
삭제
제1항에 있어서,
상기 웨이퍼 부품은, 복수의 상기 캐리어 테이프에 대해 상기 웨이퍼에 있어서의 배열 순서로 수용되어 있고,
상기 기억부는, 상기 웨이퍼를 식별하는 식별 정보와, 상기 캐리어 테이프가 감겨져 있는 복수의 상기 릴을 식별하는 식별 정보와, 각 상기 캐리어 테이프에 수용되어 있는 소정의 상기 웨이퍼 부품의 상기 웨이퍼에 있어서의 상기 배열 순서를 포함하는 상기 배열 정보를 상기 부품을 공급하기 전에 미리 관련지어 상기 기억 장치에 기억하게 하는 부품 관리 장치.
제6항에 있어서,
상기 캐리어 테이프는, 상기 웨이퍼에 포함되는 불량의 상기 웨이퍼 부품, 품질이 소정 랭크 이하의 상기 웨이퍼 부품, 및 상기 웨이퍼의 기준 위치를 나타내는 기준 부재 가운데 적어도 1개인 특정 부재를 수용 예정의 상기 캐비티인 특정 캐비티에, 상기 웨이퍼에 있어서의 배열 순서가 상기 특정 부재보다 후속의 상기 웨이퍼 부품이 앞당겨 수용되어 있고,
상기 기억부는, 상기 특정 캐비티의 위치 및 개수를 포함하는 특정 캐비티 정보를 상기 부품을 공급하기 전에 미리 상기 기억 장치에 기억하게 하는 부품 관리 장치.
제6항에 있어서,
상기 캐리어 테이프는, 상기 웨이퍼에 포함되는 불량의 상기 웨이퍼 부품, 품질이 소정 랭크 이하의 상기 웨이퍼 부품, 및 상기 웨이퍼의 기준 위치를 나타내는 기준 부재 가운데 적어도 1개인 특정 부재를 수용 예정의 상기 캐비티인 특정 캐비티가 빈 캐비티로 설정되어 있고,
상기 기억부는, 상기 빈 캐비티의 위치 및 개수를 포함하는 빈 캐비티 정보를 상기 부품을 공급하기 전에 미리 상기 기억 장치에 기억하게 하는 부품 관리 장치.
제6항에 있어서,
상기 캐리어 테이프는, 상기 웨이퍼 부품을 수용 예정의 소정의 상기 캐비티가 빈 캐비티로 설정되어 있고,
상기 기억부는, 상기 빈 캐비티의 위치 및 개수를 포함하는 빈 캐비티 정보를 상기 부품을 공급하기 전에 미리 상기 기억 장치에 기억하게 하는 부품 관리 장치.
제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 캐리어 테이프를 피치 보내기 하여 상기 부품을 차례로 공급하는 부품 공급 장치가 상기 부품을 공급하고 있을 때에 검출된 상기 빈 캐비티 정보와, 상기 기억 장치에 기억되어 있는 상기 빈 캐비티 정보가 일치하는지 아닌지를 판별하는 판별부를 더 구비하는 부품 관리 장치.
제10항에 있어서,
상기 판별부는, 상기 빈 캐비티 정보가 일치할 때에, 상기 부품 공급 장치에 의한 상기 부품의 공급을 계속시키고, 상기 빈 캐비티 정보가 일치하지 않을 때에, 상기 부품 공급 장치에 의한 상기 부품의 공급을 정지시키는 부품 관리 장치.
기판에 장착하는 부품을 수용하고 있는 캐비티를 복수 구비하는 캐리어 테이프로부터 상기 부품이 차례로 공급될 때에, 당해 부품이 수용되어 있는 상기 캐비티의 위치 정보를 취득하는 취득 공정과,
상기 취득 공정에 의해 취득된 상기 캐비티의 위치 정보, 및 상기 캐리어 테이프가 감겨져 있는 릴을 식별하는 식별 정보를 관련지어 기억 장치에 기억시키는 기억 공정을 구비하고;
상기 캐리어 테이프는, 웨이퍼에 배열되어 있던 부품인 웨이퍼 부품을 수용하고, 상기 기억 공정은, 상기 웨이퍼에 있어서의 상기 웨이퍼 부품의 배열 정보와 상기 캐리어 테이프에 대해 상기 웨이퍼 부품이 수용되어 있는 상기 캐비티의 위치 정보를 상기 부품을 공급하기 전에 미리 관련지어 상기 기억 장치에 기억시키는 것인, 부품 관리 방법.