JPH08197024A - エア−洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 洗浄精度のばらつきと、塵埃の再付着による
付加作業を無くし洗浄装置の作業効率を向上するエア−
洗浄装置を提供することにある。 【構成】 洗浄室１３内には被洗浄物４がセットされ、
またブロア８、高性能清浄フィルタ７が被洗浄物４の上
方に設けられ、清浄エア−が被洗浄物４上に吹き付けら
れ、塵埃の再付着が防止される。被洗浄物４の上方にエ
ア−洗浄ノズル２が設置され、矢印の方向に移動しなが
らクリ−ンエア−供給部１から供給されたエア−を被洗
浄物４上に噴出して被洗浄物４を洗浄する。被洗浄物４
上方にレ−ザセンサ３が設置され、矢印方向に移動して
被洗浄物４上の塵埃の量、大きさを検出し、コントロ−
ラ６はその検出信号を受けて塵埃の量、大きさに応じた
洗浄ノズルによる洗浄回数等の洗浄条件をエア−洗浄ノ
ズル２及びクリ−ンエア−供給部１に指示し、被洗浄物
４を常に均一な洗浄度で洗浄するようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、エア−洗浄装置に係
り、特に、半導体のような塵埃等を極端に嫌う物品にク
リ−ンエア−を吹き付けて洗浄するためのエア−洗浄装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のエア−洗浄装置としては、特開平
５−３０１０８３に記載のようにクリ−ンエア−供給す
るため、市販のフィルタ−、ミストセパレ−タ、レギュ
レ−タ−のような圧力調整部により構成された供給部を
介してエア−を吹き付け、クリ−ンエア−を供給する方
法がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来のエ
ア−洗浄装置においては、一定の洗浄条件により洗浄を
行っているため、塵埃の量、大きさにばらつきがあり、
被洗浄物に付着した塵埃が洗浄条件以上の場合、被洗浄
物に付着した塵埃は落ちない可能性があり、そのまま次
工程へ搬送される可能性がある。つまり、均一な洗浄品
質が得られず、洗浄装置の洗浄精度が低下するという問
題があった。また、密閉された洗浄室内で連続して洗浄
を行うと、一度取れた塵埃が再び付着する可能性があ
り、通常洗浄作業と直接関係のないチェック作業等が加
わることになり作業時間が長くなるという問題があっ
た。本発明の目的は、上記問題点を解決するものであ
り、洗浄精度のばらつきと、塵埃の再付着による付加作
業を無くし洗浄装置の作業効率を向上するエア−洗浄装
置を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、被洗浄物がセットされる洗浄室と、該被
洗浄物に対してクリ−ンエア−を噴出する洗浄ノズル
と、該洗浄ノズルにクリ−ンエア−を供給するクリ−ン
エア−供給部と、被洗浄物表面への塵埃の付着状態を検
出するセンサと、該センサの出力を入力して塵埃の付着
状態に応じた洗浄条件を求め前記洗浄ノズルおよびクリ
−ンエア−供給部を制御する制御部を備え、被洗浄物の
洗浄度を常に均一にするようにしている。また、前記洗
浄室内の被洗浄物上部にブロア−と、該ブロア−から供
給されるエア−を清浄する高性能清浄フィルタを設け、
清浄エア−を被洗浄物に吹き付け塵埃の被洗浄物への再
付着を防止するようにしている。さらに、洗浄室内と外
部との間に排気ダクトを設け、該排気ダクト内に排気ダ
ンパ−を設けると共に該排気ダンパ−の内外の圧力差を
計測する差圧計を設け、前記制御部は該差圧計の出力を
入力とし該差圧計の出力が予め定めた値以上に上昇した
とき前記排気ダンパ−を開くよう制御し、圧力差により
洗浄室内の塵埃の混入したエア−を装置外へ排出するよ
うにしている。

【０００５】

【作用】上記手段により、被洗浄物に付着した塵埃の
量、大きさに応じて被洗浄物を洗浄する条件を可変にで
き、被洗浄物を常に一定の洗浄度に洗浄することができ
る。また、洗浄室内のエア−を清浄にして被洗浄物に吹
き付けるため、被洗浄物への塵埃の再付着を防止するこ
とができる。また、洗浄室内のエア−の圧力が外気圧よ
り一定値だけ高くなったとき、洗浄室内のエア−を外部
に放出するため、洗浄室内の塵埃の混入したエア−を装
置外へ排出することができる。

【０００６】

【実施例】以下、本発明について図面を用いて詳細に説
明する。図１は、本発明に係るエア−洗浄装置の実施例
の概略断面図である。本実施例におけるエア−洗浄装置
は、塵埃を極端にきらう半導体等を洗浄する洗浄装置に
適したものである。詳細に説明すると、図１に示すよう
に、洗浄室１３の上方に高性能清浄フィルタ７が配置さ
れ、この高性能清浄フィルタ７の上方に洗浄室１３内の
空気を取り入れ清浄空気１２を洗浄室１３内に供給する
ためのブロア−８が配置され、塵埃１０の舞い上がりを
防止するため上方から下方へ清浄空気１２を循環させる
構造となっている。前記洗浄室１３内には被洗浄物４が
置かれ、その上方に洗浄ノズル２が配置される。洗浄ノ
ズル２は被洗浄物４上を図示矢印の方向に移動し、被洗
浄物４上にエア−を噴出し、塵埃１０を吹き飛ばす。さ
らに、前記洗浄室１３内に被洗浄物４に付着した塵埃１
０を検出する洗浄度検出センサ３が設けられる。実施例
では該洗浄度検出センサ３としてレ−ザセンサを用いて
いる。該洗浄度検出センサ３は被洗浄物４に付着した塵
埃１０の塵埃の付着状態、すなわち塵埃１０の量および
大きさ検出し、検出信号を洗浄装置の動作を制御するコ
ントロ−ラ６に供給する。前記検出信号に基づき、コン
トロ−ラ６は前記検出信号を入力し、洗浄ノズル２およ
びクリ−ンエア−供給部１に対して被洗浄物４に適した
洗浄条件を指示し、洗浄室１３内の被洗浄物４の洗浄度
を一定に維持するように制御する。この洗浄条件は、洗
浄ノズル２による洗浄回数、洗浄ノズル２の高さ、洗浄
ノズル２の移動スピ−ド、洗浄ノズル２から吹き出すエ
ア−の噴出圧力等である。なお、洗浄度検出表示メ−タ
５は前記検出信号を入力して被洗浄物４の塵埃１０の付
着状況を表示するものであり、必ずしも設ける必要はな
い。また、クリ−ンエア−供給部１はエア−フィルタ１
４、エア−中の微細な油分、塵埃を除去するためのミス
トセパレ−タ１５およびマイクロミストセパレ−タ１
６、エア−の圧力調整をするレギュレ−タ１７、エア−
供給のオン、オフ制御する電磁弁１８、洗浄ノズル２の
移動とスピ−ドを制御するスピ−ドコントロ−ラ１９、
ガスフィルタ２０より構成され微細なミストの除去、圧
力調整等を行い、噴出エア−クリ−ン度０.０１ｍｍ粒
子のエア−を洗浄ノズル２へ供給している。

【０００７】図２は、被洗浄物４に付着した塵埃１０の
洗浄度検出センサ３による検出の状況を示す概略図であ
る。洗浄度検出センサ３としては前述したようにレ−ザ
センサを用いている。洗浄度検出センサ３による塵埃１
０の検出は、洗浄度検出センサ３と被洗浄物４との距離
Ｌを設定し、洗浄度検出センサ３を駆動することにより
行なわれる。洗浄度検出センサ３が塵埃１０の上方まで
移動すると、距離がＬ´に変動する。洗浄度検出センサ
３は変動量（Ｌ−Ｌ´）を検出信号としてコントロ−ラ
６に出力する。コントロ−ラ６は該検出信号と予め入力
済の設定値と比較し、この比較信号に基づき、洗浄条件
を洗浄ノズル２およびクリ−ンエア−供給部１に指示す
る。これにより洗浄ノズル２およびクリ−ンエア−供給
部１が動作し、被洗浄物４を洗浄するものであり、微妙
に大きさ、量の違う塵埃１０に対する洗浄を常に均一に
行なうことを可能としている。

【０００８】図３は、洗浄ノズル２によるエア−流路と
塵埃１０の関係を示す概略図である。図３の（ａ）に示
すように、洗浄ノズル２より噴出された洗浄エア−１１
は被洗浄物４の表面に吹き付けられ、被洗浄物の表面の
塵埃１０は吹き飛ばされるが、乱流により再度被洗浄物
４に付着する可能性がある。図３の（ｂ）は、前記問題
点を解決する手段であり、洗浄ノズル２上方に配置され
たブロア８と高性能清浄フィルタ７により、常に上方よ
りエア−流路１２を作る。前記状態において洗浄を行う
と乱流は発生せず、塵埃１０は、被洗浄物４より下方へ
落とされる。

【０００９】また、洗浄室１３内のエア−を外部に排出
するため排気ダクト２１と排気ダンパ−９を設ける。そ
して、洗浄室１３内の圧力上昇を防止するため、洗浄室
１３内の圧力と外気の圧力との差、すなわち、排気ダク
ト２１内の排気ダンパ−９の両側の圧力差を検出する差
圧計２２を設け、該差圧計が一定値以上に上昇すると、
排気ダクト２１内の排気ダンパ−９が開き、圧力差によ
り洗浄室内の粉塵の混入したエア−が装置外へ排出され
る。このことにより洗浄室内のクリ−ン度を常に一定に
保つことができ、一層の洗浄効果が期待できるものであ
る。

【００１０】

【発明の効果】本発明によれば、洗浄時には、人手によ
ることなく被洗浄物に付着した塵埃の量、大きさを検出
してコントロ−ラの指示に基づいて洗浄条件を可変にし
て洗浄を行うことにより、洗浄精度を均一に保て、歩留
りを向上することができる。また、被洗浄物の状態に応
じて、洗浄時間、エア−圧力等の洗浄条件を可変できる
ため、作業時間を大幅に短縮することができる。洗浄性
が向上し、後工程でのチェック、修正作業が無くなるた
め、作業効率を大幅に向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るエア−洗浄装置の実施例の構成を
示す概略断面図である。

【図２】被洗浄物に付着した塵埃の検出を説明するため
の図である。

【図３】洗浄ノズルによるエア−流路と塵埃の関係を説
明するための図である。

【符号の説明】

１ クリ−ンエア−供給部 ２ 洗浄ノズル ３ 洗浄度検出センサ ４ 被洗浄物 ５ 洗浄度検出表示メ−タ ６ コントロ−ラ ７ 高性能清浄フィルタ ８ ブロア− ９ 排気ダンパ− １０ 塵埃 １１ 洗浄エア− １２ エア−流路 １３ 洗浄室 １４ エア−フィルタ １５ ミストセパレ−タ １６ マイクロセパレ−タ １７ レギュレ−タ １８ 電磁弁 １９ スピ−ドコントロ−ラ ２０ ガスフィルタ ２１ 排気ダクト ２２ 差圧計

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被洗浄物がセットされる洗浄室と、該被
   洗浄物に対してクリ−ンエア−を噴出する洗浄ノズル
   と、該洗浄ノズルにクリ−ンエア−を供給するクリ−ン
   エア−供給部と、被洗浄物表面への塵埃の付着状態を検
   出するセンサと、該センサの出力を入力して塵埃の付着
   状態に応じた洗浄条件を求め前記洗浄ノズルおよびクリ
   −ンエア−供給部を制御する制御部を備え、被洗浄物の
   洗浄度を常に均一にすることを特徴とするエア−洗浄装
   置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のエア−洗浄装置におい
   て、 前記洗浄室内の被洗浄物上部にブロア−と、該ブロア−
   から供給されるエア−を清浄する高性能清浄フィルタを
   設け、清浄エア−を被洗浄物に吹き付け塵埃の被洗浄物
   への再付着を防止することを特長とするエア−洗浄装
   置。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２記載のエア−洗
   浄装置において、 洗浄室内と外部との間に排気ダクトを設け、該排気ダク
   ト内に排気ダンパ−を設けると共に該排気ダンパ−の内
   外の圧力差を計測する差圧計を設け、前記制御部は該差
   圧計の出力を入力とし該差圧計の出力が予め定めた値以
   上に上昇したとき前記排気ダンパ−を開くよう制御し、
   圧力差により洗浄室内の塵埃の混入したエア−を装置外
   へ排出することを特長とするエア−洗浄装置。