JPH05115858A - エアー洗浄機 - Google Patents
エアー洗浄機Info
- Publication number
- JPH05115858A JPH05115858A JP3133487A JP13348791A JPH05115858A JP H05115858 A JPH05115858 A JP H05115858A JP 3133487 A JP3133487 A JP 3133487A JP 13348791 A JP13348791 A JP 13348791A JP H05115858 A JPH05115858 A JP H05115858A
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- Japan
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- air
- fine particles
- cleaning chamber
- cleaned
- chamber
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被洗浄物に付着している微粒子の要因である
湿気及び静電気を除去することにより、微粒子をエアー
により洗浄する。 【構成】 ケーシングで覆われた室内を仕切板を介して
恒温空気供給室とエアー洗浄室と２室に区画し、それぞ
れの室を連通させると共に恒温空気供給室内に空気循環
用のファン及び空気加熱手段を設置した装置において、
前記エアー洗浄室の上流側にフィルターを装着すると共
にエアー洗浄室の下流側にスノコ等の空気透過性載置手
段を装着し、さらにエアー洗浄室内に圧縮空気噴出ノズ
ル及び空気中にイオンを放出して正電荷を除去する除電
装置とを設置し、恒温空気供給室を区画するケーシング
にあけられた排気口及び吸気口に該口を開閉するダンパ
ーとを装着したエアー洗浄機。
湿気及び静電気を除去することにより、微粒子をエアー
により洗浄する。 【構成】 ケーシングで覆われた室内を仕切板を介して
恒温空気供給室とエアー洗浄室と２室に区画し、それぞ
れの室を連通させると共に恒温空気供給室内に空気循環
用のファン及び空気加熱手段を設置した装置において、
前記エアー洗浄室の上流側にフィルターを装着すると共
にエアー洗浄室の下流側にスノコ等の空気透過性載置手
段を装着し、さらにエアー洗浄室内に圧縮空気噴出ノズ
ル及び空気中にイオンを放出して正電荷を除去する除電
装置とを設置し、恒温空気供給室を区画するケーシング
にあけられた排気口及び吸気口に該口を開閉するダンパ
ーとを装着したエアー洗浄機。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、医療関係（液体窒素、
液体酸素の供給），半導体産業の製造又は空気の供給等
に使用されるバルブの最終仕上げ用のエアー洗浄機に関
するものである。
液体酸素の供給），半導体産業の製造又は空気の供給等
に使用されるバルブの最終仕上げ用のエアー洗浄機に関
するものである。
【０００４】エアーバルブ等に付着している微粒子の要
因としては、次のようなものがあるといわれている。 湿気による表面張力の作用により付着する場合。 被洗浄物が帯びている電荷により付着する場合。 被洗浄物の表面の粗さにより付着する場合。
因としては、次のようなものがあるといわれている。 湿気による表面張力の作用により付着する場合。 被洗浄物が帯びている電荷により付着する場合。 被洗浄物の表面の粗さにより付着する場合。
【０００５】
【従来技術】従来のこの種の洗浄方法としては、風速20
〜25m/sec.程度のパンカールーバーから吹き出させるエ
アーブロー方式や、フィルターで除塵した圧縮空気を４
〜６kg/cm2で吹き出させる方式がとられている。これら
の方法により、被洗浄物の表面の粗さにより付着してい
る微粒子を除去している。
〜25m/sec.程度のパンカールーバーから吹き出させるエ
アーブロー方式や、フィルターで除塵した圧縮空気を４
〜６kg/cm2で吹き出させる方式がとられている。これら
の方法により、被洗浄物の表面の粗さにより付着してい
る微粒子を除去している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来の方式では物体に表面張力で付着している微粒子及
び静電気により付着している微粒子については充分に除
去することができないといった不都合がある。そこで本
発明はかかる従来技術の欠点に鑑みなされたもので表面
張力や静電気により付着している微粒子をも除去するこ
とのできるエアー洗浄機を提供することを目的とする。
従来の方式では物体に表面張力で付着している微粒子及
び静電気により付着している微粒子については充分に除
去することができないといった不都合がある。そこで本
発明はかかる従来技術の欠点に鑑みなされたもので表面
張力や静電気により付着している微粒子をも除去するこ
とのできるエアー洗浄機を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、ケー
シングで覆われた室内を仕切板を介して恒温空気供給室
とエアー洗浄室と２室に区画し、それぞれの室を連通さ
せると共に恒温空気供給室内に空気循環用のファン及び
空気加熱手段を設置すると共に、前記エアー洗浄室の上
流側に装着されたフィルターと、エアー洗浄室の下流側
に装着されたスノコ等の空気透過性載置手段と、エアー
洗浄室内に設置された圧縮空気噴出ノズル及び空気中に
イオンを放出して正電荷を除去する除電装置と、恒温空
気供給室を区画するケーシングにあけられた排気口及び
吸気口を装着したダンパーとを有するエアー洗浄機によ
り本目的を達成する。
シングで覆われた室内を仕切板を介して恒温空気供給室
とエアー洗浄室と２室に区画し、それぞれの室を連通さ
せると共に恒温空気供給室内に空気循環用のファン及び
空気加熱手段を設置すると共に、前記エアー洗浄室の上
流側に装着されたフィルターと、エアー洗浄室の下流側
に装着されたスノコ等の空気透過性載置手段と、エアー
洗浄室内に設置された圧縮空気噴出ノズル及び空気中に
イオンを放出して正電荷を除去する除電装置と、恒温空
気供給室を区画するケーシングにあけられた排気口及び
吸気口を装着したダンパーとを有するエアー洗浄機によ
り本目的を達成する。
【０００８】
【作用】本発明にかかる装置では、空気透過性載置手段
上に被洗浄物を載置し、装置を作動させる。すると循環
ファンにより吹き出された空気は、加熱手段により加熱
され、さらに洗浄室の上流側に設置されたフィルターに
より除湿、除塵されて洗浄室内に流入する。洗浄室内で
は、被洗浄物に向けて圧縮空気噴出ノズルから乾燥され
た圧縮空気が噴出される結果、被洗浄物の湿気による微
粒子の付着力が弱められ、洗浄室中に散乱する。また洗
浄室内では、除電装置も作動している関係から、空気中
に負電荷が供給され、被洗浄物に帯電している正電荷が
除去され、静電化による微粒子の付着力が弱まり、空気
中に微粒子が散乱する。空気中に散乱した微粒子は、空
気透過性載置手段を通過して恒温空気供給室内に導かれ
る。恒温空気供給室内に導かれた微粒子を含んだ空気は
一部排出口を介して外部に排出され、また一方で吸気口
から外気が室内に導入される。
上に被洗浄物を載置し、装置を作動させる。すると循環
ファンにより吹き出された空気は、加熱手段により加熱
され、さらに洗浄室の上流側に設置されたフィルターに
より除湿、除塵されて洗浄室内に流入する。洗浄室内で
は、被洗浄物に向けて圧縮空気噴出ノズルから乾燥され
た圧縮空気が噴出される結果、被洗浄物の湿気による微
粒子の付着力が弱められ、洗浄室中に散乱する。また洗
浄室内では、除電装置も作動している関係から、空気中
に負電荷が供給され、被洗浄物に帯電している正電荷が
除去され、静電化による微粒子の付着力が弱まり、空気
中に微粒子が散乱する。空気中に散乱した微粒子は、空
気透過性載置手段を通過して恒温空気供給室内に導かれ
る。恒温空気供給室内に導かれた微粒子を含んだ空気は
一部排出口を介して外部に排出され、また一方で吸気口
から外気が室内に導入される。
【０００９】外気が導入された空気は再び、加熱手段に
より加熱され相対湿度の低い空気となってフィルターを
介して洗浄室に導かれる。
より加熱され相対湿度の低い空気となってフィルターを
介して洗浄室に導かれる。
【００１０】
【実施例】以下に本発明を図面に示された１実施例に従
って詳細に説明する。１は、装置を覆うケーシングであ
り、該ケーシング１内は仕切板２，３により仕切られて
おり、恒温空気供給室４と洗浄室５とに区画されてい
る。恒温空気供給室４内には、空気循環用のファン６
と、洗浄室５内に設置された温度センサー７、該温度セ
ンサー７からの検出温度に基づき電気ヒータ８に所定の
電力を供給する温度コントローラー９及び電気ヒータ８
とからなる加熱手段が設置されている。
って詳細に説明する。１は、装置を覆うケーシングであ
り、該ケーシング１内は仕切板２，３により仕切られて
おり、恒温空気供給室４と洗浄室５とに区画されてい
る。恒温空気供給室４内には、空気循環用のファン６
と、洗浄室５内に設置された温度センサー７、該温度セ
ンサー７からの検出温度に基づき電気ヒータ８に所定の
電力を供給する温度コントローラー９及び電気ヒータ８
とからなる加熱手段が設置されている。
【００１１】恒温空気供給室４と洗浄室５との連通口
は、上流側（図の上）は、微生物をも除去する機能を有
する0.5ミクロン程度のヘパフィルターからなる高性能
フィルター１０が装着されており、また下流側はスノコ
状の空気透過性載置手段１２が装着されており、該空気
透過性載置手段１２上に被洗浄物が載置される。洗浄室
５内には、空気中にイオンを放出するための除電装置１
４（パルスＤＣシステム イオナイザー（北川工業株式
会社））が装着されており、また圧縮空気供給手段、電
磁弁１６、フィルター１８を介して供給される高温乾燥
空気を噴出するための圧縮空気噴出ノズル２０も装着さ
れている。ここで、除電装置１４は、洗浄室５内のイオ
ン量を検知するセンサー手段２２からの検知結果に基づ
き制御装置２４が除電装置１４の作動がON-OFFされる。
また圧縮空気噴出ノズル２０は、空気透過性載置手段１
２上に被洗浄物が載置されている時に電磁弁が開放され
て圧縮空気が噴出されるようになっている。
は、上流側（図の上）は、微生物をも除去する機能を有
する0.5ミクロン程度のヘパフィルターからなる高性能
フィルター１０が装着されており、また下流側はスノコ
状の空気透過性載置手段１２が装着されており、該空気
透過性載置手段１２上に被洗浄物が載置される。洗浄室
５内には、空気中にイオンを放出するための除電装置１
４（パルスＤＣシステム イオナイザー（北川工業株式
会社））が装着されており、また圧縮空気供給手段、電
磁弁１６、フィルター１８を介して供給される高温乾燥
空気を噴出するための圧縮空気噴出ノズル２０も装着さ
れている。ここで、除電装置１４は、洗浄室５内のイオ
ン量を検知するセンサー手段２２からの検知結果に基づ
き制御装置２４が除電装置１４の作動がON-OFFされる。
また圧縮空気噴出ノズル２０は、空気透過性載置手段１
２上に被洗浄物が載置されている時に電磁弁が開放され
て圧縮空気が噴出されるようになっている。
【００１２】２６は、ケーシング１の側壁にあけた吸気
口２８の内側に装着されたダンパーであり、３０は同じ
くケーシング１の側壁にあけた排気口３２の外側に設置
されたダンパーである。吸気口２８には、外気の空気を
清浄するためのフィルター３４が設置されている。尚、
本実施例にかかる装置では、空気循環用のファン６によ
り吸気口２８から空気を吸引して室内に空気を循環する
ように構成しているので、室内は常に陽圧に保たれてお
り、その結果排気口３０から微粒子を含んだ空気が排出
されるようになっている。
口２８の内側に装着されたダンパーであり、３０は同じ
くケーシング１の側壁にあけた排気口３２の外側に設置
されたダンパーである。吸気口２８には、外気の空気を
清浄するためのフィルター３４が設置されている。尚、
本実施例にかかる装置では、空気循環用のファン６によ
り吸気口２８から空気を吸引して室内に空気を循環する
ように構成しているので、室内は常に陽圧に保たれてお
り、その結果排気口３０から微粒子を含んだ空気が排出
されるようになっている。
【００１３】以上述べた構成において、本実施例にかか
る装置では洗浄室５内の温度を常温から８０℃内の温度
に設定した状態で作動させると、温度センサー７により
温度を検出しながら温度コントローラー９が作動して電
気ヒータ８をON-OFFしながら温度調節する。その結果、
洗浄室５内は、一定の温度に保たれ、空気循環用のファ
ン６の作用により空気は、恒温空気供給室４→洗浄室５
→恒温空気供給室４と循環する。
る装置では洗浄室５内の温度を常温から８０℃内の温度
に設定した状態で作動させると、温度センサー７により
温度を検出しながら温度コントローラー９が作動して電
気ヒータ８をON-OFFしながら温度調節する。その結果、
洗浄室５内は、一定の温度に保たれ、空気循環用のファ
ン６の作用により空気は、恒温空気供給室４→洗浄室５
→恒温空気供給室４と循環する。
【００１４】空気は循環する際に、まず洗浄室５の上流
側に設置された高性能フィルター１０により、塵や湿気
が除去され空気透過性載置手段１２上に載置されたバル
ブ３２に向けて吹き付けられる。また、洗浄室５内には
圧縮空気噴出ノズル２０から乾燥空気が、被洗浄物３２
に対して吹き付けられる関係から洗浄物に付着している
湿気が取り除かれ、表面張力による付着力が減殺され
る。さらに室５内には、除電装置１４からイオンが放出
されるので、被洗浄物に帯電している正電荷を相殺除去
することができ、静電気による付着力が減殺される。
尚、本実施例にかかる装置では、センサー手段２２によ
り空気中のイオン濃度を検出し、制御装置２４が洗浄室
５内に過剰なイオンが放出されないように構成されてい
る関係から、被洗浄物が負電荷に帯電することはない。
側に設置された高性能フィルター１０により、塵や湿気
が除去され空気透過性載置手段１２上に載置されたバル
ブ３２に向けて吹き付けられる。また、洗浄室５内には
圧縮空気噴出ノズル２０から乾燥空気が、被洗浄物３２
に対して吹き付けられる関係から洗浄物に付着している
湿気が取り除かれ、表面張力による付着力が減殺され
る。さらに室５内には、除電装置１４からイオンが放出
されるので、被洗浄物に帯電している正電荷を相殺除去
することができ、静電気による付着力が減殺される。
尚、本実施例にかかる装置では、センサー手段２２によ
り空気中のイオン濃度を検出し、制御装置２４が洗浄室
５内に過剰なイオンが放出されないように構成されてい
る関係から、被洗浄物が負電荷に帯電することはない。
【００１５】以上のようにして、洗浄室５内に配置され
た被洗浄物の付着力の要因となる湿気及び正電荷が除去
されているので、空気の吹き付け作用により被洗浄物に
付着した微粒子は空気中に飛散され、空気透過性載置手
段１２を介して恒温空気供給室４内に導かれる。恒温空
気供給室４内に入った空気は、本装置内が陽圧となるよ
うに維持されている関係から、一部の微粒子を含んだ空
気は、排気口３０を介して外へ排出される。また、空気
循環用のファン６の吸引作用により、ダンパー２６が開
放されフィルター３４、吸気口２８を介して室４内に外
気が導入される。
た被洗浄物の付着力の要因となる湿気及び正電荷が除去
されているので、空気の吹き付け作用により被洗浄物に
付着した微粒子は空気中に飛散され、空気透過性載置手
段１２を介して恒温空気供給室４内に導かれる。恒温空
気供給室４内に入った空気は、本装置内が陽圧となるよ
うに維持されている関係から、一部の微粒子を含んだ空
気は、排気口３０を介して外へ排出される。また、空気
循環用のファン６の吸引作用により、ダンパー２６が開
放されフィルター３４、吸気口２８を介して室４内に外
気が導入される。
【００１６】
【効果】以上述べたように本発明にかかるエアー洗浄装
置では、被洗浄物への微粒子の付着要因である湿気と静
電気とを除去すると共に、洗浄室内に清浄空気を供給す
ることにより付着した微粒子を除去するように構成した
ので、従来の装置では不可能であった微粒子の除去が可
能となり、衛生的なバルブ等の製品を供給することがで
きる。
置では、被洗浄物への微粒子の付着要因である湿気と静
電気とを除去すると共に、洗浄室内に清浄空気を供給す
ることにより付着した微粒子を除去するように構成した
ので、従来の装置では不可能であった微粒子の除去が可
能となり、衛生的なバルブ等の製品を供給することがで
きる。
【図１】本発明にかかる装置の実施例を示す縦断面図で
ある。
ある。
【図２】図１のＩ−Ｉ断面図である。
１ ケーシング ２，３ 仕切板 ４ 恒温空気供給室 ５ 洗浄室 ６ ファン ７ 温度センサー ８ 電気ヒータ ９ 温度コントローラー １０ 高性能フィルター １２ 空気透過性載置手段 １４ 除電手段 １６ 電磁弁 １８ フィルター ２０ 圧縮空気噴出ノズル ２２ センサー手段 ２４ 制御装置 ２６，３０ ダンパー ２８ 吸気口 ３２ 排気口
Claims (3)
- 【請求項１】 ケーシングで覆われた室内を仕切板を介
して恒温空気供給室とエアー洗浄室と２室に区画し、そ
れぞれの室を連通させると共に恒温空気供給室内に空気
循環用のファン及び空気加熱手段を設置すると共に、前
記エアー洗浄室の上流側に装着されたフィルターと、エ
アー洗浄室の下流側に装着されたスノコ等の空気透過性
載置手段と、エアー洗浄室内に設置された圧縮空気噴出
ノズル及び空気中にイオンを放出して正電荷を除去する
除電装置と、恒温空気供給室を区画するケーシングにあ
けられた排気口及び吸気口に装着されたダンパーとを有
するエアー洗浄機。 - 【請求項２】 前記圧縮空気噴出ノズルが、エアー洗浄
室内に被洗浄物を置いたときに噴出するように構成され
ている請求項１記載のエアー洗浄機。 - 【請求項３】 吸気口にエアーフィルターが装着されて
いる請求項１記載のエアー洗浄機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3133487A JPH05115858A (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | エアー洗浄機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3133487A JPH05115858A (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | エアー洗浄機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05115858A true JPH05115858A (ja) | 1993-05-14 |
Family
ID=15105921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3133487A Pending JPH05115858A (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | エアー洗浄機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05115858A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6647998B2 (en) * | 2001-06-20 | 2003-11-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Ltd. | Electrostatic charge-free solvent-type dryer for semiconductor wafers |
| WO2011091650A1 (zh) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 激光刻线除尘设备及除尘方法 |
| CN103116177A (zh) * | 2013-02-06 | 2013-05-22 | 北京邦鑫伟业技术开发有限公司 | 正比计数器清洗装置及清洗方法 |
| CN113275316A (zh) * | 2021-05-07 | 2021-08-20 | 广东电网有限责任公司广州供电局 | 清洁设备 |
-
1991
- 1991-05-09 JP JP3133487A patent/JPH05115858A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6647998B2 (en) * | 2001-06-20 | 2003-11-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Ltd. | Electrostatic charge-free solvent-type dryer for semiconductor wafers |
| WO2011091650A1 (zh) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 激光刻线除尘设备及除尘方法 |
| CN103116177A (zh) * | 2013-02-06 | 2013-05-22 | 北京邦鑫伟业技术开发有限公司 | 正比计数器清洗装置及清洗方法 |
| CN103116177B (zh) * | 2013-02-06 | 2015-11-18 | 北京邦鑫伟业技术开发有限公司 | 正比计数器清洗装置及清洗方法 |
| CN113275316A (zh) * | 2021-05-07 | 2021-08-20 | 广东电网有限责任公司广州供电局 | 清洁设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |