CN1972763A - 除静电除尘装置 - Google Patents

除静电除尘装置 Download PDF

Info

Publication number
CN1972763A
CN1972763A CNA2005800208969A CN200580020896A CN1972763A CN 1972763 A CN1972763 A CN 1972763A CN A2005800208969 A CNA2005800208969 A CN A2005800208969A CN 200580020896 A CN200580020896 A CN 200580020896A CN 1972763 A CN1972763 A CN 1972763A
Authority
CN
China
Prior art keywords
air
treated
static charge
dust
dust removing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2005800208969A
Other languages
English (en)
Inventor
石岛隆广
猪俣淳
大川滋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
K K KOGANEI
Koganei Corp
Original Assignee
K K KOGANEI
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by K K KOGANEI filed Critical K K KOGANEI
Publication of CN1972763A publication Critical patent/CN1972763A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/02Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B15/00Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
    • B08B15/02Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area using chambers or hoods covering the area
    • B08B15/023Fume cabinets or cupboards, e.g. for laboratories
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B6/00Cleaning by electrostatic means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B9/00Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto 
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05FSTATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
    • H05F3/00Carrying-off electrostatic charges
    • H05F3/04Carrying-off electrostatic charges by means of spark gaps or other discharge devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B2215/00Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
    • B08B2215/003Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area with the assistance of blowing nozzles

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Elimination Of Static Electricity (AREA)

Abstract

本发明的除静电除尘装置具有设置有气流入口(16)的基座箱(11)、通过支撑柱(21)安装到基座箱(11)的处理头部(23),在气流入口(16)与处理头部(23)之间形成有处理空间(24)。在所述装置的正面开口部(29)和左、右侧面开口部(28)通过来自喷气管(33)的喷口的空气形成有将处理空间(24)与外部隔离的气帘。由离子发生器(42)生成的电离空气喷到处理空间(24)中,从而电离空气能够喷射到置于处理空间(24)中的被处理物上,以去除被处理物的灰尘。因此,可以在短时间内有效地进行粘附到被处理物上的尘埃的除静电除尘操作,而且可避免工作环境由于被去除的灰尘的泄漏而受到污染。

Description

除静电除尘装置
技术领域
本发明涉及一种除静电除尘装置,其将工业产品的部件作为被处理物并在其上喷射电离空气,以去除粘附在所述被处理物上的灰尘,而且不污染工作环境。
背景技术
在制造诸如电子产品等工业产品的部件或组装这些部件以制造工业产品时,必须去除部件上粘附的包括固体颗粒、杂质和尘埃的灰尘。由于部件上粘附的灰尘包括通过静电而粘附的灰尘,因此,如果向部件喷射电离空气在中和及去除部件表面上的静电的同时去除灰尘,则的确可以去除这些灰尘。例如,如在专利文献1和2中公开的那样,已经提出了这样的技术,即,将工业产品的部件等作为工件即被处理物,在中和所述被处理物的表面上的静电的同时去除粘附其上的灰尘。
专利文献1:特开平5-15862号
专利文献2:特开平8-131982号
发明内容
发明所解决的课题
为了产生电离空气,在空气在其中流动的流动通道中设置电极,通过电极之间的电晕放电而使空气电离。
为了去除粘附在作为被处理物的部件等上的灰尘,通过喷嘴将电离空气喷射到被处理物上。但是,当从喷嘴喷射电离空气以去除灰尘时,被去除的灰尘可再次附着在该被处理物上。这种情况下,去除灰尘后的被处理物不能保持清洁。此外,被去除的灰尘可在工作环境中四处飞动和漂浮,还将污染工作环境。
因此,已经开发出一种除静电除尘装置,该装置在具有开/关门的箱体中生成喷射到被处理物的主气流,使该主气流与来自喷嘴的电离空气相混合,以去除被处理物上粘附的灰尘。但是,当电离空气混合到来自喷嘴的主气流中时,离子浓度将降低,因而静电去除效率降低,从而在除静电除尘处理结束之前需要花费较长时间。另一方面,如果在将被处理物插入箱体中时操作开/关门,操作员必须在被处理物送入时和送出时频繁地操作开/关门,因而存在处理操作的操作性较低的问题。
本发明的一个目的在于提供一种除静电除尘装置,其能够在短时间内有效执行对于粘附在被处理物上的灰尘的除静电除尘操作。
本发明的另一个目的在于提供一种除静电除尘装置,其中,从被处理物去除的灰尘不会飞到外部而污染工作环境。
用于解决课题的方案
本发明的除静电除尘装置,在被处理物上喷射电离空气,以去除粘附在所述被处理物上的灰尘,所述装置包括:基座箱,具有空气流入其中的气流入口;处理头部,对着所述气流入口安装到设置于所述基座箱上的支撑柱上,并在所述气流入口与所述处理头部之间形成有处理空间;喷气部件,设置于所述处理头部,并设置有朝向所述气流入口喷出空气的喷口,并形成用于将所述处理空间与外部隔离的气帘;以及离子喷射喷嘴,设置于所述处理头部,将电离空气喷射到所述处理空间中的所述被处理物。
本发明的除静电除尘装置,在所述处理头部的端部与所述基座箱的端部之间形成有正面开口部,沿着所述正面开口部形成所述气帘,通过所述正面开口部进行所述被处理物相对于所述处理空间的送入和送出。
本发明的除静电除尘装置,在所述处理头部的端部与所述基座箱的端部之间形成有正面开口部,同时在所述处理头部的两侧部与所述基座箱的两侧部之间形成有侧面开口部,沿着所述正面开口部和各个所述侧面开口部形成所述气帘,通过所述正面开口部和各个所述侧面开口部中的任意一个进行所述被处理物相对于所述处理空间的送入和送出。
本发明的除静电除尘装置,在各个所述侧面开口部上安装有可拆卸的盖,通过拆除所述盖,通过所述侧面开口部进行所述被处理物相对于所述处理空间的送入和送出。
本发明的除静电除尘装置包括:传感器,检测送入所述处理空间中的所述被处理物;以及控制装置,在所述传感器检测到已送入所述被处理物时对所述基座箱中气流的形成、空气从所述喷气部件的喷出和电离空气从所述离子喷射喷嘴的喷出按照此顺序每经过预定时间进行处理开始控制。
本发明的除静电除尘装置,当所述被处理物从所述处理空间送出时,所述控制装置对所述电离空气的喷出停止、所述空气从所述喷气部件的喷出停止和所述基座箱中所述气流的形成停止按照此顺序每经过预定时间进行处理结束控制。
本发明的除静电除尘装置,当经过预定的处理时间时,所述控制装置对所述电离空气的喷出停止、所述空气从所述喷气部件的喷出停止和所述基座箱中的所述气流形成停止按照此顺序每经过预定时间进行处理结束控制。
发明的效果
根据本发明,在处理空间通过气帘而与外部隔离的状态下,使电离空气从离子喷射喷嘴喷出,从而在中和被处理物上具有的静电的同时去除灰尘。因此,无需通过盖等来覆盖处理空间,可快速进行被处理物向处理空间的送入以及被处理物从处理空间的送出,从而能够快速进行被处理物的除静电除尘处理。
从喷气部件喷出而形成气帘的压缩空气从气流入口被抽吸到基座箱中,在基座箱中形成气流。同样,从离子喷射喷嘴喷出的电离空气通过箱体中的气流而被抽吸并流入基座箱中。因此,在处理空间中,电离空气不会与用于气帘的空气相混合,可避免电离空气的稀释,电离空气能够可靠地喷射到被处理物上,以在短时间内去除粘附在被处理物上的灰尘。
由于安装在侧面开口部的盖是可拆卸的,因此可以根据装置的设置位置对被处理物相对于处理空间的送入和送出的通路做出不同选择。
通过将处理开始时以及处理完成时箱体中气流的形成、气帘和离子喷射喷嘴的动作顺序设定为固定的顺序,以使在对被处理物喷射电离空气时和处理结束之后,处理空间的内部变成没有灰尘的状态。因此,可以提高被处理物的处理质量。
由于可以防止在处理空间中被去除的灰尘泄漏到外部,从而可避免工作环境由于灰尘而受到污染。
处理结束控制的模式可以设定为由传感器对被处理物的送出进行检测的传感器停止型和通过定时器关闭装置的定时器停止型。因此,可根据被处理物的种类来选择某一个控制模式。
附图说明
图1是根据本发明的除静电除尘装置的正视图;
图2是图1的侧视图;
图3是图1的局部切开的俯视图;
图4是本发明的除静电除尘装置的内部结构的局部切开的侧视图;
图5是图1的主要部分的立体图;
图6是沿图5中的线A-A的放大剖视图;
图7是用于控制除静电除尘装置的动作的控制电路的示意图;
图8是通过传感器对装置进行开启和关闭类型的控制过程的流程图;
图9是通过定时器对装置进行关闭类型的控制过程的流程图。
具体实施方式
下面将基于附图对本发明的实施方案进行详细描述。除静电除尘装置具有通过组合板材而形成的基座箱11。如图4所示,在基座箱11中组装有鼓风装置,即送风机15,其具有电机12、由该电机驱动旋转的风扇13以及容纳这些组件的壳体14。在基座箱内部形成有用于形成气流的空间,即,气流通路。在基座箱11的前端侧形成有气流入口16,以使得空气能够垂直流入其中。具有多个通气孔的多孔金属网17安装到气流入口16,从而能够避免被处理物从气流入口16进入基座箱11中。如图4中的箭头所示,当送风机15被驱动时,空气从设置在气流入口16的多孔金属网17的多个通气孔流入基座箱11,并且在基座箱11内部形成空气的流动(气流)。在所形成的气流中的空气从安装在基座箱11后表面的排气管道18排放到外部。
通过组合板状部件而形成的支撑柱21设置到基座箱11的后端部,而在该支撑柱中形成有容纳腔22。如图4所示,向前突出且由透明板状部件形成的透明盖作为处理头部23安装到支撑柱21,而在处理头部23与气流入口16之间形成有处理空间24。
构成支撑柱21的侧板25、26具有沿着处理头部23向前突出的突出部25a、26a,而构成处理头部23的透明盖固定到两个突出部25a、26a。在突出部25a、26a中设置有凹陷部。在处理头部23的两侧部与基座箱11的两侧部之间形成有侧面开口部27、28。在处理头部23的端部与基座箱11的端部之间形成有正面开口部29。因此,可从正面开口部29将被处理物送入处理空间24的内部,以及在完成处理之后将被处理物送出。
如图2和3所示,由透明板状部件形成的透明盖31、32分别通过螺钉部件30安装到各侧面开口部27、28。因此,可从外部通过透明盖31、32看到处理空间24的内部,以观察处理状态。当拆除透明盖31、32的至少其中之一时,可通过侧面开口部27、28进行被处理物相对于处理空间24的送入和送出。因此,被处理物向处理空间24的送入和送出可通过正面开口部29和一个侧面开口部的其中之一进行,也可以通过正面开口部29和一个侧面开口部的其中之一送入,而从另一个侧面开口部送出。当正面开口部29未用于被处理物的送入和送出时,则可以通过透明盖覆盖正面开口部29。
在支撑柱21的前表面壁上沿着各突出部25a、26a的附近固定有侧表面侧的管33a、33b,管33a、33b各自的端部通过接头34由前侧管33c连接,通过管33a~33c将组装成平面U形的喷气管33形成为喷气部件。如图6所示,在喷气管33上形成有朝向基座箱11的气流入口16的外周边部喷出空气的喷口35。由于从各喷口35喷出的空气在侧面开口部27、28和正面开口部29处形成由虚线箭头表示的气帘,从而通过气帘使处理空间24与外部隔离。在图示的情况下,作为喷气部件的喷气管33使用圆形截面的管,但是也可使用方形管。此外,在图示的情况下,喷口35由多个孔形成,但是喷口35也可由缝状喷口形成。
处理头部23的中央部安装有离子喷射喷嘴36。在处理空间24中,如箭头所示,从离子喷射喷嘴36的喷口36a朝向处理空间24内部喷射电离空气,以在通过气帘而与外部隔离的状态下,使电离空气喷射到设置于处理空间24中的被处理物上。喷射到被处理物上的电离空气通过送风机15连同流到气流入口16中的气帘用的空气一起被抽吸到送风机15中,并在气流入口16中流动,从排气管道18排放到外部。
如图3所示,为了向喷气管33供应压缩空气,支撑柱21的后壁上安装有供气口37。供气口37通过开/关阀38和节流阀39连接到供气管41,而供气管41一分为二并分别连接到管33a、33b。因此,当开/关阀38开启时,来自连接到供气口37的气压供应源的压缩空气通过节流阀39供应给喷气管33,然后从喷口35喷出以形成气帘。
离子喷射喷嘴36与安装在支撑柱21上的离子发生器42相连。为了向离子发生器42供应空气,支撑柱21的后壁上在供气口37的下侧安装有供气口(图中未示出)。如图3所示,该供气口通过供气管45连接到压力调节阀,亦即,调节器44和开/关阀43。如图4所示,开/关阀43通过供气管45连接到离子发生器42。离子发生器42与离子喷射喷嘴36之间连接有离子输送管46,以将电离空气通过离子输送管46输送到离子喷射喷嘴36。因此,当开/关阀43开启时,来自气压供应源的压缩空气通过调节器44进行压力调节,然后通过开/关阀43供应给离子发生器42。离子发生器42具有成对设置在压缩空气的流动通路中的电极(图中未示出),通过向电极供应电能而在电极之间产生的电晕放电,使得空气被电离,电离空气从离子喷射喷嘴36供应到处理空间24的内部。另外,也可以使从一个供气口37供应的压缩空气分支成气帘用的空气和离子发生器42用的空气并分别进行供应。
因而,在由压缩空气形成的气帘包围处理空间24并使其与外部隔离的状态下,来自离子喷射喷嘴36的电离空气喷射到被处理物上,从而在处理空间24中,电离空气不与气帘用的空气相混合,由此避免了电离空气的稀释。因此,电离空气可以可靠地喷射到被处理物上,被处理物上具有的静电通过电离空气被中和,从而能够在短时间内去除由于静电而粘附在被处理物上的灰尘。粘附的灰尘通过电离空气的流动而去除,并从气流入口16抽吸到基座箱11中。
如图4所示,为了在被处理物已被送入处理空间24时对其进行检测,处理头部23安装有上侧传感器47,而在基座箱11中设置有下侧传感器48。一个传感器47具有光发射元件,而另一个传感器48具有光接收元件。因此,例如当操作员用手保持被处理物并将被处理物送入处理空间24中时,该送入被传感器47和48自动检测。
图7是用于控制除静电除尘装置的动作的控制电路的示意图,其中,控制信号从设置在支撑柱21的容纳腔22中的控制单元50发送至送风机15的电机12、各开/关阀38、43、和离子发生器42,而来自传感器48的信号供应给控制单元50。而且,表示除静电除尘装置动作状态的监控信号从控制单元50输出。
当通过这种除静电除尘装置将电离空气喷射到被处理物上并去除粘附在被处理物上的灰尘时,由操作员将被处理物送入处理空间24中。当被处理物被送入时,从上侧传感器47向下侧传感器48照射的光被隔断,传感器48将送入检测信号输出给控制单元50。由此,在正面开口部29形成气帘,同时在侧面开口部27和28沿着透明盖31、32形成气帘,在此状态下,电离空气从离子喷射喷嘴36喷到处理空间24中,而处理空间24中的空气通过送风机15而抽吸到基座箱11中。通过将未示出的连通管道连接到排气管道18将集尘空气引导至集尘过滤器等,从而可以将灰尘收集到过滤器中。另外,只要在基座箱11的气流通路中形成有从气流入口16流入的气流,那么在基座箱11中就可不必设置送风机15,基座箱11中的空气可从排气管道18被抽吸并排放到外部。
装装置的处理结束控制方案包括:如果传感器48检测到被处理物已被操作员从处理空间24中送出,则使处理停止的方案;以及如果电离空气的喷出经过预定时间,则使处理停止的方案。根据被处理物的类型等,通过操作设置于与控制单元50相连的输入操作单元51的开关,可以设定使用哪个控制方案。例如,输入操作单元51设置在支撑柱21的后表面侧等上。
图8是通过传感器对装置进行开启/关闭类型的控制过程的流程图,图9是通过定时器对装置进行关闭类型的控制过程的流程图。
在如图8所示的控制方案中,当工件(即,被处理物)被送入处理空间24中并被传感器48检测到时(S1),首先,送风机15的电机12启动,在基座箱中形成气流。在经过预定时间之后,开/关阀38打开流动通路,压缩空气供应到喷气管33,从而形成气帘。通过这种方式,在处理空间24与外部隔离的状态下,开/关阀43打开流动通路,以向离子发生器42供应空气,电能也供应至离子发生器42中的电极,以启动离子发生器42(S2~S4)。步骤S2~S4的工序在经过小于或等于一秒的预定时间后,连续地依次执行,在处理空间24通过气帘与外部可靠地隔离的情况下,电离空气被喷射到在被处理物上。如果喷射预定时间,则静电被电离空气中和,因静电而粘附在被处理物上的灰尘被处理空间24中的气流去除,然后灰尘被抽吸到基座箱11中。当传感器48检测到被处理物的送出(步骤S5)时,每隔预定时间便连续执行:离子发生器42的动作停止、气帘停止、和由于送风机15的动作停止而形成的气流形成停止。
这样,在除静电除尘装置中,一旦检测到被处理物已被送入到处理空间中,则在该装置的处理开始时,在送风机15启动之后经过预定时间时,使气帘启动;在经过预定时间之后,喷出电离空气。因此,在处理空间24通过气帘与外部可靠隔离,灰尘不再出现在处理空间24中的状态下,电离空气被喷射到被处理物上,从而能够避免灰尘泄漏到装置外部,并且能够可靠地将灰尘从被处理物去除。相反地,在处理结束时,与处理开始时相反,在离子发生器42停止后经过预定时间时,气帘停止;然后,在经过预定时间之后,停止送风机15的操作以停止形成气流。因此,可有效避免被去除的灰尘泄漏到外部。
另一方面,在如图9所示的控制方案中,对除静电除尘装置的处理开始控制与如图8所示的情况相同,但是在使装置的操作停止时的处理结束控制与如图8所示不同,即,在喷射电离空气的时间经过预定时间时,通过定时器使该装置的操作停止。电离空气在喷射到被处理物上超过预定时间时,除静电除尘处理自动结束,从而使得在停止该装置之后操作员能够将被处理物送出到外部。在这种定时器停止型的处理结束控制中,与图8所示的传感器停止型的处理结束控制方案相类似,可将灰尘从被处理物去除而不会使灰尘泄漏到外部。
该除静电除尘装置可对作为被处理物的部件执行除静电除尘处理,这些部件或者由于静电而使元件损坏,或者存在例如固体颗粒等灰尘粘附的问题,这些部件包括:工业产品用的各种电气部件和电子部件;光学透镜等摄像机部件;以及树脂成型模压部件等。
本发明并未局限于上述实施方案,而是可在不背离本发明的要点的范围内进行各种修改。例如,虽然在图中所示的除静电除尘装置中,处理头部23设置有一个离子喷射喷嘴36,但是也可设置多个离子喷射喷嘴36。另外,虽然处理头部23由透明板材形成,但是它也可由不透明板材形成。类似地,可使用不透明板材来形成盖,以替代透明盖31、32。

Claims (7)

1.除静电除尘装置,其用于将电离空气喷射到被处理物上,以去除粘附在所述被处理物上的灰尘,所述装置包括:
基座箱,具有空气流入的气流入口以及用于引导来自所述气流入口的空气流动的气流通路;
处理头部,对着所述气流入口安装到设置于所述基座箱的支撑柱上,在所述气流入口与所述处理头部之间形成有处理空间;
喷气部件,设置于所述处理头部,并设置有喷口,所述喷口用于朝向所述气流入口喷出空气,以形成用于将所述处理空间与外部隔离的气帘;以及
离子喷射喷嘴,设置于所述处理头部,以将电离空气喷射到所述处理空间中的被处理物上。
2.根据权利要求1所述的除静电除尘装置,其中,在所述处理头部的端部与所述基座箱的端部之间形成有正面开口部,沿着所述正面开口部形成所述气帘,通过所述正面开口部进行所述被处理物相对于所述处理空间的送入和送出。
3.根据权利要求1所述的除静电除尘装置,其中,在所述处理头部的端部与所述基座箱的端部之间形成有正面开口部,在所述处理头部的两侧部与所述基座箱的两侧部之间形成有侧面开口部,沿着所述正面开口部和各个所述侧面开口部形成所述气帘,通过所述正面开口部和各个所述侧面开口部中的任意一个进行所述被处理物相对于所述处理空间的送入和送出。
4.根据权利要求3所述的除静电除尘装置,其中,在各个所述侧面开口部上安装有可拆卸的盖,通过拆除所述盖,通过所述侧面开口部进行所述被处理物相对于所述处理空间的送入和送出。
5.根据权利要求1所述的除静电除尘装置,进一步包括:
传感器,检测送入所述处理空间中的被处理物;以及
控制装置,在所述传感器检测到所述被处理物的送入时对所述基座箱中气流的形成、空气从所述喷气部件的喷出、和所述电离空气从所述离子喷射喷嘴的喷出按照此顺序每经过预定时间进行处理开始控制。
6.根据权利要求5所述的除静电除尘装置,其中,当所述被处理物从所述处理空间送出时,所述控制装置对所述电离空气的喷出停止、空气从所述喷气部件的喷出停止、和所述基座箱中气流形成的停止按照此顺序每经过当预定时间进行处理结束控制。
7.根据权利要求5所述的除静电除尘装置,其中,当经过预定时间时,所述控制装置对所述电离空气的停止喷出、空气从所述喷气部件的喷出停止、和所述基座箱中气流形成的停止按照此顺序每经过预定时间进行处理结束控制。
CNA2005800208969A 2004-06-22 2005-06-15 除静电除尘装置 Pending CN1972763A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP184158/2004 2004-06-22
JP2004184158A JP2006007012A (ja) 2004-06-22 2004-06-22 除電除塵装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN1972763A true CN1972763A (zh) 2007-05-30

Family

ID=35509500

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2005800208969A Pending CN1972763A (zh) 2004-06-22 2005-06-15 除静电除尘装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20090158537A1 (zh)
EP (1) EP1759776A4 (zh)
JP (1) JP2006007012A (zh)
CN (1) CN1972763A (zh)
TW (1) TW200600200A (zh)
WO (1) WO2005123284A1 (zh)

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009018679A1 (fr) * 2007-08-06 2009-02-12 Acxing Industrial Co., Ltd. Dispositif générateur de rideau d'air
CN101683649A (zh) * 2008-09-26 2010-03-31 无锡海达安全玻璃有限公司 一种改良的印刷玻璃的除尘装置
CN102284450A (zh) * 2011-06-15 2011-12-21 震宇(芜湖)实业有限公司 一种塑件静电除尘装置
CN102601075A (zh) * 2012-03-12 2012-07-25 四川科伦药业股份有限公司 一种吊环清洗记数装置
CN102641643A (zh) * 2012-05-14 2012-08-22 昆山天卓贸易有限公司 静电除尘系统
CN102652945A (zh) * 2011-12-31 2012-09-05 东莞华贝电子科技有限公司 电路板自动除尘装置
CN102861741A (zh) * 2012-09-19 2013-01-09 成都果范创想科技有限公司 除尘力度可控型除尘装置
CN103068134A (zh) * 2012-12-20 2013-04-24 深圳市华测检测技术股份有限公司 检测前处理设备及方法
CN103189140A (zh) * 2010-11-13 2013-07-03 沃尔德纳实验室设备有限责任两合公司 带有气体净化的抽取装置
CN103381412A (zh) * 2012-05-03 2013-11-06 珠海格力电器股份有限公司 除尘装置
CN103495574A (zh) * 2013-10-18 2014-01-08 宁波泰立电子科技有限公司 腔体滤波器离子风机腔体清洁设备
CN103831274A (zh) * 2012-11-22 2014-06-04 株式会社伸兴 除尘装置
CN104259137A (zh) * 2014-08-29 2015-01-07 京东方光科技有限公司 一种除尘除静电装置
CN104294415A (zh) * 2014-10-08 2015-01-21 张家港市圣美隆羊绒制品有限公司 一种除尘弹花机
CN105161992A (zh) * 2015-10-12 2015-12-16 夏烬楚 一种净化除尘的10kv开关柜
CN105855242A (zh) * 2016-04-25 2016-08-17 昆山瑞鸿诚自动化设备科技有限公司 一种等离子吹风除尘设备
CN108746077A (zh) * 2018-08-21 2018-11-06 江西联益光学有限公司 镜头清洁设备
CN108745818A (zh) * 2018-06-28 2018-11-06 江阴名鸿车顶系统有限公司 静电除尘系统
CN108787625A (zh) * 2018-07-18 2018-11-13 郴州市海利微电子科技有限公司 离子风表面处理机
CN111251973A (zh) * 2020-03-18 2020-06-09 周家祥 一种快速除静电的石油运输车
CN112090912A (zh) * 2020-09-22 2020-12-18 东南大学 一种模块化气幕分隔下吸式焊接烟尘收集装置
CN113230761A (zh) * 2021-05-28 2021-08-10 威斯坦(厦门)实业有限公司 一种用于3d打印机的烟尘过滤系统及其控制方法
CN114682565A (zh) * 2020-12-25 2022-07-01 丰田自动车株式会社 除尘设备、车辆和除尘方法

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4919794B2 (ja) * 2006-12-20 2012-04-18 株式会社キーエンス 除電装置
US9168569B2 (en) 2007-10-22 2015-10-27 Stokely-Van Camp, Inc. Container rinsing system and method
US8147616B2 (en) * 2007-10-22 2012-04-03 Stokely-Van Camp, Inc. Container rinsing system and method
JP2009285627A (ja) * 2008-05-30 2009-12-10 Sunx Ltd 除電除塵装置
JP2010000486A (ja) * 2008-06-23 2010-01-07 Sunx Ltd 除電除塵装置
JP2010005600A (ja) * 2008-06-30 2010-01-14 Sunx Ltd 除塵装置
US8141190B2 (en) * 2008-07-28 2012-03-27 Gentex Optics, Inc. Walk-up workstation employing ionizing air nozzles and insulating panels
JP2010095267A (ja) * 2008-10-15 2010-04-30 Trinc:Kk 容器用除塵機
JP5336949B2 (ja) * 2009-06-30 2013-11-06 サントリーホールディングス株式会社 樹脂製容器の帯電除去方法、樹脂製容器の殺菌充填方法、樹脂製容器の充填キャッピング方法、樹脂製容器の帯電除去装置および樹脂製容器の殺菌充填システム
JP5541564B2 (ja) * 2009-09-03 2014-07-09 株式会社テクノ菱和 イオナイザーシステム
TW201136674A (en) * 2010-04-21 2011-11-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Dust elimination device
US8370989B2 (en) * 2010-07-31 2013-02-12 Cheng Uei Precision Industry Co., Ltd. Static eliminator with dust removal feature
US8508907B2 (en) 2010-11-01 2013-08-13 eFluxor LLC Method and device for collecting electrostatic charge from the atmosphere
PT2535034E (pt) 2011-06-17 2014-07-28 Kiro Robotics Sl Máquina e método para a preparação automática de medicação intravenosa
SI2624802T1 (sl) 2011-06-17 2016-10-28 Kiro Robotics S.L. Stroj za samodejno pripravo intravenoznega zdravila
CN102814301A (zh) * 2012-09-07 2012-12-12 高精科技(苏州)有限公司 静电除尘装置
CN102873061A (zh) * 2012-10-04 2013-01-16 天津天星电子有限公司 下排风的风淋室
CN103008290B (zh) * 2012-11-27 2016-01-20 安徽鑫龙电器股份有限公司 一种静电除尘装置
CN103861842A (zh) * 2012-12-17 2014-06-18 中国振华集团永光电子有限公司 Led模块灌封前的吹尘方法及装置
US9211568B2 (en) * 2013-03-12 2015-12-15 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited Clean function for semiconductor wafer scrubber
WO2014188880A1 (ja) * 2013-05-20 2014-11-27 オムロン株式会社 洗浄位置確認装置、流体到達位置確認装置、洗浄位置確認システムおよび流体到達位置確認方法
TWI483704B (zh) * 2013-05-28 2015-05-11 Uni Ring Tech Co Ltd Self - propelled cleaning equipment - Dust detection method and device
KR101531653B1 (ko) * 2013-07-16 2015-06-25 제이케이엔지니어링주식회사 터널식 용기 세정장치
KR101666150B1 (ko) * 2014-02-17 2016-10-24 한국생산기술연구원 주사용 앰플 캡 세척장치
CN104624558A (zh) * 2014-12-30 2015-05-20 昆山恩都照明有限公司 自动吹气除尘装置
CN105215040B (zh) * 2015-09-28 2018-02-02 芜湖宏景电子股份有限公司 汽车导航配件除尘装置
CN105327897A (zh) * 2015-11-30 2016-02-17 重庆市贵荣塑胶制品有限公司 电脑键盘的人工静电除尘方法
CN106238428B (zh) * 2016-09-19 2018-06-29 连云港康达智精密技术有限公司 镜片除尘机
CN106669311A (zh) * 2016-12-15 2017-05-17 中航复合材料有限责任公司 一种蜂窝芯材除尘装置
CN109877116A (zh) * 2019-03-14 2019-06-14 合肥清若科技有限公司 一种计算机专用的除尘装置
CN109985859B (zh) * 2019-04-24 2023-11-28 伟通工业设备(江苏)有限公司 Uv固化防雾涂装线用均匀离子型静电除尘装置
JP7037210B2 (ja) * 2020-07-01 2022-03-16 有限会社タクショー クリーナ

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4194232A (en) * 1978-03-31 1980-03-18 Cumming James M Ion treatment of photographic film
JPH02154423A (ja) * 1988-12-06 1990-06-13 Nec Corp 半導体装置の製造方法
GB2227086B (en) * 1989-01-17 1992-05-20 Delco Electronic Overseas Corp Destaticising and cleaning apparatus
US5008594A (en) * 1989-02-16 1991-04-16 Chapman Corporation Self-balancing circuit for convection air ionizers
JP3041541B2 (ja) * 1991-02-27 2000-05-15 セイコーインスツルメンツ株式会社 除塵機および除塵方法
JP3112987B2 (ja) * 1991-07-11 2000-11-27 ヒムエレクトロ株式会社 除塵装置
US5506744A (en) * 1994-04-28 1996-04-09 Fortrend Engineering Ionized airflow manifold for static reduction
EP1297384B1 (de) * 2000-06-27 2006-11-02 Brooks-PRI Automation (Switzerland) GmbH Vorrichtung und verfahren zur reinigung von in der produktion von halbleiterelementen benutzten objekten
US6543078B1 (en) * 2000-07-24 2003-04-08 Eastman Kodak Company Apparatus and method for cleaning object having generally irregular surface features
US6490746B1 (en) * 2000-07-24 2002-12-10 Eastman Kodak Company Apparatus and method for cleaning objects having generally irregular, undulating surface features
US6565669B1 (en) * 2000-10-31 2003-05-20 Intel Corporation Vibrating wafer particle cleaner
JP3466581B2 (ja) * 2001-05-22 2003-11-10 株式会社ディスカバリー ヘアブラシ清掃器
JP2002213786A (ja) * 2001-11-01 2002-07-31 Hitachi Ltd エアシャワ装置

Cited By (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009018679A1 (fr) * 2007-08-06 2009-02-12 Acxing Industrial Co., Ltd. Dispositif générateur de rideau d'air
CN101683649A (zh) * 2008-09-26 2010-03-31 无锡海达安全玻璃有限公司 一种改良的印刷玻璃的除尘装置
CN103189140A (zh) * 2010-11-13 2013-07-03 沃尔德纳实验室设备有限责任两合公司 带有气体净化的抽取装置
CN103189140B (zh) * 2010-11-13 2016-02-17 沃尔德纳实验室设备有限责任两合公司 带有气体净化的抽取装置
CN102284450A (zh) * 2011-06-15 2011-12-21 震宇(芜湖)实业有限公司 一种塑件静电除尘装置
CN102652945A (zh) * 2011-12-31 2012-09-05 东莞华贝电子科技有限公司 电路板自动除尘装置
CN102601075A (zh) * 2012-03-12 2012-07-25 四川科伦药业股份有限公司 一种吊环清洗记数装置
CN103381412A (zh) * 2012-05-03 2013-11-06 珠海格力电器股份有限公司 除尘装置
CN103381412B (zh) * 2012-05-03 2016-05-25 珠海格力电器股份有限公司 除尘装置
CN102641643B (zh) * 2012-05-14 2016-06-01 昆山天卓贸易有限公司 静电除尘系统
CN102641643A (zh) * 2012-05-14 2012-08-22 昆山天卓贸易有限公司 静电除尘系统
CN102861741A (zh) * 2012-09-19 2013-01-09 成都果范创想科技有限公司 除尘力度可控型除尘装置
CN103831274B (zh) * 2012-11-22 2017-04-26 株式会社伸兴 除尘装置
CN103831274A (zh) * 2012-11-22 2014-06-04 株式会社伸兴 除尘装置
CN103068134A (zh) * 2012-12-20 2013-04-24 深圳市华测检测技术股份有限公司 检测前处理设备及方法
CN103495574B (zh) * 2013-10-18 2015-06-03 宁波泰立电子科技有限公司 腔体滤波器离子风机腔体清洁设备
CN103495574A (zh) * 2013-10-18 2014-01-08 宁波泰立电子科技有限公司 腔体滤波器离子风机腔体清洁设备
CN104259137A (zh) * 2014-08-29 2015-01-07 京东方光科技有限公司 一种除尘除静电装置
CN104294415A (zh) * 2014-10-08 2015-01-21 张家港市圣美隆羊绒制品有限公司 一种除尘弹花机
CN105161992A (zh) * 2015-10-12 2015-12-16 夏烬楚 一种净化除尘的10kv开关柜
CN105855242A (zh) * 2016-04-25 2016-08-17 昆山瑞鸿诚自动化设备科技有限公司 一种等离子吹风除尘设备
CN108745818A (zh) * 2018-06-28 2018-11-06 江阴名鸿车顶系统有限公司 静电除尘系统
CN108787625A (zh) * 2018-07-18 2018-11-13 郴州市海利微电子科技有限公司 离子风表面处理机
CN108787625B (zh) * 2018-07-18 2023-09-29 郴州市海利微电子科技有限公司 离子风表面处理机
CN108746077A (zh) * 2018-08-21 2018-11-06 江西联益光学有限公司 镜头清洁设备
CN111251973A (zh) * 2020-03-18 2020-06-09 周家祥 一种快速除静电的石油运输车
CN112090912A (zh) * 2020-09-22 2020-12-18 东南大学 一种模块化气幕分隔下吸式焊接烟尘收集装置
CN114682565A (zh) * 2020-12-25 2022-07-01 丰田自动车株式会社 除尘设备、车辆和除尘方法
CN114682565B (zh) * 2020-12-25 2024-07-19 丰田自动车株式会社 除尘设备、车辆和除尘方法
CN113230761A (zh) * 2021-05-28 2021-08-10 威斯坦(厦门)实业有限公司 一种用于3d打印机的烟尘过滤系统及其控制方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2005123284A1 (ja) 2005-12-29
JP2006007012A (ja) 2006-01-12
US20090158537A1 (en) 2009-06-25
EP1759776A4 (en) 2008-05-21
EP1759776A1 (en) 2007-03-07
TW200600200A (en) 2006-01-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1972763A (zh) 除静电除尘装置
CN107081323B (zh) 自动除尘装置
JP2003136248A (ja) 熱切断加工機およびその集塵方法
RU2606984C2 (ru) Система и способ промывания контейнера
KR20150057379A (ko) 기판 세정 장치
SE2030211A1 (en) Waste Sorting Robot
KR20120133776A (ko) 기판의 이물질 제거장치
KR20070020519A (ko) 제전제진장치
KR101057489B1 (ko) 카트리지필터를 구비한 건식 에어샤워장치
JP4551606B2 (ja) 洗浄方法およびその装置ならびにこれらによる洗浄物
US5195279A (en) Stenciling apparatus with system for recycling stenciling material
JP3117372U (ja) 塵埃除去装置
RU2450786C2 (ru) Промышленный пылесос
JPH08197024A (ja) エア−洗浄装置
JPH10156302A (ja) 移送品の除塵装置
WO2022095299A1 (zh) 一种清洗机
WO2014109551A1 (ko) 돔형 집진흡입장치 및 이를 포함한 집진 배출 에너지 피드백 시스템
JP6720731B2 (ja) ショットブラスト装置
RU163977U1 (ru) Промышленный пылесос
JPH09314027A (ja) 塗装装置
CN214022505U (zh) 清洗设备
KR100628580B1 (ko) 생산시스템
CN211992522U (zh) 自动上料除尘喷砂一体机
US12000040B1 (en) Cleaning anti-reflective coating process chamber parts
JPH05138685A (ja) モールド装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Open date: 20070530