JP2007514177A - 基板の清掃装置及び清掃方法、フラットディスプレイパネル、電子部品の実装装置及び実装方法 - Google Patents

Abstract

電子部品が実装される基板の端子部分から余分な汚れとなっている塵埃を迅速かつ確実に除去することができるようにする。液晶セル１の縁部を擦り、この縁部に付着した塵埃を除去するブラシ１９と、このブラシの少なくとも液晶セル１の縁部と接触する部分に向けてイオン化された気体を噴射するイオナイザ２８と、このイオナイザ２８から前記ブラシ１９に向けて噴射された気体を吸引除去する清掃ケース２１に設けられた排気管３１とを具備する。

Description

この発明は、フラットディスプレイパネルのように端子が形成された基板の縁部を清掃する清掃装置及び清掃方法、端子が形成された基板の縁部に電子部品を清掃してから実装する電子部品の実装装置及び実装方法に関する。

近年、たとえば液晶セルのような回路が開発されている。液晶セルは、通常、平面形状が矩形状をなしていて、その縁部のたとえば一辺あるいはそれ以上の辺には多数の端子が比較的狭ピッチ、たとえばμｍ単位の間隔で形成されている。この液晶セルの端子が形成された縁部には、接着材料としてのテープ状の異方性導電部材を介して電子部品であるＴＣＰ（Ｔａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）が実装される。

液晶セルは２枚のガラス板をシール材を介して所定の間隔で接合させ、これらガラス板間に液晶を封入するとともに、各ガラス板の外面にそれぞれ偏光板を貼着して構成される。そして、前記構成の液晶セルには、端子が形成された縁部上面に前記異方性導電部材を圧着し、この異方性導電部材上に上記ＴＣＰを仮圧着した後、本圧着するようにしている。

しかしながら、前記液晶セルの縁部にＴＣＰを圧着する場合、液晶セルの端子が形成された縁部やＴＣＰの端子の部分に塵埃が付着していると、その塵埃によって隣り合う端子間や端子とＴＣＰとの間の絶縁不良を招くということがある。

そこで、液晶セルにＴＣＰを実装する際、特許文献１に示されるように、前記基板の端子が形成された縁部やＴＣＰの端子の部分から塵埃を除去するための清掃を行なうようにしている。

すなわち、液晶セルの場合には、ＣＣＤカメラを有する液晶セル用塵埃検査装置により余分な塵埃が付着しているか否かを検査し、余分な塵埃が見つかったときにはエアーブローを行い塵埃を除去するようにしている。

ＴＣＰの端子に付着した余分な塵埃は、４本のアームを有する間欠回転方式の搬送装置においては次のようにして除去される。まず、ＴＣＰが第１停止位置でアームに供給される。アームに保持されたＴＣＰは、９０度回転されて第２停止位置に至り、さらに９０土回転されて第３停止位置に至って、ＴＣＰの端子が回転ブラシによって清掃される。

ついで、ＴＣＰが３番目の停止位置からさらに９０度回転して４番目の停止位置へ移動する間に、ＣＣＤカメラでＴＣＰの端子部分に塵埃が付着しているか否かを検査し、付着していないときには４番目の停止位置で液晶セルの縁部に仮圧着される。もしも、ＴＣＰの端子に不適切な量の塵埃が付着していたならば、ＴＣＰを保持しているアームを第３停止位置に戻し、回転ブラシで再度塵埃を除去してから４番目の位置に回転させ、そこで検査して問題なければ液晶セルの縁部に仮圧着する。
特開平９−１５３５２６号公報

特許文献１に示された方法によると、液晶セルの清掃の場合には塵埃が付着した部分をエアーブローするだけである。そのため、液晶セルの端子部分に付着した塵埃の付着力が弱い場合には、その塵埃を除去することができるものの、付着力が比較的強い場合にはその塵埃を除去することができないということがあるから、そのような場合には絶縁不良を招くことがある。

一方、特許文献１に示された方法によると、ＣＣＤカメラでＴＣＰの端子部分に塵埃が付着しているか否か検査は、ＴＣＰが３番目の停止位置からさらに９０度回転して４番目の停止位置へ移動する間に行なうようにしている。

ＴＣＰが移動している最中にＣＣＤカメラによって撮像するから、移動中のＴＣＰを確実に撮像することができる、高機能のＣＣＤカメラを必要とする。このため、コスト高を招くということがあるばかりか、撮像不良を招くということもある。

また、ＴＣＰの清掃は回転ブラシによって行なうようにしている。しかしながら、ＴＣＰの端子部分の塵埃を除去するために、その部分を単に回転ブラシで擦るだけでは、その摩擦によって発生する静電気によって端子部分から塵埃を確実に除去することができないということがある。つまり、塵埃をブラシによって一時的に除去できても、除去された塵埃が静電気によって端子に再付着したり、ブラシに付着した後、端子に広がってしまうということがある。

しかも、回転ブラシによって清掃されたＴＣＰが３番目の停止位置から４番目の停止位置に移動するときに、塵埃が確実に除去されていないことが検出されると、搬送装置を逆回転してそのＴＣＰを保持したアームを３番目の停止位置に戻し、そこで回転ブラシにより再び清掃を行なってから４番目の停止位置に搬送するということが繰り返される。

そのため、ＴＣＰの端子部分に除去され難い状態で塵埃が付着している場合には、搬送装置を逆回転させて回転ブラシによる清掃を繰り返して行なうことになるから、ＴＣＰを実装するために要するサイクルタイムが長くなり、生産性の低下を招くということがあるばかりか、ＴＣＰが回転ブラシによって繰り返して擦られることで、損傷する虞もある。

この発明は、電子部品が実装される基板の端子部分から余分な汚れとなっている塵埃を迅速かつ確実に除去することができる基板の清掃装置及び清掃方法を提供する。また、そのような基板の清掃装置及び清掃方法を使用して製造されたフラットディスプレイパネルを提供する。

この発明は、基板に余分な塵埃の付着していない電子部品を確実かつ迅速に実装することができるようにした電子部品の実装装置及びこの実装装置を用いて作成されたフラットディスプレイパネルを提供する。

この発明は、基板に電子部品を実装する際、基板の端子が形成された部分から塵埃を確実に除去し、その部分に塵埃の付着していない電子部品を迅速に実装することができるようにした電子部品の実装方法を提供する。

この発明は、基板に実装される電子部品から塵埃を迅速かつ確実に除去することができるようにした電子部品の実装装置及び実装方法、その装置及び方法を用いて製造されたフラットディスプレイパネルを提供する。

請求項１の発明は、端子が形成された基板の縁部を清掃する清掃装置である。この清掃装置は、前記基板の縁部を擦り、この縁部に付着した余分な塵埃を除去するブラシと、このブラシの少なくとも前記基板の縁部と接触する部分に向けてイオン化された気体を噴射するイオン噴射装置と、このイオン噴射装置から前記ブラシに向けて噴射された気体を吸引除去する排出装置とを具備したところに特徴を有する。

請求項２の発明は、請求項１に記載のものにおいて、前記排出装置には、気体を排気する排気部と、前記ブラシによって除去された塵埃を前記排気部に向けて吹き飛ばす気体を噴射するノズル体とが設けられているところに特徴を有する。

請求項３の発明は、請求項２に記載のものにおいて、前記基板の進入を許容する開口部が設けられた清掃ケースを備えたものであって、前記排出装置には、前記清掃ケースの下面側に前記開口部と対向して設けられ前記ブラシから落下した塵埃を受ける受け部材が設けられているところに特徴を有する。

請求項４の発明は、端子が形成された基板の縁部を清掃する清掃装置において、前記基板の縁部を擦り、この縁部に付着して汚している塵埃を除去する静止ブラシを備えているところに特徴を有する。

請求項５の発明は、端子が形成された基板の縁部を清掃する清掃方法において、前記基板の縁部をブラシで擦り、この縁部に付着した塵埃を除去する工程と、前記基板の縁部のブラシによって擦られる部分に向けてイオン化された気体を噴射する工程と、前記ブラシに向けて噴射された気体を吸引除去する工程とを具備したところに特徴を有する。

請求項６の発明は、請求項１に記載された基板の清掃装置を用いて作製されたフラットディスプレイパネルであるところに特徴を有する。

請求項７の発明は、請求項４に記載された基板の清掃装置を用いて作製されたフラットディスプレイパネルであるところに特徴を有する。

請求項８の発明は、端子が形成された基板の縁部を清掃する清掃装置において、前記基板の縁部を擦り、この縁部に付着した塵埃を除去するブラシと、前記ブラシによって除去された塵埃を排出する排出装置とを備え、且つ前記ブラシは、導電性繊維により構成されているところに特徴を有する。

請求項９の発明は、請求項１ないし請求項４、及び請求項８のいずれかに記載のものにおいて、前記基板に対して接離する方向について前記ブラシの位置を調整可能なブラシ位置調整装置が備えられているところに特徴を有する。

請求項１０の発明は、請求項１ないし請求項４、請求項８、及び請求項９のいずれかに記載のものにおいて、前記基板をその縁部に沿って進入させることで、前記基板の縁部を前記ブラシにより清掃するとともに、前記ブラシに向けて気体を噴射することで、前記基板の縁部から除去された塵埃を吹き飛ばすようにしたものであって、前記気体の噴射方向は、前記基板の進入方向とは逆方向に設定されているところに特徴を有する。

請求項１１の発明は、請求項２、請求項３、及び請求項８ないし請求項１０のいずれかに記載のものにおいて、前記排出装置には、気体を排気する排気部と、前記ブラシによって除去された塵埃を前記排気部に向けて吹き飛ばす気体を噴射するノズル体とが設けられており、前記ノズル体には、前記基板の板面に沿って横長な形状の噴き出し口が備えられているところに特徴を有する。

請求項１２の発明は、請求項５に記載のものにおいて、前記基板を清掃し終えた後も前記ブラシに向けて気体を噴射するようにしたところに特徴を有する。

請求項１３の発明は、請求項８に記載された基板の清掃装置を用いて作製されたフラットディスプレイパネルであるところに特徴を有する。

請求項１４の発明は、端子が形成された基板の縁部に電子部品を実装する実装装置において、周方向に沿って複数の部品保持部が所定間隔で一体的に設けられこれら部品保持部が周方向に間欠的に駆動される部品搬送装置と、間欠駆動される前記部品搬送装置の各部品保持部に前記電子部品を順次供給する部品供給部と、前記部品保持部に供給保持された電子部品を、前記部品搬送装置の間欠駆動によって前記部品保持部が停止した位置で前記電子部品に塵埃が付着しているか否かを検査する検査装置とを具備したところに特徴を有する。

請求項１５の発明は、請求項１４に記載のものにおいて、前記検査装置の検査結果によって前記電子部品に余分な塵埃が付着しているか否かを判定し塵埃が付着していないときにはその電子部品を前記検査装置で検査した位置の後の前記部品保持部が停止する位置で前記電子部品を前記基板に実装し、余分な塵埃が付着しているときにはその電子部品を基板に実装せずに廃棄させる制御装置を備えているところに特徴を有する。

請求項１６の発明は、端子が形成された基板の縁部に電子部品を実装する実装方法において、基板の端子が形成された縁部をブラシで擦りながらイオン化された気体を吹き付けて清掃する工程と、清掃された基板の縁部に導電性の接着部材を貼り付ける工程と、前記基板の縁部に前記接着部材を介して前記電子部品を実装する工程と、前記基板の縁部に電子部品を実装する前に、この電子部品を検査して余分な塵埃が付着しているか否かを判別し、余分な塵埃が付着しているか否かに応じて前記電子部品を前記基板に実装するか否かを決定する工程とを具備したところに特徴を有する。

請求項１７の発明は、請求項１６に記載のものにおいて、電子部品に余分な塵埃が付着している場合には、その電子部品を廃棄するとともに、その廃棄工程は、電子部品を基板に実装する工程の後若しくは前のいずれかであるところに特徴を有する。

請求項１８の発明は、請求項１４に記載の実装装置を用いて作製されたフラットディスプレイパネルであるところに特徴を有する。

請求項１９の発明は、端子が形成された基板の縁部に電子部品を実装する実装装置において、周方向に沿って複数の部品保持部が所定間隔で一体的に設けられこれら部品保持部が周方向に間欠的に駆動される部品搬送装置と、間欠駆動される前記部品搬送装置の各部品保持部に前記電子部品を順次供給する部品供給部と、前記部品保持部に供給保持された前記電子部品を前記基板の縁部に実装する前の段階で、前記電子部品の前記端子との接続部位を擦ることで電子部品に付着した余分な塵埃を除去可能とされるブラシと、前記ブラシによって除去された塵埃を排出する排出装置とを具備し、且つ前記ブラシが導電性繊維により構成されているところに特徴を有する。

請求項２０の発明は、端子が形成された基板の縁部に電子部品を実装する実装装置において、周方向に沿って複数の部品保持部が所定間隔で一体的に設けられこれら部品保持部が周方向に間欠的に駆動される部品搬送装置と、間欠駆動される前記部品搬送装置の各部品保持部に前記電子部品を順次供給する部品供給部と、前記部品保持部に供給保持された前記電子部品を前記基板の縁部に実装する前の段階で、前記電子部品の前記端子との接続部位を擦ることで電子部品に付着した塵埃を除去可能とされるブラシと、このブラシの少なくとも前記電子部品の接続部位と接触する部分に向けてイオン化された気体を噴射するイオン噴射装置と、このイオン噴射装置から前記ブラシに向けて噴射された気体を排出する排出装置とを具備したところに特徴を有する。

請求項２１の発明は、請求項１９または請求項２０に記載のものにおいて、前記電子部品に対して接離する方向について前記ブラシの位置を調整可能なブラシ位置調整装置が備えられているところに特徴を有する。

請求項２２の発明は、請求項２１に記載のものにおいて、前記ブラシの先端位置を検出可能なブラシ位置検出装置が着脱可能に備えられるとともに、このブラシ位置検出装置は、前記ブラシの先端が当接したことを検出可能な圧力センサを備えているところに特徴を有する。

請求項２３の発明は、請求項１９に記載された電子部品の実装装置を用いて作製されたフラットディスプレイパネルであるところに特徴を有する。

請求項２４の発明は、請求項２０に記載された電子部品の実装装置を用いて作製されたフラットディスプレイパネルであるところに特徴を有する。

＜請求項１、請求項５及び請求項６の発明＞
基板の縁部（端子が形成された部位）をブラシによって擦るだけでなく、その部分にイオン化された気体を噴射するため、ブラシによって擦られることで発生するかもしれない静電気が除去されるから、基板の縁部に付着または固着して汚している塵埃をブラシによって確実に除去することが可能となる。また静電気を除去することで、基板に静電気破壊が生じるのが懸念される場合であっても、そのような静電気破壊を防止することができる。

＜請求項２の発明＞
イオン噴射装置とは別途にノズル体を設けるようにしたから、イオン噴射装置による噴射圧を高めることなく、基板から除去された塵埃を確実に排出することができ、もってイオン噴射装置によるイオン空気の生成能力を低下させることがない。

＜請求項３の発明＞
ブラシによって基板から除去された塵埃は、受け部材により受けられるとともにノズル体によって排気部に向けて吹き飛ばされることで確実に排出される。

＜請求項４及び請求項７の発明＞
基板の縁部（端子が形成された部位）を擦るブラシが静止ブラシであるから、基板に付着した塵埃を基板側の端子を傷付けることなく除去することが可能であり、しかも除去された塵埃が周囲に飛散して基板に再付着するのを防止できる。

＜請求項８及び請求項１３の発明＞
ブラシが導電性繊維により構成されているので、基板の縁部（端子が形成された部位）をブラシによって擦る際にブラシと基板との間で静電気が発生し難くなり、もって基板の縁部に付着した塵埃を確実に除去することができる。また静電気が発生し難いので、基板に静電気破壊が生じるのが懸念される場合であっても、そのような静電気破壊を防止することができる。

＜請求項９の発明＞
基板の清掃を連続して行うのに伴ってブラシが摩耗したとき、ブラシ位置調整装置によって基板に対して接離する方向についてブラシの位置を調整できるから、確実に基板の縁部を清掃することができる。

＜請求項１０の発明＞
噴射した気体によって吹き飛ばされた塵埃が基板に再付着することが防止される。

＜請求項１１の発明＞
ノズル体の噴き出し口が基板の板面に沿って横長な形状となっているから、基板の縁部に対して効率良く気体を噴射することができ、ブラシによって除去された塵埃を確実に吹き飛ばすことができる。

＜請求項１２の発明＞
清掃し終えたブラシに付着した塵埃を除去することができるので、引き続いて基板の清掃を行う際に塵埃の除去性能が低下することが防がれる。

＜請求項１４及び請求項１８の発明＞
電子部品に塵埃が付着しているか否かの検査を、電子部品の搬送を停止した位置で行なうため、その検査を比較的安価な装置で確実に行うことが可能。

＜請求項１５及び請求項１７の発明＞
電子部品に汚れとなる塵埃が付着しているか否かを検査し、付着している場合にはその電子部品を基板に実装せずに廃棄するため、塵埃の付着していない電子部品だけを基板に実装することができ、しかも塵埃が付着した電子部品を何度も清掃して実装する場合に比べて生産性を向上させることが可能となる。

＜請求項１６の発明＞
基板に電子部品を実装する際、基板の端子が形成された部分を帯電させずにブラシで清掃するため、その部分から塵埃を確実に除去することができ、しかも基板の端子が形成された部分に塵埃の付着していない電子部品だけを実装するため、絶縁不良の発生を招くことがないばかりか、その実装を能率よく迅速に行うことが可能となる。

＜請求項１９及び請求項２３の発明＞
ブラシが導電性繊維により構成されているので、電子部品の端子との接続部位をブラシによって擦る際にブラシと電子部品との間で静電気が発生し難くなり、もって電子部品に付着した塵埃を確実に除去することができる。また静電気が発生し難いので、電子部品に静電気破壊が生じるのが懸念される場合であっても、そのような静電気破壊を防止することができる。

＜請求項２０及び請求項２４の発明＞
電子部品の端子との接続部位をブラシによって擦るとともに、その部分にイオン化された気体を噴射するようにしたので、電子部品をブラシによって擦る際にブラシと電子部品との間で静電気が発生し難くなり、もって電子部品に付着した塵埃を確実に除去することができる。また静電気が発生し難いので、電子部品に静電気破壊が生じるのが懸念される場合であっても、そのような静電気破壊を防止することができる。

＜請求項２１の発明＞
電子部品の清掃を連続して行うのに伴ってブラシが摩耗したとき、ブラシ位置調整装置によって電子部品に対して接離する方向についてブラシの位置を調整できるから、１本のブラシを比較的長い期間使用しながら確実に電子部品を清掃することができる。

＜請求項２２の発明＞
電子部品を清掃するためのブラシの位置調整には高い精度が要求されるが、ブラシ位置検出装置によってブラシの先端位置を検出するにあたり圧力センサを用いるようにしたから、ブラシの先端位置を高精度で容易に調整することができる。

＜実施形態１＞
図１はこの発明の実装装置によって組立てられた基板としての液晶セル１を示す。この液晶セル１は一対のガラス基板２を図示しないシール材を介して所定の間隔で接合し、これらの間に液晶を充填するとともに、各ガラス基板２の外面には周縁部を除く全面にわたってそれぞれ偏光板３（一方のみ図示）が貼着されている。下側のガラス基板２の縁部上面の２辺には図示しないが多数の端子がμｍ単位の間隔で形成され、その部分にはテープ状の異方性導電部材４が貼り付けられる。この異方性導電部材４には、電子部品としての図示しない多数の端子がμｍ単位の間隔で形成されたＴＣＰ５がその端子部分を異方性導電部材４に接着して実装される。

図２は前記液晶セル１を組立てるための実装装置の概略的構成を示すブロック図である。この実装装置はＴＣＰ５が実装されていない液晶セル１を供給するセル供給部１１を有する。このセル供給部１１からは液晶セル１が端子清掃部１２に供給される。この端子清掃部１２では後述するように液晶セル１の端子が形成された、隣り合う二辺の縁部上面に付着または固着して汚れとなっている塵埃が除去される。

セル清掃部１２で二辺の縁部上面から塵埃が除去された液晶セル１は、異方性導電部材４の貼り付け部１３に供給され、ここで液晶セル１の二辺の縁部上面にそれぞれテープ状の異方性導電部材４が長手方向に沿って貼り付けられる。液晶セル１の異方性導電部材４が貼り付けられた二辺には、後述する仮圧着部１４で上記ＴＣＰ５が仮圧着され、ついで本圧着部１５で上記異方性導電部材４を加熱硬化させる本圧着が行なわれる。

図３に示すように、前記端子清掃部１２は前記液晶セル１を載置する搬送テーブル１８を備えている。この搬送テーブル１８は、水平面上において直交するＸ方向とＹ方向及び前記水平面に対して直交する軸線を中心にして回転するθ方向に駆動される。この搬送テーブル１８の上面に供給保持された液晶セル１の前記ＴＣＰ５が実装される二辺の縁部上面はブラシ１９によって清掃される。なお、液晶セル１のＴＣＰ５が実装される二辺は前記搬送テーブル１８の側縁から外方へ突出している。

前記清掃ブラシ１９は、下面が開口した箱形状の清掃ケース２１内の長手方向一端部に幅方向に沿って設けられた取付け部材２０に固定され、下端部を清掃ケース２１の下面開口から下方へ突出させて設けられている。つまり、ブラシ１９は回転駆動されることのない静止ブラシ（固定ブラシ）である。なお、ブラシ１９の幅寸法は、図４に示すように液晶セル１の縁部上面の異方性導電部材４が貼り付けられる部分全体或いはそれ以上の幅寸法の部分を擦ることができるように設定されている。

図４と図５に示すように、前記清掃ケース２１の一側面にはめねじ体２２が設けられている。このめねじ体２２にはモータ２３によって正逆方向に回転駆動されるボールねじ軸２４が螺合されている。なお、めねじ体２２は、ボールねじ軸２４を回転させたときに、このボールねじ軸２４とともに回転しないよう、図示せぬガイドなどによって回転不能かつボールねじ軸２４の軸方向に移動可能に保持されている。それによって、ボールねじ軸２４がモータ２３によって回転駆動されると、前記清掃ケース２１はボールねじ軸２４の軸線方向に沿って駆動されるようになっている。

図３と図４に示すように前記清掃ケース２１の下面には、板状の受け部材２５が清掃ケース２１の下面との間に所定の隙間２６を形成して一体的に設けられている。つまり、受け部材２５は幅方向のＬ字状に折曲された一端が清掃ケース２１の外側面に固定され、残りの三辺は清掃ケース２１の下面に対して開放している。

前記清掃ケース２１は、前記受け部材２５によって形成された下面の隙間２６に前記液晶セル１の前記搬送テーブル１８の側縁から突出させた縁部を入り込ませた状態で、その縁部に沿って上記ボールねじ軸２４により駆動されることになる。それによって、液晶セル１の縁部（端子が形成された部位）は清掃ケース２１内に設けられた前記ブラシ１９によって擦られて清掃される。ブラシ１９は静止ブラシであり、回転ブラシでないから、このブラシ１９によって擦られる液晶セル１、とくに液晶セル１に設けられた端子に与えるダメージを少なくすることができる。しかも、ブラシ１９が静止ブラシであることで、このブラシ１９によって除去された塵埃が周囲に飛散するのを抑制することができる。

前記清掃ケース２１の上部外面には、イオン噴射装置としてのイオナイザ２８が保持部材２９によって所定の角度で傾斜して設けられている。このイオナイザ２８の先端部は噴射孔２８ａとなっていて、この噴射孔２８ａは前記清掃ケース２１の上壁に形成された開孔２１ａに対向している。前記噴射孔２８ａは清掃ケース２１内に固定された前記ブラシ１９の先端部に向いている。またイオナイザ２８による空気の噴射方向は、図３の通り端子清掃部１２に対するガラス基板２の相対的な進入方向とは逆方向に設定されている。

前記イオナイザ２８には図示しない供給チューブによって圧縮空気が供給される。イオナイザ２８に供給された圧縮空気は、このイオナイザ２８によってイオン化されて先端の噴射孔２８ａから前記ブラシ１９の先端部に向かって噴射される。それによって、液晶セル１の縁部がブラシ１９によって擦られても、イオン化された圧縮空気によって静電気が発生するのが防止される。

前記清掃ケース２１内の他端部には前記ブラシ１９の方向に向かって圧縮空気を噴射するノズル体３０が設けられている。さらに、清掃ケース２１の一端部には前記清掃ケース２１とともに排出装置を構成する排気管３１が接続されている。この排気管３１には図示しない排気ポンプが接続されている。それによって、清掃ケース２１内の雰囲気は上記排気管３１を通じて排出されるようになっている。またノズル体３０による空気の噴射方向は、図３の通りガラス基板２の進入方向とは逆方向に設定されている。

前記清掃ケース２１の下面の隙間２６に液晶セル１の縁部が入り込んだ状態で、この清掃ケース２１が図３に矢印Ｘで示す方向に駆動されると、液晶セル１の縁部上面がブラシ１９に擦られて清掃される。そのとき、液晶セル１の縁部上面から擦り取られた塵埃の一部は、清掃ケース２１内の雰囲気とともに排気管３１から排出され、残りの一部は受け部材２５の上面に落下する。受け部材２５の上面に落下した塵埃は、ノズル体３０から噴射される圧縮空気によって排気管３１に向かって吹き飛ばされるから、この排気管３１に吸引されて排出される。

このように、イオナイザ２８とは別途により高圧な気体を噴射するノズル体３０を設けるようにしたから、イオナイザ２８による空気の噴射圧を高めることなく、ガラス基板２から除去された塵埃を確実に排出することができ、もってイオナイザ２８によるイオン空気の生成能力を低下させることが防がれる。またノズル体３０やイオナイザ２８による気体の噴射方向は、ガラス基板２の進入方向とは逆方向に設定されているので、吹き飛ばされた塵埃がガラス基板２に再付着するような事態が防がれるようになっている。

液晶セル１の隣り合う二辺をブラシ１９によって清掃するには、まず、清掃ケース２１の下面側の隙間２６に液晶セル１の長手方向の一辺が入り込むよう、液晶セル１を搬送テーブル１８によって位置決めする。ついで、図５（ａ）に示すように、清掃ケース２１を液晶セル１の一辺１ａに沿うＸ方向に駆動してその一辺１ａを上述したごとくブラシ１９によって清掃する。

一辺１ａの清掃が終了したならば、図５（ｂ）に示すように液晶セル１が載置された搬送テーブル１８によって矢印で示すθ方向（この実施形態では時計回り方向）に９０度回転する。それによって、液晶セル１の長手方向の一辺１ａに隣接する短手方向の一辺１ｂを清掃ケース２１の駆動方向と平行に位置させる。

ついで、図５（ｃ）に示すように液晶セル１を搬送テーブル１８によって同図に矢印で示すＹ方向に駆動し、液晶セル１の短辺１ｂが清掃ケース２１の下面の隙間２６に入り込むよう位置決めする。その状態で清掃ケース２１をボールねじ軸２４によって駆動すれば、液晶セル１の短辺１ｂを長辺１ａと同様にブラシ１９によって清掃することができる。

端子清掃部１２で液晶セル１のＴＣＰ５が仮圧着される長辺と短辺との二辺の清掃が終了すると、その液晶セル１は前記貼り付け部１３で前記二辺に異方性導電部材４が貼り付けられる。

ついで、液晶セル１の異方性導電部材４が貼り付けられた二辺には、前記仮圧着部１４でＴＣＰ５が仮圧着される。この仮圧着部１４は図６と図７に示すようにモータ３３によって間欠的に９０度づつ回転駆動される回転体３４を備えている。この回転体３４の外周面には周方向に９０度間隔で４本のアーム３５が設けられている。各アーム３５の先端にはＴＣＰ５を吸着保持する保持部３６が設けられている。

４本のアーム３５の先端に設けられた各保持部３６は図６と図７にＡ〜Ｄで示す４つのポジションでそれぞれ所定時間停止して間欠的に回転駆動される。Ａポジションでは打ち抜き装置３７でキヤリアテープ（図示せず）から打ち抜かれて部品供給装置３８により供給されたＴＣＰ５が保持部３６に吸引保持される。

Ｂポジションでは、図７に示すように保持部３６に吸引保持されたＴＣＰ５が撮像装置である、たとえばＣＤカメラ３９によって下方から撮像される。つまり、ＴＣＰ５の前記液晶セル１に接続される端子部分が撮像される。ＣＣＤカメラ３９の撮像信号は画像処理部４１に出力される。画像処理部４１はＣＣＤカメラ３９からの撮像信号を輝度に応じて二値化処理し、ＴＣＰ５の端子部分に所定以上の大きさの塵埃が付着しているか否かを判定する。

画像処理部４１での判定結果は制御装置４２に出力される。ＴＣＰ５の端子部分に所定以上の大きさの塵埃が付着していない場合、その判定結果に応じて制御装置４２は、ＣポジションでそのＴＣＰ５を液晶セル１の前記端子清掃部１２で清掃されて異方性導電部材４が貼られた縁部に仮圧着する指令を出力する。それによって、Ｃポジションでは、ＴＣＰ５を吸着保持した保持部３６が下降するとともにＴＣＰ５の吸引状態を解除するから、ＴＣＰ５が液晶セル１の縁部上面に貼られた異方性導電部材４に仮圧着される。

ＴＣＰ５の端子部分に所定の大きさ以上の塵埃が付着している場合には、画像処理部４１からの判定結果によって制御装置４２はＣポジションの上方に到達して停止した保持部３６を下降させずに待機させる。ついで、回転体３４が９０度回転されることで、塵埃が付着したＴＣＰ５がＤポジションに到達すると、制御装置４２はＤポジションに位置する保持部３６によるＴＣＰ５の吸引保持状態を解除する。それによって、塵埃が付着したＴＣＰ５はＤポジションで廃棄されることになる。

ＴＣＰ５に塵埃が付着しているか否かはＢポジションで検出されるから、その汚れたＴＣＰ５の廃棄は、保持部３６がＢポジションからＤポジションに移行する間に行なうようにしてもよい。

このように、仮圧着部１４では、所定以上の大きさの塵埃が付着しているＴＣＰ５をＤポジションで廃棄し、塵埃が付着していない次のＴＣＰ５だけをＣポジションで液晶セル１に仮圧着する。そのため、ＴＣＰ５に付着した塵埃の除去と検査を繰り返して行なう従来に比べ、仮圧着に要するサイクルタイムを短縮することが可能となるから、生産性の向上を図ることができる。

ＴＣＰ５に塵埃が付着しているか否かの撮像検査はＢポジションで行なうようにしている。つまり、４つの保持部３６を間欠的に駆動してＴＣＰ５を液晶セル１に仮圧着する工程において、保持部３６が停止したときにＴＣＰ５をＣＣＤカメラ３９によって撮像するようにしている。そのため、ＴＣＰ５を停止状態で撮像できるため、その撮像をピントボケが生じるようなことなく確実に行うことができる。しかも、ＴＣＰ５が停止する位置で撮像し（その間、他のアーム３５はＣポジションでＴＣＰ５の仮圧着を行っている）ようにしており、撮像のために回転体３４の回転を停止させる必要がないから、撮像するための専用の時間を必要とせず、そのことによってもサイクルタイムを短縮できる。

仮圧着部１４で液晶セル１の異方性導電部材４が貼られた箇所に仮圧着されたＴＣＰ５は、つぎの本圧着部１５で、上記異方性導電部材４が硬化する温度で本圧着される。それによって、液晶セル１へのＴＣＰ５の実装が終了する。
＜実施形態２＞
本発明の実施形態２を図８ないし図１０によって説明する。この実施形態２では、ガラス基板２の清掃装置である端子清掃部１２Ａの構造と、端子の清掃方法とについて変更したものを示す。なおこの実施形態２では、上記した実施形態１と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。

端子清掃部１２Ａにおける清掃ケース２１Ａの天板には、図８に示すように、上方からブラシ１９Ａを着脱可能なブラシ着脱用開口部４０が設けられている。清掃ケース２１Ａの天板の外面には、このブラシ着脱用開口部４０に隣接して断面略Ｌ字型をなすブラシ取付材４１が固着されている。一方、ブラシ１９Ａは、ブラシ本体１９ａと、ブラシ本体１９ａによって整列した束状態で保持される多数本のブラシ毛１９ｂとを備える。

ブラシ本体１９ａは、図８及び図１０に示すように、液晶セル１のガラス基板２の板面に沿い且つ端子清掃部１２Ａに対するガラス基板２の相対的な進入方向と直交する方向に沿って細長い横長形状とされている。ブラシ毛１９ｂは、ブラシ本体１９ａの下面から下方へ突出するとともにその突出先端（毛先）が全体としてほぼ面状をなすように揃えられている。そして、このブラシ毛１９ｂは、アクリル繊維やナイロン繊維などの合成樹脂製繊維に硫化銅などの導電材料を化学結合させた導電性繊維を素材としている。従って、ブラシ毛１９ｂが他の物体に対して触れる際に静電気が生じ難くなっている。このブラシ１９のうちブラシ本体１９ａにおけるブラシ毛１９ｂ側とは反対側の端部は、上記ブラシ保持材４１に対して着脱可能とされる平板状のブラシブラケット４２に固着されている。

ブラシブラケット４２とブラシ保持材４１の取付構造について説明する。ブラシブラケット４２及びブラシ保持材４１には、図８及び図９に示すように、それぞれボルト４３を挿通可能な挿通孔４４，４５が一対ずつ設けられている。これら両挿通孔４４，４５を互いに整合させた状態でそこにボルト４３を通してその先端側にナット４６を締結することで、ブラシ１９Ａを清掃ケース２１Ａに対して取付状態に固定できるようになっている。

ブラシブラケット４２の挿通孔４４は、ボルト４３の外径とほぼ同じ径の円形状なのに対し、ブラシ保持材４１の挿通孔４５は、上下方向に沿って細長い長孔（すなわち、スリット或いは長円）形状をなしている。従って、ボルト４３（及び対応するブラシブラケット４２）を緩めた状態では、ブラシ保持材４１の挿通孔４５の孔縁に沿ってボルト４３を上下に移動させることが可能とされ、これによりブラシ１９Ａの取付位置を上下方向（ガラス基板２の板面に対して直交する方向、ブラシ１９Ａがガラス基板２に対して接離する方向）について調整できるようになっている。これらブラシブラケット４２、ブラシ保持材４１及びボルト４３などによってブラシ１９Ａの位置調整装置が構成されている、と言える。

続いて、ノズル体３０Ａについて説明する。ノズル体３０Ａは、図８及び図１０に示すように、中空の円柱型をなす本体３０ａと、本体３０ａの端部付近の周面に設けられた開口部に取り付けられるノズルアタッチメント３０ｂとから構成される。ノズルアタッチメント３０ｂのうち、開口部に接続された端部とは反対側の端部には、圧縮空気の噴き出し口３０ｃが設けられている。この噴き出し口３０ｃは、ブラシ１９Ａの長辺方向（図１０に示すように、ガラス基板２の板面に沿い且つ端子清掃部１２Ａに対するガラス基板２の相対的な進入方向と直交する方向）に沿って細長い横長形状に形成されている。なお本体３０ａにおけるノズルアタッチメント３０ｂ側とは逆側の端部は、圧縮空気を供給するための圧縮空気供給装置（図示せず）に接続されている。

次に、上記した構成の端子清掃部１２Ａによりガラス基板２における長手方向または短手方向の縁部を清掃する作業を説明する。液晶セル１を搬送テーブル１８に載置した状態で清掃ケース２１Ａが図８に示す矢印Ｘ方向に沿って駆動されると、清掃ケース２１Ａの下面の隙間２６Ａに液晶セル１のガラス基板２の縁部は相対的に上記矢印Ｘ方向とは逆方向に向かって進入することになる。すると、ブラシ１９Ａのブラシ毛１９ｂがガラス基板２の縁部に擦り付けられることで、ガラス基板２の縁部、つまり端子形成部位に付着または固着していた塵埃が擦り取られる。ここで「固着」とは、ガラス基板２に対して「付着」よりも強固な力でくっついている場合を言い、例えば気体の噴射のみでは除去できないような場合を言う。

このとき、ブラシ１９Ａとガラス基板２の縁部との間で摩擦が生じるため、静電気の発生が懸念されるが、既述した通りブラシ毛１９ｂが導電性繊維により構成されているので、静電気の発生が抑制される。それに加えて、ブラシ１９Ａとガラス基板２の縁部との摩擦部分には、イオナイザ２８Ａによりイオン化した圧縮空気が噴射されるので、摩擦に起因する静電気の発生が一層抑制されている。このように静電気の発生を抑制することにより、一旦ガラス基板２から擦り取られた塵埃がガラス基板２やブラシ１９Ａに対して再付着し難くなり、もって塵埃の除去を確実に行うことができる。また静電気が発生し難いので、液晶セル１の静電気破壊を防止することができる。

この清掃時には、ノズル体３０Ａにおける噴き出し口３０ｃからイオナイザ２８よりもさらに高圧な圧縮空気がブラシ１９Ａ及び排気管３１Ａに向けて噴射されるので、ガラス基板２から除去された塵埃を吹き飛ばして確実に排出することができる。しかも、この噴き出し口３０ｃは、図１０に示すように、ガラス基板２の板面に沿って横長な形状となっているので、ガラス基板２の縁部に対して効率良く気体を噴射することができ、除去された塵埃を確実に吹き飛ばすことができる。

ガラス基板２の縁部を端子清掃部１２Ａが通過し、ガラス基板２の縁部に対する清掃が終了した後にも、ノズル体３０Ａによる圧縮空気の噴射を所定時間継続して行うようにする。これにより、仮にブラシ１９Ａに対して塵埃が付着していた場合でも、その塵埃を吹き飛ばすことができるので、引き続いてガラス基板２における他の縁部を清掃する際や次の（別の）ガラス基板２を清掃する際に、ブラシ１９Ａに付着していた塵埃によって清掃能力が低下するのが防がれるようになっている。

ところで、上記のようにして清掃作業を繰り返し行うのに伴い、ブラシ毛１９ｂに摩耗が生じるのは避けられず、仮に摩耗によりブラシ毛１９ｂの先端位置がガラス基板２の進入空間である隙間２６Ａよりも高い位置に至ると、ブラシ毛１９ｂによるガラス基板２の清掃が不可能になってしまう。これに対処すべく、本実施形態ではブラシ１９Ａの高さ位置を調整するようにしており、以下にブラシ１９Ａの調整に用いる治具４７及び調整方法を説明する。

この治具４７は、図９に示すように、土台４７ａと、土台４７ａから立設された軸部４７ｂと、軸部４７ｂに対して上下動可能に取り付けられた指標部４７ｃとから構成される。軸部４７ｂには、指標部４７ｃの高さ位置を表す目盛りが設けられている。ブラシ１９Ａの位置を調整するには、まず治具４７における指標部４７ｃを所定の高さ位置にセットした状態で、指標部４７ｃを清掃ケース１２Ａの下面側の隙間２６Ａに挿入する。ここで、指標部４７ｃの高さ位置は、指標部４７ｃの上面にブラシ毛１９ｂの先端が当たったとき、ブラシ１９Ａがガラス基板２に対して確実に接触することが保証される位置に設定されている。

このとき、ブラシ毛１９ｂの先端が指標部４７ｃの上面よりも高い位置にあれば（ブラシ１９Ａと指標部４７ｃとの間にギャップが生ずるので）、ブラシ１９Ａを固定するボルト４３を緩めるとともに、ブラシ保持材４１の挿通孔４５の孔縁に沿ってブラシ１９Ａを下方（ガラス基板２に接近する方向）へ移動させる。そして、ブラシ毛１９ｂの先端が指標部４７ｃの上面に当接する位置に達したと視認できたら、その状態でボルト４３を締結してブラシ１９Ａを固定する。これにより、ガラス基板２の清掃を確実に行うことができる。また例えばブラシ１９Ａの高さ調整装置を備えないものではブラシ１９Ａが摩耗したら交換する以外の選択肢がないのと比べると、ブラシ１９Ａの長期間の使用が可能となるので、運転費用の低コスト化が可能にできる。
＜実施形態３＞
本発明の実施形態３を図１１ないし図１６によって説明する。この実施形態３では、ＴＣＰ５の実装装置である仮圧着部１４Ａに関して、実施形態１に示した検査装置（ＣＣＤカメラ３９、画像処理部４１及び制御装置４２など）に代えてＴＣＰ５の清掃装置５０などを設けるようにしたものを示す。なおこの実施形態３では、上記した実施形態１と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。

仮圧着部１４Ａには、図１１に示すように、ＴＣＰ５を清掃するための清掃装置５０と、イオナイザ５１と、ＴＣＰ５を保持した部品保持部３６Ａを昇降させるための昇降装置５２とが設けられている。このうち清掃装置５０は、大まかには、図１２及び図１６に示すように、ＴＣＰ５における端子形成部位（液晶セル１側の端子との接続部位）を清掃するための回転ブラシ５３と、回転ブラシ５３が取り付けられる清掃ケース５４と、清掃ケース５４に接続される排出装置５５と、清掃ケース５４を支持する支持材５６と、支持材５６が取り付けられるとともに床面に設置される基部５７とから構成される。

回転ブラシ５３は、図１２に示すように、清掃ケース５４に対して回転可能に取り付けられた回転軸５３ａと、回転軸５３ａの周面に対して植毛された多数本のブラシ毛５３ｂとを備える。回転軸５３ａは、図示しないモータに接続されるとともに、制御装置によってその回転が制御されるようになっている。ブラシ毛５３ｂは、回転軸５３ａのほぼ全周にわたって植毛されるとともに、その先端（毛先、すなわち回転軸５３ａの反対側端部）が側方から見て実質的に円形をなすようにカットされている（図１４参照）。そして、このブラシ毛５３ｂは、アクリル繊維やナイロン繊維などの合成樹脂製繊維に硫化銅などの導電材料を化学結合させた導電性繊維を素材としている。従って、ブラシ毛５３ｂが他の物体に対して触れる際に静電気が生じ難くなっている。

清掃ケース５４は、回転ブラシ５３を下側から取り囲むよう、上方へ開口した略箱型に形成されている。清掃ケース５４の下側には、ＴＣＰ５から除去された塵埃を排出するための排気管５５ａが設けられており、この排気管５５ａの端部には排気ポンプ５５ｂが接続されている。これら排気管５５ａ及び排気ポンプ５５ｂが上記した排気装置５５を構成している。

支持材５６は、図１６に示すように、基部５７に対してスライド材５８を介して取り付けられている。このスライド材５８は、基部５７に形成されたレール部５９に対して嵌め付けられることで、支持材５６と共に基部５７に対して上下方向に沿ってスライド可能とされる。基部５７には、支持材５６の下面を支持可能な位置調整ボルト６０が上向きの姿勢で螺着されており、この位置調整ボルト６０を螺進または螺退させることで、支持材５６を上下動させることが可能とされる。この支持材５６の上下動に伴い、回転ブラシ５３も同様に上下方向、つまりＴＣＰ５に対して接離する方向に沿って変位可能とされる。すなわち、これら支持材５６、基部５７及び位置調整ボルト６０などにより、回転ブラシ５３の位置調整装置が構成されていると言える。また基部５７には、支持材５６に設けた目印に対応した目盛りが設けられ、支持材５６の高さ位置を把握できるようになっている。

イオナイザ５１は、図１１及び図１４に示すように、略箱型の本体部５１ａと、本体部５１ａから側方へ突出するノズル部５１ｂとから構成されており、本体部５１ａ内にて生成されたイオン空気が図示しない噴射装置によって圧縮された状態でノズル部５１ｂの噴き出し口から噴射されるようになっている。このノズル部５１ｂは、回転ブラシ５３の上部、つまりブラシ毛５３ｂのうちＴＣＰ５に接触する部位に向けてセットされている。

続いて昇降装置５２について説明する。アーム３５Ａの先端部には、図１１及び図１２に示すように、ガイド凹部６１が切欠形成されており、このガイド凹部６１に部品保持部３６Ａの上端に設けられたガイド凸部６２が嵌め付けられることで、部品保持部３６Ａがアーム３５Ａに対して上下方向（回転ブラシ５３に対して接離する方向）に沿ってスライド可能とされる。部品保持部３６ＡのうちＴＣＰ５を吸着する吸着部３６ａの両側部とアーム３５Ａの先端両側部とは、一対のばね部材６３によって接続されている。このばね部材６３により部品保持部３６Ａは、保持したＴＣＰ５が回転ブラシ５３とは非接触となる高さ位置に保たれており、この位置が退避位置（図１２）とされる。部品保持部３６Ａがこの退避位置よりも下方へ変位されると、ばね部材６３は、弾性的に伸長されることで、部品保持部３６Ａを退避位置側へ戻すような弾性復元力を発揮する。

この部品保持部３６Ａは、図１２に示すＢポジションにおいて、上方に配されたシリンダ６４によって上下動させられるようになっている。詳しくは、シリンダ６４のピストン６４ａは、Ｂポジションに配された部品保持部３６Ａのガイド凸部６２と上下に対向するような位置に配されており、図示しない制御装置によって駆動されることで上下動可能とされる。そして、部品保持部３６Ａのガイド凸部６２が上方からピストン６４ａにより所定深さ押し込まれることで、部品保持部３６Ａは、退避位置から下方へ変位させられ、ＴＣＰ５の端子部分が回転ブラシ５３に対して接触する清掃位置（図１３及び図１４）に達するようになっている。一方、ピストン６４ａを上昇させ、ガイド凸部６２に対する押圧状態が解除されると、ばね部材６３の弾性復元力によって部品保持部３６Ａが自動的に退避位置へ戻されるようになっている。

次に、上記した構成の仮圧着部１４ＡによりＴＣＰ５をガラス基板２に仮圧着する作業を説明する。まず図１１に示すＡポジションにおいて、部品供給装置３８（図６参照）により供給されたＴＣＰ５が部品保持部３６Ａにより吸着保持される。部品保持部３６ＡがＢポジションに達すると、図１２に示す状態から上方のシリンダ６４のピストン６４ａが下降されるとともに、ガイド凸部６２が下方へ押し込まれる。これに伴い、ばね部材６３が弾性復元力を蓄積しつつ弾性的に伸長されるとともに、図１３及び図１４に示すように、部品保持部３６ＡがＴＣＰ５と共に退避位置から清掃位置に達する。すると、回転状態とされた回転ブラシ５３のブラシ毛５３ｂがＴＣＰ５の端子形成部位に擦り付けられることで、ＴＣＰ５の端子形成部位に付着または固着していた塵埃が擦り取られる。

このとき、回転ブラシ５３とＴＣＰ５との間で摩擦が生じるため、静電気の発生が懸念されるが、既述した通りブラシ毛５３ｂが導電性繊維により構成されているので、静電気の発生が抑制される。それに加えて、回転ブラシ５３とＴＣＰ５との摩擦部分には、イオナイザ５１によりイオン化した圧縮空気が噴射されるので、摩擦に起因する静電気の発生が一層抑制されている。このように静電気の発生を抑制することにより、一旦ＴＣＰ５から擦り取られた塵埃がＴＣＰ５や回転ブラシ５３に対して再付着し難くなり、もって塵埃の除去を確実に行うことができる。また静電気が発生し難いので、ＴＣＰ５の静電気破壊を防止することができる。

清掃を終えたところで、シリンダ６４のピストン６４ａが上昇される。すると、ばね部材６３の弾性復元力によって部品保持部３６ＡがＴＣＰ５と共に回転ブラシ５３から離間しつつ退避位置まで上昇する。その後、部品保持部３６ＡがＣポジションに至ると、ＴＣＰ５の液晶セル１に対する仮圧着が行われる。Ｃポジションでは、図示はしないが部品保持部３６Ａの上方にＢポジションと同様のシリンダが設けられており、このシリンダにより部品保持部３６Ａを退避位置から下方へ押し込むとともに、吸着状態を解除することで、ＴＣＰ５が液晶セル１に貼られた異方性導電部材４に仮圧着される。その後、部品保持部３６Ａは、Ｄポジションを経て再びＡポジションにてＴＣＰ５の供給を受ける。

このように清掃により塵埃を確実に除去した状態でＴＣＰ５を液晶セル１に仮圧着できるので、実施形態１のように検査装置によりＴＣＰ５を検査し、塵埃が付着したＴＣＰ５を廃棄するものと比較すると、サイクルタイムの短縮化を図ることができるとともに、ＴＣＰを廃棄することがないので低コスト化をも図ることができる。

ところで、上記のようにしてＴＣＰ５の清掃作業を繰り返し行うのに伴い、回転ブラシ５３のブラシ毛５３ｂに摩耗が生じるのは避けられない、という事情がある。これに対処すべく、本実施形態では回転ブラシ５３の高さ位置を調整するようにしており、以下に調整に用いる治具６５及び調整方法を説明する。

この治具６５は、図１５に示すように、土台６５ａと、土台６５ａから立設された軸部６５ｂと、共に軸部６５ｂに対して上下動可能に取り付けられた回転軸用指標部６５ｃ及び毛先用指標部６５ｄとから構成される。軸部６５ｂには、両指標部６５ｃ，６５ｄの高さ位置を表す目盛りが設けられている。毛先用指標部６５ｄには、圧力センサ６５ｅが設けられており、毛先用指標部６５ｄの下面に対する圧力を検出できるようになっている。

続いて回転ブラシ５３の位置の調整方法を説明する。まず治具６５における回転軸用指標部６５ｃにより回転軸５３ａの位置を、毛先用指標部６５ｄによりブラシ毛５３ｂの毛先の位置をそれぞれ測定する。これにより、未使用状態と比較してブラシ毛５３ｂがどの程度摩耗したかを把握する。なお測定時には、圧力センサ６５ｅによりブラシ毛５３ｂの毛先の位置を正確に測定することができるので、次述する回転ブラシ５３の位置調整を高精度で行うことができる。

治具６５による測定を終えたら、今度は回転ブラシ５３の位置調整を行う。位置調整ボルト６０を螺進させると、図１６に示すように、支持材５６が回転ブラシ５３及び清掃ケース５４と共に基部５７に対して上方（ＴＣＰ５に接近する方向）へ押し上げられる。そして、ブラシ毛５３ｂが摩耗した高さ分だけ支持材５６が上昇したところで、位置調整ボルト６０の螺進を停止させる。これにより、摩耗したブラシ毛５３ｂの毛先の位置は、未使用状態のときの位置とほぼ同じ位置に配されることになり、確実にブラシ毛５３ｂを清掃位置にあるＴＣＰ５の端子部分に対して接触させて清掃することができる。

なお、他の位置調整方法として、例えば治具６５における毛先用指標部６５ｄを、ブラシ毛５３ｂの毛先が清掃位置のＴＣＰ５に確実に接触するような位置に配し、その状態で位置調整ボルト６０により回転ブラシ５３を上昇させ、圧力センサ６５ｅが検出したところで、上昇を終了するようにしても構わない。

＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。

（１）液晶セルにＴＣＰを仮圧着する場合だけでなく、液晶セル以外の回路基板にＴＣＰ以外の電子部品、たとえば半導体装置などを実装する場合にも適用することが可能である。ＴＣＰ以外の電子部品を具体的に挙げると、ＩＣやＬＳＩなどの部品を搭載し且つＴＣＰよりも配線密度を高めたＳＯＦ（Ｓｙｓｔｅｍ Ｏｎ Ｆｉｌｍ）やＣＯＦ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｆｉｌｍ）があり、また導電路を印刷したフィルム上にコンデンサや抵抗などの部品を搭載したＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）や、フィルム上にコンデンサや抵抗などの部品を搭載せず、電気的な接続機能のみを有するＦＰＣがあり、これらの電子部品を液晶セルに実装する場合も本発明に含まれる。また、上記した各種電子部品を液晶セル以外の基板に実装する場合も本発明に含まれる。

（２）上記した各実施形態では清掃装置を液晶表示装置を作製する場合について説明したが、液晶表示装置に限られず、プラズマディスプレイなどのフラットディスプレイの表示装置についても同様の効果が得られる。

（３）上記した実施形態１では、検査装置としてＣＣＤカメラを用いたが、これに替えてレーザ光投受光装置を用いてもよい。つまり、Ｂポジションに同ポジションに停止させられたＴＣＰ５の端子部分に対してレーザ光を照射しかつその反射光を受光するレーザ光投受光装置を配置し、このレーザ光投受光装置をＴＣＰに対して相対移動させることでレーザ光でＴＣＰの端子部分を走査（スキャン）し、この走査による端子部分からの反射光量変化に基づき、端子部分に所定以上の大きさの塵埃が付着しているか否かを判定するようにしてもよい。

（４）上記した実施形態２，３では、ブラシまたは回転ブラシのブラシ毛に導電性繊維を用いるとともに、イオナイザによる除電も行うものを示したが、例えばイオナイザを省略したものや、ブラシ毛を非導電性繊維により構成したものも本発明に含まれる。

（５）上記した実施形態１，２では、イオナイザ及びノズル体による気体の噴射方向が共に基板の進入方向と逆方向とした場合を示したが、イオナイザとノズル体のいずれか片方または両方について、気体の噴射方向を基板の進入方向と同方向としてもよい。またノズル体の噴き出し口の形状については任意に変更可能である。またノズル体を省略したものも本発明に含まれる。

（６）上記した実施形態３では、部品保持部が待機位置と清掃位置との間を昇降する構造ものを示したが、回転ブラシ側を昇降する構造としたものも本発明に含まれる。

（７）上記した実施形態３では、ＴＣＰの清掃装置に回転ブラシを用いた場合を示したが、回転しない静止ブラシを用いてもよく、またＴＣＰの面に沿って直線的に移動するブラシを用いてもよい。同様に実施形態１，２の端子清掃部に用いるブラシについて、回転ブラシやガラス基板の板面に沿って直線的に移動するブラシを用いるようにしてもよい。

（８）上記した実施形態２では、ブラシ保持材の挿通孔を長孔形状すなわちスロットとした場合を示したが、逆にブラシブラケット側の挿通孔を長孔形状すなわちスロットとしてもよい。

（９）上記した実施形態２では、長孔形状の挿通孔に沿ってボルトを移動させることでブラシの位置調整をした場合を示したが、実施形態３の調整機構を採用してもよい。具体的には、ブラシ保持材に螺着した位置調整ボルトを螺進・螺退させることで、ブラシブラケットを上下動させるようにしてもよい。同様に実施形態３の回転ブラシの位置調整機構について、実施形態２と同様の構造としてもよい。

本発明は、液晶表示装置などの平面表示装置の製造に適する。

液晶セルの一般的な構造を示す斜視図 この発明の実施形態１の実装装置の概略的工程を示すブロック図 液晶セルの縁部上面を清掃する清掃装置の長手方向に沿う断面図 前記清掃装置の幅方向に沿う断面図 液晶セルの１つの辺と、この１つの辺に隣接する辺とを順次清掃する工程を示す説明図 ＴＣＰの実装装置を示す平面図 前記実装装置の概略的構成を示す斜視図 本発明の実施形態２に係る端子清掃部の概略を表す側断面図 治具及び端子清掃部の正断面図 ノズル体とブラシの拡大斜視図 本発明の実施形態３に係る仮圧着部の概略を表す斜視図 部品保持部が退避位置に配された状態を示す正断面図 部品保持部が清掃位置に配された状態を示す正断面図 部品保持部が清掃位置に配された状態を示す側断面図 治具及び清掃装置の正断面図 清掃装置の側断面図

符号の説明

５…ＴＣＰ（電子部品）、１２，１２Ａ…端子清掃部（清掃装置）、１４，１４Ａ…仮圧着部（実装装置）、１９，１９Ａ…ブラシ、２１…清掃ケース（排出装置）、２８…イオナイザ（イオン噴射装置）、３０，３０Ａ…ノズル体、３１…排気管（排出装置）、３４…回転体（部品搬送装置）、３５…アーム（部品搬送装置）、３６…部品保持部、３９…ＣＣＤカメラ（撮像装置）、４１…画像処理部（制御装置）、４２…制御装置（制御装置）、４１…ブラシ保持材（ブラシ位置調整装置）、４２…ブラシブラケット（ブラシ位置調整装置）、４３…ボルト（ブラシ位置調整装置）、５３…回転ブラシ（ブラシ）、５６…支持部（ブラシ位置調整装置）、５７…基部（ブラシ位置調整装置）、６０…位置調整ボルト（ブラシ位置調整装置）、６５…治具（ブラシ位置検出装置）、６５ｅ…圧力センサ

Claims (24)

1. 端子が形成された基板の縁部を清掃する清掃装置において、
   前記基板の縁部を擦り、この縁部に付着した塵埃を除去するブラシと、
   このブラシの少なくとも前記基板の縁部と接触する部分に向けてイオン化された気体を噴射するイオン噴射装置と、
   このイオン噴射装置から前記ブラシに向けて噴射された気体を吸引除去する排出装置とを具備したことを特徴とする基板の清掃装置。
2. 前記排出装置には、気体を排気する排気部と、前記ブラシによって除去された塵埃を前記排気部に向けて吹き飛ばす気体を噴射するノズル体とが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板の清掃装置。
3. 前記基板の進入を許容する開口部が設けられた清掃ケースを備えたものであって、
   前記排出装置には、前記清掃ケースの下面側に前記開口部と対向して設けられ前記ブラシから落下した塵埃を受ける受け部材が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の基板の清掃装置。
4. 端子が形成された基板の縁部を清掃する清掃装置において、
   前記基板の縁部を擦り、この縁部に付着した塵埃を除去する静止ブラシを備えていることを特徴とする基板の清掃装置。
5. 端子が形成された基板の縁部を清掃する清掃方法において、
   前記基板の縁部をブラシで擦り、この縁部に付着した塵埃を除去する工程と、
   前記基板の縁部のブラシによって擦られる部分に向けてイオン化された気体を噴射する工程と、
   前記ブラシに向けて噴射された気体を吸引除去する工程と、
   を具備したことを特徴とする基板の清掃方法。
6. 請求項１に記載された基板の清掃装置を用いて作製されたことを特徴とするフラットディスプレイパネル。
7. 請求項４に記載された基板の清掃装置を用いて作製されたことを特徴とするフラットディスプレイパネル。
8. 端子が形成された基板の縁部を清掃する清掃装置において、
   前記基板の縁部を擦り、この縁部に付着した塵埃を除去するブラシと、
   前記ブラシによって除去された塵埃を排出する排出装置とを備え、
   且つ前記ブラシは、導電性繊維により構成されていることを特徴とする基板の清掃装置。
9. 前記基板に対して接離する方向について前記ブラシの位置を調整可能なブラシ位置調整装置が備えられていることを特徴とする請求項１ないし請求項４及び請求項８のいずれかに記載の基板の清掃装置。
10. 前記基板をその縁部に沿って進入させることで、前記基板の縁部を前記ブラシにより清掃するとともに、前記ブラシに向けて気体を噴射することで、前記基板の縁部から除去された塵埃を吹き飛ばすようにしたものであって、
    前記気体の噴射方向は、前記基板の進入方向とは逆方向に設定されていることを特徴とする請求項１ないし請求項４、請求項８及び請求項９のいずれかに記載の基板の清掃装置。
11. 前記排出装置には、気体を排気する排気部と、前記ブラシによって除去された塵埃を前記排気部に向けて吹き飛ばす気体を噴射するノズル体とが設けられており、
    前記ノズル体には、前記基板の板面に沿って横長な形状の噴き出し口が備えられていることを特徴とすることを特徴とする請求項２、請求項３及び請求項８ないし請求項１０のいずれかに記載の基板の清掃装置。
12. 前記基板を清掃し終えた後も前記ブラシに向けて気体を噴射するようにしたことを特徴とする請求項５に記載の基板の清掃方法。
13. 請求項８に記載された基板の清掃装置を用いて作製されたことを特徴とするフラットディスプレイパネル。
14. 端子が形成された基板の縁部に電子部品を実装する実装装置において、
    周方向に沿って複数の部品保持部が所定間隔で一体的に設けられこれら部品保持部が周方向に間欠的に駆動される部品搬送装置と、
    間欠駆動される前記部品搬送装置の各部品保持部に前記電子部品を順次供給する部品供給部と、
    前記部品保持部に供給保持された電子部品を、前記部品搬送装置の間欠駆動によって前記部品保持部が停止した位置で前記電子部品に塵埃が付着しているか否かを検査する検査装置と、
    を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置。
15. 前記検査装置の検査結果によって前記電子部品に塵埃が付着しているか否かを判定し塵埃が付着していないときにはその電子部品を前記検査装置で検査した位置の後の前記部品保持部が停止する位置で前記電子部品を前記基板に実装し、塵埃が付着しているときにはその電子部品を基板に実装せずに廃棄させる制御装置を備えていることを特徴とする請求項１４に記載の電子部品の実装装置。
16. 端子が形成された基板の縁部に電子部品を実装する実装方法において、
    基板の端子が形成された縁部をブラシで擦りながらイオン化された気体を吹き付けて清掃する工程と、
    清掃された基板の縁部に導電性の接着部材を貼り付ける工程と、
    前記基板の縁部に前記接着部材を介して前記電子部品を実装する工程と、
    前記基板の縁部に電子部品を実装する前に、この電子部品を検査して塵埃が付着しているか否かを判別し、塵埃の付着の有無に応じて前記電子部品を前記基板に実装するか否かを決定する工程と、
    を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法。
17. 電子部品に塵埃が付着している場合には、その電子部品を廃棄するとともに、その廃棄工程は、電子部品を基板に実装する工程の後若しくは前のいずれかであることを特徴とする請求項１６に記載の電子部品の実装方法。
18. 請求項１４に記載の実装装置を用いて作製されたことを特徴とするフラットディスプレイパネル。
19. 端子が形成された基板の縁部に電子部品を実装する実装装置において、
    周方向に沿って複数の部品保持部が所定間隔で一体的に設けられこれら部品保持部が周方向に間欠的に駆動される部品搬送装置と、
    間欠駆動される前記部品搬送装置の各部品保持部に前記電子部品を順次供給する部品供給部と、
    前記部品保持部に供給保持された前記電子部品を前記基板の縁部に実装する前の段階で、前記電子部品の前記端子との接続部位を擦ることで電子部品に付着した塵埃を除去可能とされるブラシと、
    前記ブラシによって除去された塵埃を排出する排出装置とを具備し、
    且つ前記ブラシが導電性繊維により構成されていることを特徴とする電子部品の実装装置。
20. 端子が形成された基板の縁部に電子部品を実装する実装装置において、
    周方向に沿って複数の部品保持部が所定間隔で一体的に設けられこれら部品保持部が周方向に間欠的に駆動される部品搬送装置と、
    間欠駆動される前記部品搬送装置の各部品保持部に前記電子部品を順次供給する部品供給部と、
    前記部品保持部に供給保持された前記電子部品を前記基板の縁部に実装する前の段階で、前記電子部品の前記端子との接続部位を擦ることで電子部品に付着した塵埃を除去可能とされるブラシと、
    このブラシの少なくとも前記電子部品の接続部位と接触する部分に向けてイオン化された気体を噴射するイオン噴射装置と、
    このイオン噴射装置から前記ブラシに向けて噴射された気体を排出する排出装置と、
    を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置。
21. 前記電子部品に対して接離する方向について前記ブラシの位置を調整可能なブラシ位置調整装置が備えられていることを特徴とする請求項１９または請求項２０に記載の電子部品の実装装置。
22. 前記ブラシの先端位置を検出可能なブラシ位置検出装置が着脱可能に備えられるとともに、このブラシ位置検出装置は、前記ブラシの先端が当接したことを検出可能な圧力センサを備えていることを特徴とする請求項２１に記載の電子部品の実装装置。
23. 請求項１９に記載された電子部品の実装装置を用いて作製されたことを特徴とするフラットディスプレイパネル。
24. 請求項２０に記載された電子部品の実装装置を用いて作製されたことを特徴とするフラットディスプレイパネル。

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