TWI626091B - 板邊清洗系統 - Google Patents

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Abstract

本發明係關於一種板邊清洗系統，用以清洗一板材的側邊。該板邊清洗系統包括一輸送裝置及三個清洗裝置。該輸送裝置用以將該板材從一起始站沿一輸送路徑移送到一中繼站，並先於該中繼站將該板材轉向九十度後再沿著該輸送路徑移送到一終點站。該第一清洗裝置係設於該輸送路徑的一旁，用以在該板材被從該起始站移送至該中繼站的過程中，清洗該板材的一長邊。該第二及第三清洗裝置係分別設於該輸送路徑的兩旁且彼此相正對，用以在該板材被轉向九十度後從該中繼站移送至該終點站的過程中，同時清洗該板材的兩短邊。

Description

板邊清洗系統
本發明係關於一種清洗系統，尤其是一種用於清洗液晶面板、OLED面板、電路板、玻璃板等板材之側邊的板邊清洗系統。
早期對於液晶面板的板邊清洗方式，係以人工方式將一液晶面板依序運送至三台獨立之丙酮清洗機、超音波清洗機及電漿清洗機中進行，而前述各清洗機於清洗時，每清洗完一板邊便需以人工之方式將該液晶面板換邊，例如於該液晶面板的四個板邊分別依序經過該丙酮清洗機清洗完成後，再將該液晶面板送至該超音波清洗機以再次依序對該四個板邊分別清洗，最後再將該液晶面板送至該電漿清洗機並再次依序對該該四個板邊分別清洗，相當浪費人力及時間。
申請人先前申請核准之台灣公告I286952專利揭露一種自動清洗機，已可有效解決前述浪費人力及時間之問題。
本發明提供一改良之板邊清洗系統，其可同時清洗多個板材之多個側邊，充分利用每一清洗或移載的機具，有效提升清洗效率。
具體而言，該板邊清洗系統，用以清洗一板材的側 邊，其中該板材具有一第一側邊以及垂直於該第一側邊且相對的一第二側邊及一第三側邊。該板邊清洗系統包括一輸送裝置以及三個清洗裝置。其中，該輸送裝置用以將該板材從一起始站沿一輸送路徑移送到一中繼站，並先於該中繼站將該板材轉向九十度後再沿著該輸送路徑移送到一終點站。該第一清洗裝置設於該輸送路徑的一旁，用以在該板材被從該起始站移送至該中繼站的過程中，清洗該板材的第一側邊。該第二及第三清洗裝置係分別設於該輸送路徑的兩旁且彼此相正對，用以在該板材被轉向九十度後從該中繼站移送至該終點站的過程中，同時清洗該板材的第二及第三側邊。
較佳地，該第一清洗裝置具有一清洗通道及設於該清洗通道旁的一清洗機構，其中該清洗通道係平行於該輸送路徑，且在該板材經過該清洗裝置時，該板材的第一側邊會通過該清洗通道，而被該清洗機構清洗。
較佳地，該第二與第三清洗裝置各具有一清洗通道及設於該清洗通道旁的一清洗機構，其中該兩清洗通道皆平行於該輸送路徑，且在該板材經過該第二與第三清洗裝置時，該板材的第二與第三側邊會分別通過該第二與第三清洗裝置的對應清洗通道，而被其對應的清洗機構清洗。
較佳地，該第二與第三清洗裝置之間的相對距離係可調整。
較佳地，該輸送裝置包括一主軌道、一第一載台、一第二載台及一吸取裝置，該主軌道形成該輸送路徑，該第一與第二載台係可滑移地設於該主軌道上，供承載該板材，而該吸取裝置係被安排在該板材位於該中繼站時，將該板材從該第一載台轉移至該第二載台。
較佳地，該第二載台及該吸取裝置的任一者更用以將位於該中繼站的板材轉向九十度。
較佳地，該板邊清洗系統更包括一間距調整裝置，其包括一橫向軌道、設於該橫向軌道上的一載台及用以驅動該載台 於該橫向軌道上滑移的一驅動裝置，該第三清洗裝置設於該載台上而可相對該第二清洗裝置位移，藉以調整該第二與第三清洗裝置的間距。
此外，本發明亦提供一種板邊清洗系統，用以清洗一板材的兩相對側邊，該板邊清洗系統包括一輸送裝置及兩清洗裝置。該輸送裝置係用以將該板材從一起始站沿一輸送路徑移送到一終點站。該兩清洗裝置係分別設於該輸送路徑的兩旁且彼此相正對，用以在該板材被移送至該終點站的過程中，同時清洗該板材的兩相對側邊。其中，該兩清洗裝置之間的距離是可調整的。
較佳地，該兩清洗裝置各具有一清洗通道及設於該清洗通道旁的一清洗機構，該些清洗通道皆平行於該輸送路徑，且在該板材經過該兩清洗裝置時，該板材的兩相對側邊會分別通過該兩清洗裝置的對應清洗通道，而被其對應的清洗機構清洗。
100‧‧‧板邊清洗系統
1‧‧‧第一清洗裝置
10‧‧‧清洗通道
11‧‧‧清洗機構
111‧‧‧超音波清洗裝置
112‧‧‧丙酮清洗裝置
113‧‧‧電漿清洗裝置
2‧‧‧第二清洗裝置
20‧‧‧清洗通道
3‧‧‧第三清洗裝置
30‧‧‧清洗通道
4‧‧‧輸送裝置
40‧‧‧主軌道
41‧‧‧第一載台
410‧‧‧滑座
411‧‧‧平台
42‧‧‧第二載台
420‧‧‧滑座
421‧‧‧平台
43‧‧‧吸取裝置
5、6‧‧‧板材
7‧‧‧間距調整裝置
71‧‧‧橫向軌道
72‧‧‧載台
73‧‧‧驅動裝置
第一圖係本發明板邊清洗系統的立體結構示意圖。
第二圖係第一圖之板邊清洗系統的平面示意圖。
第三圖係第一圖之板邊清洗系統的一局部側視圖。
第四圖係第一圖之板邊清洗系統的另一局部側視圖。
第五至八圖係示意該板邊清洗系統清洗板材的過程。
一至四圖顯示本發明之板邊清洗系統100的一個較佳實施例，其大致包括一第一清洗裝置1、一第二清洗裝置2、一第三清洗裝置3及一輸送裝置4，藉以有效率地同時清洗多個板材5、6之多個側邊。該些板材5、6係指各種液晶面板、OLED面板、電路板、玻璃板等板材或基板，且可為硬板或軟板。
如第一及二圖所示，該輸送裝置4包括一主軌道40、一第一載台41、一第二載台42及一吸取裝置43。該輸送裝置4係用於將一板材5從一起始站(第五圖)沿一輸送路徑，途經一中繼站(第六圖)，再在輸送到一終點站(第八圖)。該主軌道40係從該起始站延伸一預定長度至該終點站，形成該輸送路徑。該第一載台41及該第二載台42係可滑移地設於該主軌道40上。該吸取裝置43係位於該第一與第二載台41、42之間的一中繼站的正上方。
在此實施例中，該板材5起先是被放置在該第一載台41上，當該第一載台41沿該主軌道40從該起始站移動到該中繼站時，該吸取裝置43會下移到該第一載台41上，並在吸取到該第一載台41上的該板材5後隨即上昇返回原位。與此同時，該第一載台41會沿該主軌道40返回該起始站，以供另一片板材6放置，如第七圖所示。另一方面，該第二載台42在該第一載台41往該起始站移動之後，隨即從終點站沿該主軌道40移動到該中繼站。待該第二載台42到達該中繼站後，該吸取裝置43立即下移以將該板材5下放至該第二載台42，並在釋放該板材5後隨即上昇返回原位。此外，該吸取裝置43可先轉動該板材5九十度之後再執行前述的下移及釋放之運作。另一個作法是使該吸取裝置43直接下移並釋放該板材5於該第二載台42上，在藉由該第二載台42將該板材5轉動九十度。無論如何，在該板材5從該中繼站沿該主軌道40被移送往該終點站之前，該板材5需先被轉動九十度，而這個轉動動作可藉由該吸取裝置43或該第二載台42來完成。
復參閱第一圖，該第一載台41包括一滑座410及一平台411。該滑座410係滑設於該主軌道40上，而該平台411可在該滑座410上移動，該平台411的移動方向垂直於該主軌道40的延伸方向，亦即若該主軌道40是沿一X軸延伸，則該平台411是在一X-Y平面上沿著Y軸移動。該平台411是用來放置該板材5。該第二載台42係相同於第一載台41，容不贅述。
參閱第三圖，該第一清洗裝置1位於該主軌道40的 一旁，且位在該起始站與該中繼站之間。該第一清洗裝置1具有平行於該主軌道40的一清洗通道10及一清洗機構11。該清洗機構11鄰近該清洗通道10，且依序包括一超音波清洗裝置111、一丙酮清洗裝置112及一電漿清洗裝置113。另一方面，該第二與第三清洗裝置2、3分別位於該主軌道40的兩旁且彼此相正對。其中，該第二清洗裝置2具有平行於該主軌道40的一清洗通道20，該第三清洗裝置3亦具有平行於該主軌道40的一清洗通道30。該第二清洗裝置2具有一清洗機構(圖未顯示)，位於該清洗通道20的旁邊。該第三清洗裝置3亦具有一清洗機構(圖未顯示)，位於該清洗通道30的旁邊。
該第一、第二與第三清洗裝置1、2、3的清洗機構可為相同配置，亦可為不同配置。在此實施例中，該第一、第二與第三清洗裝置1、2、3的清洗機構為相同配置，且各清洗機構皆至少具有一丙酮清洗模組。較佳地，任一清洗機構皆如該第一清洗裝置1般包括沿該板材5移動方向而依序排列之一超音波清洗裝置111、一丙酮清洗裝置112及一電漿清洗裝置113，此三者分別可選用台灣公告I286952專利中所揭露的超音波清洗裝置、丙酮清洗裝置與電漿清洗裝置，容不贅述。
參閱第一圖並配合第五圖，位於該起始站的該第一載台41，其平台411於承載該板材5之後，會先在其滑座410上沿Y軸移動到一偵測位置，由一第一偵測裝置(圖中未示)來偵測該板材5是否位於正確的清洗位置，也就是該板材5之一側邊(例如長邊)是否與該第一清洗裝置1之清洗通道10對齊，該第一偵測裝置的功能與運作，請參見台灣公告I286952專利中所揭露的偵測裝置，容不贅述，該平台411不但可如前述移動，也具有轉動能力，因此，該平台411可根據該第一偵測裝置偵測結果，將其上的板材5調整到正確的清洗位置。一旦該板材5被調整到正確的清洗位置，該第一載台41續將該板材5從該起始站帶往該中繼站(如第六圖所示)。
此外，由於該板材5已位在正確的清洗位置，故當該第一載台41從將該板材5從該起始站移往該中繼站之期間，該第一載台41上的該板材5的該側邊(長邊)就剛好經過該清洗通道10，並由該清洗機構11對該側邊進行清洗。當該第一載台41到達該中繼站時，該板材5的該側邊(長邊)就完全脫離該清洗通道10，且從頭到尾被該清洗機構11清洗過；且與此同時，該吸取裝置43執行上述下移、吸取、上昇、再下移、及釋放之交接運作，用以將該第一載台41上的該板材5交給位於該中繼站的該第二載台42，且如同上述地，該板材5此時已被轉動九十度。
接著，該第二載台42的一平台421會在其滑座420上沿Y軸移動到一偵測位置，由一第二偵測裝置(圖中未示)來偵測該板材5是否位於正確的清洗位置，也就是該板材5之另一側邊(例如短邊)是否與該第二清洗裝置2之清洗通道20對齊，該第二偵測裝置的功能與運作，請參見台灣公告I286952專利中所揭露的偵測裝置，容不贅述。該平台421不但可如前述移動，也具有轉動能力，因此，該平台421可根據該第二偵測裝置偵測結果，將其上的板材5調整到正確的清洗位置。一旦該板材5調整到正確的清洗位置，該第二載台42就會將該板材5從該中繼站(如第七圖所示)移送往該終點站(如第八圖所示)。
此外，由於該板材5已位在正確的清洗位置，故當該第二載台42將該板材5從該中繼站移往該終點站之期間，該第二載台42上的該板材5的兩相對側邊(在此實施例中是兩短邊)恰分別對應經過該兩清洗通道20、30，並由該第二清洗裝置2的清洗機構與該第三清洗裝置3的清洗機構分別對該板材5的兩相對側邊進行清洗。當該第二載台42抵達該終點站時，該板材5的該兩相對側邊已完全脫離該兩清洗通道20、30，且從頭到尾被對應的清洗機構清洗過，至此即完成該板材5上述各邊(共3個邊)之清洗的作業。隨後，一取出裝置(圖中未示)會將位於該終點站之第二載台42上的該板材5取出運往下一製程。另一方面，該第二載台42會在 該第一載台41往該起始站移動之後開始往該中繼站移動，以便接取另一片板材6，如第八圖所示。
又，該第二與第三清洗裝置2、3之間的間距是可調整的。在本實施例中，該板邊清洗系統100更包括一間距調整裝置7，其包括一橫向軌道71、設於該橫向軌道上的一載台72及用以驅動該載台72於該橫向軌道71上滑移的一驅動裝置73。該第三清洗裝置3係設於該載台72上而可相對該第二清洗裝置2位移，藉以調整該第二與第三清洗裝置2、3的間距，以因應不同寬度的板材。
在上述較佳實施例中，該板材5是從該起始站往該終點站移動，然而也可以稍微更改設計，讓該起始站與該終點站互調，此時，該板材5即往反方向移動，也就是說，該板材5會先經過第二與第三清洗裝置2、3而被清洗其兩相對側邊(即：兩短邊)，然後再經過該第一清洗裝置1而再被清洗其另一側邊(即：其中一長邊)。
另外，上述第一清洗裝置1並非必要在只需要洗兩相對側邊或洗四側邊的場合時亦可省略之。其中，若是要洗四側邊，可讓該板材5的兩相對側邊(例如兩長邊)先經過第二與第三清洗裝置2、3的該清洗通道20、30，以完成該兩相對側邊的清洗，然後，讓該板材5轉動九十度後，並調整該第二與第三清洗裝置2、3之間的間距，使其適應轉動九十度後的該板材5，之後再讓該板材5再次經過第二與第三清洗裝置2、3的該兩清洗通道20、30，如此即可清洗完成該板材5的另兩相對側邊(例如兩短邊)。
藉由上述設置，本發明之板邊清洗系統可同時清洗多個板材之多個側邊，充分利用每一清洗或移載的機具，有效提升清洗效率。
無論如何，任何人都可以從上述例子的說明獲得足夠教導，並據而了解本發明內容確實不同於先前技術，且具有產業上之利用性，及足具進步性。是本發明確已符合專利要件，爰依法提出申請。

Claims (10)

  1. 一種板邊清洗系統，用以清洗一板材的側邊，其中該板材具有一第一側邊以及垂直於該第一側邊且相對的一第二側邊及一第三側邊，該板邊清洗系統包括：一輸送裝置，用以將該板材從一起始站沿一輸送路徑移送到一中繼站，並先於該中繼站將該板材轉向九十度後再沿著該輸送路徑移送到一終點站；一第一清洗裝置，設於該輸送路徑的一旁，用以在該板材被從該起始站移送至該中繼站的過程中，清洗該板材的第一側邊；及第二及第三清洗裝置，分別設於該輸送路徑的兩旁且彼此相正對，用以在該板材被轉向九十度後從該中繼站移送至該終點站的過程中，同時清洗該板材的第二及第三側邊。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之板邊清洗系統，其中該第一清洗裝置具有一清洗通道及設於該清洗通道旁的一清洗機構，該清洗通道平行於該輸送路徑，且在該板材經過該清洗裝置時，該板材的第一側邊會通過該清洗通道，而被該清洗機構清洗。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之板邊清洗系統，其中該第二與第三清洗裝置各具有一清洗通道及設於該清洗通道旁的一清洗機構，該兩清洗通道皆平行於該輸送路徑，且在該板材經過該第二與第三清洗裝置時，該板材的第二與第三側邊會分別通過該第二與第三清洗裝置的對應清洗通道，而被其對應的清洗機構清洗。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之板邊清洗系統，其中該第二與第三清洗裝置之間的相對距離係可調整。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之板邊清洗系統，其中該輸送裝置包括一主軌道、一第一載台、一第二載台及一吸取裝置，該主軌道形成該輸送路徑，該第一與第二載台係可滑移地設於該主軌道上，供承載該板材，而該吸取裝置係被安排在該板材位於該中繼站時，將該板材從該第一載台轉移至該第二載台。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之板邊清洗系統，其中該第二載台及該吸取裝置的任一者更用以將位於該中繼站的板材轉向九十度。
  7. 如申請專利範圍第5項所述之板邊清洗系統，更包括一間距調整裝置，其包括一橫向軌道、設於該橫向軌道上的一載台及用以驅動該載台於該橫向軌道上滑移的一驅動裝置，該第三清洗裝置設於該載台上而可相對該第二清洗裝置位移，藉以調整該第二與第三清洗裝置的間距。
  8. 一種板邊清洗系統，包括一輸送裝置及三清洗裝置：該輸送裝置，用以將一板材沿一直的輸送路徑移送經過其中兩清洗裝置之後，將該板材轉向九十度，然後繼續沿該輸送路徑將該板材移送經過另一清洗裝置；及該其中兩清洗裝置，分別設於該輸送路徑的兩旁且彼此相正對，用以在該板材經過時，同時清洗該板材的兩相對側邊，且該其中兩清洗裝置之間的距離是可調整的。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之板邊清洗系統，其中該兩清洗裝置各具有一清洗通道及設於該清洗通道旁的一清洗機構，該些清洗通道皆平行於該輸送路徑，且在該板材經過該兩清洗裝置時，該板材的兩相對側邊會分別通過該兩清洗裝置的對應清洗通道，而被其對應的清洗機構清洗。
  10. 一種板邊清洗系統，用以清洗一板材的側邊，其中該板材具有一第一側邊以及垂直於該第一側邊且相對的一第二側邊及一第三側邊，該板邊清洗系統包括一輸送裝置、一第一清洗裝置及相正對的一第二清洗裝置與一第三清洗裝置，其中：該輸送裝置，用以將該板材從一起始站沿一輸送路徑移送到一中繼站，並先於該中繼站將該板材轉向九十度後再沿著該輸送路徑移送到一終點站；該第二及第三清洗裝置，分別設於該輸送路徑的兩旁且彼此相正對，用以在該板材被從該起始站移送至該中繼站的過程中，同時清洗該板材的第二及第三側邊；及該第一清洗裝置，設於該輸送路徑的一旁，用以在該板材被轉向九十度後從該中繼站移送至該終點站的過程中，清洗該板材的第一側邊。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI626091B (zh) * 2016-10-28 2018-06-11 旭東機械工業股份有限公司 板邊清洗系統
CN110834925B (zh) * 2019-11-18 2021-05-11 昂华（上海）自动化工程股份有限公司 一种传输装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101080283A (zh) * 2004-12-14 2007-11-28 芝浦机械电子株式会社 基板的清扫装置和清扫方法
TW200926915A (en) * 2007-12-11 2009-06-16 Nan Ya Printed Circuit Board Cleaning system and method of cleaning a panel
CN203944597U (zh) * 2014-06-04 2014-11-19 长垣县豫蒲标牌有限公司 板材双面清洗装置
CN205436635U (zh) * 2016-04-07 2016-08-10 天津市沃田金属实业股份有限公司 一种钢板清洗系统
CN205550921U (zh) * 2016-03-03 2016-09-07 陈建荣 一种板材清洗机

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02157763A (ja) * 1988-12-09 1990-06-18 Sharp Corp レジスト除去装置
JP3011806B2 (ja) * 1991-10-22 2000-02-21 東京エレクトロン株式会社 角状被処理体のフォトレジスト除去装置
JPH07263394A (ja) * 1994-03-17 1995-10-13 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板端縁処理装置
JP3114084B2 (ja) * 1994-04-04 2000-12-04 東京エレクトロン株式会社 処理方法及び処理装置
JPH08131971A (ja) * 1994-11-08 1996-05-28 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板端縁洗浄装置
JP2003100844A (ja) * 2001-09-27 2003-04-04 Ebara Corp 四辺形基板反転装置及び四辺形基板洗浄ユニット
JP2003179025A (ja) * 2001-09-27 2003-06-27 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
TW560233B (en) * 2002-10-30 2003-11-01 Lan-Yan Jang Cut-plate grind-edge machine of circuit board and cut-plate grind-edge method
JP3920831B2 (ja) * 2003-09-29 2007-05-30 東京エレクトロン株式会社 塗布膜除去装置及び塗布膜除去方法
TWI292350B (en) * 2004-02-10 2008-01-11 Sharp Kk Cleaning device of board and cleaning method, flat display panel, mounting equipment of electronic parts and mounting method
JP4998815B2 (ja) * 2005-02-16 2012-08-15 日本電気硝子株式会社 ガラス基板洗浄装置及びガラス基板洗浄方法
JP2007053154A (ja) * 2005-08-16 2007-03-01 Pre-Tech Co Ltd マスク基板用の洗浄装置及びそれを用いたマスク基板の洗浄方法
CN100446877C (zh) * 2006-02-13 2008-12-31 庄添财 自动清洗方法及自动清洗机
TWM321333U (en) * 2006-10-20 2007-11-01 Fu-Wen Chen Edge-cleaning machine for printed circuit board
CN202061829U (zh) * 2011-04-25 2011-12-07 旭东机械(昆山)有限公司 触摸显示屏清洗机
JP5950759B2 (ja) * 2012-08-27 2016-07-13 Hoya株式会社 基板の製造方法及び基板洗浄装置
CN103894367A (zh) * 2012-12-28 2014-07-02 赫菲斯热处理系统江苏有限公司 一种热处理生产线用真空清洗机
JP2015108664A (ja) * 2013-12-03 2015-06-11 住友化学株式会社 光学部材貼合体の製造装置
TWM491528U (zh) * 2014-07-18 2014-12-11 Symtek Automation Asia Co Ltd 自動清洗裝置
TWI626091B (zh) * 2016-10-28 2018-06-11 旭東機械工業股份有限公司 板邊清洗系統

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101080283A (zh) * 2004-12-14 2007-11-28 芝浦机械电子株式会社 基板的清扫装置和清扫方法
TW200926915A (en) * 2007-12-11 2009-06-16 Nan Ya Printed Circuit Board Cleaning system and method of cleaning a panel
CN203944597U (zh) * 2014-06-04 2014-11-19 长垣县豫蒲标牌有限公司 板材双面清洗装置
CN205550921U (zh) * 2016-03-03 2016-09-07 陈建荣 一种板材清洗机
CN205436635U (zh) * 2016-04-07 2016-08-10 天津市沃田金属实业股份有限公司 一种钢板清洗系统

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