CN101080283A - 基板的清扫装置和清扫方法 - Google Patents

Abstract

本发明是清扫基板的至少相对的一对侧边的上下表面的清扫装置，具有：第一清扫单元(100A)，清扫基板的一个侧边的上下表面；第二清扫单元(100B)，与第一清扫单元相对配置，与一个侧边同时清扫与基板的该一个侧边相对的另一个侧边；载置台(104)，在相对的第一清扫单元与第二清扫单元之间，沿着与这些清扫单元的对置方向交叉的方向搬运基板。

Description

基板的清扫装置和清扫方法

技术领域

本发明涉及用于清扫形成在液晶面板等基板上的电极的清扫装置和清扫方法。

背景技术

液晶面板和等离子体显示器面板等基板在该基板的侧边部设有电极，利用压焊装置，在该电极上通过加压加热来连接TCP(Tape CarrierPackage即，薄膜封装)和IC芯片等电子部件。

上述电极和电子部件通常通过各方异性导电部件电连接。因此，在连接部分，为了得到电气性良好的导通状态，需要上述电极面不因附着灰尘等造成污染。

上述电极通常形成在基板的上表面。但是，在向该电极压焊电子元件时，若在基板的下表面附着了灰尘，则有压焊时损伤基板的危险。从而，就在向基板的电极面粘贴各向异性导电部件之前，进行利用清扫装置清扫该电极面的工作。

上述清扫装置具有沿着规定方向搬运基板的台子，在该台子的上方，由供给卷轴和卷绕卷轴撑拉来设置带状的清扫部件。从喷嘴滴下乙醇等挥发性溶剂渗入到该清扫部件中，使渗入了该溶剂的部分移动到规定位置，通过使其按照规定的压力与被搬运的基板的缘部的电极面接触，来清扫上述电极面。

在上述基板是高精密的液晶面板和等离子体显示器面板的情况下，不仅在基板上的2个边上，有时在3个边和4个边上形成电极。在清扫这样的基板的情况下，以前是利用上述清扫装置清扫了上述基板的一个边以后，通过使载置了基板的台子按90度依次旋转来清扫上述基板的剩余的边。

专利文献1中示出了这样的现有的清扫装置。

专利文献1：特开2003-53281号公报

例如，在基板的4个边上形成有电极的情况下，要用现有的清扫装置清扫该基板，就必须要反复进行4次清扫作业。即，在清扫了基板的一个边后，使该基板旋转90度后，清扫与上述一个边相邻的边，按照边的数量反复进行该清扫工作。

因此，清扫基板所需的生产节拍时间变长，因此成为导致生产率降低的原因。

此外，若仅清扫基板的一个侧边，则在清扫时，由于与清扫部件的摩擦阻力而在基板上产生旋转力矩，有时基板就向旋转方向偏移。该情况下，有时清扫部件就离开基板的一个侧边，不能准确地清扫该侧边。

发明内容

本发明的目的在于提供一种在清扫基板的多个侧边的情况下，能够比现有技术缩短生产节拍时间，并且不在基板上产生旋转力矩后向旋转方向偏移的基板的清扫装置和清扫方法。

即，本发明的一种基板的清扫装置，清扫基板的至少相对的一对侧边的上下表面，其特征在于，具有：

第一清扫单元，清扫上述基板的一个侧边的上下表面；

第二清扫单元，与该第一清扫单元相对配置，与上述一个侧边同时清扫与上述基板的上述一个侧边相对的另一个侧边；

搬运机构，在相对的第一清扫单元与第二清扫单元之间，沿着与这些清扫单元的对置方向交叉的方向搬运上述基板。

本发明的一种基板的清扫方法，清扫基板的至少相对的一对侧边的上下表面，其特征在于，具有：

向规定方向搬运上述基板的工序；

同时清扫位于与进行搬运的上述基板的搬运方向交叉的方向上的一个侧边和与该一个侧边相对的另一个侧边的工序。

附图说明

图1是示出本发明的清扫装置的正视图。

图2是示出一对清扫单元中的一个清扫单元的前面的侧视图。

图3是示出设置在清扫单元的前面的上部清扫部和下部清扫部的放大图。

图4是在4个侧边上形成有电极的基板的平面图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明。

图1是示出本发明的一个实施方式的清扫装置的正视图，图2是侧视图，该清扫装置具有基底101。分别沿着上述基底101的横向即该图中用箭头X示出的方向，在该基底101上的横向一端可移动地设有第一清扫单元100A，在另一端的上表面上可移动地设有第二清扫单元100B。

在上述基底101的横向一端设有向X方向驱动上述第一清扫单元100A的第一X驱动源102a，在另一端设有向X方向驱动上述第二清扫单元100B的第二X驱动源102b。从而，一对清扫单元100A、100B就能够调整相互的对置间隔。上述第一X驱动源102a和第二X驱动源102b构成了调整沿着一对清扫单元100A、100B的X方向的间隔的间隔调整机构。

在上述基底101上的上述第一清扫单元100A和第二清扫单元100B之间的部分，沿着与上述X方向交叉的Y方向设有支撑体103。在该支撑体103的上表面上，沿着支撑体103的长度方向即Y方向，可移动地设有载物台104。利用在上述支撑体103的长度方向一端上设置的Y驱动源105，沿着Y方向驱动该载物台104。

在上述载物台104的上表面上设有保持部106，该保持部106吸附保持液晶面板和等离子体显示器面板等基板W的下表面。利用未图示的θ驱动源，向旋转方向驱动该保持部106。

如图4所示，上述基板W是矩形，在本实施方式中，在4个侧边W1～W4的上表面上，分别按照规定间隔设有多个电极107。再有，基板W是比上述保持部106充分大的矩形，从保持部106的外周面突出保持其周边部。

接着关于上述第一清扫单元100A和第二清扫单元100B进行说明。由于第一、第二清扫单元100A、100B是相同结构，故参照图2，关于其中的一方进行说明。即，该清扫单元100A、100B具有主体1。

在该主体1的前面设有上部清扫部11和下部清扫部12，所述上部清扫部11与被上述保持部106保持的基板W的一个侧边的上表面对置，所述下部清扫部12与下表面对置。各清扫部11、12具有上下对称设置的供给卷轴13a、13b和卷绕卷轴14a、14b。在各供给卷轴13a、13b上缠绕着由耐磨损性优良的柔软的带状布料形成的清扫部件15。各清扫部件15分别通过第一至第三中继滚子16a～16c和1个卷绕滚子17，卷绕在各卷绕卷轴14a、14b上。

分别与上述供给卷轴13a、13b和卷绕卷轴14a、14b连结着对清扫部件15给予适当张力的电动机18a、18b和19a、19b，与上述卷绕滚子17连结着用于驱动该卷绕滚子17的驱动电动机21a、21b。

从而，通过驱动电动机21a、21b工作，上部清扫部11和下部清扫部12的清扫部件15就从供给卷轴13a、13b向卷绕卷轴14a、14b卷绕。

再有，各电动机设置在主体1的内部，各滚子和卷轴可旋转地设置在主体1的前面。

在上述第二中继滚子16b与第三中继滚子16c之间设有压紧滚子22a、22b。利用上下气缸23a、23b，向接触和离开基板W的板面的方向驱动各压紧滚子22a、22b。这样，如图3所示，各压紧滚子22a、22b对于利用保持部106定位保持的基板W的侧边，用规定的压力从上方和下方压紧清扫部件15。

在清扫部件15的第一中继滚子16a与第二中继滚子16b之间的部分，分别使尖端向下地配置着上部喷嘴24a和下部喷嘴24b。各喷嘴24a、24b通过供给管26与容器25连接，所述容器25收容了乙醇等溶剂。在该供给管26的中途部设有泵27。利用旋转上述管26的中途部的滚子，间歇地沿着规定方向压缩该泵27，这样，就从上述各喷嘴24a、24b滴下上述容器25的溶剂。

溶剂从上述上部喷嘴24a和下部喷嘴24b向清扫部件15滴下。这样，从各喷嘴24a、24b滴下的溶剂就分别渗入到清扫部件15中。接着，驱动驱动电动机21a、21b，将清扫部件15的滴下溶剂的部分定位在压紧滚子22a、22b之间。这样就能够利用上述清扫部件15清扫基板W的侧边。

再有，在上述主体1的上部设有控制装置29。该控制装置29控制上述第一、第二X驱动源102a、102b和Y驱动源105的驱动。

向图2和图3中用箭头Y示出的方向搬运被保持在上述载物台104的保持部106上的基板W。在上部清扫部11的上述基板W的搬运方向上游侧，与该基板W的侧边部相对地配置着构成吸引机构的吸引管31。该吸引管31与未图示的吸引泵连接。这样，就能够在利用上部清扫部11清扫设置在基板W的侧边的上表面上的电极107之前，利用上述气体吸引管31吸引除去附着在该侧边部上的灰尘。

再有，附着在基板W的下表面的侧边部上的灰尘大部分都落下，但也可以在下部清扫部12的上游侧也设置吸引管31，吸引除去附着残留在侧边部的下表面上的灰尘。

下面说明利用上述结构的清扫装置清扫基板W的过程。

首先，利用第一X驱动源102a和第二X驱动源102b，向X方向驱动第一清扫单元100A和第二清扫单元100B。将设置在这些清扫单元100A、100B的前面的各上下清扫部11、12的压紧滚子22a、22b的间隔，设定为使其与图4中用B示出的上述基板W的一个宽度尺寸大致相同。

即，以保持了基板W的保持部106为中心，按照基板W的宽度尺寸B，对称地定位第一清扫单元100A和第二清扫单元100B。

接着，使Y驱动源105工作，向Y方向驱动载物台104，即基板W向图2和图3中用箭头Y示出的方向前进。与此同时，使各清扫单元100A、100B的上部清扫部11和下部清扫部12的上下气缸23a、23b工作，向接近一对压紧滚子22a、22b的方向进行驱动。

向Y方向搬运的基板W在到达相对的一对侧边W1、W2的上表面和下表面与压紧滚子22a、22b相对置的位置之前，其上表面通过吸引管31的下方。这样，若在基板W的两侧边W1、W2上附着了灰尘，就利用上述吸引管31吸引除去该灰尘。

用被清扫部件15的压紧滚子22a、22b按压的部分摩擦通过了吸引管31的下方的基板W的相对的一对侧边W1、W2的上表面和下表面。从向清扫部件15供给了溶剂开始，利用该溶剂清扫基板W的一对侧边W1、W2的上表面和下表面。由于在上表面设置了电极107，因此就清扫了该电极107，由于在下表面没设置电极107，因此就清扫除去在基板W的一对侧边W1、W2的下表面上附着的灰尘。

若这样同时清扫基板W的相对的一对侧边W1、W2，通过清扫部件15摩擦一个侧边W1而产生的旋转力矩就与通过清扫部件15摩擦另一个侧边W2而产生的旋转力矩相抵消。

因此，防止了保持在载物台104的保持部106上的基板W向旋转方向偏移移动，因此能够可靠地清扫该基板W的相对的一对侧边W1、W2的整个全长。

这样地，若清扫完了基板W的一对侧边W1、W2，就向X方向的间隔变宽的方向驱动一对清扫单元100A、100B，之后，使载物台104向Y方向后退。接着，使保持部106旋转90度，沿着基板W的搬运方向即Y方向定位基板W的剩余的相对的一对侧边W3、W4。

接着，设定设置在一对清扫单元100A、100B的前面的各上下清扫部11、12的压紧滚子22a、22b的间隔，使其与上述基板W的图4中用A示出的宽度尺寸大致相同。

然后，使Y驱动源105工作，使载物台104向Y方向前进，就在利用吸引管31吸引除去了附着在基板W的一对侧边W3、W4的上表面上的灰尘之后，利用清扫部件15清扫上述侧边W3、W4的上下表面。

由于清扫基板W的一对侧边W3、W4的情况下，基板W也没有向旋转方向偏移，因此也能够可靠地清扫一对侧边W3、W4的整个全长。

并且，由于能够用2次清扫工序清扫基板W的4个侧边W1～W4，因此，与各边各清扫一次的情况相比，能够用一半的生产节拍时间进行清扫。

在上述的一个实施方式中，关于在基板的4个边上形成有电极的情况进行了说明，但也可以是例如在3个侧边形成有电极的情况，若是在4个侧边中的至少相对的一对侧边上形成有电极的情况，由于可以利用本发明的清扫装置同时清扫2个侧边，因此，就能不向旋转方向偏移基板而可靠地并且高效地清扫一对侧边。

在基板的3个侧边上形成有电极的情况下，可以在同时清扫了相对的一对侧边之后，清扫设置有电极的剩余的1个侧边，但也可以一齐清扫设置有电极的侧边和没设置电极的侧边。若这样做，不仅设置了电极的侧边，连没设置电极的侧边的上下面也进行清扫，能够防止在清扫时基板向旋转方向偏移。

此外，不仅在基板的侧边的上表面设有电极，有时也在1个侧边的上表面，在与该侧边相对的侧边和相邻的侧边的下表面上设有电极，另外，有时也在上下两个面上设有电极，在这样的情况下，当然也能够适用本发明。

工业上的可利用性

根据本发明，由于同时清扫基板相对的一对侧边，因此，与各侧边各清扫一次的情况相比，能够缩短生产节拍时间，由于在清扫时基板不向旋转方向移动，因此能可靠地清扫各侧边。

Claims (4)

1、一种基板的清扫装置，清扫基板的至少相对的一对侧边的上下表面，其特征在于，具有：

第一清扫单元，清扫上述基板的一个侧边的上下表面；

第二清扫单元，与该第一清扫单元相对配置，与上述一个侧边同时清扫与上述基板的上述一个侧边相对的另一个侧边；

搬运机构，在相对的第一清扫单元与第二清扫单元之间，沿着与这些清扫单元的对置方向交叉的方向搬运上述基板。

2、如权利要求1所述的基板的清扫装置，其特征在于，在上述第一、第二清扫单元的上述基板的搬运方向上游侧设置了吸引机构，该吸引机构在清扫上述基板的侧边之前吸引除去附着在该侧边部上的灰尘。

3、如权利要求1所述的基板的清扫装置，其特征在于，设置了间隔调整机构，该间隔调整机构按照进行清扫的基板的宽度尺寸，调整上述第一清扫单元和第二清扫单元的相对间隔。

4、一种基板的清扫方法，清扫基板的至少相对的一对侧边的上下表面，其特征在于，具有：

向规定方向搬运上述基板的工序；

同时清扫位于与进行搬运的上述基板的搬运方向交叉的方向上的一个侧边和与该一个侧边相对的另一个侧边的工序。

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