CN1777832A - 粘结卡盘装置 - Google Patents
粘结卡盘装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1777832A CN1777832A CNA2005800001554A CN200580000155A CN1777832A CN 1777832 A CN1777832 A CN 1777832A CN A2005800001554 A CNA2005800001554 A CN A2005800001554A CN 200580000155 A CN200580000155 A CN 200580000155A CN 1777832 A CN1777832 A CN 1777832A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- substrate
- bonding
- deformation film
- bonding parts
- holding plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
- B65G2249/045—Details of suction cups suction cups
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133354—Arrangements for aligning or assembling substrates
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Hooks, Suction Cups, And Attachment By Adhesive Means (AREA)
Abstract
一种粘结卡盘装置,以简单的结构切实地装卸基板,在保持板(1)的基板侧,设有粘结部件(3)和变形膜(4),该粘结部件(3)与基板(A)的反面(A1)相对地粘结保持,该变形膜(4)可向与该基板侧面(1a)交叉的方向出入变形,通过该变形膜(4)的出入变形使基板(A)与粘结部件(3)的粘结表面(3a)抵接地进行粘结,同时通过强制地拉开两者,能够不费力地将基板(A)从粘结部件(3)的粘结表面(3a)剥离。
Description
技术领域
本发明涉及一种粘结卡盘(チヤツク)装置,该装置用于包含基板贴合机的基板组装装置、输送基板的基板搬运装置等中,所述基板贴合机在例如液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)等的平板显示器的制造过程中,粘结保持并贴合CF玻璃、TFT玻璃等的玻璃基板或合成树脂制的基板。
具体的,涉及相对于保持板,通过粘结装卸自由地保持基板的粘结卡盘装置。
背景技术
以往,在使两片基板重合的基板贴合机中,通过静电卡盘保持基板,但随着近年来基板的大型化,制造大尺寸的静电卡盘变得困难,而且即使可以制造成本也非常高。
因此,为了解决这些问题,已有在基板的保持中使用粘结部件的粘结卡盘装置。
作为这样的粘结卡盘装置的一个例子,在相对于卷取自如地张紧在一对滚筒上的粘结片,将上基板粘贴保持后,进行上基板和下基板的贴合,然后,通过多个电机的驱动,使心轴回转并卷取粘结片,同时,通过以与该绕取速度同步的速度向该卷取方向上水平移动该心轴及一方的滚筒,以次将粘结片从上基板的上面缓缓地剥离。(例如,参照专利文献1)
另外,代替上述的通过心轴卷取粘结片,可以在能够贴合两基板并形成一个元件后,通过多个促动器的驱动,使刀具台及刀具座通过多个促动器上升到切刀刃的下端位置,然后通过使切刀向粘结片的横向移动,切断粘贴有上基板的粘结片,在带有该粘结片的状态下取出元件,并在适宜的时候从元件上剥离粘结片。
作为其它的例子,在上方的加压板上开设多个孔,在这些开孔内分别设置促动器,在从各促动器朝向下方伸出的轴的前端粘贴有粘结部件,通过上述促动器的动作在开孔内使粘结部件下降,若粘结部件的下面接触到上基板,则通过其粘结作用以固定到加压板的下面的形状保持,另外,在完成基板的贴合后在从上基板剥离粘结部件时,若通过促动器使粘结部件在开孔内上升,则开孔的周缘部阻止上基板的移动将上基板从粘结部件拉开。(例如,参照专利文献2)
又,在上方的加压板上开设多个开口,在这些开口内分别设置回转用促动器和上下驱动用促动器,在从每个回转用促动器向下方伸出的回转轴的前端安装有粘结部件,通过上下驱动用促动器的动作在开口内使各粘结部件下降,并通过这些粘结部件及吸引吸附作用保持上基板,进行定位,同时进行贴合,在使粘结部件退回到加压板时,相对于基板面通过回转用促动器扭转粘结部件,或者扭转后通过上下驱动用促动器使其退回,以此将粘结部件从上基板剥离。(例如,参照专利文献3)
专利文献1:特开2001-133745号公报(第3~5页、图1~图7)
专利文献2:特开2003-241160号公报(第5页,图7)
专利文献3:特开2003-273508号公报(第5页,图1~5)
发明内容
但是,在这样的以往的粘结卡盘装置中,在专利文献1的情况下,存在如下问题,即,为了剥离粘结部件和基板,在卷取粘结片的同时要以与卷取速度同步的速度使其向卷取方向水平移动,或者必须使刀具台和刀具座上升并通过刀具来切断粘结片,为完成各个动作需要多个电机、促动器等的驱动源,导致构造复杂。
在专利文献2的情况下,为了在加压板的开孔内使粘结部件上升,在每个粘结部件上都分别需要多个促动器,另外,在专利文献3的情况下,由于每个粘结部件都分别需要用于扭转并退回粘结部件的回转用促动器及上下驱动用促动器,因此导致构造复杂化。
因此,专利文献1~3,,特别是由于剥离结构复杂,因此不仅故障发生率高,而且还存在如下问题,即,在配置于包含基板贴合机的基板组装装置、基板输送装置上的情况下,难以将原有的静电卡盘等的基板保持机构置换成本发明的粘结卡盘装置。
本发明的技术方案1所述的发明,以通过简单的结构切实地装卸基板为目的。
技术方案2所述的发明,在技术方案1所述的发明目的的基础上,以能够简单地制造基板粘结机构为目的。
技术方案3所述的发明,在技术方案1或2所述的发明目的的基础上,以使整体结构进一步简单化为目的。
技术方案4所述的发明,在技术方案2或3所述的发明目的的基础上,以能够容易实现吸引用配管系统、吸引控制且能够切实地保持基板为目的。
为了达到前述目的,本发明的技术方案1所述的发明的特征在于,在保持板的基板侧,设有粘结部件和变形膜,该粘结部件与基板的反面相对地粘结保持,该变形膜可向与该基板侧面交叉的方向出入变形,通过该变形膜的出入变形使基板与粘结部件的粘结表面抵接地进行粘结,同时强制地拉开并剥离两者。
技术方案2所述的发明的特征在于,在技术方案1所述的发明的结构中,增加了将所述粘结部件与变形膜一体形成的结构。
技术方案3所述的发明的特征在于,在技术方案1或2所述的发明的结构中,增加了在所述变形膜的一部分上设置粘结部件的粘结表面的结构。
技术方案4所述的发明的特征在于,在技术方案2或3所述的发明的的结构中,增加了在所述板状体的一部分上开设通气孔,并从该通气孔吸引、吸附基板的反面的结构。
本发明中的技术方案1的所述发明,在保持板的基板侧,设有粘结部件和变形膜,该粘结部件与基板的反面相对地粘结保持,该变形膜可向与该基板侧面交叉的方向出入变形,通过该变形膜的出入变形使基板与粘结部件的粘结表面抵接地进行粘结,同时强制地拉开两者,以此不费力地将基板从粘结部件的粘结表面剥离。
因此,可以通过简单的结构切实地装卸基板。
其结果,与为了剥离粘结部件和基板,需要多个电机、促动器等的驱动源的以往的技术相比,由于剥离机构特别简单,所以可以显著降低故障的发生率,特别是在配备于包含有基板贴合机的基板组装装置、基板输送装置等上面的情况下,能够容易地将已有的静电卡盘等的基板保持机构与本发明的粘结卡盘装置进行置换,能够大幅降低制造成本。
又,由于不通过静电吸附保持基板,所以具有不会自发地产生静电的优点。
技术方案2的发明,在技术方案1的发明效果的基础上,由于粘结部件和变形膜是一体形成的,所以只通过在保持板的基板侧上进行配设,就可以同时配置粘结部件和变形膜。
因此,可以简单地制造基板粘结机构。
技术方案3的发明,在技术方案1或2的发明效果的基础上,由于在变形膜的一部分上配设粘结部件的粘结表面,所以只通过由变形膜覆盖保持板的基板侧就可以同时配置粘结部件的粘结表面。
因此,可以使整体构造更加简化。
其结果,由于不必分开地将粘结部件切开并与变形膜粘贴,所以可以以低成本在短时间内制造,能够面向大量生产。
而且,在将粘结部件的粘结表面与变形膜的表面一体形成为同一面状的情况,由于在这些粘结表面与变形膜的表面之间不产生垂直台阶差,因此在用于基板贴合机并贴合一对基板时,不但能够无弯曲变形地均匀地将这些基板彼此压接,而且可以将其它的不良影响抑制到最小。
技术方案4的发明,在技术方案2或3的发明的效果的基础上,在板状体的一部分上开设通气孔,通过从该通气孔吸引、吸附基板的反面,能够同时利用基于粘结部件的粘结保持和基于真空吸附的保持。
因此,能够容易实现吸引用的配管系统和吸引控制,而且可以切实地保持基板。
附图说明
图1是表示本发明的粘结卡盘装置的实施例1的局部纵向剖面正视图,(a)~(c)表示其工作工序。
图2是沿图1的(2)-(2)线的局部横向剖面仰视图。
图3是表示本发明的粘结卡盘装置的实施例2的局部纵向剖面正视图,(a)~(c)表示其工作工序。
图4是沿图3的(4)-(4)线的局部的横向剖面仰视图。
图5是表示本发明的粘结卡盘装置的实施例3的局部纵向剖面正视图,(a)~(c)表示其工作工序。
图6是沿着图5的(6)-(6)线的局部横向剖面仰视图。
具体实施方式
本发明的粘结卡盘装置,表示配置于粘结保持并贴合有液晶显示器(LCD)平板等的玻璃基板的基板贴合机中的情况。
该基板贴合机,如图1~图6所示,在配置于上下的保持板1、2的平行相对的保持面1a、2a上分别保持有两片玻璃基板A、B,在它们的周围划分形成的密闭空间S内达到规定的真空度后,将上下保持板1、2向XYθ方向相对地调整移动,进行基板A、B彼此的定位,然后,将上基板A从上保持板1的保持面1a强制剥离并在瞬间压接到下基板B上的环状粘结剂(密封材料)C上,由此,将两者间密封并重合,然后,通过在两基板A、B的内外产生的气压差将两基板A、B之间加压到规定的间隙。
若详细地说明,就是将上下保持板1、2通过升降装置(图中未示出)向Z方向可相对移动地进行支承,在使这些上下保持板1、2向上下方向离开的状态下,在各自的保持面1a、2a上设置基板A、B,然后,通过该升降装置的动作使上下保持板1、2接近,从而划分形成封闭空间S。
然后,在通过抽气装置(图中未示出)的动作,从该密闭空间S中抽取空气并达到规定的真空度的时候,通过水平移动机构(图中未示出)的动作,将上下保持板1、2的任意一方相对于另一方向XYθ方向调整移动,以此顺次进行保持在保持板上的基板A、B彼此的定位(alignment),即,粗定位和精定位。
完成这些定位,使上下基板A、B重合后,向密闭空间S内供给空气或氮气,通过使该密闭空间S内的空气返回大气压,由两基板A、B的内外产生的气压差均匀地加压,在封入液晶的状态下挤压规定的间隔从而完成产品。
而且,在前述保持板1、2的基板侧,具有本发明的粘结卡盘装置。
详细地说,如图1、图3及图5所示,在作为上下保持板1、2的基板侧的保持面1a、2a的任何一方或两方上,设置有粘结部件3、3′和变形膜4,前述粘结部件3、3′与基板A、B的反面A1、B1相对地粘结保持,前述变形膜4能够向与该基板侧的保持面1a、2a交叉的方向出入变形,通过该变形膜4的出入(凹凸)变形将基板A、B与粘结部件3、3′的粘结表面3a、3a′接触并粘结,并且,将两者强制分离,由此,将基板A、B从粘结部件3的粘结表面3a、3a′不费力地剥离。
下面,根据附图对本发明的实施例进行说明。
实施方式1
该实施例1,如图1~图2所示,表示如下情况,即,上下保持板1、2是由例如金属、陶瓷等的刚体形成为没有弯曲(挠曲)变形的厚度的平板状平台,仅将这些中的上保持板1的基板侧,通过由多个粘结部件3和多个变形膜(加压膜)4构成的板状体4′进行覆盖,通过利用加压使这些变形膜4从该上保持板1的基板侧突出(凸状)变形,由此,将上基板A从粘结部件3的粘结表面3a强制拉开、进行剥离。
在上保持板1的保持面1a上凹陷设有多个或单个凹部1b,这些凹部1b与例如真空泵、压缩机等的吸气源(图中未示出)通过通气路1c相连,通过该吸气源的动作将凹部1b内的气体向外部排放,在上述凹部1b的周围可自由装卸地固定有粘结部件3,同时,凹部1b的开口由变形膜4覆盖。
在图示例中,如图2所示,在上保持板1的保持面1a上,通过大致等间隔地设置的隔壁1d设有多个圆形的凹部1b,所有的凹部1b的开口由一片变形膜4分别覆盖成密封状,通过该变形膜4在与上述隔壁1d的前端面相对应的位置上,与该变形膜4的表面重合地固定有圆环状的粘结部件3。
该粘结部件3是由例如硅类、丙烯酸系、氟类等的粘结材料构成的粘结片,最好使其粘结表面3a与后述的变形膜4尽可能接近地进行配置,而且,该粘结表面3a的面积在具有可以吊持上基板A的粘结力的范围内最好较小地设定,同时最好简单地可以替换地安装粘结部件3。
在图示例子的情况下,将与前述玻璃制的基板A接触的粘结部件3的粘结表面3a的粘结力设定为比与变形膜4接触的固定反面3b的粘结力小,所述变形膜4配置于上保持板1的保持面1a侧,在与基板A粘结时通过其重量,粘结部件3不会从保持面1a侧剥离,但是根据需要随时可以将粘结部件3从变形膜4的表面剥离。
前述板状体4′及变形膜4是可以弹性变形的隔膜,该隔膜由例如不锈钢等的金属制的薄板或橡胶、工程塑料等的合成树脂或其它的弹性材料成型而成的薄片构成,相对于隔壁1d的前端面通过例如电子束焊接等的熔敷或接合部件等进行接合,通过经由前述通气路1c从各凹部1b内向外部排出气体,使该变形膜4产生挠曲变形、向各凹部1b内凹陷;与此相反通过从外部向各凹部1b内供给气体,使该变形膜4以从各凹部1b的开口突出的方式进行弯曲变形。
而且,前述板状体4′的安装方法,并不限于上述的通过焊接或者粘接件的接合方式,通过相对于例如各凹部1b间的隔壁1d以螺钉等的固定装置安装压板(未图示),也可以在这些隔壁1d的前端面与压板间装卸自如地夹持该板状体4′。
另外,根据需要,在前述变形膜4上如图2所示,也可以在与各凹部1b的大致中心相对应的位置上,分别贯通穿设小孔4a。
下面,对该基板贴合机的动作进行说明。
首先,如图1(a)所示,在上下保持板1、2向上下方向离开的状态下,在各个的保持面1a、2a上设置上下基板A、B,此时,通过将在上保持板1的保持面1a上形成的凹部1b内抽成真空并减压,使变形膜4弯曲成凹状。
在该状态下,通过基板输送用机械手(图中未示出)输送上基板A,将其反面A1向上保持板1的保持面1a移动,若以规定的压力与粘结部件3的粘结表面3a相接触,则可通过该粘结表面3a的粘结力保持上基板A。
另外,如图2所示,在与各凹部1b相对应地在变形膜4上穿设小孔4a的情况下,若从这些小孔4a抽成真空,则能够更强地吸附保持上基板A。
然后,如图1(b)所示,在上下保持板1、2接近、密闭空间S内达到规定的真空度以后,将上下保持板1、2的任意一方相对于另一方向XYθ方向调整移动,进行保持于其上的基板A、B彼此的定位。
完成定位以后,如图1(c)所示,向形成于上保持板1的保持面1a上的凹部1b内导入气体,并从其背面侧对变形膜4加压、使之弯曲成凸状,并使其前端从粘结部件3的粘结表面3a突出。
由此,将粘结保持在粘结部件3的粘结表面3a上的上基板A强制地拉开,在将上基板A从粘结部件3的粘结表面3a不费力地剥离的同时,通过这些变形膜4的突出压力将该上基板A按压到下基板B上的环状粘合剂C上并使之重合。
此时,在变形膜4上开小孔4a的情况下,通过从这些小孔4a向上基板A的反面A1喷出例如氮气等的气体,将上基板A从该粘结部件3的粘结表面3a强制地剥离并向下基板B上的环状粘合剂C瞬间地压接,使两者之间密封。
因此,可以将玻璃制的上下基板A、B在真空中没有变形地均一地压接,所加的压力也可以容易地改变。
而且,由于上保持板1的基板侧被由多个粘结部件3和多个变形膜4构成的板状体4′覆盖,所以上基板A的多个位置被同时粘结保持,同时能够进行剥离,即使上基板A是大型的也可以切实地保持和剥离。
而且,由于将上述粘结部件3和变形膜4尽可能接近地进行配置,所以在通过变形膜4的突出压力将玻璃制的上基板A从粘结表面3a剥离时,上基板A的一部分不会较大地弯曲,由此,在完成定位的上下基板A、B上不会发生位置偏移、封闭液晶的环状粘合剂C断开的问题。
又,由于粘结部件3的面积设定得较小,所以在将玻璃制的上基板A从粘结表面3a剥离时,不需要很大的力,可以防止玻璃的破裂等的事故,同时,由于粘结部件可以简单地替换安装,所以虽然担心由于反复进行上基板A的粘结接触与分离会导致的异物的粘附和粘结力的降低,但是此时可以通过更换粘结部件3来解决。
实施方式2
该实施例2如图3~图4所示,从在前述保持板1的保持面1a上形成的隔壁1d遍及粘结部件3及变形膜4,贯通状地开设有多个通气孔1e,将连通这些通气孔1e和例如真空泵、压缩机等的吸气源(图中未示出)的通气路1f与前述凹部1b的通气路1c以不同系统的方式形成,该结构与前述图1~图2所示的实施例1不同,其它的结构与图1~图2所示的实施例1相同。
根据上述构成,如图3(a)所示,通过在上保持板1的保持面1a上设置上基板A时从通气孔1e抽气,可以以更强的力吸附保持上基板A。另外如图3(c)所示,在进行基板A、B彼此的定位后的剥离时,由于从通气孔1e喷出例如压缩空气或氮气等的气体,能够以更大的力将上基板A从粘结部件3的粘结表面3a强制地剥离并在瞬间向下基板B上的环状粘合剂C上压接。
所以,图3~图4所示的实施例2,可以得到与上述图1~图2所示的实施例1相同的作用效果,而且由于在通过实施例1的粘结部件3粘结保持上基板A的基础上,增加了通过来自通气孔1e的吸引对上基板进行真空吸附保持,所以具有以下优点,即,能够容易实现吸引用配管系等的结构、吸引控制,而且可以更切实地保持上基板A,同时,能够完全防止由于变形膜4的突出压力不稳而导致的上基板A的位置偏移。
实施方式3
该实施例3,如图5~图6所示,以下的结构与前述图1~图2所示的实施例1及图3~图4所示的实施例2不同,除此以外的其它结构与图1~图2所示的实施例1及图3~图4所示的实施例2相同,所述的不同的结构是:代替上述环状的粘结部件3,在前述变形膜4的一部分上设置粘结部件3′,以此构成由多个变形膜4和粘结部件3′构成的板状体4″,通过该板状体4″覆盖上保持板1的基板侧,同时,在使变形膜4平坦的状态下,使该粘结部件3′的粘结表面3a′与上基板A抵接、进行粘结保持,另一方面,通过使变形膜4在该上保持板1的基板侧的减压作用下进行没入(凹状)变形,以此将粘结部件3′的粘结表面3a′从上基板A强制分开并剥离。
作为在上述变形膜4的一部分上配设粘结部件3′的方法,通过对由弹性材料构成的变形膜4进行表面处理或对其进行类似的加工,仅在其表面的所期望的位置上使粘结表面3a′与该变形膜4的表面一体形成为同一面状或设置成一体,作为板状体4″。
该板状体4″的形状不仅仅限于图示的平坦的板状,也可以是使变形膜4朝向形成于上保持板1的保持面1a上的凹部1b内局部地凹进等的非完全的平板状。
在图示的情况下,在前述变形膜4的大致中心位置上局部地一体形成圆状的粘结表面3a′,但只要可以切实地保持上基板A的反面A1,除此以外的其它形状也可以。
另外,在图示例子中,上述小孔4a没有穿设在变形膜4上,但是根据需要,也可以与前述实施例1的图2、实施例2的图4所示的装置相同地,在粘结部件3′的大致中心位置上分别贯通穿设小孔4a。
通过上述结构,如图5(a)及图5(b)所示,将气体导入到形成于上保持板1的保持面1a上的凹部1b内,通过从其反面侧对变形膜4进行加压使其弯曲成凸状,若使粘结部件3′的粘结表面3a′与上基板A接触,则可通过该粘结力保持上基板A。
在上下基板A、B重合后,从使密闭空间S内的环境返回到大气压开始,如图5(c)所示,通过将凹部1b内抽成真空并进行使其减压等的减压驱动,若使变形膜4凹状弯曲并使粘结部件3′的粘结表面3a′没入到凹部1b内,则可将把粘结表面3a′从上基板A上强制拉开。
与此同时,若从通气孔1e喷出例如压缩空气或氮气等的气体,则可以以更大的力将上基板A从粘结部件3′的粘结表面3a′上强制剥离。其结果,如图5~图6所示的实施例3,可以得到与上述图1~图2所示的实施例1、图3~图4所示的实施例2同样的作用效果,而且更具有如下优点:由于在变形膜4的一部分上配置粘结部件3′的粘结表面3a′,所以仅通过以板状体4′覆盖作为上保持板1的基板侧的保持面1a及凹部1b全体,便可同时配置粘结部件3′的粘结部件3′,由此能够使粘结卡盘装置的整体结构更加简化,由于不必像实施例1和实施例2那样将粘结部件3与变形膜4分开贴合,所以可以以低成本在短时间内制造。
又,在通过表面处理等将粘结部件3′的粘结表面3a′与变形膜4的表面一体形成为同一面状的情况下,由于在这些粘结表面3a′与变形膜4的表面之间不产生台阶差,所以在上下基板A、B的贴合时,不仅能够没有变形且均匀地压接基板A、B彼此,而且还具有能够把其它的不良影响抑制到最小的优点。
另外,虽然示出了将本发明的粘结卡盘装置配备在贴合机中的情况,该贴合机粘结保持并贴合液晶显示器(LCD)平板等的玻璃基板,但本发明并不仅限于此,也可以配置在该基板贴合机以外的基板组装装置、输送基板的基板搬运装置中,用来粘结、保持LCD平板用玻璃基板以外的基板。
另外,虽然说明了在真空中贴合基板A、B的基板贴合机,但是不仅限于此,也可以是在空气中贴合基板A、B的基板贴合机,即使在该情况下,也可以得到与上述真空贴合机相同的作用效果。
又,在前面所示的实施例中,仅在作为上保持板1的基板侧的保持面1a上配置粘结部件3和变形膜4,但不仅限于此,同样也可以在作为下保持板2的基板侧的保持面2a上,固定与下基板B的反面B1相对地粘结保持的粘结部件3,同时,可以设置能够向上下方向弹性变形的变形膜4。
而且,在上保持板1的保持面1a上凹设有多个圆形的凹部1b,所有这些凹部1b的开口由一片板状体4′、4″覆盖,但并不仅限于此,也可以将凹部1b的形状换成圆形以外的形状,将各凹部1b由多片变形膜4分别覆盖。
Claims (4)
1.一种粘结卡盘装置,其相对于保持板通过粘结装卸自如地保持基板,其特征在于,在所述保持板的基板侧,设有粘结部件和变形膜,该粘结部件与基板的反面相对地粘结保持,该变形膜可向与该基板侧面交叉的方向出入变形,通过该变形膜的出入变形使基板与粘结部件的粘结表面抵接地进行粘结,同时强制地拉开并剥离两者。
2.如权利要求1所述的粘结卡盘装置,其特征在于,所述粘结部件与变形膜一体形成。
3.如权利要求1或2所述的粘结卡盘装置,其特征在于,在所述变形膜的一部分上设置粘结部件的粘结表面。
4.如权利要求2或3所述的粘结卡盘装置,其特征在于,在所述板状体的一部分上开设通气孔,从该通气孔吸引、吸附基板的反面。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004115553 | 2004-04-09 | ||
JP115553/2004 | 2004-04-09 | ||
PCT/JP2005/006925 WO2005098522A1 (ja) | 2004-04-09 | 2005-04-08 | 粘着チャック装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1777832A true CN1777832A (zh) | 2006-05-24 |
CN1777832B CN1777832B (zh) | 2010-05-05 |
Family
ID=35125225
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2005800001554A Active CN1777832B (zh) | 2004-04-09 | 2005-04-08 | 粘结卡盘装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3882004B2 (zh) |
KR (1) | KR100869088B1 (zh) |
CN (1) | CN1777832B (zh) |
TW (1) | TW200606501A (zh) |
WO (1) | WO2005098522A1 (zh) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102649336A (zh) * | 2011-02-28 | 2012-08-29 | 信越工程株式会社 | 工作粘附卡盘装置及工件贴合机 |
CN101783311B (zh) * | 2009-01-20 | 2012-09-05 | Ap系统股份有限公司 | 衬底固持单元和具有其的衬底组装设备 |
CN105000384A (zh) * | 2014-04-23 | 2015-10-28 | 株式会社爱发科 | 保持装置和真空处理装置 |
CN105572925A (zh) * | 2016-01-04 | 2016-05-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板承载装置 |
CN106910700A (zh) * | 2017-03-09 | 2017-06-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 转印装置和电子器件的转印方法 |
WO2018192389A1 (zh) * | 2017-04-21 | 2018-10-25 | 厦门市三安光电科技有限公司 | 一种用于微元件转移的转置头 |
CN115072369A (zh) * | 2022-06-28 | 2022-09-20 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 搬运组件及成膜装置 |
Families Citing this family (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8603288B2 (en) | 2008-01-18 | 2013-12-10 | Rockwell Collins, Inc. | Planarization treatment of pressure sensitive adhesive for rigid-to-rigid substrate lamination |
US8936057B2 (en) | 2005-08-30 | 2015-01-20 | Rockwell Collins, Inc. | Substrate lamination system and method |
US8691043B2 (en) | 2005-08-30 | 2014-04-08 | Rockwell Collins, Inc. | Substrate lamination system and method |
JP4671817B2 (ja) * | 2005-09-08 | 2011-04-20 | 信越ポリマー株式会社 | 部品保持具 |
KR100898793B1 (ko) * | 2005-12-29 | 2009-05-20 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시소자용 기판 합착 장치 |
KR101426572B1 (ko) | 2006-03-15 | 2014-08-05 | 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 | 보유 지그, 반도체 웨이퍼의 연삭 방법 |
DE102006031434B4 (de) * | 2006-07-07 | 2019-11-14 | Erich Thallner | Handhabungsvorrichtung sowie Handhabungsverfahren für Wafer |
WO2008093408A1 (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-07 | Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. | 粘着チャック装置 |
WO2008114337A1 (ja) * | 2007-02-22 | 2008-09-25 | Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. | 真空貼り合わせ方法及び真空貼り合わせ装置 |
WO2008136056A1 (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-13 | Hitachi, Ltd. | プラズマディスプレイパネルの製造装置及び製造方法 |
JP5074125B2 (ja) * | 2007-08-09 | 2012-11-14 | リンテック株式会社 | 固定治具並びにワークの処理方法 |
KR100918614B1 (ko) * | 2007-10-19 | 2009-09-25 | (주)아폴로테크 | 기판척 |
US8245751B2 (en) * | 2007-11-07 | 2012-08-21 | Advanced Display Process Engineering Co., Ltd. | Substrate bonding apparatus |
KR101625880B1 (ko) * | 2008-01-18 | 2016-05-31 | 로크웰 콜린스 인코포레이티드 | 기판 적층 시스템 및 방법 |
TW201005975A (en) * | 2008-03-14 | 2010-02-01 | Dow Corning | Method of forming a photovoltaic cell module |
JP4958312B2 (ja) * | 2008-08-11 | 2012-06-20 | 信越ポリマー株式会社 | 保持治具 |
JP2010126342A (ja) * | 2008-12-01 | 2010-06-10 | Advanced Display Process Engineering Co Ltd | 基板チャック及びこれを有する基板合着装置 |
JP2010165883A (ja) * | 2009-01-16 | 2010-07-29 | Lintec Corp | 半導体ウエハの搬送装置及び搬送方法 |
CA2765028A1 (en) * | 2009-06-08 | 2010-12-16 | 3S Swiss Solar Systems Ag | Method for producing a solar panel |
KR101221034B1 (ko) * | 2010-10-06 | 2013-01-21 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판척 및 이를 이용한 기판처리장치 |
KR101326016B1 (ko) * | 2010-10-06 | 2013-11-07 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판분리모듈 및 기판분리장치 |
JP2012187679A (ja) * | 2011-03-11 | 2012-10-04 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | チャック装置 |
KR101347546B1 (ko) * | 2011-03-14 | 2014-01-03 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판 척킹장치 및 이를 가지는 박막증착장비 |
JP4903906B1 (ja) * | 2011-04-07 | 2012-03-28 | 信越エンジニアリング株式会社 | ワーク粘着チャック装置及びワーク貼り合わせ機 |
KR101328886B1 (ko) * | 2011-05-07 | 2013-11-13 | 주식회사 야스 | 링 모양 점착부를 이용한 기판 탈부착 장치 |
US8647727B1 (en) | 2012-06-29 | 2014-02-11 | Rockwell Colllins, Inc. | Optical assembly with adhesive layers configured for diffusion |
JP5422767B1 (ja) * | 2013-05-09 | 2014-02-19 | 信越エンジニアリング株式会社 | 貼り合わせ分離方法及び分離装置 |
KR101585316B1 (ko) * | 2014-01-29 | 2016-01-13 | 세메스 주식회사 | 다이 이젝팅 장치 |
US9981460B1 (en) | 2014-05-06 | 2018-05-29 | Rockwell Collins, Inc. | Systems and methods for substrate lamination |
JP6398301B2 (ja) * | 2014-05-09 | 2018-10-03 | 藤倉化成株式会社 | 吸着離脱装置 |
CN104637843B (zh) * | 2015-02-02 | 2017-12-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 封装设备和封装方法 |
WO2018074013A1 (ja) * | 2016-10-17 | 2018-04-26 | 信越エンジニアリング株式会社 | 貼合デバイスの真空貼り合わせ装置 |
US10919237B2 (en) * | 2017-05-26 | 2021-02-16 | The Boeing Company | Pick and place end effector |
JP6733966B2 (ja) * | 2018-07-09 | 2020-08-05 | Aiメカテック株式会社 | 基板組立装置及び基板組立方法 |
WO2020175401A1 (ja) * | 2019-02-28 | 2020-09-03 | 日東電工株式会社 | 接着デバイス、これを用いた移載装置、及び移載方法 |
KR102198179B1 (ko) * | 2019-05-21 | 2021-01-04 | (주) 아이엠텍 | 터치 패널용 기판 진공 합착 시스템 및 그 시스템을 이용하여 터치 패널용 기판 진공 합착 방법 |
KR102198180B1 (ko) * | 2019-05-21 | 2021-01-04 | (주) 아이엠텍 | 터치 패널 합착용 고무척 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01142532A (ja) * | 1987-11-27 | 1989-06-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶パネルの製造方法 |
JP3159228B2 (ja) * | 1993-03-12 | 2001-04-23 | ソニー株式会社 | 液晶表示素子の製造方法及びその装置 |
JP3082697B2 (ja) * | 1997-02-27 | 2000-08-28 | 日本電気株式会社 | 異方性導電フィルム貼付方法及び装置 |
-
2005
- 2005-04-08 KR KR1020067001279A patent/KR100869088B1/ko active IP Right Review Request
- 2005-04-08 TW TW094111195A patent/TW200606501A/zh unknown
- 2005-04-08 CN CN2005800001554A patent/CN1777832B/zh active Active
- 2005-04-08 JP JP2006515325A patent/JP3882004B2/ja active Active
- 2005-04-08 WO PCT/JP2005/006925 patent/WO2005098522A1/ja active Application Filing
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101783311B (zh) * | 2009-01-20 | 2012-09-05 | Ap系统股份有限公司 | 衬底固持单元和具有其的衬底组装设备 |
CN102649336A (zh) * | 2011-02-28 | 2012-08-29 | 信越工程株式会社 | 工作粘附卡盘装置及工件贴合机 |
CN102649336B (zh) * | 2011-02-28 | 2015-11-25 | 信越工程株式会社 | 工件粘附卡盘装置及工件贴合机 |
CN105000384A (zh) * | 2014-04-23 | 2015-10-28 | 株式会社爱发科 | 保持装置和真空处理装置 |
CN105000384B (zh) * | 2014-04-23 | 2019-01-08 | 株式会社爱发科 | 保持装置和真空处理装置 |
CN105572925A (zh) * | 2016-01-04 | 2016-05-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板承载装置 |
CN105572925B (zh) * | 2016-01-04 | 2018-09-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板承载装置 |
CN106910700A (zh) * | 2017-03-09 | 2017-06-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 转印装置和电子器件的转印方法 |
WO2018192389A1 (zh) * | 2017-04-21 | 2018-10-25 | 厦门市三安光电科技有限公司 | 一种用于微元件转移的转置头 |
CN115072369A (zh) * | 2022-06-28 | 2022-09-20 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 搬运组件及成膜装置 |
CN115072369B (zh) * | 2022-06-28 | 2024-07-09 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 搬运组件及成膜装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1777832B (zh) | 2010-05-05 |
TWI364576B (zh) | 2012-05-21 |
KR100869088B1 (ko) | 2008-11-18 |
KR20060133942A (ko) | 2006-12-27 |
WO2005098522A1 (ja) | 2005-10-20 |
TW200606501A (en) | 2006-02-16 |
JP3882004B2 (ja) | 2007-02-14 |
JPWO2005098522A1 (ja) | 2007-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1777832A (zh) | 粘结卡盘装置 | |
CN1286749C (zh) | 自动平板玻璃分离器 | |
US10194538B2 (en) | Method and apparatus for manufacturing a display device | |
KR101255867B1 (ko) | 점착 척 장치 | |
CN1530714A (zh) | 基板粘合装置以及基板粘合方法 | |
CN1265947C (zh) | 用于切割液晶显示板的设备 | |
CN1259264C (zh) | 脆性材料基板的破断装置及其破断方法以及具有该装置的母贴合基板的分断系统 | |
KR100921716B1 (ko) | 필름부착방법 및 필름 부착 장치 | |
CN1437044A (zh) | Lcd粘接机和用这种粘接机制造lcd的方法 | |
CN1669119A (zh) | 拾取半导体芯片的方法和设备及为此使用的吸引和剥落工具 | |
JP5654155B1 (ja) | ワーク貼り合わせ装置 | |
CN1855363A (zh) | 支承板分离装置及使用该装置的支承板分离方法 | |
CN101075036A (zh) | 基板组装装置及使用它的基板组装方法 | |
CN101036221A (zh) | 非接触型吸附保持装置 | |
CN1486285A (zh) | 划线分断设备及其系统 | |
CN1947228A (zh) | 片剥离装置及剥离方法 | |
CN1447165A (zh) | Lcd粘合机及用其制造lcd的方法 | |
CN108140605B (zh) | 层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法 | |
CN101061528A (zh) | 基板保持结构 | |
CN1701917A (zh) | 面板清洁装置及方法 | |
CN1439913A (zh) | 制造液晶显示器的设备和方法,使用该设备的方法,用该方法生产的器件 | |
JP5177909B2 (ja) | 基板貼合装置 | |
CN1577761A (zh) | 基片接合方法和设备 | |
CN1797088A (zh) | 基板粘合装置以及基板粘合方法 | |
CN1991528A (zh) | 液晶显示面板的基板粘接装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |