TWI364576B - - Google Patents

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1364576 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種在例如液晶顯示器（LCD)與電漿顯示 器（PDP)等之平的面板顯示器之製造過程中，使用於點著 保持CF玻璃與TFT玻璃等之玻璃製基板或合成樹脂製基 板’且包含使其黏合之基板黏合機之基板裝配裝置與搬送 基板之基板搬送裝置等之黏著夾頭裝置。

詳細的是，關於一種對於保持板可以自由安裝卸下黏著 保持基板之黏著夾頭裝置。 【先前技術】 習知，在重疊2牧基板之基板黏合機，雖以靜電夾頭保 持著基板，但近年來隨著基板的大型化，較難製作較大尺 寸之靜電夾頭，另外，假設即使可以製作亦變成非常貴的 東西。 在此，為了解決此等之問題，具有在基板的保持使用黏 著材之黏著夾頭裝置。 作為如此黏著夾頭裝置之一例，係對於自由捲取黏貼於 橫跨一對滾子之黏著片，在貼附保持上基板之後，進行上 . 基板與下基板之黏合，之後，以多數之馬達驅動，使主軸 • %轉捲取黏著片，同時藉以與其捲取速度相同之速度朝同 捲取方向使該主軸及一方之滾子作水平移動，由基板的上 面慢慢的剝離黏著片（例如，參照專利文獻丨）。 而且’藉上述之主轴替代黏著片之捲取，黏合兩基板完 成早7L之後’以多數促動器之驅動，藉多數之促動器使刀 100978.doc 昇到刀具的刀之下端位置之後，藉使刀具 朝黏耆片之寬方向移動， m 切斷黏貼上基板之黏著片，取. 附上該黏著片之狀竑 - 取出 Μ下之早π，在適當的時點由單元剝取 黏著片。 更進-步，作為其他例者’係在上方之加壓板設置多數 開孔’在此等開孔内分別具有促動器，在由各促動器朝向 下方延伸之轴的前端黏貼黏著構件，藉上述促動器之動作 在開孔内使黏著構件下降’黏著構件之下面若與上基板接 觸’則以其黏著作用以黏附於加壓板的下面之型態保持， 另外，在基板的黏合後由上基板剝離黏著材時’若藉促動 器在開孔内使料構件上昇，利孔的周緣部阻止上基板 的移動’由黏著構件分離上基板（例如，參照專利文獻2)。 另外，在上方之加壓板設置多數開口，在此等開口内分 別具有旋轉隸動H與上下驅動隸動器，在由分別之旋 轉用促動器朝向下方延伸之旋轉軸的前端安裝黏著構件， 藉上下驅動用促動器之動作在開口内使各黏著構件下降， 以與此等黏著構件吸引吸著保持上基板，邊定位邊進行貼 合，使黏著構件退行至加壓板内時，藉旋轉用促動器對基 板面一面扭轉黏著構件，或扭轉之後藉上下驅動用促動器 使其退行，由上基板剝離黏著構件（例如，參照專利文獻 3)。 [專利文獻1 ] 特開2001-133745號公報（第3巧頁、圖丨-圖7) [專利文獻2 ] 100978.doc 1364576 特開2003-24】160號公報（第5頁、圖7)

[專利文獻3J 特開2003-273508號公報（第5頁、圖K5) 但是，在如此習知之黏著夹頭裝置，專利文獻】的情 形，具有為了剝離黏著構件與基板，以邊捲取邊與捲取速 度相同之速度朝同捲取方向使黏著片作水平移動，或必須 使刀具台及刀具架上昇以刀具切斷黏著片，在分別之作動 形成必須要有較多多數馬達盥促動 雜化之問題。 H動以之驅動源之構造複 更進#，在專利文獻2的情形，在加塵板的開孔内為 了使黏著構件上昇，在每一各黏著構件必須要有多數之促 動P另外，在專利文獻3的情形，具有在每一各黏著構 件必須要有為了邊扭轉黏 ㈣㈣件邊使其退行之旋轉用促動 Μ上下驅動用促動器之構造複雜化問題。 =而’專利文獻1〜3，特別是由於剝離構造複雜，不僅 故障產生率較高，更隹 其“ 在配備於包含基板點合機之 裝置與基板搬送裝置等時，具有較難將既設之靜 =頭專之基板保持機構置換為本發明之黏著夾頭裴置之 間題。 、止HI中之請求項1之發明其目的在於可以以簡單的構 以確貫的安裝卸下基板。 請求項2之發明係加上請求項i之發明之目的 於：以簡單的製作基板點著構造。 ’、的在 “項3之發明係加上請求項】或2之發明之目的，其目 100978.doc 1364576 的在於可以更簡單化全體構造。 s青求項4之發明係加上請求項2或3之發明之目的，其目 的在於可以邊容易實現吸引用配管系與吸引控制邊確實的 保持基板。 【發明内容】 為了達成前述之目的，本發明中之請求項1之發明，係 在保持板之基板側設置黏著構件與變形膜；該黏著構件，

其係與基板之内面對向黏著保持；該變形膜，其係可以朝 與该基板侧面交又之方向出沒變形；以該變形膜之出沒變 形使黏著構件之黏著表面與基板抵接黏著，而且強制分離 此等兩者。 請求項2之發明’係在請求項1之發明之構成，加上—體 形成前述黏著構件與變形膜之構成。 請求項3之發明，係在請求項丨或2之發明之構成，加上 在別述變形膜之一部配設黏著構件之黏著表面之構成。

請求項4之發明，係在請求項2或3之發明之構成，加上 在前述板狀體之-部開設通氣孔，由該通氣孔吸引吸著基 板的内面。 【實施方式】 [發明之效果] 本發明中請求们之發明，係在保持板之基板側設置點 著構件與變形膜；該黏著構件，其係與基板之内面對向點 著保持；該變形膜，盆必 、係了以朝與該基板側面交又之方向 出沒變形；以該變并5胺+山，Λ w ^膜之出 >又變形使黏著構件之黏著表面 I00978.doc I364576 與基板抵接黏著，而且藉強制分離此等兩者，可以不必強 制的由黏著構件之黏著表面剝離基板。 從而，可以以簡單的構造確實的安裝卸下基板。 其結果’為了剝離黏著構件與基板，與習知之必須要較 夕馬達與促動器等之驅動源相比’特別是由於剝離構造簡 單可以員著降低故障的發生率，進一步，在配備於包含 基板黏合機之基板裝配裝置與基板搬送裝置等時，可以容 易的將既α之靜電夾頭等之基板保持機構置換成本發明之 黏著夾頭裝置，可以謀求大幅的降低製造成本。 另外’由於藉靜電吸著不保持基板，所以也具有使靜電 不會自發性的產生之優點。 請求項2之發明，係加上請求…之發明效果，藉一體形 成黏著構件與變形臈，僅在配設於保持板之基板側，就可 :同時配置黏著構件與變形膜，從而，可以簡單的製作基 板黏著構件。

請求項3之發明，係加上請灰 項1或2之發明效果，藉在 、之邛配认黏著構件之黏著表面’僅以變形膜覆蓋 保持板之基板側，就可以同時配置黏著部之黏著表面。 從而’可以更簡單化全體構造。 其結果 者構件， 產。

由於沒有必要與變形膜另外—個的剪掉糊上黏 以可以以低成本短期間的製造，帛向大量生 面與變形膜的表面一體 與變形膜的表面之間不 進一步，在將黏著構件的黏著表 形成面一狀時，由於此等黏著表面 J00978.doc 會產生段差，所，、；4 右吏用於基板黏合機黏合一對基板， 以將此等基板相互間不歪斜均-的壓成，亦可以“ 其他不良影響於最小。 抑制 ，項之發明，係加上請求項2或3之發明效果’传在 板狀體之一部開設通氣 係在 , 轧孔藉由该通氣孔吸引吸著基板的 内面’併用依黏著構件夕逢 n 偁件之黏考保持與依真空吸著之保持。 從而，可以—；六0 + ^ 面合易貫現吸引用配管系與吸引控制一面 確貫的保持基板。 :發明之黏著夾頭裝置係黏著保持液晶顯示器面 ^ 顯不配備於使其黏合之基板黏合機的情 形0 Δ該基板黏合機係如圖1〜圖6所顯示，使二枚玻璃製基板 、Β分別保持於對向於配置在上下之保持板1、2平行之 '二 2a區劃形成於彼等周圍之閉空間S内達到特 —真度之後’將上下保持板工、2相對的朝又別方向調 整移動，進行基板A、B相互間之位置校準，之後，由上 …^保持面1&強制的剝離基板A，藉瞬間的朝下基板 B上之ί哀狀黏著劑(密封材)。壓成，密封兩者間使其重疊， 之後以在兩基板A、Β之内外產生之氣壓差’加壓兩基 板A、Β之間至特定之間隙為止。 右。羊、、，®的說明，±下保持板丨、2以升降手段朝Z方向相 對的可二移動支擇，此等上下保持板1、2在朝上下方向離 開之狀態’在各個之保持面la、2a安裝基板A、B，之後， 利用該升降手段之作動，藉使其接近上下保持板卜2區劃 100978.doc 丄北4576 係以例如金屬與陶瓷等之剛體形成不歪斜（彎曲）變形厚度 之平板狀之定盤，以由多數之黏著構件3與多數之變形膜4 所形成之板狀體4,包覆此等中僅上保持板1之基板側，藉由 S玄上保持板1之基板側以加壓使此等之變形膜4突出（凸狀） ▲形，由黏著構件3之黏著表面3a強制分離剥離上基板A之 情形。

在忒上保持板1之保持面1 a凹設多數或單數之凹部丨b , 以通氣路lc連絡該凹部lb與例如真空泵和壓縮機等之吸氣 源（未圖示），藉該吸氣源之作動，使凹部lb内之氣體朝外 部供氣排氣’在上述凹部lb的關自由安裝與卸下的固定 黏著構件3 ’而且以變形膜覆蓋凹部lb之開口。

在圖示例如圖2所顯示，在上保持板1之保持面la，透過 配置於概略每等間隔之隔壁Id凹設多數圓形之凹部lb，以 1枚之變形膜4分別密閉狀的覆蓋此等全部之凹部lb之開 口 :以該變形膜4在與上述隔壁ld之前端自對應之位置: 重疊於該變形膜4的表面，固定著圓環狀之黏著構件3。 該黏著構件3係由例如矽系、丙烯基系與氟系等之黏著 材料所形成之黏著片，期望配置在使其詩表面3a儘可能 的接近後述之變形膜，更進-步期望將該黏著表面3a之面 積縮小設定在具有可su # > A ^ ^ 吊持上基板A之點著力之範圍内， 而且，可以簡單黏換安攀黏著構件3。 在Λ示例的情形’藉與配置於上保持板】之保持面la側 之卜杨膜4接觸之固定内面讣之黏著力減弱與前 基板Α接觸之”構件3之黏著表面h之黏著力，在與基板 J00978.doc 12 1364576 A之黏著時’以其重量，黏著構件3雖未由保持面1 a側剝 離，但因應需要，黏著構件3隨時可以由變形膜4的表面剝 離。

而且’剛逃板狀體4'及變形膜4係由例如不鏽鋼等之金 屬製薄板或橡膠與工程塑膠等之合成樹脂或以其以外之彈 性材料所成型之片㈣成之可以彈性變形之Μ,對於隔 壁Id之前端面藉例如電子束焊接等之熔焊或黏著材等黏 著，透過上述通氣路1C藉使氣體由各凹部lb内朝外部排 氣，使該變形膜彎曲變形成朝各凹部lb内凹下，與此相 反，藉由外部朝各凹部lb内供給氣體，使該變形膜4彎曲 變形成由各凹部1 b之開口突出。 進一步，上述板狀體4,之安裝方法係沒有限定於依上述 之熔焊與黏著材之黏著，例如對各凹部^間之隔壁W以螺 栓等之固定手段安裝壓板（未圖示），在此等隔壁id之前端 面與壓板之間即使自由安裝卸下的挾持該板狀體4,亦可。 另外按照需要，在上述變形膜2如圖2所顯示，在盘各凹 ㈣…心對應之位置’即使分別貫通開穿小孔乜亦 可。 其次，針對關於基板黏合機之作動加以說明。 首先，如圖1(a)所顯示，上下保持板丨、2在朝上下方向 離開之狀態’雖在分別之保持面la'2a安置上下基板A、 B，但此時，藉抽取真空減壓形成上 乂仏上保持板1之保持面1 a 之凹部lb内，使變形膜4彎曲成凹狀。 在該狀態，藉基板搬送用機器人f去国_ 风益人（未圖不）移送上基板 100978.doc 1364576 γ其内面Μ朝向上保持板！之保持φ1Α移動，若以特定 壓力接觸於黏著構件3之黏著表面3a，則藉該黏著表面^ 之黏著力可以保持上基板A。 另外，如圖2所顯示，在變形膜4與各凹部汨對應開穿小 孔4a時，若由此等小孔心吸引真空，則上基板a可以更強 的被吸附保持。 之後，如圖1(b)所顯示，上下保持板丨、2接近，閉空間 s内達到特定之真空度之後，上下保持板i、2之任一方對 另外一方，朝ΧΥΘ方向調整移動，可以進行保持於彼等之 基板A、B相互間之位置校準。 該位置校準完成之後，如圖】（c)所顯示，在形成於上保 持板1之保持面13之凹部lb内導入氣體，由其背面側加壓 變形膜4使其彎曲成凸狀，使其前端由黏著構件3之黏著表 面3a突出。 藉此，強制的分離黏著保持於黏著構件3之黏著表面& 之上基板A，由黏著構件3之黏著表面3a不強制剝離上基板 A之同時，以此等變形膜4之突出壓力，將該上基板A壓住 重疊於下基板B上之環狀黏著劑〇 此時，在變形膜4開穿小孔4a時，藉由此等小孔牦朝上 基板A之内面A1喷出例如氮氣等之氣體，由該黏著構件3 之黏著表面3a強制的剝離上基板a，朝下基板b上之環狀 黏著劑C瞬間的壓成，可以密封兩者間。 從而’玻璃製之上下基板A、B不會傾斜的以真空中均 一的可以壓成基板A、B相互間，也可以容易的改變其加 I00978.doc ]4 1364576 壓力。 而且，由於以由多數之黏著構件3與多數之變形動所形 成之板狀體4,包覆上保持板！之基板側，所以上基板 數處所同時被黏著保持，而且也可以同時剝離，上基板A 即使為大型亦可以確實的保持與剝離。

更進-步，由於儘可能使上述”構件3與變形動接近 配置，所以在以變形膜4之突出壓力由黏著表面3a剝離玻 璃製之上基板A時，上基板A之一部不會有較大之變曲， 藉此在完成位置校準之上下基板A、B不會產生位置偏 移，也不會產生密封液晶之環狀黏著㈣中斷之不順利。 另外，由於將黏著構件3之面積設定成較小，所以在由 ^表面3續離玻璃製之上基板辑，不需要較大之力 里，就可以防止玻璃的破壞等之事故，而且由於可以簡翠 的黏換黏著構件3 ’所以可以重複藉進行與上基板A之黏著 接觸與隔離，此時藉黏換黏著構件3可以 附著與黏著力之降低。 八物之 [實施例2 ] 本貫施例2係如圖3〜圖4所顯示，由形成於前述上保持板 1之保持面13之隔壁ld橫跨㈣構件3及變_4，貫通狀 的開設多數之通氣孔le ’將連絡此等通氣孔ie與例如真空 果與塵縮機等之吸氣源之通氣路…與前述凹部ib之通氣 路以別糸統形成之構成，與前述圖卜圖2所顯示之實施 例1不同，除此以外之構成則係與圖1〜圖2所顯示之實施例 1相同者。 i00978.doc -15· 1364576 依據上述構成，如圖3(a)所顯示，在將上基板A安置於 上保持板1之保持面1A時，藉由通氣孔u之吸引，上述基 板A可以以更強之力被吸著保持，另外如圖物顯示， 在基板A、B相互間之位置校準後之剝離時，藉由通氣孔 k喷出例如•縮空氣與氮氣等之氣體，以更強的力量由黏 著構件3之㈣表面3a強制剝離上基板A，使其瞬間的屋成 於下基板B上之環狀黏著劑c。

其結果，顯示於圖3〜圖4之實施例2,可以得到與上述圖 1〜圖2所示之實施例！同樣之作用效果，更進一步，藉實施 例^之點著構件3,加上上基板A之黏著保持，由於“由通 氣孔le之吸引追加上基板入之真空吸附保持，所以可以邊 具有容易實現吸引用配管系等之構成與吸引㈣，邊可以 更確實的保持上基板A，而且具有藉變形膜4之突出加壓不 均可以完全防止上基板A之位置偏移之優點。 [實施例3] 本實施例3係如圖5〜圖6所顯示，替代上述圓環狀之黏著 構件3，藉在前述變形膜4之一部配設黏著構件3，，構成由 多數之變形膜4與黏著構件3·所形成之板狀體4"，在該板狀 體4"包覆上保持板1之基板側，而且在將此等變形臈4作成 平坦之狀態，使該黏著構件3,之黏著表面3a，抵接於上基板 A作黏著保持，另外以該上保持板丨之基板側之減壓，^使 變形膜4沒入（凹狀）變％，雖構成由上基板A強制的分離剝 離黏著構件3’之黏著表面3a，，但與前述圖丨〜圖2所顯示之 實施例1及圖3〜圖4所顯示之實施例2不同，除此之外之構 10097S.doc )6 1364576 成則與圖！〜圖2所顯示之實施例】及圖3〜圓續帛示 例2相同者。 作為在上述變形膜4之一部配設黏著構件3,之方法，係 藉進行表面處理或類似於此之加工由彈性材料所形成之變 形膜4，僅在其表面之所希望處所將黏著表面 =膜4的表面—體形成面一狀或設置成一體，作為二 該板狀體4”的形狀係、不^於圖示之平坦板狀，使變形 削部分的朝向形成於上保持板1的保持面U之凹部lb内凹 下專，即使不是完全的平坦亦可。 在圖示例的情形’在上述變形膜4之略中心位置雖部分 —體形成圓形狀之黏著表面3a,，伸 1-右可U確貫的保持上基 板A之内面A1 ’亦可以做成除此之外的形狀。 更進-步在圖示例，在變形膜4雖未開穿上述之小孔 仏，但按照需要’也可以與前述實施例】之圖2與實施例] 之圖3同樣，在黏著構件3,之略中心位置分別貫通開穿小孔 4a 〇 藉上述構成’如圖5⑷及圖5(b)所顯示，在形成於上保 持板1之保持面1 a之凹部1 b内遥_ λ > _ 丨内導入氣體，藉使變形膜4由其 背面侧加壓f曲成凸狀’若使黏著構件3,之黏著表面h，抵 接於上基板A，則藉其黏著力可以保持上基板A。 在使上下基板A、B重疊之後，閉空間S内之空氣環境恢 復到大氣壓之後，如圖5⑷所顯示，藉真空抽取凹部_ 使其減壓等之減壓驅動’使變形膜彎曲成凹狀，若使黏著 I00978.doc 17 1364576 ’則黏著表面3a，由上基 構件3之黏著表面3a'沒入凹部ib内 板A強制的被分離。 縮空氣與氮氣等之 3之黏著表面3 a'強 與此同時，若由通氣孔le噴出例如壓 氣體，則可以以更強之力量由黏著構件 制的剝離上基板A。

…结果，圖5〜圖6所顯示之實施例3,可以得㈣上述圖 1〜圖2所顯示之實施例1與圖3〜圖4所顯示之實施例2相同之 作用效果，更進—步，纟變形膜4的—部由於⑽了㈣ 構件3,之黏著表面3a，，所以可以同時配置上保持板i之基 板側之保持面u及僅以板狀體4，包覆凹部lb全體之黏著構 :3’之黏著構件3ι，藉此，彳以更簡單化黏著夾頭裝置之 全體構it，如實施例！與實施例2由於變形膜4沒有必要以 另外一個換補黏著構件3,所以具有低成本可以短時間製 造之優點。 另外，將黏著構件3·之黏著表面3a,作成與表面處理等之 變形膜4的表面一體形成面一狀時，由於此等黏著表面w 與變形膜4的表面產生段差，所以在上下基板a、b之黏合 時’不僅可以不歪斜均—的壓成此等基板A、B相互: 間，亦具有可以抑制其他不良影響於最小之優點。 又’本發明之黏著夾頭裝置雖顯示黏著保持液晶顯示器 (LCD)面板等之玻璃基& ’且配備於使其黏合之基板黏合 機之情形，但並不限定於此，配備於該基板黏合機以外之 基板裝配裝置與搬送基板之基板搬送裝置，或黏著保持 LCD面板用玻璃基板以外之基板亦可。 100978.doc 1364576 更進一步，雖已說明在真空中點合基板A、8之基板黏 合機，但並不限定於此，即使為在大氣中使基板a、B黏 合之基板黏合機亦可，即使該情形亦可以得到與上述之真 空黏合機相同之作用效果。

另外，在前示實施例，雖僅在上保持板丨之基板側之保 持面la配置了黏著構件3與變形膜4，但並不限定於此，在 下保持板2之基板側之保持面2a也同樣，亦可以設置與下 基板B之内面扪對向固定黏著保持之黏著構件3，而且可 以朝上下方向彈性變形之變形膜4。 另外，更進一步，在上保持板丨之保持面1&凹設多數圓 形之凹部lb,雖以1牧之板狀體4，、4”覆蓋此等全部之凹部 lb之開口，但並不限定於此，亦可以將凹部^之形狀改變 為圓形以外之形狀，或以多數牧之變形膜4分別覆蓋各凹 部lb。 【圖式簡單說明】 圖1為本發明之黏著夾頭裝置之實施例1之部分縱斷正面 圖，其作動工序顯示於〜 圖2為沿著圖1之（2)_(2)線之部分橫斷底面圖。 圖3為本發明之黏著夾頭裝置之實施例2之部分縱斷正面 圖，其作動工序顯示於（a)〜(c)。 圖4為沿著圖3之（4)-(4)線之部分橫斷底面圖。 圖5為本發明之黏著夾頭裝置之實施例3之部分縱斷正面 圖，其作動工序顯示於（a)〜 圖6為沿著圖5之（6)-(6)線之部分橫斷底面圖。 100978.doc 19 1364576

【主要元件符號說明】 1 上保持部 1 a 基板側面 lb 凹部 1 c 通氣路 Id 隔壁 1 e 通氣孔 If 通氣路 2 下保持板（下定盤） 2a 基板側面（保持面） 3, 3' 黏著構件 3a，3a， 黏著表面 3b 固定内面 4 變形膜 4a 小孔 4'，4” 板狀體 A 基板（上基板） Al，B1 内面 B 基板（下基板） C 環狀黏著劑 S 閉空間 100978.doc -20-

Claims (1)

1. 、申請專利範圍： 第DiHllll95號專利申請案 中文申請專利範圍替換 ;日修正替換I Ac ri ^ n 種黏著炎頭裳置，其係使基板相對於保持板藉由黏著 而可自由安裝卸下地被保持者，其特徵為： 在則述保持板之朝肖基板之側設置黏著構件與變形 、 點著構件係與基板之内面對向而予以黏著保持， i變形臈係可於與朝向該基板之側之面交又之方向出沒 變形Μ該變形媒之出沒變形使黏著構件之#著表面與 板抵接而黏著’且強制分離此兩者而加以剝離。 2·如請求項丨之黏著夹頭裝置，其中一體形成前述黏著構 件與變形膜。 3. 如請求項1或2之黏著夾頭裝置，其中在前述變形膜之一 部配設黏著構件之黏著表面。 、 4. 如請求項2之黏著夾頭裝置，其中在包含前述黏著構件 與前述變形膜之板狀體之-部開設通氣孔’經由該通氣 孔吸引吸著前述基板的前述内面。 5. 如請求項3之黏著夾頭裝置，其中在包含前述黏著構件 與前述變形膜之板狀體之一部開設通氣孔，經由該通氣 孔吸引吸著前述基板的前述内面。 、 100978-1010119.doc