JP2012178471A - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シート貼付装置1は、被着体Wを支持する支持手段2と、支持手段2で支持された被着体Wを臨む位置に接着シートSを供給可能なシート供給手段3と、接着シートSを被着体Wに押圧して貼付する押圧手段8A,8Bとを備え、支持手段2は、被着体Wの一方の面W1に当接して被着体Wの外縁領域W3を支持する第1支持部21と、被着体Wの他方の面に当接して被着体Wの外縁領域W3を第1支持部との間で挟持する第2支持部23とを備えている。
【選択図】図1
Description
特許文献1に記載のシート貼付装置は、ウェハの載置面に凹部が設けられたテーブルによりチャンバ内のウェハの外縁を吸着保持した状態で、チャンバ内を減圧雰囲気として接着シートを境に圧力差を発生させ、当該圧力差によりウェハに接着シートを貼付するように構成されている。
また、本発明のシート貼付装置において、前記第1支持部は、前記被着体の一方の面側への変形に伴う応力集中を緩和する弾性部材を備えていることが好ましい。
また、第1支持部が弾性部材を備えることで、被着体が破損してしまうことを防止することができる。
図1に示すように、本実施形態のシート貼付装置1は、ウェハWを支持する支持手段2と、支持手段2で支持されたウェハWを臨む位置に、基材シートBSの一方の面に接着剤層ADが積層された接着シートSを供給するシート供給手段3と、ウェハWおよび接着シートSを減圧雰囲気に保つ減圧手段4と、接着シートSを所定形状に切断する切断手段5とを備えている。なお、ウェハWは、一方の面としての表面W1(図1の下側の面)に回路が形成された半導体ウェハであり、ウェハWの他方の面としての裏面W2に接着シートSが貼付される。
テーブル21は、ウェハWの表面W1に当接してウェハWの外縁領域W3を支持可能な上面部24と、上面部24の中央領域に形成された凹部25と、上面部24の外縁側に設けられ、ウェハWを位置決め可能な凸部24Aとを備え、下面側に駆動機器としての直動モータ22の出力軸22Aが固定されている。上面部24と凹部25との境には、ゴムや樹脂等で構成された弾性部材24Bが設けられている。また、凹部25の底面部25Aには、当該底面部25Aを貫通する貫通孔25Bが設けられている。
外縁支持装置23は、ウェハWの裏面W2に当接してウェハWの外縁領域W3をテーブル21との間で挟持可能な当接部26と、当接部26に出力軸27Aが固定された駆動機器としての直動モータ27とを備えている。
先ず、移動フレーム36Aが左側に位置する状態(図5参照)で、図示しない搬送手段が、ウェハWをテーブル21の上面部24上に載置する。次いで、シート供給手段3が、回動モータ36Dの回転をロックした状態で移動フレーム36Aを図の右方向に移動させるとともに、回動モータ32Aを駆動して駆動ローラ32を回転させることで、ウェハWを臨む位置に帯状の接着シートSを供給し、図1の状態となる。そして、支持手段2が、図2(A)に示すように、直動モータ27の駆動により当接部26を下降させることにより、テーブル21の上面部24と当接部26とでウェハWの外縁領域W3を上下両面側から挟持する。これにより、テーブル21の凹部25でウェハWの中央部が撓むことを抑制することができる。この後、減圧手段4は、図2(B)に示すように、図示しない駆動機器により蓋部材7を下降させて、接着シートSを蓋部材7の下面71と下チャンバ6の上面61とで挟み込む。
すなわち、シート貼付装置1は、ウェハWの外縁領域W3を一方および他方の面側から挟持した状態で当該ウェハWに接着シートSを貼付するため、ウェハWの外縁領域W3が変形しにくくなり、接着シートSを貼付する際のウェハWの撓みを抑制することができる。このため、ウェハWに接着シートSを確実に貼付することができるとともに、撓みによるウェハWの破損を防止することができる。また、テーブル21の中央部に凹部25が設けられているため、テーブル21と対向するウェハWの回路面を傷付けることなく、ウェハWの裏面W2に接着シートSを貼付することができる。
2 支持手段
3 シート供給手段
6 下チャンバ(減圧手段)
7 蓋部材(減圧手段)
8A,8B 圧力調整手段(減圧手段、押圧手段)
21 テーブル(第1支持部)
23 外縁支持装置(第2支持部)
24B 弾性部材
S 接着シート
V1 第1空間
V2 第2空間
W ウェハ(被着体)
W1 表面(一方の面)
W2 裏面(他方の面)
W3 外縁領域
Claims (4)
- 被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
前記被着体を支持する支持手段と、
前記支持手段で支持された被着体を臨む位置に前記接着シートを供給可能なシート供給手段と、
前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記支持手段は、前記被着体の一方の面に当接して当該被着体の外縁領域を支持する第1支持部と、前記被着体の他方の面に当接して当該前記被着体の外縁領域を前記第1支持部との間で挟持する第2支持部とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記支持手段で支持された被着体および前記シート供給手段で供給された接着シートを減圧雰囲気に保つ減圧手段を備え、
前記減圧手段は、前記接着シートを境に独立した第1空間および第2空間を減圧し、
前記押圧手段は、前記第1空間の圧力を前記第2空間の圧力に対して高く設定することで、前記第1空間および前記第2空間間の差圧により前記接着シートを前記被着体側に撓ませて前記被着体に接近させることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。 - 前記第1支持部は、前記被着体の一方の面側への変形に伴う応力集中を緩和する弾性部材を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート貼付装置。
- 被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
前記被着体の外縁領域を当該被着体の一方および他方の面側から支持するとともに、前記被着体を臨む位置に前記接着シートを供給し、
前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付することを特徴とするシート貼付方法。
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