JP6078352B2

JP6078352B2 - シート貼付装置およびシート貼付方法

Info

Publication number: JP6078352B2
Application number: JP2013008393A
Authority: JP
Inventors: 祐太黒澤
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2013-01-21
Filing date: 2013-01-21
Publication date: 2017-02-08
Anticipated expiration: 2033-01-21
Also published as: JP2014139983A

Description

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

従来、半導体ウェハ（以下、単に、「ウェハ」という場合がある）等の被着体に原接着シートを貼り付けて、この原接着シートを被着体の形状に沿って切断するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この特許文献１の構成では、保持テーブルで支持されたウェハに対し、テープ供給部が繰り出した保護テープを押圧ローラが押圧しながらウェハに貼付する。そして、保護テープ切抜き手段がカッターユニットをウェハの外周に沿って移動させることで、原接着シートを切断している。

特開２００５−１１６７１１号公報

しかしながら、特許文献１に記載のような構成では、複数のシート貼付装置を使用して保護テープを貼付する場合、シート貼付装置の台数と同数の切断手段が必要となり、装置が大型化したり、部品点数が増大したりするという不都合がある。

本発明の目的は、装置の大型化や部品点数の増大を抑制することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、原接着シートを供給して当該原接着シートを前記被着体に貼付する複数の貼付手段と、前記貼付手段で前記被着体に貼付した前記原接着シートを所定形状に切断して前記接着シートを形成する切断手段とを備え、前記切断手段は、前記原接着シートを切断する１の切断媒体と、当該１の切断媒体を前記複数の貼付手段に渡って移動させる移動手段とを備え、前記移動手段は、前記複数の貼付手段の上方に位置する天井に支持されている、という構成を採用している。

一方、本発明のシート貼付方法は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、原接着シートを供給して当該原接着シートを前記被着体に貼付する工程と、別の原接着シートを供給して当該別の原接着シートを別の被着体に貼付する工程と、天井に支持された移動手段で１の切断媒体を移動させて前記被着体に貼付された原接着シートと、前記別の被着体に貼付された別の原接着シートとを所定形状に切断して接着シートを形成する工程とを備えている、という構成を採用している。

以上のような本発明によれば、切断手段が移動手段を介して１の切断媒体を複数の貼付手段に渡って移動させるので、切断媒体を複数設ける必要がなく、装置の大型化や部品点数の増大を抑制することができる。

シート貼付装置の側面図。本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の平面図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本明細書におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

図１、２において、シート貼付装置１は、帯状の原接着シートＡＳ０を供給して当該原接着シートＡＳ０を被着体としてのウェハＷＦに貼付する複数の貼付手段５（第１および第２貼付手段５Ａ、５Ｂ）と、貼付手段５でウェハＷＦに貼付した原接着シートＡＳ０を所定形状に切断して接着シートＡＳを形成する切断手段６と、を備えている。ここで、原接着シートＡＳ０は、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤが積層されて構成されている。また、第１および第２貼付手段５Ａ、５Ｂは、図２に示すようにＹ方向（前後方向）に並んで配置されている。

複数の貼付手段５は、ウェハＷＦを支持する支持手段２と、原接着シートＡＳ０を供給する供給手段３と、原接着シートＡＳ０をウェハＷＦに押圧して貼付する押圧手段４とをそれぞれ備えている。
支持手段２は、外側テーブル２１の凹部２２内に収容された駆動機器としての直動モータ２３の出力軸２４に支持された内側テーブル２５で構成されている。内側テーブル２５の上面は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によってウェハＷＦを支持する支持面２６とされ、外側テーブル２１の上面は、支持面２６と平行な上面２７とされる。

供給手段３は、原接着シートＡＳ０を巻回して支持する支持ローラ３１と、駆動機器としての回動モータ３２で駆動される駆動ローラ３３Ａとの間に原接着シートＡＳ０を挟み込むピンチローラ３３Ｂと、ガイドローラ３４と、駆動機器としての回動モータ３５で駆動され、原接着シートＡＳ０から接着シートＡＳが切り抜かれた不要シートＡＳ９を回収する回収ローラ３６と、駆動機器としてのリニアモータ３７の第１スライダ３７Ａに支持された駆動機器としての回動モータ３８で駆動される駆動ローラ３８Ａとの間に不要シートＡＳ９を挟み込むピンチローラ３９とを備えている。

押圧手段４は、リニアモータ３７の第２スライダ３７Ｂに支持された駆動機器としての直動モータ４１の出力軸４２に支持されたブラケット４３と、ブラケット４３に回転可能に支持された押圧ローラ４４とを備えている。

切断手段６は、原接着シートＡＳ０を切断する切断媒体としての１の切断刃６１と、当該１の切断刃６１を複数の貼付手段５に渡って移動させる移動手段６２とを備えている。
移動手段６２は、シート貼付装置１のフレームまたはシート貼付装置１が設置される作業室の天井ＣＥに支持された左右方向に延びる駆動機器としてのＸ方向リニアモータ６３と、Ｘ方向リニアモータ６３のスライダ６４に支持された前後方向に延びる駆動機器としてのＹ方向リニアモータ６５と、Ｙ方向リニアモータ６５のスライダ６６に支持された駆動機器としての直動モータ６７と、直動モータ６７の出力軸６８に支持された駆動機器としての回動モータ６９と、回動モータ６９の出力軸７０に支持された駆動機器としての直動モータ７１とを備え、直動モータ７１の出力軸７２に切断刃６１が支持されている。

以上のシート貼付装置１において、接着シートＡＳをウェハＷＦに貼付する手順を説明する。なお、以下、第１および第２貼付手段５Ａ、５Ｂに用いる原接着シートＡＳ０を「第１原接着シートＡＳ１」、「第２原接着シートＡＳ２」といい、第１および第２貼付手段５Ａ、５Ｂに用いるウェハＷＦを「第１ウェハＷＦ１」、「第２ウェハＷＦ２」という場合がある。
先ず、第１および第２貼付手段５Ａ、５Ｂに図１に示すように第１および第２原接着シートＡＳ１、ＡＳ２をそれぞれ通紙する。その後、図示しない操作パネル等を介して運転開始の信号が入力される。そして、図示しない搬送手段が第１ウェハＷＦ１を第１貼付手段５Ａの内側テーブル２５の支持面２６上に搬送すると、支持手段２が直動モータ２３を駆動し、第１ウェハＷＦ１の支持面２６と外側テーブル２１の上面２７との高さの位置が同じとなるように支持面２６を昇降させた後、支持手段２が図示しない減圧手段を駆動し、第１ウェハＷＦ１を吸着保持する。

その後、第１貼付手段５Ａの供給手段３が回動モータ３２、３５、リニアモータ３７を駆動し、回動モータ３８を停止した状態で第１スライダ３７Ａを図１中二点鎖線で示す位置に移動させ、回収ローラ３６で第１原接着シートＡＳ１を巻き取りつつ、支持ローラ３１から第１原接着シートＡＳ１を所定量引き出す（以下、「第１原接着シート準備処理」という）。そして、押圧手段４および供給手段３が直動モータ４１およびリニアモータ３７を駆動し、押圧ローラ４４を下降させた後、図１中二点鎖線で示す位置に移動させることで、第１原接着シートＡＳ１を押圧して第１ウェハＷＦ１および外側テーブル２１の上面２７に貼付する。（以下、「第１原接着シート貼付処理」という）。
次いで、移動手段６２が直動モータ６７および回動モータ６９を駆動し、図２中破線で示す第１貼付手段５Ａの上方に位置する切断刃６１を下降させて当該切断刃６１を第１原接着シートＡＳ１に貫通させた後、出力軸７０の軸心を中心に切断刃６１を旋回させ、第１原接着シートＡＳ１を第１ウェハＷＦ１の外形に沿って切断して接着シートＡＳを形成する。（以下、「第１接着シート形成処理」という）。

その後、移動手段６２が直動モータ６７およびＹ方向リニアモータ６５を駆動し、切断刃６１を上昇させた後、図２中二点鎖線で示す第２貼付手段５Ｂの上方に移動させる。また、図示しない搬送手段が第１ウェハＷＦ１を次の工程に搬送する。

次いで、押圧手段４および供給手段３が直動モータ４１およびリニアモータ３７を駆動し、押圧ローラ４４を上昇させた後、図１中実線で示す位置に移動させる。その後、供給手段３が回動モータ３８およびリニアモータ３７を駆動し、駆動ローラ３８Ａを回転させながら第１スライダ３７Ａを図１中実線で示す位置に移動させることで、不要シートＡＳ９を外側テーブル２１の上面２７から剥離する。その後、第１貼付手段５Ａにおいて上述の動作が繰り返される。

一方、第２貼付手段５Ｂにおいては、第１貼付手段５Ａが第１接着シート形成処理を終了するまでの間に、図示しない搬送手段が第２貼付手段５Ｂの内側テーブル２５に第２ウェハＷＦ２を搬送し、第２貼付手段５Ｂが第１原接着シート貼付処理と同様に供給手段３および押圧手段４を駆動し、第２ウェハＷＦ２に第２原接着シートＡＳ２を貼付する。
次いで、第１接着シート形成処理を終了した切断刃６１が第２貼付手段５Ｂの上方に移動した状態で、切断手段６が第１接着シート形成処理と同様に移動手段６２を駆動し、切断刃６１で第２原接着シートＡＳ２を切断して接着シートＡＳを形成する。
その後、移動手段６２が直動モータ６７およびＹ方向リニアモータ６５を駆動し、切断刃６１を図２中破線で示す第１貼付手段５Ａの上方に移動させる。
次いで、図示しない搬送手段が第２ウェハＷＦ２を次の工程に搬送した後、第２貼付手段５Ｂが供給手段３および押圧手段４を駆動し、第２貼付手段５Ｂの外側テーブル２１の上面２７から剥離し、以後第２貼付手段５Ｂにおいて上述の同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、切断手段６が移動手段６２を介して１の切断刃６１を複数の貼付手段５に渡って移動させるので、切断刃６１を複数設ける必要がなく、装置の大型化や部品点数の増大を抑制することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

例えば、貼付手段５は３個以上設けてもよく、例えば、図１、２中二点鎖線で示すように、第１貼付手段５Ａの右側に第３貼付手段５Ｃを設けてもよい。この場合、移動手段６２がＸおよびＹ方向リニアモータ６３、６５を駆動し、切断刃６１を第３貼付手段５Ｃの上方にも移動させるように構成される。
また、貼付手段５あるいは切断刃６１のメンテナンスを行う場合、移動手段６２がＸおよびＹ方向リニアモータ６３、６５を駆動し、切断刃６１をメンテナンスエリアＭＡ（図２参照）に移動させてもよく、これにより、貼付手段５と切断刃６１とが干渉することなくメンテナンスを容易に行うことができる。
更に、切断手段６は、直動モータ７１を駆動し、切断刃６１を図１中実線で示す位置よりも左側に位置させ、ウェハＷＦの外縁からはみ出すように第１原接着シートＡＳ１を切断してもよいし、切断刃６１が第１原接着シートＡＳ１を切断している途中で直動モータ７１を駆動し、切断刃６１をウェハＷＦの径方向に往復移動させることで、ウェハＷＦの外周の一部から外側に突出する少なくとも１つの把持部を接着シートＡＳが有するように第１原接着シートＡＳ１を切断してもよい。
また、切断媒体は、レーザカッタ、エアカッタ、水力カッタであってもよい。
更に、第１ウェハＷＦ１および第２ウェハＷＦ２は、同形状であってもよいし、異なる形状であってもよいし、円形以外の形状でもよく、移動手段６２が直動モータ７１を駆動し、第１ウェハＷＦ１および第２ウェハＷＦ２の形状に合わせて切断刃６１を移動させてもよい。
また、貼付手段５は、枚葉の原接着シートを貼付する構成であってもよい。

更に、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等の半導体ウェハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付するができる。

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１…シート貼付装置
５…貼付手段
６…切断手段
６１…切断刃（切断媒体）
６２…移動手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳ０…原接着シート
ＷＦ…ウェハ（被着体）

Claims

被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
原接着シートを供給して当該原接着シートを前記被着体に貼付する複数の貼付手段と、
前記貼付手段で前記被着体に貼付した前記原接着シートを所定形状に切断して前記接着シートを形成する切断手段とを備え、
前記切断手段は、前記原接着シートを切断する１の切断媒体と、当該１の切断媒体を前記複数の貼付手段に渡って移動させる移動手段とを備え、
前記移動手段は、前記複数の貼付手段の上方に位置する天井に支持されていることを特徴とするシート貼付装置。
被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
原接着シートを供給して当該原接着シートを前記被着体に貼付する工程と、
別の原接着シートを供給して当該別の原接着シートを別の被着体に貼付する工程と、
天井に支持された移動手段で１の切断媒体を移動させて前記被着体に貼付された原接着シートと、前記別の被着体に貼付された別の原接着シートとを所定形状に切断して接着シートを形成する工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。