JP3186062U

JP3186062U - シート剥離装置

Info

Publication number: JP3186062U
Application number: JP2013003348U
Authority: JP
Inventors: 陽太青木
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2013-06-12
Filing date: 2013-06-12
Publication date: 2013-09-19
Anticipated expiration: 2023-06-12

Abstract

【課題】被着体に貼付された接着シートに弛みや切断が生じることなく確実に剥離することができるシート剥離装置を提供する。
【解決手段】テーブル４１の支持面４１Ａに貼付された接着シートとしての不要シートＵＳを剥離するシート剥離装置であって、不要シートが掛け回される剥離ローラ８１と、剥離ローラを回動させる回動モータ８２と、剥離ローラを被着面方向に移動させるリニアモータ８４と、剥離ローラの外周回転速度と移動速度とが所定の速度割合となるように回動モータとリニアモータとを制御するとともに、不要シートの剥離領域の形状に応じて剥離ローラの回転トルクを制御する制御手段８５とを備える。
【選択図】図１

Description

本考案は、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置および剥離方法に関する。

従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）や当該ウエハを支持するテーブルに貼付された接着シートを剥離する剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の剥離装置は、ウエハおよびテーブルに貼付された接着シートの切断により生じた不要シートを挟み込む小径ローラおよび大径ローラと、不要シートを巻き取る巻取ローラと、巻取ローラとの間に不要シートを挟み込み、回動モータにより駆動される駆動ローラと、これらのローラが支持された移動フレームをウエハの被着面に沿って移動させる単軸ロボットとを備え、駆動ローラを駆動しながら移動フレームを移動させることで、テーブルから不要シートを剥離するように構成されている。

特開２００７−１９２３９号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の剥離装置では、駆動ローラの回転速度と当該駆動ローラの移動速度との速度割合が規定されておらず、例えば、駆動ローラの回転速度に対して駆動ローラの移動速度が速いと、不要シートに弛みが生じ、駆動ローラの移動速度が速いと、不要シートが切断してしまうという不都合がある。
なお、従来の対応として、駆動ローラの駆動トルクを制御して接着シートの張力を調節する方法も知られているが、接着シートの形状によっては、張力の変動が大きくなってしまい、上記不都合を完全に払拭できていない。

本考案の目的は、被着体に貼付された接着シートに弛みや切断が生じることなく確実に剥離することができるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。

本考案に係るシート剥離装置は、被着体の被着面に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置であって、前記接着シートが掛け回される剥離ローラと、前記剥離ローラを回動させる回動手段と、前記剥離ローラを前記被着面方向に移動させる移動手段と、当該シート剥離装置を制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記剥離ローラの回転速度と当該剥離ローラの移動速度とが所定の速度割合となるように前記回動手段と前記移動手段とを制御するとともに、前記剥離ローラの回転トルクが前記接着シートにおける前記被着面に貼付された貼付領域の形状に応じた値となるように前記回動手段を制御することを特徴とする。

本考案に係る剥離方法は、被着体の被着面に貼付された接着シートを剥離する剥離方法であって、前記接着シートを剥離ローラに掛け回す工程と、前記剥離ローラを回動させる工程と、前記剥離ローラを前記被着面方向に移動させる移動工程と、前記剥離ローラの回転速度と当該剥離ローラの移動速度とを所定の速度割合となるようにするとともに、前記剥離ローラの回転トルクが前記接着シートにおける前記被着面に貼付された貼付領域の形状に応じた値となるようにする工程とを実施することを特徴とする。

以上のような本考案によれば、剥離ローラの回転速度と当該剥離ローラの移動速度とが所定の速度割合となるように回動手段と移動手段とを制御するため、被着体に貼付された接着シートに弛みや切断が生じることなく確実に剥離することができる。

本考案の一実施形態に係るシート剥離装置が設けられたシート貼付装置を示す側面図。

以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向（紙面手前方向）で「後」がその逆方向とする。

図１において、シート貼付装置１は、帯状の基材シートＢＳの一方の面に接着剤ＡＤ層が積層された原接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを供給する供給手段２と、原反ＲＳの剥離シートＲＬから原接着シートＡＳを剥離する剥離手段３と、被着面としての支持面４１ＡでウエハＷＦを支持する被着体としてのテーブル４１を有する支持手段４と、ウエハＷＦの上面および支持面４１Ａに原接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段５と、押圧手段５による原接着シートＡＳの貼付動作に伴って剥離手段３を移動させる移動手段６と、原接着シートＡＳを所定形状に切断可能な切断手段７と、テーブル４１の支持面４１Ａに貼付された接着シートとしての不要シートＵＳを剥離するシート剥離装置８とを備えている。

供給手段２は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、フレームＦ２に支持されるとともに、駆動機器としての回動モータ２３Ａによって駆動してシート剥離装置８で剥離された不要シートＵＳを巻き取る巻取ローラ２３と、駆動機器としての回動モータ２４Ａによって駆動する駆動ローラ２４との間に剥離手段３で剥離された剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２５と、駆動機器としての回動モータ２６Ａによって駆動して剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２６とを備えている。

剥離手段３は、フレームＦ１に支持されて原反ＲＳを案内するガイドローラ３１Ａ、３１Ｂと、原反ＲＳをガイドローラ３１Ｂとの間に挟み込む押圧部材３２Ａをその出力軸３２Ｂで支持する駆動機器としてのエアシリンダ３２と、張力測定ローラ３３Ａを支持し、かつ原接着シートＡＳの張力を測定可能なロードセル３３と、剥離シートＲＬを折り返す剥離板３４と、剥離板３４で剥離された剥離シートＲＬを案内するガイドローラ３１Ｃ、３１Ｄと、剥離シートＲＬをガイドローラ３１Ｄとの間に挟み込む押圧部材３５Ａをその出力軸３５Ｂで支持する駆動機器としてのエアシリンダ３５とを備えている。ロードセル３３は、ガイドローラ３１Ｂと押圧部材３２Ａとで挟み込まれた位置から押圧手段５までの間に繰り出された原接着シートＡＳの張力によって、張力測定ローラ３３Ａが引っ張られることで、剥離手段３と押圧手段５との間における原接着シートＡＳの張力を測定可能に設けられている。

支持手段４は、支持面４１Ａを有するテーブル４１と、テーブル４１をその出力軸４２Ａで支持する駆動機器としての直動モータ４２とを備え、支持面４１Ａは、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段に連通されている。

押圧手段５は、駆動機器としてのリニアモータ５１のスライダ５１Ａに回転可能に支持された押圧ローラ５２を備えている。

移動手段６は、Ｚ軸に対して傾斜して立設され、図示しないスライダでフレームＦ１を支持可能な駆動機器としてのリニアモータ６１を備えている。

切断手段７は、駆動機器であり６軸ロボット等の多関節ロボット７１の作業アーム（先端アーム）７２に着脱可能に支持された切断刃７３を備えている。

シート剥離装置８は、不要シートＵＳが掛け回される剥離ローラ８１と、剥離ローラ８１を回動させる回動手段であり駆動機器としての回動モータ８２と、剥離ローラ８１との間に不要シートＵＳを挟み込むピンチローラ８３と、そのスライダ８４ＡでフレームＦ２を支持するとともに、剥離ローラ８１を被着面方向に移動させる移動手段であり駆動機器としてのリニアモータ８４と、剥離ローラ８１の外周回転速度と当該剥離ローラ８１の移動速度とが所定の速度割合となるように回動モータ８２とリニアモータ８４とを制御するとともに、剥離ローラ８１の回転トルクが原接着シートＡＳにおける支持面４１Ａに貼付された貼付領域の形状に応じた値となるように回動モータ８２を制御する制御手段８５とを備えている。

制御手段８５は、パーソナルコンピュータやシーケンサ等で構成され、回動モータ８２およびリニアモータ８４を制御するのみならず、シート貼付装置１全体の動作を制御可能に構成されている。

以上のシート貼付装置１において、ウエハＷＦに原接着シートＡＳを貼付し、シート剥離装置８で不要シートＵＳを剥離する手順を説明する。
先ず、原反ＲＳを図１中実線で示すようにセットする。そして、図示しない操作パネルを介して自動運転が指示されると、剥離手段３がエアシリンダ３２、３５を駆動し、押圧部材３２Ａ、３５Ａをガイドローラ３１Ｂ、３１Ｄに押し付け、原接着シートＡＳの繰出を抑制した後、供給手段２が回動モータ２３Ａ、２４Ａ、２６Ａを駆動し、原接着シートＡＳおよび剥離シートＲＬを巻き取る。そして、ロードセル３３によって支持手段４上に位置する原接着シートＡＳ部分の張力が所定値となったことが検知されると、供給手段２が回動モータ２３Ａ、２４Ａ、２６Ａの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。

その後、人手や図示しない搬送手段等によってテーブル４１の支持面４１Ａ上にウエハＷＦがセットされると、支持手段４が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持する。次いで、押圧手段５がリニアモータ５１を駆動し、押圧ローラ５２を図１中二点鎖線で示す位置にまで移動させ、原接着シートＡＳをウエハＷＦの上面とテーブル４１の支持面４１Ａとに押圧して貼付する。この際、押圧ローラ５２の移動に伴って、原接着シートＡＳ部分にはさらなる張力が加わるが、ロードセル３３がそれを検知した瞬間に、移動手段６がリニアモータ６１を駆動し、ロードセル３３で検出される張力が所定値からずれないよう剥離手段３を左斜め下方へ移動させる。原接着シートＡＳの貼付が完了すると、切断手段７が多関節ロボット７１を駆動し、切断刃７３をウエハＷＦの外周に沿って移動させて原接着シートＡＳを所定形状に切断する。

次いで、ウエハＷＦが人手や図示しない搬送手段等によってテーブル４１上から取り去られると、供給手段２が回動モータ２３Ａを駆動するとともに、シート剥離装置８が回動モータ８２およびリニアモータ８４を駆動し、剥離ローラ８１を回転させながら図１中二点鎖線で示す位置にまで移動させ、不要シートＵＳを剥離ローラ８１で剥離して巻取ローラ２３にて巻き取る。この際、制御手段８５が剥離ローラ８１の外周回転速度と当該剥離ローラ８１の移動速度とが予め定められた所定の速度割合となるよう、回動モータ８２およびリニアモータ８４を制御するとともに、リニアモータ８４からの位置情報に応じた値の回転トルクで剥離ローラ８１が回転駆動されるよう、回動モータ８２を制御する。

不要シートＵＳの剥離および巻取が終了した後、支持手段４が直動モータ４２を駆動し、テーブル４１を下降させた後、剥離手段３がエアシリンダ３２、３５を駆動し、押圧部材３２Ａ、３４Ａをガイドローラ３１Ｂ、３１Ｄから離間させる。その後、制御手段８５が回動モータ８２の駆動を停止させた状態で、リニアモータ５１、６１、８４を同期させて駆動し、剥離手段３、押圧手段５およびシート剥離装置８を初期位置に復帰させる。この復帰により、原接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離され、新しい原接着シートＡＳ部分が支持手段１５上に位置することとなる。その後、上記と同様の動作が繰り返されることとなる。

以上のような本実施形態によれば、剥離ローラ８１の回転速度と当該剥離ローラ８１の移動速度とが所定の速度割合となる回動モータ８２とリニアモータ８４とを制御するため、テーブル４１に貼付された不要シートＵＳに弛みや切断が生じることなく確実に剥離することができる。また、剥離ローラ８１の位置情報に基づいて回動モータ８２を制御することにより、不要シートＵＳの剥離部分の貼付領域の形状に応じた値に剥離ローラ８１の回転トルクを制御することができ、不要シートＵＳの剥離領域の形状が細い場合でも切断せず、確実に剥離することができる。

以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれるものである。

例えば、位置検出手段としては、光学センサ、ロータリエンコーダ、リミットスイッチ、撮像装置等であってもよい。

また、ウエハＷＦを被着体とし、その上面を被着面として、当該ウエハＷＦから接着シートを剥離する場合も、本考案に含まれる。従って、接着シートとしては、被着体に応じた任意の貼付領域の形状を有するシートであってよい。

また、本考案における接着シートおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。また、原接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品、およびこれらを支持可能に設けられたテーブルなども対象とすることができる。なお、接着シートを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

本考案における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、制御手段８５は、剥離ローラ８１の回転速度と当該剥離ローラ８１の移動速度とが所定の速度割合となるように回動手段８２と移動手段８４とを制御するとともに、剥離ローラ８１の回転トルクが接着シートＵＳにおける被着面４１Ａに貼付された貼付領域の形状に応じた値となるように回動手段８２を制御可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない（他の手段についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

８シート剥離装置
４１テーブル（被着体）
４１Ａ支持面（被着面）
８１剥離ローラ
８２回動モータ（回動手段）
８４リニアモータ（移動手段）
８５制御手段
ＡＳ原接着シート
ＵＳ不要シート（接着シート）

本考案は、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置に関する。

本考案の目的は、被着体に貼付された接着シートに弛みや切断が生じることなく確実に剥離することができるシート剥離装置を提供することにある。

Claims

被着体の被着面に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記接着シートが掛け回される剥離ローラと、
前記剥離ローラを回動させる回動手段と、
前記剥離ローラを前記被着面方向に移動させる移動手段と、
当該シート剥離装置を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記剥離ローラの回転速度と当該剥離ローラの移動速度とが所定の速度割合となるように前記回動手段と前記移動手段とを制御するとともに、前記剥離ローラの回転トルクが前記接着シートにおける前記被着面に貼付された貼付領域の形状に応じた値となるように前記回動手段を制御する
ことを特徴とするシート剥離装置。
被着体の被着面に貼付された接着シートを剥離する剥離方法であって、
前記接着シートを剥離ローラに掛け回す工程と、
前記剥離ローラを回動させる工程と、
前記剥離ローラを前記被着面方向に移動させる移動工程と、
前記剥離ローラの回転速度と当該剥離ローラの移動速度とを所定の速度割合となるようにするとともに、前記剥離ローラの回転トルクが前記接着シートにおける前記被着面に貼付された貼付領域の形状に応じた値となるようにする工程とを実施する
ことを特徴とする剥離方法。