KR20120026450A

KR20120026450A - 시트 첩부 장치 및 첩부 방법

Info

Publication number: KR20120026450A
Application number: KR1020110088771A
Authority: KR
Inventors: 코이치 야마구치; 요타 아오키
Original assignee: 린텍 가부시키가이샤
Priority date: 2010-09-09
Filing date: 2011-09-02
Publication date: 2012-03-19
Also published as: CN102403196B; JP5572045B2; CN102403196A; TWI517291B; JP2012059928A; KR101854655B1; TW201216402A

Abstract

시트 첩부 장치(10)는 반도체 웨이퍼(W)를 지지 가능한 지지면(21)을 갖는 지지 수단(11)과, 접착시트(S)를 지지면(21)에 면하도록 풀어내는 풀어내기 수단(12)과, 접착시트(S)에 형성된 오목부(C)의 위치를 검출하는 오목부 검출 수단(13)과, 지지면(21)에 반도체 웨이퍼(W)를 재치하기 위한 다관절 로봇(15) 및 반송 암(82)과, 지지 수단(11)에 지지된 반도체 웨이퍼(W)에 접착시트(S)를 눌러 첩부하는 누름 수단(18)을 구비하여 구성되어 있다. 다관절 로봇(15)은, 오목부 검출 수단(13)의 검출결과에 기초하여 작동함으로써, 오목부 중심 위치(DC)와 반도체 웨이퍼 중심위치(WC)가 일치하도록 반도체 웨이퍼(W)를 지지면(21) 위에 재치한다.

Description

시트 첩부 장치 및 첩부 방법{APPARATUS AND METHOD FOR ATTACHING SHEET}

본 발명은 시트 첩부 장치 및 첩부 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 접착제층에 오목부가 형성된 접착시트를 피착체에 첩부할 수 있는 시트 첩부 장치 및 첩부 방법에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼(이하, 「웨이퍼」라고 칭하는 경우도 있음)로서는, 그 회로면측에 전기적인 도통을 확보하기 위한 땜납 범프(이하, 「범프」라고 함)가 형성된 타입의 것이 있다. 또한 웨이퍼는 회로면측에 보호용의 접착시트가 첩부되어 이면 연삭 등의 처리가 시행된다. 이러한 접착시트로서는, 예를 들면, 특허문헌 1에 개시되고, 기재시트의 일방의 면측에, 웨이퍼의 외형보다도 작은 직경이며 접착제층이 형성되어 있지 않은 개구부(오목부)를 구비한 것이 있다. 이러한 접착시트는 웨이퍼의 회로면측에 첩부된 후에 당해 웨이퍼의 외측 가장자리를 따라 절단되고, 웨이퍼의 외측 가장자리만을 밀봉하여 이면 연마시의 세정수의 침입을 방지한다.

또한 웨이퍼에 접착시트를 첩부하고, 당해 접착시트를 웨이퍼의 외측 가장자리를 따라 절단하는 첩부 장치로서는, 예를 들면, 특허문헌 2에 개시되어 있다.

일본 특개 2005-123382호 공보 일본 특개 2007-62004호 공보 일본 특개 2006-352054호 공보

(발명의 개요)

(발명이 해결하고자 하는 과제)

그렇지만, 특허문헌 2의 시트 첩부 장치에 있어서, 특허문헌 1의 접착시트를 채용한 경우, 당해 오목부와 웨이퍼와의 위치맞춤을 행할 수 없어, 대응할 수 없다고 하는 문제가 있다.

여기에서, 특허문헌 3에서는, 접착시트가 웨이퍼의 외형으로 미리 절단되고, 당해 접착시트의 풀어내기 중, 검출 수단에 의해 접착시트의 위치 벗어남을 검출하고, 그 벗어남량을 보정하여 웨이퍼와 접착시트의 외형을 대략 일치시켜 첩부하고 있다. 그렇지만, 이러한 특허문헌 3에서는, 벗어남량을 보정하기 위해 웨이퍼를 지지하는 테이블을 이동시키므로, 테이블 주변의 이동기구 등의 구성이 복잡하게 된다고 하는 문제를 초래한다.

[발명의 목적]

본 발명의 목적은, 구조의 간략화를 도모하면서, 오목부를 갖는 접착시트의 당해 오목부를 피착체의 소정의 위치에 정확하게 배치하고, 당해 접착시트를 피착체에 첩부할 수 있는 시트 첩부 장치 및 첩부 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 기재시트의 일방의 면에 접착제층이 설치되고, 당해 접착제층에 소정 간격마다 오목부가 형성된 접착시트를 피착체의 일방의 면에 첩부하는 시트 첩부 장치에 있어서,

상기 피착체의 타방의 면측에서 당해 피착체를 지지 가능한 지지면을 갖는 지지 수단과, 상기 접착시트를 상기 지지면에 면하도록 풀어내는 풀어내기 수단과, 상기 지지면에 면하도록 풀어내진 접착시트에 있어서의 상기 오목부의 위치를 검출하는 오목부 검출 수단과, 상기 지지면에 피착체를 재치 가능한 반송 수단과, 상기 접착시트를 기재시트측으로부터 눌러 상기 피착체에 첩부하는 누름 수단을 구비하고, 상기 반송 수단은, 상기 오목부 검출 수단의 검출결과에 기초하여, 상기 오목부가 상기 피착체의 소정의 위치에 배치되어 상기 접착시트가 첩부되도록 당해 피착체를 상기 지지면 위에 재치한다고 하는 구성을 채용하고 있다.

본 발명에 있어서, 상기 피착체에 첩부된 접착시트를 절단 가능한 절단 수단을 갖는다고 하는 구성을 채용해도 된다.

또, 상기 피착체의 위치를 검출하는 피착체 검출 수단을 포함하고,

상기 반송 수단은, 상기 피착체 검출 수단의 검출결과에 기초하여, 상기 오목부가 상기 피착체의 소정의 위치에 첩부되도록 당해 피착체를 상기 지지면 위에 재치한다고 하는 구성도 바람직하게는 채용된다.

또한, 상기 절단 수단은 상기 오목부 검출 수단 또는 상기 피착체 검출 수단의 검출결과에 기초한 형상으로 상기 접착시트를 절단 가능하게 설치된다고 하는 구성을 채용할 수 있다.

또, 본 발명의 첩부 방법은, 기재시트의 일방의 면에 접착제층이 설치되고, 당해 접착제층에 소정 간격마다 오목부가 형성된 접착시트를 피착체의 일방의 면에 첩부하는 시트 첩부 방법에 있어서,

상기 접착시트를 지지면에 면하도록 풀어내는 공정과,

상기 지지면에 면하도록 풀어내진 접착시트에 있어서의 상기 오목부의 위치를 검출하는 공정과,

상기 오목부의 검출결과에 기초하여, 상기 오목부가 상기 피착체의 소정의 위치에 배치되어 상기 접착시트가 첩부되도록 당해 피착체를 상기 지지면 위에 재치하는 공정과,

상기 접착시트를 기재시트측으로부터 눌러 상기 피착체에 첩부하는 공정을 구비한다고 하는 방법을 채용하고 있다.

본 발명에 의하면, 오목부의 위치를 오목부 검출 수단에 의해 검출하고, 그 검출결과에 기초하여 반송 수단에 의해 피착체를 지지면 위에 재치하므로, 지지 수단을 이동시키지 않고 상기 위치맞춤을 행할 수 있으므로, 지지 수단 및 그 주변의 구조의 간략화, 컴팩트화를 도모할 수 있다.

또, 오목부 검출 수단이나, 피착체 검출 수단의 검출결과에 기초한 형상으로 절단 수단이 접착시트를 절단하므로, 다종 다양의 형상을 갖는 접착시트나 피착체에 대응하여 접착시트를 첩부할 수 있다.

도 1은 실시형태에 따른 시트 첩부 장치의 개략 정면도.
도 2(a)는 도 1의 주요부의 일부 단면의 정면도, (b)는 접착시트를 하측에서 본 개략 사시도.

이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.

또한, 본 명세서에서, 특별히 명시하지 않는 한, 「상」, 「하」는 도 1을 기준으로 하여 사용한다.

도 1 및 도 2에 있어서, 시트 첩부 장치(10)는 피착체로서의 웨이퍼(W)를 지지 가능하게 설치된 지지 수단(11)과, 띠 형상의 박리 시트(RL)의 일방의 면에 띠 형상의 접착시트(S)가 가부착된 원재료 시트(R)를 풀어내는 풀어내기 수단(12)과, 접착시트(S)에 형성된 오목부(C)의 위치를 검출하는 오목부 검출 수단(13)과, 후술하는 반송 수단 및 절단 수단을 구성하는 구동 기기로서의 다관절 로봇(15)과, 지지 수단(11)에 지지된 웨이퍼(W)에 접착시트(S)를 눌러 첩부하는 누름 수단(18)과, 지지 수단(11)에 지지되기 전의 웨이퍼(W)의 위치 결정을 행하는 위치맞춤 장치(19)와, 본 시트 첩부 장치(10)의 전체적인 동작을 제어하는 제어 수단(20)을 구비하여 구성되어 있다.

상기 웨이퍼(W)는 그 일방의 면(상면)에 복수의 범프(B)가 형성되고, 이들 범프(B)는 반도체칩의 전극이며 소정의 높이를 가지고 있다.

상기 접착시트(S)는 기재시트(BS)와, 이 기재시트(BS)의 일방의 면(도 2(b) 중 상면)에 적층된 접착제층(AD)을 구비하고 있다. 접착제층(AD)에는 접착시트(S)의 연장방향으로 소정 간격마다 오목부(C)가 형성되어 있다(오목부의 바닥면에는 접착제가 없지만, 있어도 됨). 각 오목부(C)는 웨이퍼(W)의 면 내에 들어가고, 또한, 웨이퍼(W) 위의 범프(B)를 모두 수용 가능한 형상 및 사이즈로 형성하고 있다. 이웃하는 오목부(C) 사이에는, 기준 마크(BM)가 설치되어 있다. 접착시트(S)의 짧은 폭폭방향(Y축방향)에 있어서의 각 기준 마크(BM)의 위치 및 각 오목부 중심 위치(DC)는 당해 Y축방향으로 벗어나지 않고 동일하게 된다. 각 기준 마크(BM)와, 접착시트(S)의 풀어내기 방향(X축방향) 가장 가깝게 되는 오목부 중심 위치(DC)와의 당해 X축방향의 거리(D)는 모두 동일하게 설정되어 있다. 즉, 각 오목부 중심 위치(DC)와, 이것에 대응하는 기준 마크(BM)의 상대 위치 관계는 항상 일정하며, 기준 마크(BM)의 위치로부터 오목부 중심 위치(DC)를 결정할 수 있게 되어 있다.

상기 지지 수단(11)은, 웨이퍼(W)의 외주 가장자리 형상과 대략 동일한 외주 가장자리를 가짐과 아울러, 웨이퍼(W)를 타방의 면(도 1 중 하면)측으로부터 흡착 유지 가능한 지지면(21)을 갖는 내측 테이블(22)과, 내측 테이블(22)과의 사이에 간극을 형성하도록 단면으로 보아 오목형으로 설치된 외측 테이블(25)과, 내측 테이블(22)을 승강시키는 구동 기기로서의 직동 모터(27)를 구비하고, 내측 테이블(22)은 접착시트(S)의 두께나 웨이퍼(W)의 두께에 따라 승강 가능하게 설치되어 있다.

상기 풀어내기 수단(12)은, 프레임(F)에 설치되어 롤 형상으로 감겨진 원재료 시트(R)를 지지하는 지지 롤러(33)와, 박리 시트(RL)를 회수하는 회수 롤러(34)와, 지지 롤러(33)와 회수 롤러(34) 사이에 배치된 복수의 가이드 롤러(36?39)와, 구동 기기로서의 모터(M1)를 통하여 회전 가능한 구동 롤러(41)와, 당해 구동 롤러(41)와의 사이에 박리 시트(RL)를 끼우는 핀치 롤러(42)와, 원재료 시트(R)의 풀어내기 도중에 박리 시트(RL)를 되꺾어서 당해 박리 시트(RL)로부터 접착시트(S)를 박리하는 박리판(43)과, 누름 수단(18)에 의해 접착시트(S)를 웨이퍼(W)에 첩부할 때의 접착시트(S)에 부여되는 장력을 검출하는 로드셀(44)과, 이 로드셀(44)이 접속된 장력 측정 롤러(46)와, 로드셀(44)의 검출값이 소정값이 되도록 박리판(43)을 이동시키는 구동 수단(47)과, 브레이크 슈(50, 51)를 통하여 접착시트(S)를 끼워 접착시트(S)의 풀어내기를 억제하는 구동 기기로서의 실린더(53, 54)와, 박리판(43)과 가이드 롤러(37?39)와 로드셀(44)과 장력 측정 롤러(46)와 실린더(53, 54)를 지지하는 프레임(F1)과, 웨이퍼(W)의 외측의 불필요 접착시트(S1)를 권취하는 권취 수단(56)을 구비하여 구성되어 있다. 풀어내기 수단(12)은 박리판(43)에서 박리 시트(RL)로부터 박리된 접착시트(S)를 지지면(21)의 상방에 면하도록 풀어내기 가능하게 되어 있다.

상기 구동 수단(47)은 구동 기기로서의 단축 로봇(58)을 포함하고, 당해 단축 로봇(58)의 도시하지 않은 슬라이더가 프레임(F1)에 부착되고, 제어 수단(20)을 통하여 로드셀(44)에 의해 검출된 접착시트(S)의 장력에 의해, 프레임(F1)을 상하방향으로 승강 가능하게 지지하고 있다.

상기 권취 수단(56)은 프레임(F2)에 지지된 롤러(60)와, 구동 기기로서의 모터(M2)에 의해 구동하는 구동 롤러(61)와, 구동 롤러(61) 사이에 불필요 시트(S1)를 끼우고 당해 구동 롤러(61)에 추종 회전하는 권취 롤러(63)를 구비하고 있다. 또한, 프레임(F2)은 구동 기기로서의 리니어 모터(65)의 슬라이더(65A) 위에 지지되어 X축방향으로 이동할 수 있게 설치되어 있다.

상기 오목부 검출 수단(13)은, 도 1에서 도시되는 박리판(43)의 상방에 설치된 카메라 등의 촬상 수단으로 이루어지고, 풀어내진 접착시트(S)에 있어서의 기준 마크(BM)를 촬상하여 당해 기준 마크(BM)의 X축 및 Y축방향의 위치를 검출하고, 그 데이터를 제어 수단(20)에 출력 가능하게 설치되어 있다.

상기 다관절 로봇(15)은, 베이스부(70)와, 당해 베이스부(70)의 상면측에 배치된 제 1 암(71)?제 6 암(76)과, 제 6 암(76)의 자유단측에 부착된 유지 척(77)을 구비한 소위 6축 로봇이며, 그 작업영역 내에서 유지 척(77)을 어느 위치, 어느 방향으로도 이동 가능한 것이다. 유지 척(77)은, 커터날(78)을 지지하는 커터날 홀더(79)에 걸고 벗길 수 있도록 연결되고, 또한 도 1 중 2점쇄선으로 둘러싸는 원 내에서 평면도로 나타내는 반송 암 홀더(81)로 바꿔 쥐기 가능하게 되어 있다. 반송 암 홀더(81)는, 반송 암(82)을 지지하고 있고, 이 반송 암(82)에는 도시하지 않은 복수의 흡인구가 설치되고, 유지 척(77)과의 접속에 의해 도시하지 않은 감압 수단에 접속되어 웨이퍼(W)를 흡착 유지 가능하게 되어 있다. 여기에서, 커터날(78), 커터날 홀더(79) 및 다관절 로봇(15)에 의해 절단 수단이 구성되고, 반송 암 홀더(81), 반송 암(82) 및 다관절 로봇(15)에 의해 반송 수단이 구성된다.

상기 누름 수단(18)은 리니어 모터(65)의 도시하지 않은 슬라이더를 통하여 X축방향으로 이동 가능한 프레임(84)과, 이 프레임(84)의 상면측에 설치된 구동 기기로서의 실린더(85)와, 이 실린더(85)의 출력축에 회전 가능하게 지지되고, 실린더(85)의 작동에 의해 상하동 가능하게 설치된 누름 롤러(86)를 구비하고 있다.

상기 위치맞춤 장치(19)는 베이스(88)의 상면으로부터 돌설된 회전대(89)와, 웨이퍼(W) 외주 가장자리나, 당해 외주 가장자리에 형성된 V 노치, 오리엔테이션 플랫 등의 방위 마크를 검출하는 센서로 이루어지는 피착체 검출 수단(90)을 구비하고 있다. 회전대(89)는 그 상면에서 웨이퍼(W)를 지지하면서 당해 웨이퍼(W)를 둘레방향으로 회전 가능하게 설치되어 있다. 피착체 검출 수단(90)은 웨이퍼(W)의 외주 가장자리를 촬상함으로써 웨이퍼(W)의 외주 가장자리의 위치나 방위 마크 등을 검출하고, 그 검출결과를 제어 수단(20)에 출력 가능하게 되어 있다.

상기 제어 수단(20)은 시퀀서나 pc 등으로 구성할 수 있다. 제어 수단(20)에는, 조작패널 등으로 이루어지는 도시하지 않은 입력 수단이 접속되고, 이 입력 수단에 의해 각 수단의 작동 조건이나 데이터 등을 입력 가능하게 되어 있다. 또한 제어 수단(20)은 오목부 검출 수단(13), 로드셀(44), 피착체 검출 수단(90)의 검출결과를 입력하는 기능과, 당해 검출결과 및 입력 수단으로부터의 입력으로부터, 각 구동 기기의 동작 방향, 동작량, 동작 속도 등의 조건을 결정하고, 이것들을 제어하는 기능을 구비하고 있다. 또한 오목부 검출 수단(13)으로부터 입력된 데이터로부터 오목부중심 위치(DC)를 결정하는 기능과, 접착시트(S)를 웨이퍼(W)에 첩부했을 때, 오목부 중심 위치(DC)가 위치하는 첩부 후 중심위치(H)를 결정하는 기능과, 피착체 검출 수단(90)으로부터 입력된 데이터로부터 웨이퍼 중심위치(WC)와 방위 마크의 위치를 결정하는 기능도 가지고 있다. 또한, 제어 수단(20)은, 도시하지 않은 케이블이나, 무선구조 등에 의해 제어하는 각 장치에 접속된다.

다음에 본 실시형태에 있어서의 접착시트(S)의 첩부 방법에 대하여 설명한다.

초기 설정에 있어서, 원재료 시트(R)를 지지 롤러(33)로부터 소정 길이 끌어 내고, 도 1에 도시하는 바와 같이, 상승 위치에 있는 박리판(43)에서 박리 시트(RL)를 박리하고, 접착시트를 권취 롤러(63)에 고정하는 한편, 박리 시트(RL)를 회수 롤러(34)에 고정한다.

전원이 투입되면, 모터(M1, M2)가 작동하고, 소정 길이에 걸쳐 접착시트(S)를 권취함과 아울러, 회수 롤러(34)로 박리 시트(RL)를 권취함으로써 박리판(43)에서 박리 시트(RL)로부터 박리된 접착시트(S)가 지지면(21) 상방에 면하도록 풀어내진다. 이어서, 각 모터(M1, M2)의 작동을 정지하고, 브레이키슈(50, 51)가 가이드 롤러(37, 39)에 각각 맞닿아 접착시트(S)의 풀어내기를 억제한다. 이 접착시트(S)의 풀어내기를 억제한 후에, 박리판(43) 위에 위치하는 접착시트(S)의 기준 마크(BM)를 오목부 검출 수단(13)에 의해 검출하고, 검출 데이터가 제어 수단(20)에 출력된다. 제어 수단(20)에서는, 오목부 검출 수단(13)으로부터의 입력 데이터에 기초하여, 오목부 중심 위치(DC)의 위치가 결정됨과 아울러, 첩부 후 중심위치(H)도 구해진다.

이어서, 다관절 로봇(15)을 작동하고, 유지 척(77)에 반송 암 홀더(81)를 유지한 후, 반송 암(82)으로 웨이퍼(W)를 흡착 유지한다. 그리고, 웨이퍼(W)를 위치맞춤 장치(19)의 회전대(89) 위에 재치하고 웨이퍼(W)를 회전함으로써 피착체 검출 수단(90)에 의해 웨이퍼 중심위치(WC) 및 방위 마크의 위치를 검출하고, 그 위치 데이터를 제어 수단(20)에 출력한다. 제어 수단(20)에서는, 피착체 검출 수단(90)으로부터의 입력 데이터에 기초하여, 웨이퍼 중심 위치(WC) 및 방위 마크의 위치가 결정된다.

다음에 다관절 로봇(15)을 작동하고, 회전대(89) 위의 웨이퍼(W)를 반송 암(82)으로 흡착 유지하여 내측 테이블(22)에 반송하고, 지지면(21) 위에 웨이퍼(W)를 재치한다. 이 반송에 있어서 웨이퍼(W)는, 웨이퍼 중심위치(WC)가 먼저 구해진 첩부 후 중심위치(H)에 일치하도록, 제어 수단(20)이 다관절 로봇(15)의 작동을 제어한다. 즉, 반송 수단은, 오목부 검출 수단(13)의 검출결과에 기초하여 오목부(C)가 웨이퍼(W)의 소정의 위치에 배치되어 접착시트(S)가 첩부되도록 웨이퍼(W)를 지지면(21) 위에 재치한다.

지지면(21) 위에 웨이퍼(W)를 재치한 후, 누름 수단(18)의 실린더(85)를 작동하여, 도 2 중 2점쇄선으로 표시되는 바와 같이 누름 롤러(86)에 의해 접착시트(S)를 기재시트(BS)측으로부터 누르면서, 리니어 모터(65)의 작동에 의해 누름 수단(18)을 도 1 중 좌측으로 이동한다. 이 누름 롤러(86)의 이동에 따라, 접착시트(S)에는 장력이 가해져, 장력 측정 롤러(46)에 인장력이 부여된다. 그래서, 로드셀(44)이 그 장력 변화를 검지하면서, 제어 수단(20)이 소정 장력을 유지하도록 프레임(F1)을 단축 로봇(58)에 의해 하강시킴으로써 도 2(a) 중 실선으로 표시되는 바와 같이, 접착시트(S)가 외측 테이블(25)의 상면과 웨이퍼(W)의 상면에 첩부된다. 그 결과, 접착시트(S)는, 소정의 장력이 부여된 상태에서, 누름 롤러(86)에 의해 눌려 웨이퍼(W)에 첩부된다. 이 첩부에 있어서, 상기한 바와 같이, 웨이퍼 중심위치(WC)를, 첩부 후 중심위치(H)에 일치하도록 재치해 두었으므로, 지지면(21) 위의 웨이퍼 중심위치(WC)와, 오목부 중심 위치(DC)가 X축 및 Y축방향에서 일치하게 된다.

접착시트(S)의 첩부가 완료되면, 다관절 로봇(15)에 있어서, 반송 암 홀더(81)로부터 커터날 홀더(79)로 유지 척(77)이 바꿔 쥔다. 그리고, 다관절 로봇(15)을 작동하고, 커터날(78)을 통하여 웨이퍼(W)의 외주 가장자리를 따라 접착시트(S)를 절단한다. 이 절단에 있어서, 다관절 로봇(15)은, 첩부 후 중심위치(H), 오목부 중심 위치(DC) 또는 웨이퍼 중심위치(WC)를 회전중심으로 하고, 웨이퍼(W)의 직경 치수에 대응하는 원형의 궤적으로 커터날(78)이 이동하여 절단하도록, 제어 수단(20)에 의해 제어된다.

접착시트(S)의 절단 후, 다관절 로봇(15)에 있어서, 유지 척(77)이 반송 암 홀더(81)로 다시 바꿔 쥔다. 그리고, 다관절 로봇(15)의 작동에 의해, 접착시트(S)가 첩부된 웨이퍼(W)를 반송 암(82)으로 흡착 유지하고, 내측 테이블(22)로부터 제거하여 후공정 등에 반송한다. 그 후에 프레임(F2)이 도면 중 좌측으로 이동함으로써 불필요 접착시트(S1)가 외측 테이블(25)의 상면으로부터 박리되고 권취 롤러(63)에 의해 권취된다. 이어서, 브레이키슈(50, 51)가 가이드 롤러(37, 39)로부터 떨어지고, 프레임(F1)이 상승한다. 이것과 동시에, 실린더(85)의 작동에 의해 누름 롤러(86)가 상승하고, 프레임(F2)과 함께 도 1에 도시되는 위치로 복귀하고, 새로운 접착시트(S)의 풀어내기를 행하고, 이후 상기와 동일한 동작이 행해지게 된다.

따라서, 이러한 실시형태에 의하면, 오목부 검출 수단(13)에 의해 오목부 중심 위치(DC)를 검출하고, 그 위치 정보에 기초하여 다관절 로봇(15)의 작동을 제어하여 웨이퍼(W)를 반송하므로, 웨이퍼(W)와 오목부(C)를 일치시켜 접착시트(S)를 첩부할 수 있다. 또한 내측 테이블(22)을 이동시키지 않고, 웨이퍼(W)와 오목부(C)의 위치맞춤이 가능하게 되어, 지지 수단(11)의 구성의 간략화를 도모할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은, 상기 기재에서 개시되어 있는데, 본 발명은, 이것에 한정되는 것은 아니다.

즉, 본 발명은, 주로 특정 실시형태에 관하여 특별히 도시, 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 원하는 범위로부터 일탈하지 않고, 이상에서 설명한 실시형태에 대하여, 형상, 위치 혹은 배치 등에 관하여, 필요에 따라 당업자가 여러 변경을 가할 수 있는 것이다.

따라서, 상기에 개시한 형상 등을 한정한 기재는, 본 발명의 이해를 쉽게 하기 위하여 예시적으로 기재한 것이며, 본 발명을 한정하는 것은 아니므로, 그것들의 형상 등의 한정의 일부 혹은 전부의 한정을 벗어난 부재의 명칭에서의 기재는, 본 발명에 포함되는 것이다.

예를 들면, 상기 절단 수단이나 반송 수단은 상기 실시형태와 동일한 기능을 발휘할 수 있는 한에 있어서, 여러 변경이 가능하다.

또한 상기 실시형태에서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드레스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는데다, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 조합시킨 것을 채용할 수도 있다(실시형태에서 예시한 것과 중복하는 것도 있음).

또한 본 발명에서의 피착체로서는 반도체 웨이퍼에 한정되는 것은 아니고, 유리판, 강판, 또는, 수지판 등, 그 밖의 피착체도 대상으로 할 수 있고, 반도체 웨이퍼는 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼이어도 된다.

또한 상기 기준 마크(BM)는, 오목부 검출 수단(13)에 의해 검출 가능한 한에 있어서, 접착제층(AD) 및 기재시트(BS)의 어느 곳에 형성해도 되고, 그 형상이나 위치도 도시 구성예에 한정되는 것이 아니다.

또한 오목부 검출 수단(13)에 있어서, 오목부(C)의 형성 가장자리를 검출하고, 당해 형성 가장자리에 있어서의 상이한 2개의 현의 수직 2등분 선의 교점에 의해 오목부 중심 위치(DC)를 검출해도 된다. 이것에 의하면, 접착시트(S)의 기준 마크(BM)를 생략하는 것이 가능하게 된다.

또한 접착시트(S)가 소정의 간격을 두고 박리 시트(RL)의 일방의 면에 가부착된 원재료 시트이며, 당해 접착시트(S)에 오목부(C)가 형성되어 있는 경우, 오목부 검출 수단 대신에 오목부(C)의 외주에 형성된 볼록부를 검출 가능한 볼록부 검출 수단을 채용할 수도 있다.

10 시트 첩부 장치
11 지지 수단
12 풀어내기 수단
13 오목부 검출 수단
15 다관절 로봇
18 누름 수단
78 커터날
82 반송 암
90 피착체 검출 수단
AD 접착제층
BS 기재시트
C 오목부
S 접착시트
W 반도체 웨이퍼(피착체)

Claims

기재시트의 일방의 면에 접착제층이 설치되고, 당해 접착제층에 소정 간격마다 오목부가 형성된 접착시트를 피착체의 일방의 면에 첩부하는 시트 첩부 장치에 있어서,
상기 피착체의 타방의 면측에서 당해 피착체를 지지 가능한 지지면을 갖는 지지 수단과, 상기 접착시트를 상기 지지면에 면하도록 풀어내는 풀어내기 수단과, 상기 지지면에 면하도록 풀어내진 접착시트에서의 상기 오목부의 위치를 검출하는 오목부 검출 수단과, 상기 지지면에 피착체를 재치 가능한 반송 수단과, 상기 접착시트를 기재시트측에서 눌러 상기 피착체에 첩부하는 누름 수단을 구비하고,
상기 반송 수단은, 상기 오목부 검출 수단의 검출결과에 기초하여, 상기 오목부가 상기 피착체의 소정의 위치에 배치되어 상기 접착시트가 첩부되도록 당해 피착체를 상기 지지면 위로 재치하는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 피착체에 첩부된 접착시트를 절단 가능한 절단 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 피착체의 위치를 검출하는 피착체 검출 수단을 포함하고,
상기 반송 수단은, 상기 피착체 검출 수단의 검출결과에 기초하여, 상기 오목부가 상기 피착체의 소정의 위치에 첩부되도록 당해 피착체를 상기 지지면 위에 재치하는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 절단 수단은 상기 오목부 검출 수단 또는 상기 피착체 검출 수단의 검출결과에 기초한 형상으로 상기 접착시트를 절단 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
기재시트의 일방의 면에 접착제층이 설치되고, 당해 접착제층에 소정 간격마다 오목부가 형성된 접착시트를 피착체의 일방의 면에 첩부하는 시트 첩부 방법에 있어서,
상기 접착시트를 지지면에 면하도록 풀어내는 공정과,
상기 지지면에 면하도록 풀어내진 접착시트에 있어서의 상기 오목부의 위치를 검출하는 공정과,
상기 오목부의 검출결과에 기초하여, 상기 오목부가 상기 피착체의 소정의 위치에 배치되어 상기 접착시트가 첩부되도록 당해 피착체를 상기 지지면 위에 재치하는 공정과,
상기 접착시트를 기재시트측에서 눌러 상기 피착체에 첩부하는 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 방법.