JP6543152B2 - シート貼付装置および貼付方法並びに接着シート原反 - Google Patents
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Description
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、図1に示すように、各部材が初期位置に配置された状態のシート貼付装置10に対し、作業者が原反RSをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、繰出手段20が回動モータ23を駆動し、原反RSを繰り出す。その後、原反RSの第2切込CU2を含む部分が剥離板30の折曲部31によって折り返されると、図2に示すように、第2切込CU2の内側が押圧ローラ40側に突出し、突出部DTが形成されるとともに、原反RSに貫通孔DHが表出する。そして、検知手段50が貫通孔DHの外縁を検知すると、繰出手段20が回動モータ23の駆動を停止し待機状態となり、接着シートAS1は貼付準備位置に配置される。
なお、切込手段70は、レーザカッター、熱カッター、エアカッター、圧縮水カッター等で原反に第1、第2切込CU1、CU2を形成してもよい。
第2切込の形状として、V字状、コ字状等を採用してもよい。
第2切込は、環状の切込であってもよく、この場合、検知部は、当該第2切込を含む原反部分が剥離手段によって折り返され、第2切込の内側部分が剥離されることで表出する貫通孔でもよいし、原反から剥離された第2切込の内側部分でもよい。なお、第2切込の内側部分は、剥離手段によって折り返される前に図示しない除去手段で除去してもよし、原反の状態で除去されていてもよい。
押圧手段は、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等で押圧部材を採用してもよいし、エア噴き付けにより接着シートAS1を被着体に押圧する構成としてもよい。
検知手段50は、リミットスイッチ等の接触型のセンサでもよい。
支持手段60は、テーブル62の位置を固定しておきシート貼付装置10を移動させてもよいし、テーブル62およびシート貼付装置10の両方を移動させてもよい。
シート貼付装置10に対し、他の装置でウエハWFを相対移動させる場合、支持手段60はなくてもよい。
また、前記実施形態における駆動手段や駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20 繰出手段
30 剥離板(剥離手段)
40 押圧ローラ(押圧手段)
50 検知手段
AS 原接着シート
AS1 接着シート
CU1 第1切込
CU2、CU20、CU21…第2切込
DH、DH1、DH2…貫通孔(検知部)
DT、DT1、DT2…突出部(検知部)
RL 剥離シート
RS 原反(接着シート原反)
US 不要シート
WF ウエハ(被着体)
Claims (3)
- 間欠動作を繰り返して所定形状の接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、
帯状の剥離シートの一方の面に仮着された帯状の原接着シートを貫通しかつ前記剥離シートを貫通しない環状の第1切込が設けられることで、当該第1切込の内側に前記所定形状の接着シートが形成されるとともに、当該第1切込の外側に不要シートが形成され、当該不要シートを貫通する非環状の第2切込が設けられた原反を繰り出す繰出手段と、
前記原反を折り返し、前記剥離シートから前記所定形状の接着シートを剥離する剥離手段と、
剥離された前記所定形状の接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記原反の前記第2切込を含む部分が前記剥離手段によって折り返されることで当該原反に表出した突出部または貫通孔を検知部として検知する検知手段をさらに備え、
前記繰出手段は、前記検知手段の検知結果を基に前記原反を間欠的に繰り出し、前記突出部を前記剥離シートとともに回収することを特徴とするシート貼付装置。 - 間欠動作を繰り返して所定形状の接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法であって、
帯状の剥離シートの一方の面に仮着された帯状の原接着シートを貫通しかつ前記剥離シートを貫通しない環状の第1切込が設けられることで、当該第1切込の内側に前記所定形状の接着シートが形成されるとともに、当該第1切込の外側に不要シートが形成され、当該不要シートを貫通する非環状の第2切込が設けられた原反を繰り出す工程と、
剥離手段で前記原反を折り返し、前記剥離シートから前記所定形状の接着シートを剥離する工程と、
剥離された前記所定形状の接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを含み、
前記剥離手段で前記原反の前記第2切込を含む部分を折り返したときに当該原反に表出した突出部または貫通孔を検知部として検知し、当該検知結果を基にして前記原反を間欠的に繰り出す工程と、
前記突出部を前記剥離シートとともに回収する工程を実施することを特徴とするシート貼付方法。 - 帯状の剥離シートの一方の面に帯状の原接着シートが仮着された接着シート原反であって、
前記原接着シートを貫通しかつ前記剥離シートを貫通しない環状の第1切込が設けられることで、当該第1切込の内側に所定形状の接着シートが形成可能かつ当該第1切込の外側に不要シートが形成可能に構成され、当該不要シートを貫通する非環状の第2切込が設けられることで、当該第2切込を含む部分が折り返されたときに検知部としての突出部または貫通孔が表出可能かつ前記突出部が前記剥離シートとともに回収可能に構成されていることを特徴とする接着シート原反。
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