JP5542583B2 - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Description
図1に示すように、本実施形態のシート貼付装置1は、予めリングフレームRFの開口部RF1を閉塞するように貼付された接着シートとしてのマウント用シートMSを被着体としてのウェハWに貼付し、マウント用シートMSでウェハWとリングフレームRFとを一体化するものである。ここで、ウェハWは、外縁部がそれ以外の部分よりも厚くなるように研削されることで、厚さ方向(裏面側)に突出した環状の凸部W1が外縁部に形成され、凸部W1で囲まれた内側に凹部W2が形成されるとともに、その表面側(研削面の反対側であり、図1の下側の面側)の回路面W3に回路が形成された半導体ウェハである。回路面W3には、図示しない保護シートが貼付されている。また、マウント用シートMSは、図示しない基材シートの一方の面に接着剤層が積層された構成を有している。
先ず、図示しない搬送手段がマウント用シートMSによって開口部RF1が閉塞されたリングフレームRFを図1に示すように蓋部材6に吸着保持させるとともに、ウェハWを図1に示すようにテーブル21上に載置する。この後、減圧手段3は、図示しない駆動機器により蓋部材6を下降させて、蓋部材6の下面61を下チャンバ7の上面74に当接させる。蓋部材6および下チャンバ7が第1および第2空間V1,V2を形成した後、圧力調整手段8A,8Bは、第1および第2空間V1,V2を同じ減圧率で減圧しつつ、同じ圧力となるように、第1および第2空間V1,V2を真空状態または減圧状態にする。
また、マウント用シートMSが加熱されると、図5(A)に示すように、マウント用シートMSは、リングフレームRFにより張力が付与されている方向に伸びて、うねりUが一定方向に延びる複数の筋SUに変化する現象がおきる。
すなわち、シート貼付装置1は、マウント用シートMSをウェハWに貼付したときに、ウェハWとリングフレームRFとの間にうねりUが生じていたとしても、マウント用シートMSを加熱することにより、このうねりUを一定方向に延びる複数の筋SUに変化させ、その後、自然冷却させることで筋SUを消滅して弛みをなくすことができる。
また、弛み除去手段4を減圧手段3の外側に設けたため、ウェハWに貼付されたマウント用シートMSの弛み除去工程と、次の接着対象となるウェハWおよびマウント用シートMSの貼付工程とをオーバラップさせて処理することができるので、単位時間あたりの接着処理能力を向上させることができる。
また、前記実施形態では、蓋部材6や下チャンバ7、多関節ロボット5は、リングフレームRF部分を保持することで、ウェハWやマウント用シートMSを保持していたが、マウント用シートMSを保持するようにしてもよい。
さらに、弛み除去手段4は、加熱すること以外でマウント用シートMSの弛みを除去可能なものであってもよく、例えば、冷却すると伸びる特性を有するゴム等によってマウント用シートMSの基材が構成されている場合は、当該マウント用シートMSを冷却可能な冷却手段としてのペルチェ素子等を含む構成としてもよい。
また、前記実施形態では、被着体支持手段2のテーブル21と、弛み除去手段4のテーブル41とを別体に設けたが、被着体支持手段2のテーブル21内に加熱手段や冷却手段を配置して弛みを除去するように構成してもよい。
さらに、前記実施形態では、ウェハWに貼付されたマウント用シートMSを自然冷却して当該マウント用シートMSの弛みを除去する構成としたが、扇風機や冷風送風機等の強制冷却手段を採用してマウント用シートMSを強制冷却してもよい。なお、マウント用シートMSが冷却されることで、うねりUが図5(A)に示すように筋SUに変化し、その後、雰囲気温度まで自然加熱されて(温度上昇して)筋SUが消滅して弛みがなくなるような特性の場合は、ヒータ、赤外線照射装置、マイクロ波照射装置等を強制加熱手段として採用することができる。
4 弛み除去手段
8A,8B 圧力調整手段(押圧手段)
MS マウント用シート(接着シート)
RF リングフレーム(フレーム)
W ウェハ(被着体)
Claims (2)
- 予めフレームの開口部に貼付され被着体の外縁からはみ出る大きさを有する接着シートを当該被着体に貼付するシート貼付装置であって、
前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記押圧手段で貼付されて前記被着体の外縁からはみ出た接着シート部分を加熱または冷却して当該部分の弛みを除去する弛み除去手段とを備え、
前記接着シートを加熱したときは、加熱後に当該接着シートを冷却状態にし、
前記接着シートを冷却したときは、冷却後に当該接着シートを加熱状態にすることを特徴とするシート貼付装置。 - 被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
前記被着体の外縁からはみ出る大きさの接着シートを予めフレームの開口部に貼付し、
前記フレームの開口部に貼付された接着シートを前記被着体に押圧して貼付し、
前記被着体への前記接着シートの貼付後に、前記被着体の外縁からはみ出た接着シート部分を加熱または冷却して当該部分の弛みを除去し、
前記接着シートを加熱したときは、加熱後に当該接着シートを冷却状態にし、前記接着シートを冷却したときは、冷却後に当該接着シートを加熱状態にすることを特徴とするシート貼付方法。
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