KR102501353B1 - 지지 장치 및 지지 방법 - Google Patents

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Abstract

지지 장치(10A)는, 접착 시트(AS)의 외측 테두리부를 지지하는 시트 지지 수단(20)과, 피착체(WF)를 지지하는 피착체 지지 수단(30)과, 이격 접근하는 방향으로 시트 지지 수단(20) 및 피착체 지지 수단(30)을 상대 이동 가능한 이동 수단(40)과, 이동 수단(40)의 상대 이동에 의해 이동 가능하게 설치되고, 또한 피착체(WF)와도 상대 이동함으로써, 접착 시트(AS)를 피착체(WF)에 대하여 이격시킨 상태에서 당해 피착체(WF)를 둘러싸는 밀폐 공간(SP)을 형성 가능한 밀폐 공간 형성 수단(50)을 구비하고 있다.

Description

지지 장치 및 지지 방법{SUPPORTING APPARATUS AND SUPPORTING METHOD}
본 발명은 지지 장치 및 지지 방법에 관한 것이다.
종래, 피착체를 둘러싸는 밀폐 공간을 형성 가능하게 설치되고, 피착체 지지 수단 및 시트 지지 수단에 의해 피착체 및 접착 시트를 지지하는 지지 장치가 알려져 있다(예를 들어, 문헌 1: 일본 특허공개 제2012-60047호 공보 참조).
그러나, 문헌 1에 기재된 바와 같은 종래의 지지 장치에서는, 피착체 지지 수단과 시트 지지 수단을 상대 이동시키는 이동 수단 외에, 밀폐 공간을 형성하기 위한 다른 부재가 필요해지므로, 장치의 대형화나 제어의 복잡화를 초래한다는 문제가 있다.
본 발명의 목적은, 장치의 대형화나 제어의 복잡화를 방지할 수 있는 지지 장치 및 지지 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 지지 장치는, 접착 시트의 외측 테두리부를 지지하는 시트 지지 수단과, 피착체를 지지하는 피착체 지지 수단과, 이격 접근하는 방향으로 상기 시트 지지 수단 및 피착체 지지 수단을 상대 이동 가능한 이동 수단과, 상기 이동 수단의 상대 이동에 의해 이동 가능하게 설치되고, 또한 상기 피착체와도 상대 이동함으로써, 당해 피착체를 둘러싸는 밀폐 공간을 형성 가능한 밀폐 공간 형성 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 지지 장치는, 상기 밀폐 공간에 유체를 공급하는 유체 공급 수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 지지 방법은, 접착 시트의 외측 테두리부를 시트 지지 수단에 의해 지지하는 시트 지지 공정과, 피착체를 피착체 지지 수단에 의해 지지하는 피착체 지지 공정과, 이격 접근하는 방향으로 상기 시트 지지 수단 및 피착체 지지 수단을 상대 이동시키는 이동 공정과, 상기 이동 공정에 의해 밀폐 공간 형성 수단을 이동시키고, 또한 상기 밀폐 공간 형성 수단을 상기 피착체와도 상대 이동시킴으로써, 당해 피착체를 둘러싸는 밀폐 공간을 형성하는 밀폐 공간 형성 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
이상과 같은 본 발명에 의하면, 밀폐 공간 형성 수단이 시트 지지 수단 및 피착체 지지 수단의 이격 접근에 의해 이동 가능하게 설치되어 있기 때문에, 이동 수단 외에 밀폐 공간을 형성하기 위한 다른 부재를 설치할 필요가 없어, 장치의 대형화나 제어의 복잡화를 방지할 수 있다.
또한, 유체 공급 수단을 설치하면, 유체에 의해 피착체로부터 접착 시트를 이격시킨 상태를 유지할 수 있으므로, 접착 시트의 미점착 부분이 가압되기 전에 피착체에 점착되어 버리는 것을 방지할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 시트 점착 장치의 측면도이다.
도 2는, 시트 점착 장치의 동작 설명도이다.
이하, 본 발명의 일 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.
또한, 본 실시 형태에 있어서의 X축, Y축, Z축은, 각각이 직교하는 관계에 있으며, X축 및 Y축은, 소정 평면 내의 축이라 하고, Z축은, 상기 소정 평면에 직교하는 축이라 한다. 또한, 본 실시 형태에서는, Y축과 평행한 도 1 중 바로 앞 방향에서 본 경우를 기준으로 하여, 방향을 나타낸 경우, 「상」이 Z축의 화살표 방향이며 「하」가 그 역방향, 「좌」가 X축의 화살표 방향이며 「우」가 그 역방향, 「전」이 Y축과 평행한 도 1 중 바로 앞 방향이며「후」가 그 역방향이라 한다.
도 1에 있어서, 시트 점착 장치(10)는, 접착 시트 AS의 외측 테두리부를 지지하는 시트 지지 수단(20)과, 피착체로서의 반도체 웨이퍼(이하, 단순히 「웨이퍼」라는 경우가 있음) WF를 지지하는 피착체 지지 수단(30)과, 이격 접근하는 방향으로 시트 지지 수단(20) 및 피착체 지지 수단(30)을 상대 이동 가능한 이동 수단(40)과, 이동 수단(40)의 상대 이동에 의해 이동 가능하게 설치되고, 또한 웨이퍼 WF와도 상대 이동함으로써, 당해 웨이퍼 WF를 둘러싸는 밀폐 공간 SP를 형성 가능한 밀폐 공간 형성 수단(50)과, 시트 지지 수단(20)에 지지된 접착 시트 AS를 웨이퍼 WF에 가압해서 점착하는 가압 수단(60)과, 밀폐 공간 SP에 유체로서의 기체를 공급하는 유체 공급 수단(70)과, 공급된 유체에 의해 접착 시트 AS가 웨이퍼 WF로부터 소정의 거리보다도 이격하는 것을 규제하는 규제 수단(80)과, 밀폐 공간 SP의 압력을 검지하는 압력 센서나 로드셀 등의 압력 검지 수단(90)을 구비하고 있다. 또한, 접착 시트 AS는, 미리 프레임 부재로서의 링 프레임 RF의 개구부를 폐색하도록, 접착면 AS1이 당해 링 프레임 RF에 점착되어 있다. 또한, 본 발명의 지지 장치(10A)는 시트 지지 수단(20)과, 피착체 지지 수단(30)과, 이동 수단(40)과, 밀폐 공간 형성 수단(50)과, 유체 공급 수단(70)과, 규제 수단(80)과, 압력 검지 수단(90)으로 구성된다.
시트 지지 수단(20)은 환상으로 형성되고, 감압 펌프나 진공 이젝터 등이 도시하지 않은 감압 수단에 의해 링 프레임 RF를 흡착 유지 가능한 지지면(21A)을 갖는 외측 테이블(21)을 구비하고 있다.
피착체 지지 수단(30)은, 감압 펌프나 진공 이젝터 등이 도시하지 않은 감압 수단에 의해 웨이퍼 WF를 흡착 유지 가능한 지지면(31A)과, 하면(31B)으로부터 움푹 파인 오목부(31C)가 설치된 내측 테이블(31)을 구비하고 있다.
이동 수단(40)은, 출력축(41A)에서 내측 테이블(31)을 지지하는 구동 기기로서의 직동 모터(41)를 구비하고 있다.
밀폐 공간 형성 수단(50)은, 내측 테이블(31)이 배치되는 오목부(51A)를 구비한 하부 케이스(51)와, 오목부(31C)의 상면과 오목부(51A)의 상면에 지지되고, 하부 케이스(51)를 내측 테이블(31)측으로 가압하는 가압 수단으로서의 코일 스프링(52)과, 외측 테이블(21)과 하부 케이스(51)의 사이에서 유체가 누설되는 것을 방지하는 시일 수단으로서의 고무 패킹(53)과, 출력축(41A)과 하부 케이스(51)의 사이에서 유체가 누설되는 것을 방지하는 시일 수단으로서의 고무 패킹(54)을 구비하고 있다.
가압 수단(60)은, 브래킷(61)에 지지된 구동 기기로서의 직동 모터(62)의 출력축(62A)에 지지된 브래킷(63)과, 브래킷(63)에 회전 가능하게 지지된 가압 부재로서의 가압 롤러(64)를 구비하고 있다.
유체 공급 수단(70)은, 외측 테이블(21)에 접속된 배관(71A)을 통해 밀폐 공간 SP에 접속되고, 밀폐 공간 SP에 기체를 공급하는 가압 펌프나 터빈 등의 가압 수단(71)과, 감압 펌프나 해방 밸브 등이 도시하지 않은 감압 수단을 구비하고 있다.
규제 수단(80)은, 구동 기기로서의 리니어 모터(81)의 슬라이더(81A)에 지지된 구동 기기로서의 직동 모터(82)와, 브래킷(61)을 지지함과 함께, 직동 모터(82)의 출력축(82A)에 지지되고, 접착 시트 AS에 접촉 가능한 접촉 부재(83)와, 접촉 부재(83)의 내부에 설치되고, 당해 접촉 부재(83)를 통해 접착 시트 AS를 가열하는 코일 히터, 적외선 히터, 히트 파이프의 가열측 등의 온도 조절 수단(84)을 구비하고 있다.
이상의 시트 점착 장치(10)에 있어서, 웨이퍼 WF에 접착 시트 AS를 점착하는 수순을 설명한다.
우선, 각 부재가 초기 위치에 배치된 도 1 중 실선으로 나타내는 상태의 시트 점착 장치(10)에 대하여 작업자 또는 다관절 로봇 등이 도시하지 않은 반송 수단이, 웨이퍼 WF를 지지면(31A) 위의 소정 위치에 적재하면, 피착체 지지 수단(30)이 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 지지면(31A)에서 웨이퍼 WF를 흡착 유지한다. 그리고, 도시하지 않은 반송 수단이 접착 시트 AS를 상측으로 하여 링 프레임 RF를 지지면(21A) 위의 소정 위치에 적재하면, 시트 지지 수단(20)이 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 지지면(21A)에서 링 프레임 RF를 흡착 유지한다. 계속해서, 규제 수단(80)이 직동 모터(82)를 구동하고, 도 1 중 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 접촉 부재(83)를 접착 시트 AS의 상방인 소정의 위치에까지 하강시킨다.
다음으로, 이동 수단(40)이 직동 모터(41)를 구동하고, 도 1 중 이점쇄선으로 나타내는 밀폐 공간 형성 위치에까지 내측 테이블(31)을 상승시키면, 코일 스프링(52)에 의해 연결된 하부 케이스(51)도 동시에 상승하고, 우선 고무 패킹(53)이 외측 테이블(21)의 하면에 접촉하고, 당해 접촉 후에도 내측 테이블(31)이 소정량 상승한다. 이에 의해, 하부 케이스(51)가 코일 스프링(52)을 개재하여, 소정량 상승하는 내측 테이블(31)에 의해 상방으로 가압되고, 고무 패킹(53)이 소정량 압궤되어 밀폐 공간 SP가 형성된다. 이 경우, 접착 시트 AS, 링 프레임 RF, 시트 지지 수단(20) 및 밀폐 공간 형성 수단(50)으로 밀폐 공간 SP가 형성된다. 이때, 웨이퍼 WF의 상면과 접착 시트 AS의 접착면 AS1은, 접촉한 적이 없는 간격이 유지되도록 되어 있다. 이어서, 유체 공급 수단(70)이 가압 수단(71)을 구동하고, 밀폐 공간 SP에 기체를 공급하면, 밀폐 공간 SP 내가 가압되고, 도 2에 도시한 바와 같이, 접착 시트 AS가 접촉 부재(83)의 하면에 접촉하고, 당해 접착 시트 AS가 그 이상 팽창되지 않도록 규제된다. 계속해서, 이동 수단(40)이 직동 모터(41)를 구동하고, 도 2에 도시한 바와 같이, 웨이퍼 WF의 상면이 링 프레임 RF의 상면과 동일한 높이가 될 때까지, 내측 테이블(31)을 상승시킨다. 그리고, 규제 수단(80)이 온도 조절 수단(84)을 구동하고, 접착 시트 AS를 가열함과 함께, 가압 수단(60)이 직동 모터(62)를 구동하고, 도 2 중 실선으로 나타낸 바와 같이, 가압 롤러(64)로 접착 시트 AS 및 링 프레임 RF 중 적어도 한쪽을 가압한다.
그 후, 규제 수단(80)이 리니어 모터(81)를 구동하고, 도 2 중 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 가압 롤러(64)를 좌측으로 이동시킨다. 이에 의해, 가압 롤러(64)가 접착 시트 AS와 웨이퍼 WF 사이의 기체를 빠져나가도록 하여, 당해 웨이퍼 WF에 접착 시트 AS를 가압해서 점착한다. 이 접착 시트 AS의 점착 시, 접착 시트 AS에 있어서의 가압 롤러(64)보다도 좌측의 미점착 부분은, 접촉 부재(83)에 의해 웨이퍼 WF로부터 소정의 거리보다도 이격하는 것이 규제되어 있기 때문에, 가압 롤러(64)의 이동보다도 먼저 웨이퍼 WF에 점착해버리는 일은 없다.
웨이퍼 WF에 접착 시트 AS의 점착이 완료되면, 유체 공급 수단(70)이 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 밀폐 공간 SP의 압력을 대기압으로 한 후, 가압 수단(60) 및 규제 수단(80)이 직동 모터(62, 82) 및 리니어 모터(81)를 구동하고, 가압 롤러(64) 및 접촉 부재(83)를 초기 위치로 복귀시킨다. 계속해서, 이동 수단(40)이 직동 모터(41)를 구동하고, 내측 테이블(31) 및 하부 케이스(51)를 초기 위치로 복귀시킨 후, 시트 지지 수단(20) 및 피착체 지지 수단(30)이 도시하지 않은 감압 수단의 구동을 정지한다. 그리고, 작업자 또는 도시하지 않은 반송 수단이, 접착 시트 AS를 개재해서 웨이퍼 WF와 링 프레임 RF가 일체화된 일체물을 다음 공정으로 반송한 후, 이후 상기 마찬가지의 동작이 반복된다.
이상과 같은 실시 형태에 의하면, 밀폐 공간 형성 수단(50)이 시트 지지 수단(20) 및 피착체 지지 수단(30)의 이격 접근에 의해 이동 가능하게 설치되어 있기 때문에, 이동 수단(40) 외에 밀폐 공간 SP를 형성하기 위한 다른 부재를 설치할 필요가 없어, 장치의 대형화나 제어의 복잡화를 방지할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최량의 구성, 방법 등은, 상기 기재에서 개시되어 있지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명은 주로 특정한 실시 형태에 관하여 특별히 도시되고, 또한 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 원하는 범위로부터 일탈하지 않고, 이상 설명한 실시 형태에 대하여 형상, 재질, 수량, 그 밖의 상세한 구성에 있어서, 당업자가 다양한 변형을 가할 수 있는 것이다. 또한, 상기에 개시한 형상, 재질 등을 한정한 기재는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해서 예시적으로 기재한 것이며, 본 발명을 한정하는 것은 아니기 때문에, 그들의 형상, 재질 등의 한정의 일부 혹은 모두의 한정을 제외한 부재의 명칭에서의 기재는, 본 발명에 포함된다.
예를 들어, 시트 지지 수단(20)은, 메카니즘 척이나 척 실린더 등의 척 수단, 쿨롬력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등으로 링 프레임 RF나 접착 시트 AS를 유지하는 구성이어도 되고, 유지하는 구성이 없어도 된다.
시트 지지 수단(20)은, 접착 시트 AS가 링 프레임 RF에 점착되지 않는 경우, 접착 시트 AS를 지지면(21A)에서 직접 지지해도 되며, 이 경우, 접착 시트 AS, 시트 지지 수단(20) 및 밀폐 공간 형성 수단(50)으로 밀폐 공간 SP가 형성된다.
시트 지지 수단(20)은, 띠 형상의 접착 시트 기재를 링 프레임 RF에 점착한 후, 당해 접착 시트 기재를 절단날, 레이저 커터, 열 커터, 에어 커터, 압축수 커터 등의 절단 수단에 의해 소정 형상으로 절단해도 된다.
피착체 지지 수단(30)은, 메카니즘 척이나 척 실린더 등의 척 수단, 쿨롬력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등에 의해 웨이퍼 WF를 유지하는 구성이어도 되고, 유지하는 구성이 없어도 된다.
내측 테이블(31)은, 오목부(31C)가 없이, 당해 내측 테이블(31)의 하면(31B)에 코일 스프링(52)이 지지되어 있어도 된다.
이동 수단(40)은, 가압 롤러(64)에 의해 웨이퍼 WF에 접착 시트 AS를 점착하기 전의 단계에 있어서, 당해 웨이퍼 WF에 접착 시트 AS가 접촉하지 않는 상태로 하면 어떤 상태로 해도 되며, 예를 들어 웨이퍼 WF의 상면이 링 프레임 RF의 상면보다도 높아지는 상태로 해도 되고, 낮아지는 상태로 해도 된다.
이동 수단(40)은, 내측 테이블(31)의 위치를 고정해 두고 외측 테이블(21)을 이동시켜도 되고, 외측 테이블(21) 및 내측 테이블(31)의 양쪽을 이동시켜도 된다.
밀폐 공간 형성 수단(50)은, 하부 케이스(51)의 위치를 고정해 두고 외측 테이블(21)을 이동시켜서 밀폐 공간 SP를 형성해도 되고, 외측 테이블(21) 및 하부 케이스(51)의 양쪽을 이동시켜서 밀폐 공간 SP를 형성해도 된다.
가압 수단은, 고무나 수지 등의 탄성 부재나 구동 기기 등으로 구성해도 된다.
시일 수단은, 수지 패킹이나 금속 패킹 등의 다른 부재로 구성해도 되고, 없어도 된다.
하부 케이스(51)는, 오목부(51A)가 없이, 당해 하부 케이스(51)의 상면에 코일 스프링(52)이 지지되어 있어도 된다.
가압 수단(60)은, 블레이드재, 고무, 수지, 스펀지 등에 의한 가압 부재를 채용할 수 있어, 에어 분사에 의해 가압하는 구성도 채용할 수 있다.
다른 장치에 의해 접착 시트 AS를 웨이퍼 WF에 가압해서 점착하는 경우, 본 발명에 있어서 가압 수단(60)은, 없어도 된다.
유체 공급 수단(70)은, 압력 검지 수단(90)의 검지 결과를 기초로 밀폐 공간 SP로부터 유체를 배출하고, 밀폐 공간 SP의 압력이 일정해지도록 해도 된다.
유체 공급 수단(70)이 공급하는 유체는, 대기, 단체 가스 및 혼합 가스 등의 기체여도 되고, 물이나 오일 등의 액체, 젤 형상체 등이어도 된다.
가압 롤러(64)가 이동해서 접착 시트 AS가 웨이퍼 WF에 점착되면, 밀폐 공간 SP의 체적이 감소하고, 밀폐 공간 SP 내의 압력이 상승하기 때문에, 당해 접착 시트 AS에 불필요한 장력이 부여되어 웨이퍼 WF에 점착되므로, 유체 공급 수단(70)은, 압력 검지 수단(90)의 검지 결과를 기초로 하여 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 밀폐 공간 SP 내의 압력이 소정값보다도 크게 되지 않도록 조정하도록 해도 된다. 이에 의해, 접착 시트 AS에 있어서의 점착 방향 후단부(좌측 단부)에 주름이 잡히는 것을 방지할 수 있다.
본 발명에 있어서 유체 공급 수단(70)은, 없어도 된다.
규제 수단(80)은, 접촉 부재(83) 대신에, 접착 시트 AS에 대하여 그 면 방향으로 상대 이동 가능하게 설치되고, 접착 시트 AS에 접촉 가능한 접촉 부재로서의 벨트를 회행하는 회행 수단을 구비해도 된다. 회행 수단은, 직동 모터(82)의 출력축(82A)에 브래킷을 개재해서 지지된 프레임과, 프레임에 지지되고, 도시하지 않은 구동 기기에 의해 구동되는 구동 풀리와, 프레임에 지지되고, 자유 회전하는 종동 풀리와, 구동 풀리 및 종동 풀리에 걸쳐 감긴 벨트를 구비하고, 프레임의 내부에 설치된 온도 조절 수단(84)에 의해, 벨트를 개재해서 접착 시트 AS를 가열하는 구성으로 되어 있다. 이 경우, 구동 풀리를 구동하는 구동 기기는 없어도 된다.
규제 수단(80)은, 접촉 부재(83)나 회행 수단의 위치를 고정해 두고, 시트 지지 수단(20), 피착체 지지 수단(30), 이동 수단(40) 및 밀폐 공간 형성 수단(50)을 이동시켜서 접착 시트 AS를 웨이퍼 WF에 점착해도 되고, 양쪽을 이동시켜서 접착 시트 AS를 웨이퍼 WF에 점착해도 된다.
규제 수단(80)은, 에어 분사에 의해 접착 시트 AS가 웨이퍼 WF로부터 소정의 거리보다도 이격하는 것을 규제해도 된다.
온도 조절 수단(84)은, 펠체 소자나 히트 파이프의 냉각측 등의 냉각 수단이어도 되고, 가열 수단과 냉각 수단의 양쪽을 구비해도 된다.
온도 조절 수단(84)은, 접착 시트 AS에 자외선, 적외선, X선, 마이크로파 등을 조사해도 되며, 접착 시트 AS의 특성, 조성, 구성 등에 따라서 적절히 선택할 수 있다.
온도 조절 수단(84)은, 유체 공급 수단(70)이 공급하는 유체를 가열하거나 냉각하거나 해도 되고, 없어도 된다.
본 발명에 있어서 규제 수단(80)은, 없어도 된다.
본 발명에 있어서 압력 검지 수단(90)은, 없어도 된다.
피착체의 형상은, 원형, 타원형, 삼각형 이상의 다각형, 그 밖의 형상이어도 된다.
접착 시트 AS는, 링 프레임 RF에 점착되지 않아도 된다.
프레임 부재는, 링 프레임 RF 이외에, 환상이 아닌(외주가 연결되지 않은) 것이나, 원형, 타원형, 삼각형 이상의 다각형, 그 밖의 형상이어도 된다. 환상이 아닌 프레임 부재의 경우, 그 간극을 폐색 가능한 폐색부를 지지면(21A)에 설치하면 된다.
또한, 본 발명에 있어서의 접착 시트 AS 및 피착체의 재질, 종별, 형상 등은, 특별히 한정되는 일은 없다. 예를 들어, 접착 시트 AS는, 원형, 타원형, 삼각형이나 사각형 등의 다각형, 그 밖의 형상이어도 되고, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것이어도 되며, 감압 접착성의 접착 시트 AS가 채용된 경우, 온도 조절 수단(84)은 있어도 되고, 없어도 된다. 또한, 이와 같은 접착 시트 AS는, 예를 들어 접착제층만의 단층의 것, 기재 시트와 접착제층의 사이에 중간층을 갖는 것, 기재 시트의 상면에 커버층을 갖는 등 3층 이상의 것, 나아가, 기재 시트를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 소위 양면 접착 시트와 같은 것이어도 되며, 양면 접착 시트는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층의 것이어도 된다. 또한, 피착체로서는, 예를 들어 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 회로 기판, 광디스크 등의 정보 기록 기판, 유리판, 강판, 도자기, 목판 또는 수지판 등, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또한, 접착 시트 AS를 기능적, 용도적인 읽는 법을 바꾸어, 예를 들어 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이 어태치 필름, 다이 본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 형상의 임의의 시트, 필름, 테이프 등을 전술한 바와 같은 임의의 피착체에 점착할 수 있다.
본 발명에 있어서의 수단 및 공정은, 그들 수단 및 공정에 대하여 설명한 동작, 기능 또는 공정을 완수하는 것이 가능한 한 어떠한 한정도 되지 않으며, 하물며, 상기 실시 형태에서 나타낸 단순한 일 실시 형태의 구성물이나 공정으로 전혀 한정되는 일은 없다. 예를 들어, 시트 지지 수단은, 접착 시트의 외측 테두리부를 지지 가능한 것이면, 출원 당초의 기술 상식에 비추어, 그 기술 범위 내의 것이면 어떠한 한정도 되지 않는다(다른 수단 및 공정에 대한 설명은 생략함).
또한, 상기 실시 형태에 있어서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드리스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 동시에, 그들을 직접적 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다(실시 형태에서 예시한 것과 중복되는 것도 있음).

Claims (3)

  1. 접착 시트의 외측 테두리부를 지지하는 시트 지지 수단과,
    피착체를 지지하는 피착체 지지 수단과,
    이격 접근하는 방향으로 상기 시트 지지 수단 및 피착체 지지 수단을 상대 이동 가능한 이동 수단과,
    상기 시트 지지 수단 및 피착체 지지 수단의 상대 이동에 의해 이동 가능하게 설치되고, 상기 피착체에 추종하여 이동함으로써, 당해 피착체를 둘러싸는 밀폐 공간을 형성 가능한 밀폐 공간 형성 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는, 지지 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 밀폐 공간에 유체를 공급하는 유체 공급 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는, 지지 장치.
  3. 접착 시트의 외측 테두리부를 시트 지지 수단에 의해 지지하는 시트 지지 공정과,
    피착체를 피착체 지지 수단에 의해 지지하는 피착체 지지 공정과,
    이격 접근하는 방향으로 상기 시트 지지 수단 및 피착체 지지 수단을 상대 이동시키는 이동 공정과,
    상기 이동 공정 시에 밀폐 공간 형성 수단이 상기 피착체에 추종하여 이동함으로써, 당해 피착체를 둘러싸는 밀폐 공간을 형성하는 밀폐 공간 형성 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는, 지지 방법.
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