JP2019096706A - シート剥離装置および剥離方法 - Google Patents

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【課題】接着シートの剥離不良を防止できるシート剥離装置を提供する。【解決手段】シート剥離装置10は、一方の面に第1接着シートAS1が貼付されるとともに、他方の面に第2接着シートAS2が貼付され、当該第2接着シートAS2を介してフレーム部材RFに一体化された被着体WKを保持する保持面21Aを有する被着体保持手段20と、第1接着シートAS1を保持するシート保持手段30と、保持面21Aとシート保持手段30とを相対移動させて被着体WKから第1接着シートAS1を剥離する移動手段40とを備え、被着体保持手段20は、第2接着シートAS2における被着体WKが貼付された被着体貼付領域よりも外側の領域を保持面21Aに引き付け、保持面21Aと第2接着シートAS2における被着体貼付領域との間に密閉空間SPを形成する密閉空間形成手段22と、密閉空間SPを吸引する密閉空間吸引手段23とを備えている。【選択図】図1

Description

本発明は、シート剥離装置および剥離方法に関する。
従来、一方の面に第1接着シートが貼付されるとともに、他方の面に第2接着シートが貼付され、第2接着シートを介してフレーム部材に一体化された被着体を保持する保持面と、第1接着シートを保持するシート保持手段とを相対移動させて被着体から第1接着シートを剥離するシート剥離装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2014−30039号公報
特許文献1に記載されたような従来のシート剥離装置は、テーブル11(被着体保持手段)に保持された半導体ウエハ(被着体)に反りがあると、被着体保持手段の上面(保持面)とダイシングシートDS(第2接着シート)との間に隙間が生じる場合があるため、接着シートを剥離している途中で被着体が被着体保持手段から離脱し、接着シートの剥離不良が生じるという不都合がある。
本発明の目的は、接着シートの剥離不良を防止することができるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
本発明によれば、保持面と第2接着シートにおける被着体貼付領域との間に形成した密閉空間を吸引することにより、被着体が密閉空間内の負圧によって保持面に引き付けられ、被着体の反りが矯正されるので、保持面と第2接着シートとの間に隙間が生じることを防止することができ、接着シートの剥離不良が生じることを防止することができる。
(A)、(B)は本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の説明図。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
図1(A)において、シート剥離装置10は、一方の面に第1接着シートAS1が貼付されるとともに、他方の面に第2接着シートAS2が貼付され、当該第2接着シートAS2を介してフレーム部材としてのリングフレームRFに一体化された被着体WKを保持する保持面21Aを有する被着体保持手段20と、第1接着シートAS1を保持するシート保持手段30と、保持面21Aとシート保持手段30とを相対移動させて被着体WKから第1接着シートAS1を剥離する移動手段40とを備えている。
被着体保持手段20は、上面が保持面21Aとされた保持テーブル21と、第2接着シートAS2における被着体WKが貼付された被着体貼付領域よりも外側の領域を保持面21Aに引き付け、保持面21Aと第2接着シートAS2における被着体貼付領域との間に密閉空間SPを形成する密閉空間形成手段22と、密閉空間SPを吸引する密閉空間吸引手段23とを備えている。
密閉空間形成手段22は、被着体WKが貼付された被着体貼付領域よりも外側で第2接着シートAS2を吸引するポーラス体や吸引孔等の外側吸引部22Aと、配管22Bを介して外側吸引部22Aに吸引力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の保持部材としての外側減圧手段22Cとを備えている。
密閉空間吸引手段23は、密閉空間形成手段22で形成した密閉空間SP内に位置し、第2接着シートAS2を吸引するポーラス体や吸引孔等の内側吸引部23Aと、配管23Bを介して内側吸引部23Aに吸引力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の保持部材としての内側減圧手段23Cとを備えている。
シート保持手段30は、剥離用テープPTを繰り出す繰出手段31と、第1接着シートAS1に剥離用テープPTを押圧して貼付する押圧手段32と、剥離用テープPTを所定長さに切断する切断手段33とを備えている。
繰出手段31は、剥離用テープPTを支持する支持ローラ31Aと、剥離用テープPTを案内するガイドローラ31Bと、駆動機器としてのリニアモータ31Cのスライダ31Dに支持されたスライドプレート31Eと、駆動機器としての直動モータ31Fの出力軸31Gに回転可能に支持された押圧部材としての押圧ローラ31Hと、一対の把持爪31Jを有する保持部材であって駆動機器としてのチャックシリンダ31Kとを備えている。
押圧手段32は、駆動機器としての直動モータ32Aと、直動モータ32Aの出力軸32Bに支持されたコイルヒータ、赤外線ヒータ、ヒートパイプの加熱側等の加熱手段32Cと、加熱手段32Cに支持された押圧部材としての押圧ヘッド32Dとを備えている。
切断手段33は、駆動機器としての直動モータ33Aと、直動モータ33Aの出力軸33Bに支持された切断刃33Cとを備えている。
移動手段40は、スライダ41Aで被着体保持手段20を支持する駆動機器としてのリニアモータ41を備えている。
以上のシート剥離装置10において、被着体WKから第1接着シートAS1を剥離する手順について説明する。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート剥離装置10に対し、当該シート剥離装置10の使用者(以下、単に「使用者」という)が剥離用テープPTを同図に示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。そして、使用者または、ベルトコンベアや多関節ロボット等の図示しない搬送手段が、図1(A)に示すように、第2接着シートAS2を下にして被着体WKを保持面21A上に載置すると、被着体保持手段20が外側減圧手段22Cを駆動し、外側吸引部22Aでの第2接着シートAS2における被着体貼付領域よりも外側の領域の吸着保持を開始する。これにより、第2接着シートAS2における被着体貼付領域よりも外側の領域が保持面21Aに密着し、図1(A)に示すように、保持面21Aと第2接着シートAS2における被着体貼付領域との間に密閉空間SPが形成される。次いで、被着体保持手段20が内側減圧手段23Cを駆動し、内側吸引部23Aでの密閉空間SPの吸引を開始する。これにより、被着体WKに反りが生じていたとしても、当該反りが矯正され、第2接着シートAS2における被着体WKが貼付された被着体貼付領域は、保持面21Aに全面が吸着保持される。
そして、移動手段40がリニアモータ41を駆動し、押圧ヘッド32Dの下方右端部の直下に第1接着シートAS1の右端部が位置するように被着体保持手段20を移動させる。その後、シート保持手段30がリニアモータ31Cを駆動し、スライドプレート31Eを右方に移動させ、図1(A)中二点鎖線で示すように、一対の把持爪31J間に剥離用テープPTを繰り出す。次いで、シート保持手段30が直動モータ31Fおよびリニアモータ31Cを駆動し、押圧ローラ31Hを上方に退避させるとともに、スライドプレート31Eを初期位置に復帰させた後、チャックシリンダ31Kを駆動し、把持爪31Jで剥離用テープPTを把持する。
次に、シート保持手段30が直動モータ32Aおよび加熱手段32Cを駆動し、加熱された押圧ヘッド32Dを下降させ、図1(B)に示すように、当該押圧ヘッド32Dで剥離用テープPTを第1接着シートAS1の外縁部に押圧して貼付する。次いで、シート保持手段30が直動モータ31Fを駆動し、押圧ローラ31Hで剥離用テープPTをスライドプレート31Eに押圧した状態で、直動モータ33Aを駆動し、切断刃33Cを下降させて剥離用テープPTを切断する。そして、シート保持手段30が直動モータ32A、33Aを駆動し、押圧ヘッド32Dおよび切断刃33Cを初期位置に復帰させる。その後、移動手段40がリニアモータ41を駆動し、図1(B)中二点鎖線に示すように、被着体保持手段20を右方に移動させ、被着体WKから第1接着シートAS1を剥離する。
第1接着シートAS1の剥離が完了すると、移動手段40がリニアモータ41の駆動を停止するとともに、被着体保持手段20が外側、内側減圧手段22C、23Cの駆動を停止する。次いで、シート保持手段30がチャックシリンダ31Kを駆動し、把持爪31Jによる剥離用テープPTの把持を解除して、剥離した第1接着シートAS1を回収する箱や袋等の図示しない回収手段や使用者に第1接着シートAS1を受け渡す。そして、使用者または図示しない搬送手段が被着体WKを次工程に搬送した後、移動手段40がリニアモータ41を駆動し、被着体保持手段20を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
以上のような実施形態によれば、保持面21Aと第2接着シートAS2における被着体貼付領域との間に形成した密閉空間SPを吸引することにより、被着体WKが密閉空間SP内の負圧によって保持面21Aに引き付けられ、被着体WKの反りが矯正されるので、保持面21Aと第2接着シートAS2との間に隙間が生じることを防止することができ、第1接着シートAS1の剥離不良が生じることを防止することができる。
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
例えば、シート剥離装置10は、密閉空間吸引手段23による吸引と併用して、被着体WKを保持面21Aに押圧して被着体WKの反りを矯正してもよく、例えば、押圧手段32や切断手段33、あるいはシャフト材や環状部材等の押圧部材で被着体WKを保持面21Aに押圧してもよいし、大気やガス等の気体の吹き付けにより被着体WKを保持面21Aに押圧してもよい。
シート剥離装置10は、内側減圧手段23Cによる減圧状態を検知する圧力センサやロードセル等の減圧検知手段を備え、密閉空間SPの吸引が開始されてから、所定の時間が経過しても所定の減圧状態にならないことを減圧検知手段が検知したときのみに、被着体保持手段20が外側減圧手段22Cを駆動し、密閉空間SPを形成してから、内側減圧手段23Cを駆動し、内側吸引部23Aでの密閉空間SPの吸引を行ったり、押圧部材や気体の吹き付けを行って被着体WKを保持面21Aに押圧してもよい。
シート剥離装置10は、被着体WKの反りを検知するカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサ、超音波センサ、圧力センサ、接触式センサ等の各種センサ等の反り検知手段を備えてもよい。この場合、例えば、撮像手段、光学センサ、超音波センサは、被着体WKの上方や側方に設け、圧力センサや接触式センサは、保持面21Aに設けてもよく、反り検知手段が被着体WKの反りを検出したときのみに、密閉空間SPを形成してから当該密閉空間SPを吸引するようにしてもよい。
被着体保持手段20は、コイルヒータ、赤外線ヒータ、ヒートパイプの加熱側等の加熱手段を備えていてもよく、当該加熱手段で第2接着シートAS2を加熱して軟化させてもよい。
密閉空間形成手段22は、第2接着シートAS2におけるリングフレームRFが貼付されたフレーム部材貼付領域を吸引してもよいし、第2接着シートAS2における被着体貼付領域よりも外側の領域をクーロン力や磁力で保持面21Aに引き付けて密閉空間SPを形成してもよいし、第2接着シートAS2における被着体貼付領域よりも外側の領域を保持面21A側に押圧して密閉空間SPを形成してもよく、この場合、外側吸引部22A、配管22Bおよび外側減圧手段22Cはあってもよいし、なくてもよい。
密閉空間形成手段22や密閉空間吸引手段23は、被着体WKに反りがなくても、密閉空間SPを形成したり、密閉空間SPを吸引したりしてもよい。
密閉空間形成手段22および密閉空間吸引手段23は、被着体WKの外縁部が保持面21Aから浮き上がる反りの場合でも、密閉空間SPを形成してから密閉空間SPの吸引を行ってもよいし、各々の吸引の有無を切り換える切換弁を介して同一の減圧手段に接続されていてもよい。
シート保持手段30は、剥離用テープPT以外の保持部材で第1接着シートAS1を保持してもよい。また、シート保持手段30は、帯状の剥離用テープPTを切断することなく、被着体WKから第1接着シートAS1を剥離したり、枚葉の剥離用テープPTで第1接着シートAS1を保持してもよく、この場合、切断手段33はなくてもよい。
押圧手段32は、放電加熱器、マイクロ波照射装置、温風吹付装置等の加熱手段を採用してもよいし、加熱手段に代えてまたは併用して、押圧ヘッド32Dを振動させる振動手段を備えてもよい。
移動手段40は、シート保持手段30を移動可能に支持する駆動機器を備えていてもよく、被着体保持手段20の位置を固定しておき、シート保持手段30を移動させてもよいし、被着体保持手段20とシート保持手段30との両方を移動させてもよい。
フレーム部材は、リングフレームRF以外に、環状でない(外周が繋がっていない)ものや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。
本発明における第1、第2接着シートAS1、AS2、剥離用テープPTおよび被着体WKの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第1、第2接着シートAS1、AS2は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、第1、第2接着シートAS1、AS2は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等3層以上のもの、さらには、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体WKとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら2つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第1、第2接着シートAS1、AS2は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、移動手段は、保持面とシート保持手段とを相対移動させて被着体から第1接着シートを剥離可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(その他の手段および工程も同じ)。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、2軸または3軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断したりしてもよい。
10 シート剥離装置
20 被着体保持手段
21A 保持面
22 密閉空間形成手段
23 密閉空間吸引手段
30 シート保持手段
AS1 第1接着シート
AS2 第2接着シート
PT 剥離用テープ
RF リングフレーム(フレーム部材)
SP 密閉空間
WK 被着体

Claims (2)

  1. 一方の面に第1接着シートが貼付されるとともに、他方の面に第2接着シートが貼付され、当該第2接着シートを介してフレーム部材に一体化された被着体を保持する保持面を有する被着体保持手段と、
    前記第1接着シートを保持するシート保持手段と、
    前記保持面と前記シート保持手段とを相対移動させて前記被着体から前記第1接着シートを剥離する移動手段とを備え、
    前記被着体保持手段は、前記第2接着シートにおける前記被着体が貼付された被着体貼付領域よりも外側の領域を前記保持面に引き付け、前記保持面と前記第2接着シートにおける前記被着体貼付領域との間に密閉空間を形成する密閉空間形成手段と、前記密閉空間を吸引する密閉空間吸引手段とを備えていることを特徴とするシート剥離装置。
  2. 一方の面に第1接着シートが貼付されるとともに、他方の面に第2接着シートが貼付され、当該第2接着シートを介してフレーム部材に一体化された被着体を保持面で保持する被着体保持工程と、
    前記第1接着シートをシート保持手段で保持するシート保持工程と、
    前記保持面と前記シート保持手段とを相対移動させて前記被着体から前記第1接着シートを剥離する移動工程とを備え、
    前記被着体保持工程は、前記第2接着シートにおける前記被着体が貼付された被着体貼付領域よりも外側の領域を前記保持面に引き付け、前記保持面と前記第2接着シートにおける前記被着体貼付領域との間に密閉空間を形成する密閉空間形成工程と、前記密閉空間を吸引する密閉空間吸引工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。
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