JP5563423B2 - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Description
一方、半導体製造工程におけるダイシングの前工程において、半導体チップを薄型化するためにウェハの裏面を研削することが行われており、この研削工程において、ウェハの内側を外縁部よりも深く研削することで、外縁部よりも内側が薄く形成され、つまり厚さ方向に突出した環状の凸部を外縁部に有するとともに、当該凸部で囲まれた内側に凹部を有するウェハが知られている(例えば、特許文献2参照)。
また、本発明のシート貼付装置は、リングフレームに貼付された接着シートを被着体に対向させて支持するシート支持手段と、支持している接着シートを前記被着体側に撓ませて当該被着体に貼付するシート変形手段と、前記接着シートを撓ませて前記被着体に貼付する際、前記被着体を平面視したときに被着体外縁よりも外側であって、前記リングフレームよりも内側に位置する接着シート領域が前記被着体側へ変形することを規制する変形規制手段とを備えていることを特徴とする。
また、本発明のシート貼付装置において、前記減圧手段は、前記接着シートを境に独立した第1空間および第2空間を形成し、前記シート変形手段は、前記第1空間および前記第2空間の圧力差により前記接着シートを前記被着体側に撓ませて貼付することが好ましい。
また、接着シートを境に独立した第1空間および第2空間に対し、第1空間の圧力を第2空間の圧力に対して高く設定することで、第1空間および第2空間の圧力差により接着シートを被着体側に撓ませて、当該接着シートを被着体の中心領域から外縁方向に貼付することができるので、接着シートが被着体の外縁部に先に貼付されることを防止することができる。
図1に示すように、本実施形態のシート貼付装置1は、予めリングフレームRFの開口部RF1を閉塞するように貼付された接着シートとしてのマウント用シートMSを被着体としてのウェハWに貼付し、マウント用シートMSでウェハWとリングフレームRFとを一体化するものである。ここで、ウェハWは、外縁部がそれ以外の部分よりも厚くなるように研削されることで、厚さ方向(裏面側)に突出した環状の凸部W1が外縁部に形成され、凸部W1で囲まれた内側に凹部W2が形成されるとともに、その表面側(研削面の反対側であり、図1の下側の面側)の回路面W3に回路が形成された半導体ウェハである。回路面W3には、図示しない保護シートが貼付されている。また、マウント用シートMSは、図示しない基材シートの一方の面に接着剤層が積層された構成を有している。
先ず、図示しない搬送手段がマウント用シートMSによって開口部RF1が閉塞された12インチ用のリングフレームRFを図1に示すように蓋部材6に吸着保持させるとともに、12インチのウェハWを図1に示すように12インチ用のテーブル21A上に載置する。この後、減圧手段3は、図示しない駆動機器により蓋部材6を下降させて、蓋部材6の下面61を下チャンバ7の上面74に当接させる。蓋部材6および下チャンバ7が第1および第2空間V1,V2(図2から図4参照)を形成した後、圧力調整手段8A,8Bは、第1および第2空間V1,V2を同じ減圧率で減圧しつつ、同じ圧力となるように、第1および第2空間V1,V2を真空状態または減圧状態にする。
すなわち、シート貼付装置1は、マウント用シートMSをウェハW側に撓ませてウェハWに貼付する際に、マウント用シートMSのウェハW外縁よりも外側の領域がウェハW側に変形することを規制するため、マウント用シートMSの当該領域がウェハW側に撓むことを規制することができる。従って、マウント用シートMSがウェハW外縁の凸部W1の頂面W11に貼付される前に、マウント用シートMSをウェハWの凹部W2の底面W21の広範囲に貼付することができるので、マウント用シートMSおよびウェハW間に第4空間V4が生じることを防止することができる。
また、前記実施形態では、蓋部材6や下チャンバ7は、リングフレームRF部分を保持することで、ウェハWやマウント用シートMSを保持していたが、マウント用シートMSを保持するようにしてもよい。
3 減圧手段
4A,4B 変形規制部材(変形規制手段)
6 蓋部材(シート支持手段)
7 下チャンバ(シート支持手段)
8A,8B 圧力調整手段(シート変形手段)
MS マウント用シート(接着シート)
V1 第1空間
V2 第2空間
W ウェハ(被着体)
Claims (3)
- 被着体に対向して配置した接着シートを支持するシート支持手段と、
支持している接着シートを前記被着体側に撓ませて当該被着体に貼付するシート変形手段と、
前記接着シートを撓ませて前記被着体に貼付する際、前記被着体を平面視したときに被着体外縁よりも外側であって、前記シート支持手段に支持された領域よりも内側に位置する接着シート領域が前記被着体側へ変形することを規制する変形規制手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - リングフレームに貼付された接着シートを被着体に対向させて支持するシート支持手段と、
支持している接着シートを前記被着体側に撓ませて当該被着体に貼付するシート変形手段と、
前記接着シートを撓ませて前記被着体に貼付する際、前記被着体を平面視したときに被着体外縁よりも外側であって、前記リングフレームよりも内側に位置する接着シート領域が前記被着体側へ変形することを規制する変形規制手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 被着体に対向して配置した接着シートを支持し、
支持している接着シートを前記被着体側に撓ませて当該被着体に貼付する際、前記被着体を平面視したときに被着体外縁よりも外側であって、支持された領域よりも内側に位置する接着シート領域が前記被着体側へ変形することを規制することを特徴とするシート貼付方法。
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